JP5385952B2

JP5385952B2 - 加熱炉用ヒーター

Info

Publication number: JP5385952B2
Application number: JP2011169086A
Authority: JP
Inventors: 邦廣畠山
Original assignee: 株式会社サーモニック
Priority date: 2011-08-02
Filing date: 2011-08-02
Publication date: 2014-01-08
Anticipated expiration: 2031-08-02
Also published as: JP2013033631A

Description

本発明は、加熱、焼成等を行う加熱炉に適用される加熱炉用ヒーターに関する。

従来より電子部品、ＬＥＤ用パウダー、ウエハー等をはじめとして種々の製品を加熱、焼成する場合に加熱炉が広く使用されている。
この加熱炉には炉本体に配置されて前記製品を加熱、焼成するための加熱炉用ヒーターが配設されている。
従来、この種の加熱炉用ヒーターの発熱体はニクロム線、二珪化モリブデン、タングステン、モリブデン等の金属や炭化珪素等の材料で形成されている（特許文献１）。
ところで、前記製品を加熱、焼成する場合は製品の材質や製品の使用目的等に応じて加熱室の温度領域や雰囲気条件（雰囲気ガスの種類等）を設定している。
しかし、従来の前記加熱炉用ヒーターは上述したようにニクロム線、二珪化モリブデン、タングステン、モリブデン等の金属や炭化珪素等で形成された発熱体が露出した状態で設けられているので、加熱炉の加熱室内の温度領域や加熱室内の雰囲気の影響を直接受けて発熱体が酸化反応、還元反応したり破損したりしてしまう。
このため、加熱炉用ヒーターの発熱体の酸化反応、還元反応や破損を防止するために加熱炉で適用する温度領域や雰囲気条件にあった材料からなる発熱体の加熱ヒーターを選択する必要があるため、加熱、焼成する製品の材質や製品の使用目的等に応じた発熱体の加熱炉用ヒーターを備えた加熱炉を用意する必要があり、煩雑であると共に不経済である。

特開２０００−２５２０４７号公報

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、加熱、焼成する製品の加熱温度領域や雰囲気条件等に関係なく使用することができる加熱炉用ヒーターを提供するものである。

請求項１の発明は、加熱炉に設けられる加熱炉用ヒーターであって、並んで配設される複数のヒーターパイプ体と、これらヒーターパイプ体を構成するカバーパイプと、このカバーパイプの一端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第１保持体と、前記カバーパイプの他端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第２保持体と、この第１保持体と第２保持体にそれぞれ設けられたガス通路と、前記カバーパイプの中間部に配設された発熱体と、前記発熱体の一端部側に配設されると共に前記発熱体と前記第１保持体を連結する第１シャフトと、前記発熱体の他端部側に配設されると共に先端部が前記発熱体と連結され基端部が前記第２保持体のガス通路に挿入された第２シャフトと、前記カバーパイプ内に形成されたガス通過隙間と、前記ヒーターパイプ体同士を連絡するガス連絡パイプと、を有してなることを特徴としている。
請求項２の発明は、加熱炉に設けられる加熱炉用ヒーターであって、並んで配設される複数のヒーターパイプ体と、これらヒーターパイプ体を構成するカバーパイプと、このカバーパイプの一端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第１保持体と、前記カバーパイプの他端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第２保持体と、この第１保持体と第２保持体にそれぞれ設けられたガス通路及び水通路と、前記第１保持体と第２保持体の内側部に取り付けられたキャップと、前記第１保持体及び第２パイプ保持体の内側端面とキャップの間に配設されたＯリングと、前記カバーパイプの中間部に配設された発熱体と、前記カバーパイプの一端部に挿入された前記第１保持体の第１保持体パイプ部と、この第１保持体パイプ部に形成されたガス流通開口部と、前記カバーパイプの他端部に挿入された前記第２保持体の第２保持体パイプ部と、前記発熱体の一端部側に配設されると共に前記発熱体と前記第１保持体パイプ部を連結する第１シャフトと、前記発熱体の他端部側に配設されると共に先端部が前記発熱体と連結され基端部が前記第２保持体のガス通路に挿入された第２シャフトと、前記カバーパイプ内に形成されたガス通過隙間と、前記ヒーターパイプ体同士を連絡するガス連絡パイプと、前記ヒーターパイプ体同士を連絡する水連絡パイプと、を有してなることを特徴としている。
請求項３の発明は、加熱炉に設けられる加熱炉用ヒーターであって、並んで配設される複数のヒーターパイプ体と、これらヒーターパイプ体を構成するカバーパイプと、このカバーパイプの一端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第１保持体と、前記カバーパイプの他端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第２保持体と、この第１保持体と第２保持体にそれぞれ設けられたガス通路及び水通路と、前記第１保持体と第２保持体の内側部に取り付けられたキャップと、前記第１保持体及び第２パイプ保持体の内側端面とキャップの間に配設されたＯリングと、前記カバーパイプの中間部に配設された発熱体と、前記カバーパイプの一端部に挿入された前記第１保持体の第１保持体パイプ部と、この第１保持体パイプ部に形成されたガス流通開口部と、前記カバーパイプの他端部に挿入された前記第２保持体の第２保持体パイプ部と、前記発熱体の一端部側に配設されると共に前記発熱体と前記第１保持体パイプ部を連結する第１シャフトと、前記発熱体の他端部側に配設されると共に先端部が前記発熱体と連結され基端部が前記第２保持体のガス通路に挿入された第２シャフトと、前記第２保持体に設けられて前記第２シャフトの基端部を押圧する押圧ネジと、前記カバーパイプ内に形成されたガス通過隙間と、前記ヒーターパイプ体同士を連絡するガス連絡パイプと、前記ヒーターパイプ体同士を連絡する水連絡パイプと、を有してなることを特徴としている。
請求項４の発明は、前記カバーパイプをアルミナで形成したことを特徴としている。
請求項５の発明は、前記発熱体をカーボンで形成したことを特徴としている。

本発明の加熱炉用ヒーターは、発熱体がカバーパイプに覆われているので加熱、焼成する場合の加熱室内の温度領域や雰囲気条件が異なっても発熱体は影響を受けることがないので、色々な温度領域や雰囲気条件下においても使用することができるという優れた効果を有する。
本発明の加熱炉用ヒーターは、上述したように色々な温度領域や雰囲気条件下においても使用することができるので本発明の加熱炉用ヒーターを有した加熱炉を備えておけば色々な製品を加熱、焼成することができ経済的であるという優れた効果を有する。

実施例の加熱炉用ヒーターを平面から見た一部概略断面図である。実施例の加熱炉用ヒーターの第１保持体周辺を平面から見た一部拡大断面図である。実施例の加熱炉用ヒーターの第２保持体周辺を平面から見た一部拡大断面図である。実施例の加熱炉用ヒーターが第２保持体の一部拡大断面図である。実施例の加熱炉用ヒーターが設けられた加熱炉の一部概略断面図である。

発明を実施するために最良の形態の例として以下のような実施例を示す。

図１乃至図５には本発明に係る加熱炉用ヒーター１０の一実施例が示されている。
図５には加熱炉用ヒーター１０が使用される加熱炉１２の一部縦断面図が示されている。この加熱炉１２の炉本体１４の内側面には肉厚の断熱材１６が設けられている。この断熱材１６に囲まれて加熱室１８が形成されている。
前記炉本体１４の上部と下部には加熱炉用ヒーター１０がそれぞれ配設されている。
この実施例では前記炉本体１４の下部に設けられた加熱炉用ヒーター１０の上にトレーＴを載置してトレーＴに載せた製品Ｓを加熱、焼成する場合を例にして説明する。
図１には前記加熱炉用ヒーター１０を平面から見た概略断面図が示されている。この加熱炉用ヒーター１０はほぼ同一構成の第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８の５本のヒーターパイプ体を備えている。
前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８はそれぞれカバーパイプ３０とカバーパイプ３０の一端部に取り付けられる円柱状の第１保持体３２とカバーパイプ３０の他端部に取り付けられる円柱状の第２保持体３４を有している。図５に示されるように、これら第１保持体３２及び第２保持体３４は前記加熱室１８の外側に位置するように前記加熱炉用ヒーター１０は炉本体１４に設けられている。
前記カバーパイプ３０はアルミナでパイプ状に形成されている。前記第１保持体３２と前記第２保持体３４は銅で円柱形状に形成されている。前記第１保持体３２には略Ｌ字状のガス通路３２Ａと水通路３２Ｂが貫通形成され、前記第２保持体３４には略Ｌ字状のガス通路３４Ａと水通路３４Ｂが貫通形成されている。なお、この実施例ではガスとしてアルゴンガスを使用する場合を例にして説明する。
前記第１ヒーターパイプ体２０の第２保持体３４にはガス注入部３４Ｃが形成され、第５ヒーターパイプ体２８の第１保持体３２にはガス排出部３２Ｃが形成されている。
また、前記第１ヒーターパイプ体２０の第１保持体３２と第２保持体３４には水注入部３２Ｄ，３４Ｄが形成され、前記第５ヒーターパイプ体２８の第１保持体３２と第２保持体３４には水排出部３２Ｅ，３４Ｅが形成されている。
前記第１保持体３２と第２保持体３４の内側部にはキャップ３６が固定されている。このキャップ３６にはメネジ穴が形成され、第１保持体３２と第２保持体３４の内側部外周に形成されたオネジと螺合して固定されている。
図２、図３に示されるように、前記第１保持体３２と第２パイプ保持体３４の内側端面とキャップ３６の間には座金３８とゴムで形成されたＯリング４０が配設されている。このＯリング４０により加熱室１８内とカバーパイプ３０内の雰囲気が隔離されている。また、前記Ｏリング４０を設けることにより加熱されたカバーパイプ３０が長手方向に膨張してもカバーパイプ３０と第１保持体３２及び第２保持体３４が強く当たるのを調節してカバーパイプ３０がひび割れたり、破損したりするのを防止できるようになっている。
図１に示されるように、前記カバーパイプ３０の中間部には発熱体としてのカーボン体４２が配設されている。このカーボン体４２はカーボンを円柱状に形成したもので、カーボン体４２は通電により抵抗加熱が生じ発熱するようになっている。なお、この実施例ではカーボン体４２は最大約１８００℃の発熱が可能になっている。
前記カーボン体４２の外径寸法はカバーパイプ３０の内径寸法よりも小径に設定され、カーボン体４２の外周面とカバーパイプ３０の内周面との間にはガス通過隙間４３（図１では省略するので図２、図３を参照）が形成されている。
図２に示されるように前記カバーパイプ３０の一端部には前記第１保持体３２の第１保持体パイプ部４４が挿入されている。この第１保持体パイプ部４４にはガス流通開口部４４Ａ（図１では省略）が貫通形成されている。前記第１保持体パイプ部４４の外径寸法は前記カバーパイプ３０の内径寸法よりも小径に設定され、第１保持体パイプ部４４の外周面とカバーパイプ３０の内周面との間にはガス通過隙間４３（図１では省略）が設けられている。
また、図３に示されるように前記カバーパイプ３０の他端部には前記第２保持体３４の第２保持体パイプ部４６が挿入されている。
図１に示されるように、前記カーボン体４２の一端部側には第１シャフト５０が配設され、カーボン体４２の他端部側には第２シャフト５２が配設されている。これら第１シャフト５０、第２シャフト５２はモリブデンで形成されている。前記第１シャフト５０、第２シャフト５２をモリブデンで形成したことにより高温になっても、第１シャフト５０、第２シャフト５２が曲がる等の変形を可及的に防止できる。
図２に示されるように、前記第１シャフト５０の先端部５０Ａにはオネジが形成され、前記カーボン体４２の一端面に形成されたメネジ穴に螺入されている。また、第１シャフト５０の基端部５０Ｂにもオネジが形成され前記第１保持体部パイプ４４に形成されたメネジ穴に螺入されている。前記第１シャフト５０の外周面とカバーパイプ３０の内周面との間にはガス通過隙間４３（図１では省略）が形成されている。
図３に示されるように、前記第２シャフト５２の先端部５２Ａにはオネジが形成され、前記カーボン体４２の他端面に形成されたメネジ穴に螺入されている。前記第２シャフト５２の外周面とカバーパイプ３０の内周面との間にはガス通過隙間４３（図１では省略）が形成されている。また、第２シャフト５２の基端部５２Ｂは前記第２保持体３４のガス通路３４Ａに挿入されている。この第２シャフト５２の基端部５２Ｂの外径寸法は第２保持体３４のガス通路３４Ａの内径寸法より小径に設定され、アルゴンガスが通過できるようになっている。
図４に示されるように、第２保持体３４にはガス通路３４Ａに向かってネジ穴３４Ｆが形成されている。このネジ穴３４Ｆには押圧ネジ５３が螺入されて前記第２シャフト５２の基端部５２Ｂを押圧して基端部５２Ｂを第２保持体３４に押し付けている。また、前記ネジ穴３４ＦにはＯリング５３Ａが配設されている。なお、図３においては前記押圧ネジ５３の記載は省略する。
図１に示されるように、前記第１ヒーターパイプ体２０の第１保持体３２と第２ヒーターパイプ体２２の第１保持体３２、第２ヒーターパイプ体２２の第２保持体３４と第３ヒーターパイプ体２４の第２保持体３４、第３ヒーターパイプ体２４の第１保持体３２と第４ヒーターパイプ体２６の第１保持体３２、第４ヒーターパイプ体２６の第２保持体３４と第５ヒーターパイプ体２８の第２保持体３４、はそれぞれガス連絡パイプ５４で連結されている。
これにより、前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８に連続してアルゴンガスを流すことができる。この結果、前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８にはアルゴンガスが流れるので、前記カーボン体４２の酸化防止、還元防止を行うことができる。
また、前記第１ヒーターパイプ体２０の第１保持体３２と第２ヒーターパイプ体２２の第１保持体３２、第２ヒーターパイプ体２２の第１保持体３２と第３ヒーターパイプ体２４の第１保持体３２、第３ヒーターパイプ体２４の第１保持体３２と第４ヒーターパイプ体２６の第１保持体３２、第４ヒーターパイプ体２６の第１保持体３２と第５ヒーターパイプ体２８の第１パイプ保持体３２、はそれぞれ水連絡パイプ５６で連結されている。
また、前記第１ヒーターパイプ体２０の第２保持体３４と第２ヒーターパイプ体２２の第２保持体３４、第２ヒーターパイプ体２２の第２保持体３４と第３ヒーターパイプ体２４の第２保持体３４、第３ヒーターパイプ体２４の第２保持体３４と第４ヒーターパイプ体２６の第２保持体３４、第４ヒーターパイプ体２６の第２保持体３４と第５ヒーターパイプ体２８の第２保持体３４、はそれぞれ水連絡パイプ５６で連結されている。
前記水連絡パイプ５６を設けて第１保持体３２及び第２保持体３４内部に水を流すことにより第１保持体３２と第２保持体３４を冷却して、これにより前記Ｏリング４０が加熱されて劣化するのを防止できるようになっている。
なお、前記第１ヒーターパイプ体２０の第２保持体３４と前記第５ヒーターパイプ体２８の第１保持体３２は電源から通電されるようになっている。

一実施例の加熱炉用ヒーター１０の作用について説明する。
適宜の公知手段を介して加熱炉用ヒーター１０の第１ヒーターパイプ体２０の第２保持体３４と第５ヒーターパイプ体２８の第１保持体３２に通電させる。これにより、第１ヒーターパイプ体２０の第２保持体３４、第２シャフト５２、カーボン体４２、第１シャフト５０、第１保持体３２、ガス連絡パイプ５４、水連絡パイプ５６、第２ヒーターパイプ体２２の第１保持体３２、第１シャフト５０、カーボン体４２、第２シャフト５２、第２保持体３４、ガス連絡パイプ５４、水連絡パイプ５６、第３ヒーターパイプ体２４の第２保持体３４、第２シャフト５２、カーボン体４２、第１シャフト５０、第１保持体３２、ガス連絡パイプ５４、水連絡パイプ５６、第４ヒーターパイプ体２６の第１保持体３２、第１シャフト５０、カーボン体４２、第２シャフト５２、第２保持体３４、ガス連絡パイプ５４、水連絡パイプ５６、第５ヒーターパイプ体２８の第２保持体３４、第２シャフト５２、カーボン体４２、第１シャフト５０、第１保持体３２が通電する。
この通電により、前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８に内設されているカーボン体４２が抵抗加熱により加熱される。
従って、前記炉本体１４の下部に設けられた加熱炉用ヒーター１０の上にトレーＴを載置してトレーＴに載せた製品Ｓは加熱、焼成される。
本発明の加熱炉用ヒーター１０は第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８の内部に設けられたカーボン体４２はカバーパイプ３０にカバーされているため加熱室１８内の温度領域や雰囲気ガス等の雰囲気条件によって酸化反応、還元反応や破損等のダメージを受けることがないので、色々な温度、雰囲気条件下で製品Ｓの加熱、焼成を行うことができる。
また、前記加熱炉用ヒーター１０は、上述したように色々な温度領域や雰囲気条件下においてもオールマイティーに使用することができるので、加熱炉用ヒーター１０を有した加熱炉１２を１台備えておけば色々な製品Ｓを加熱、焼成することができ経済的である。
また、前記カバーパイプ３０を形成するアルミナは一般的に１２００℃以上加熱されると軟化を開始するが、前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８のカバーパイプ３０の内部に一般的に３０００℃以上加熱されないと軟化され難いのでカーボンで形成されたカーボン体４２が内設されているので、カーボン体４２がカバーパイプ３０の芯材の役目を果たす。
この結果、加熱により炉本体１２の加熱室１８内が約１８００℃になって前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８のカバーパイプ３０が軟化してもカーボン体４２が芯材としての役目を果たして、前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８の強度低下を防止できる。
さらに、前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８の上に製品Ｓを載せたトレーＴを置いて製品Ｓを加熱、焼成しても製品Ｓの重み等により前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８が変形するのを防止することができる。
また、第１ヒーターパイプ体２０の第２保持体３４のガス注入部３４Ｃから注入されたアルゴンガスはガス通路３４Ａ、ガス通過隙間４３、ガス流通開口部４４Ａ、第１保持体３２のガス通路３２Ａ、ガス連絡パイプ５４、第２ヒーターパイプ体２２の第２保持体３２のガス通路３２Ａ、ガス流通開口部４４Ａ、ガス通過隙間４３、第２保持体３４のガス通路３４Ａ、ガス連絡パイプ５４、第３ヒーターパイプ体２４の第２パイプ保持体３４のガス通路３４Ａ、ガス通過隙間４３、ガス流通開口部４４Ａ、第１保持体３２のガス通路３２Ａ、ガス連絡パイプ５４、第４ヒーターパイプ体２６の第１保持体３２のガス通路３２Ａ、ガス流通開口部４４Ａ、ガス通過隙間４３、第２保持体３４のガス通路３４Ａ、ガス連絡パイプ５４、第５ヒーターパイプ体２８の第２保持体３４のガス通路３４Ａ、ガス通過隙間４３、ガス流通開口部４４Ａ、第１保持体３２のガス通路３２Ａ、ガス排出部３２Ｃから加熱室１８外に排出される。
前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８の内部にアルゴンガスを流すことによりカーボン体４２が酸化したり、還元するのを防止してカーボン体４２の劣化を防止すると共にこれにより加熱炉用ヒーター１０の耐用期間を一段と向上させることができる。
また、前記第１ヒーターパイプ体２０の第１保持体３２の水注入部３２Ｄから水を注入すると水通路３２Ｂ、水連絡パイプ５６、第２ヒーターパイプ体２２の第１保持体３２の水通路３２Ｂ、水連絡パイプ５６、第３ヒーターパイプ体２４の第１保持体３２の水通路３２Ｂ、水連絡パイプ５６、第４ヒーターパイプ体２６の第１パイプ保持体３２の水通路３２Ｂ、水連絡パイプ５６、第５ヒーターパイプ体２８の第１パイプ保持体３２の水通路３２Ｂ４を介して水排出部３２Ｅから水は排出される。
同様に、前記第１ヒーターパイプ体２０の第２保持体３４の水注入部３４Ｄから水を注入すると水通路３４Ｂ、水連絡パイプ５６、第２ヒーターパイプ体２２の第２保持体３４の水通路３４Ｂ、水連絡パイプ５６、第３ヒーターパイプ体２４の第２保持体３４の水通路３４Ｂ、水連絡パイプ５６、第４ヒーターパイプ体２６の第２パイプ保持体３４の水通路３４Ｂ、水連絡パイプ５６、第５ヒーターパイプ体２８の第２パイプ保持体３４の水通路３４Ｂ４を介して水排出部３４２Ｅから水は排出される。
この結果、水を流すことにより前記第１保持体３２、第２保持体３４を冷却して前記Ｏリング４０が第１保持体３２、第２保持体３４によって加熱されて劣化するのを防止できる。
また、前記カバーパイプ３０はアルミナで形成されているので、第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８のカーボン体４２による製品Ｓへの金属コンタミネーションを防止することができる。
なお、この実施例の加熱炉用ヒーター１０においては前記第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８の上に製品Ｓを載せたトレーＴを置いて製品Ｓを加熱、焼成するので製品Ｓの全体を均等に加熱、焼成することができるため製品Ｓの品質ムラを防ぐことができる。

なお、実施例では加熱炉用ヒーター１０を加熱室１８の上部と下部に横方向に向かって配設したが、加熱炉用ヒーター１０を加熱室１８の内部に上下方向に沿って棚段式に横方向に複数配設してもよい。
加熱炉用ヒーター１０を加熱室１８の内部に上下方向に沿って棚段式に横方向に複数設けることにより、複数の加熱炉用ヒーター１０毎に製品Ｓを載せたトレーＴを載置することができるので、製品Ｓを大量に加熱、焼成でき、作業効率の向上を図ることができる。
また、実施例では加熱炉用ヒーター１０を横方向に設けたが、加熱炉用ヒーター１０は加熱室１８の内部に縦方向に設けて使用してもよい。
なお、加熱炉用ヒーター１０の通電方法は実施例で説明した通電方法に限定されるものでなく、要は第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８に通電できればよく、例えば第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８にそれぞれ単独で通電させるようにしてもよい。

なお、実施例では加熱炉用ヒーター１０は第１ヒーターパイプ体２０、第２ヒーターパイプ体２２、第３ヒーターパイプ体２４、第４ヒーターパイプ体２６、第５ヒーターパイプ体２８の５本のヒーターパイプ体を設けた構成にしたが、加熱炉用ヒーター１０のヒーターパイプ体の数は５本に限定されるものでなく、５本以下でも５本以上でもよいことは勿論である。
また、実施例では加熱炉用ヒーター１０の内部に流すガスとして不活性ガスのアルゴンガスを使用したが、加熱炉用ヒーター１０の内部に流すガスはアルゴンガスに限定されるものでなく、不活性ガスとしてのヘリウムガスや中性ガスとしての窒素ガス等のガスを使用してもよいことは勿論である。これらヘリウムガスや窒素ガスを使用することによりアルゴンガスと同様に前記カーボン体４２の酸化防止、還元防止を図ることができる。
なお、実施例では発熱体としてカーボン体４２を示したが発熱体はカーボン体４２に限定されるものでなく、タングステンやモリブデン等でもよいことは勿論である。
また、実施例では前記カバーパイプ３０をアルミナで形成したが、これに限定されるものではなくチタン、ステンレス等の金属で形成してもよいことは勿論である。
また、実施例では前記第１シャフトパイプ５０、第２シャフトパイプ５２をモリブデンで形成したが、前記第１シャフトパイプ５０、第２シャフトパイプ５２をタングステンで形成してもよいことは勿論である。

本発明の加熱炉用ヒーター１０は電子部品の焼成、ＬＥＤ用パウダーの焼成、ウエハー以外の製品の加熱、焼成を行う場合に使用できることは勿論である。

１０加熱炉用ヒーター
２０第１ヒーターパイプ体
２２第２ヒーターパイプ体
２４第３ヒーターパイプ体
２６第４ヒーターパイプ体
２８第５ヒーターパイプ体
３０カバーパイプ
３２第１保持体
３２Ａガス通路
３２Ｂ水通路
３４第２保持体
３４Ａガス通路
３４Ｂ水通路
３６キャップ
４０Ｏリング
４２カーボン体
４３ガス通過隙間
４４第１保持体パイプ部
４４Ａガス流通開口部
４６第２保持体パイプ部
５０第１シャフト
５２第２シャフト
５３押圧ネジ
５４ガス連絡パイプ
５６水連絡パイプ

Claims

加熱炉に設けられる加熱炉用ヒーターであって、並んで配設される複数のヒーターパイプ体と、これらヒーターパイプ体を構成するカバーパイプと、このカバーパイプの一端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第１保持体と、前記カバーパイプの他端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第２保持体と、この第１保持体と第２保持体にそれぞれ設けられたガス通路と、前記カバーパイプの中間部に配設された発熱体と、前記発熱体の一端部側に配設されると共に前記発熱体と前記第１保持体を連結する第１シャフトと、前記発熱体の他端部側に配設されると共に先端部が前記発熱体と連結され基端部が前記第２保持体のガス通路に挿入された第２シャフトと、前記カバーパイプ内に形成されたガス通過隙間と、前記ヒーターパイプ体同士を連絡するガス連絡パイプと、を有してなることを特徴とする加熱炉用ヒーター。
加熱炉に設けられる加熱炉用ヒーターであって、並んで配設される複数のヒーターパイプ体と、これらヒーターパイプ体を構成するカバーパイプと、このカバーパイプの一端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第１保持体と、前記カバーパイプの他端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第２保持体と、この第１保持体と第２保持体にそれぞれ設けられたガス通路及び水通路と、前記第１保持体と第２保持体の内側部に取り付けられたキャップと、前記第１保持体及び第２パイプ保持体の内側端面とキャップの間に配設されたＯリングと、前記カバーパイプの中間部に配設された発熱体と、前記カバーパイプの一端部に挿入された前記第１保持体の第１保持体パイプ部と、この第１保持体パイプ部に形成されたガス流通開口部と、前記カバーパイプの他端部に挿入された前記第２保持体の第２保持体パイプ部と、前記発熱体の一端部側に配設されると共に前記発熱体と前記第１保持体パイプ部を連結する第１シャフトと、前記発熱体の他端部側に配設されると共に先端部が前記発熱体と連結され基端部が前記第２保持体のガス通路に挿入された第２シャフトと、前記カバーパイプ内に形成されたガス通過隙間と、前記ヒーターパイプ体同士を連絡するガス連絡パイプと、前記ヒーターパイプ体同士を連絡する水連絡パイプと、を有してなることを特徴とする加熱炉用ヒーター。
加熱炉に設けられる加熱炉用ヒーターであって、並んで配設される複数のヒーターパイプ体と、これらヒーターパイプ体を構成するカバーパイプと、このカバーパイプの一端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第１保持体と、前記カバーパイプの他端部に取り付けられると共に前記ヒーターパイプを構成する第２保持体と、この第１保持体と第２保持体にそれぞれ設けられたガス通路及び水通路と、前記第１保持体と第２保持体の内側部に取り付けられたキャップと、前記第１保持体及び第２パイプ保持体の内側端面とキャップの間に配設されたＯリングと、前記カバーパイプの中間部に配設された発熱体と、前記カバーパイプの一端部に挿入された前記第１保持体の第１保持体パイプ部と、この第１保持体パイプ部に形成されたガス流通開口部と、前記カバーパイプの他端部に挿入された前記第２保持体の第２保持体パイプ部と、前記発熱体の一端部側に配設されると共に前記発熱体と前記第１保持体パイプ部を連結する第１シャフトと、前記発熱体の他端部側に配設されると共に先端部が前記発熱体と連結され基端部が前記第２保持体のガス通路に挿入された第２シャフトと、前記第２保持体に設けられて前記第２シャフトの基端部を押圧する押圧ネジと、前記カバーパイプ内に形成されたガス通過隙間と、前記ヒーターパイプ体同士を連絡するガス連絡パイプと、前記ヒーターパイプ体同士を連絡する水連絡パイプと、を有してなることを特徴とする加熱炉用ヒーター。
前記カバーパイプをアルミナで形成したことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３のいずれか１項の請求項に記載された加熱炉用ヒーター。
前記発熱体をカーボンで形成したことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３のいずれか１項の請求項に記載された加熱炉用ヒーター。