JP3850540B2 - 液体加熱用電熱式ヒータにおける破損検出装置 - Google Patents
液体加熱用電熱式ヒータにおける破損検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3850540B2 JP3850540B2 JP02561898A JP2561898A JP3850540B2 JP 3850540 B2 JP3850540 B2 JP 3850540B2 JP 02561898 A JP02561898 A JP 02561898A JP 2561898 A JP2561898 A JP 2561898A JP 3850540 B2 JP3850540 B2 JP 3850540B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz tube
- communication pipe
- electric heater
- tube
- exhaust duct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体部品の製造等に際して、処理槽に入れた処理液を加熱するために前記処理槽内に配設するようにした液体加熱用の電熱式ヒータにおいて、その破損を検出する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体部品の製造に際して一つの重要な処理に、半導体ウエハーを、酸性又は塩基性の処理液にて洗浄処理する工程があり、また、この洗浄処理工程の一つに、純水にアンモニア及び過酸化水素を混合した処理液を処理槽内において、当該処理槽内に配設した電熱式のヒータにて加熱して、この加熱した洗浄液中に、被洗浄物である半導体ウエハーを浸漬すると言う加熱洗浄処理工程がある。
【0003】
この加熱洗浄処理工程において、その処理槽内に配設される液体加熱用の電熱式ヒータは、石英管内に、通電によって発熱するニクロム線等の電熱線を挿入すると言う構造であるが、前記石英管は、前記処理液中における過酸化水素によって腐食して、これにピンホールがあいたり、他物の接触にて石英管が破れたりする場合があり、前記石英管にピンポールが発生したり、破れたりすると、この石英管内には、直ちに、処理槽内における処理液が侵入してニクロム線等の電熱線に接触し、この電熱線によって金属汚染され、ひいては、前記処理液中に浸漬した半導体ウエハー、及び、処理槽内の全体が電熱線にて金属汚染されることになるから、半導体ウハエーの全てを廃棄すると共に、処理槽内を十分に洗浄しなければならず、きわめて面倒なことになる。
【0004】
そこで、従来は、前記石英管を、二重管の構造にし、その内側の石英管内にニクロム線を挿入する一方、前記内側の石英管を、外側の石英管によって保護し、外側の石英管に、腐食によるピンホールが発生したり、破れたりしても、直ちに、処理液が内側の石英管内にまで侵入しないように構成している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このように、石英管を二重管の構造にした場合において、外側の石英管にピンホールが発生したり、破れたりしているか否かの状態を、処理槽の外側から知ることができないから、外側の石英管にピンホールが発生したり、破れたりしているにもかかわらず、これを知らないで、そのまま洗浄処理を継続することによって、内側の石英管に腐食によるピンホールが発生したり、破れたりすることを招来すると言う問題があった。
【0006】
本発明は、この問題を確実に解消できるようにすることを技術的課題とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため本発明は,
「処理液を入れた処理槽内に挿入される石英管を,外側の石英管と内側の石英管との二重管構造にして,その内側の石英管内に,電熱線を挿入して成る電熱式ヒータにおいて,
この電熱式ヒータにおける両端部のうち少なくとも一端部に,大気への排気ダクトに連通する連通管を,当該連通管が前記外側の石英管と内側の石英管との間の空間に連通するように接続し,この連通管内の一部に酸又は塩基によって変色する指示物質を,当該指示物質を連通管の外側から見えるように装填し,更に,前記連通管のうち前記指示物質よりも前記排気ダクト側の部位に,前記排気ダクトへの方向にのみ開くようにした逆止弁を設ける。」
と言う構成にした。
【0008】
【発明の作用・効果】
この構成において、外側の石英管に腐食によるピンホールが発生したり、破れたりすることで、その内部に処理液が入ると、この処理液は、内側の石英管に接触して、その内部における電熱線によって加熱・蒸発し、その蒸気が、連通管を通って大気中に出て行くとき、この連通管内の一部に装填した指示物質に接触して、この指示物質が、処理液に含まれている酸又は塩基の成分と反応して変色するのであり、しかも、前記蒸気は、外側の石英管内に処理液が侵入する同時に、体積が著しく膨張しながら発生し、この発生から短い時間のうち前記指示物質に接触することにより、外側の石英管内への処理液の侵入から前記指示物質が変色までの間の時間が短いから、前記指示物質の変色によって、外側の石英管にピンホールが発生したり、破れたりしているか否かの状態を処理槽の外側から、確実に、且つ、時間的遅れなく迅速に知ることができるのである。
【0009】
従って,本発明によると,前記指示物質が変色したことに基づいて,電熱式ヒータの全体を,処理槽から引き上げることにより,処理槽内における処理液,ひいては,これに浸漬される半導体ウエハー等の被処理物及び処理槽内が,前記電熱式ヒータにおける電熱線によって金属汚染されることを未然に確実に防止できる効果を有する。
その上,本発明によると,前記指示物質が大気への排気ダクトにおける蒸気等にて変色することを逆止弁にて確実に回避できるという効果を有する。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図1及び図2の図面について説明する。
この図において、符号1は、純水にアンモニア及び過酸化水素を混合した処理液を入れた上面開放型の処理槽を示し、この処理槽1の上面には、これを覆うフード2が開閉自在に設けられ、このフード2には、その内部の空気等を大気中に吸引放出するためのフアン(図示せず)付き排気ダクト3が接続されている。
【0011】
なお、この場合、前記フード2に代えて図3に示すように処理槽1の全体を箱型密閉室2′に入れ、これに排気ダクト3′を接続した構成にしても良い。
また、符号4は、前記処理槽1内に挿入される電熱式のヒータを示し、このヒータ4は、内側の石英管4aと、外側の石英管4bとの二重管にして、その内側の石英管4a内に、コイル状に巻いたニクロム線等の電熱線4cを挿入したものに構成されている。
【0012】
そして、前記電熱式ヒータ4における両端部には、透明な石英製の連通管5を、当該連通管5が前記内側の石英管4aと外側の石英管4bとの間の空間に連通するように接続して、この連通管5の先端を、前記排気ダクト3又は3′に接続する。
更に、前記連通管5の途中には、開閉自在な蓋7を備えた拡大管部6を設けて、この拡大管部6内に、リトマス試験紙等のように酸によって変色する指示物質8を装填する。
【0013】
この構成において、前記処理槽1内における処理液を、電熱式ヒータ4への通電によっ加熱したのち、この処理液中に、半導体ウエハーを浸漬することにより、半導体ウエハーに対する洗浄処理を行うことができる。
この洗浄処理作業中において、外側の石英管4bに腐食によるピンホールが発生したり、破れたりしすることで、その内部に処理液が入ると、この処理液は、内側の石英管4aに接触して、その内部における電熱線4cによって加熱・蒸発し、その蒸気が、連通管5を通って大気中に出て行くとき、この連通管5内の一部に装填した指示物質8に接触して、この指示物質8が、処理液に含まれている酸の成分と反応して変色するのであり、しかも、前記蒸気は、外側の石英管4b内に処理液が侵入する同時に、体積が著しく膨張しながら発生し、この発生から短い時間のうち前記指示物質8に接触することにより、外側の石英管4b内への処理液の侵入から前記指示物質8が変色までの間の時間が短いから、前記指示物質8の変色によって、外側の石英管4bにピンホールが発生したり、破れたりしているか否かの状態を処理槽1の外側から、確実に、且つ、時間的遅れなく迅速に知ることができるのである。
【0014】
従って、前記指示物質8が変色したことに基づいて、電熱式ヒータ4の全体を、処理槽1から引き上げることで、処理槽1内における処理液、ひいては、これに浸漬される半導体ウエハー等の被処理物及び処理槽内が、前記電熱式ヒータ4における電熱線4cによって金属汚染されることを未然に確実に防止できるのである。
【0015】
これに加えて,前記連通管5のうち指示物質5よりも上流側の部位に,排気ダクト3への方向にのみ開くようにした逆止弁9を設けることにより,前記指示物質8が,排気ダクト3内の蒸気によって変色することを回避できる。
また,前記指示物質8を備えた連通管5は,前記実施の形態のように,ヒータ4の両端部に設けることに代えて,一端部のみに設けても良く,更にまた,処理槽1内における処理液が塩基性である場合には,前記指示物質8は,塩基によって変色するものにすることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す斜視図である。
【図2】図1の要部拡大断面図である。
【図3】別の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
1 処理槽
2 フード
3 排気ダクト
4 電熱式ヒータ
4a 内側の石英管
4b 外側の石英管
4c 電熱線
5 連通管
8 指示物質
Claims (1)
- 処理液を入れた処理槽内に挿入される石英管を,外側の石英管と内側の石英管との二重管構造にして,その内側の石英管内に,電熱線を挿入して成る電熱式ヒータにおいて,
この電熱式ヒータにおける両端部のうち少なくとも一端部に,大気への排気ダクトに連通する連通管を,当該連通管が前記外側の石英管と内側の石英管との間の空間に連通するように接続し,この連通管内の一部に酸又は塩基によって変色する指示物質を,当該指示物質を連通管の外側から見えるように装填し,更に,前記連通管のうち前記指示物質よりも前記排気ダクト側の部位に,前記排気ダクトへの方向にのみ開くようにした逆止弁を設けたことを特徴とする液体加熱用電熱式ヒータにおける破損検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02561898A JP3850540B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 液体加熱用電熱式ヒータにおける破損検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02561898A JP3850540B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 液体加熱用電熱式ヒータにおける破損検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11224765A JPH11224765A (ja) | 1999-08-17 |
JP3850540B2 true JP3850540B2 (ja) | 2006-11-29 |
Family
ID=12170883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02561898A Expired - Fee Related JP3850540B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 液体加熱用電熱式ヒータにおける破損検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3850540B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012098988A1 (ja) | 2011-01-21 | 2012-07-26 | Ntn株式会社 | 軌道輪の製造方法、軌道輪および転がり軸受 |
CN109831840B (zh) * | 2019-01-17 | 2021-07-16 | 佛山宁宇科技股份有限公司 | 一种以铬纤维为发热体的水热管 |
-
1998
- 1998-02-06 JP JP02561898A patent/JP3850540B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11224765A (ja) | 1999-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3850540B2 (ja) | 液体加熱用電熱式ヒータにおける破損検出装置 | |
JP2000058543A (ja) | 酸化処理方法および酸化処理装置 | |
US20050145311A1 (en) | Method for monitoring surface treatment of copper containing devices | |
JP2984348B2 (ja) | 半導体ウェーハの処理方法 | |
JPH05283386A (ja) | 基板表面処理装置 | |
JPH0451521A (ja) | 表面処理方法および表面処理装置 | |
JPS62173720A (ja) | ウエハ洗浄装置 | |
JP2956347B2 (ja) | 半導体基板洗浄方法 | |
US20020023664A1 (en) | Process for the chemical treatment of semiconductor wafers | |
TW460692B (en) | Automatic crack detection method for acid tank heater and the apparatus | |
JPH01140728A (ja) | 物体の洗浄乾燥方法 | |
KR0118593Y1 (ko) | 세정 장치내의 쿼츠 히터 장치 | |
JP2611146B2 (ja) | 半導体用リードフレームの乾燥方法 | |
JP2002231688A (ja) | 基板の乾燥方法 | |
JP2002200463A (ja) | フッ素樹脂製器具の洗浄方法 | |
JP3648681B2 (ja) | 管ヒータ装置 | |
JP2631669B2 (ja) | 液検知方法及び液検知センサー | |
JPH0461328A (ja) | テフロンキャリアの洗浄方法 | |
KR0137937Y1 (ko) | 반도체 웨이퍼 식각장치 | |
JPH02117134A (ja) | 半導体処理装置 | |
JPH08191057A (ja) | スピン乾燥方法およびその装置 | |
CN113097100A (zh) | 一种清洗方法及清洗设备 | |
Ranpura et al. | Aqueous cleaning of sidewall redepositions formed by reactive ion etching of platinum | |
US6134385A (en) | Water free furnace tube with self-heating quartz plug | |
JP2001033314A (ja) | 熱処理炉用温度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060328 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060830 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090908 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100908 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |