JP3845540B2 - 液晶装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶装置の製造工程において薄膜トランジスタが静電気によって電気的に破壊されるのを防止するのに有効な静電破壊防止用短絡部を備えた液晶装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピューターのディスプレイ等に、大容量のマトリクス液晶装置が使用されている。中でも高画質、大容量の液晶表示装置として、画素電極と信号配線との間にスイッチ作用を有する薄膜素子を導入したアクティブマトリクス方式の液晶表示装置が主流となっている。これらのアクティブマトリクス方式の液晶表示装置のアクティブマトリクス基板には、画素スイッチング素子、あるいは駆動回路を構成するスイッチング素子として薄膜トランジスタ( Thin Film Transistor: 以下、TFTと略記する)が用いられている。
このような駆動手段としてTFTを用いた液晶表示装置には、透明基板であるガラス基板上に、TFTのソース領域、ドレイン領域をなす半導体層、ドレイン電極およびソース線をなす導電層、ゲート線をなす導電層、および画素電極をなす導電層、ならびにこれらを相互に電気的絶縁するための複数の層間絶縁膜が積層されたアレイ基板が用いられている。そして、このアレイ基板の製造工程には、各層をそれぞれ形成するための多数の工程があり、ガラス基板を前工程から次工程へと搬送しながら、ガラス基板上に成膜工程やエッチング工程などの処理が順次施されるようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス基板の搬送時には、ガラス基板と搬送装置とのわずかな摩擦等によって静電気が生じやすく、この静電気によってTFTが悪影響を受けるという問題があった。特にTFTは薄膜を積層した構造を有するので、比較的小さな静電気でも静電破壊が生じたり、特性が変化したりし易い。たとえば、ゲート線と連続しているゲート電極と、ソース線と接続されているTFTのソース領域とはゲート絶縁膜を挟んで近接しており、静電気が原因となってゲート電極とソース領域との間に電位差が生じるとゲート絶縁膜が静電破壊されることがある。
そこで従来は、例えば、予めゲート線とソース線とを短絡させて、アレイ基板の製造中はゲート電極とソース領域とが同電位に保持されるようにしておき、最終工程においてこの短絡を解除することが行われている。
しかしながら、このようなことをしてもなお、アレイ基板製造中にTFTに静電破壊が生じる場合があり、製品の歩留まりを低下させる一因となっていた。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、アレイ基板製造中に生じる静電気によってTFTが悪影響を受けるのを、より確実に防止できるようにすることを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明の液晶装置は、一対の対向する基板間に液晶が挟持されており、いずれか一方の基板の内側面上に、ゲート線と、ソース線と、前記ゲート線およびソース線と接続されている薄膜トランジスタを有する液晶装置であって、前記ゲート線と前記ソース線と前記薄膜トランジスタのドレイン電極とを電気的に接続させる静電破壊防止用短絡部と、前記静電破壊防止用短絡部と薄膜トランジスタとの電気的接続を切断する切断部とを有し、前記静電破壊防止用短絡部が、前記ゲート線と電気的に接続されているゲート層上に、前記ソース線と電気的に接続されているソース層が積層されてなる第1の静電破壊防止用短絡部と、前記ゲート線と電気的に接続されているゲート層上に、前記薄膜トランジスタのドレイン電極と電気的に接続されているドレイン層が積層されてなる第2の静電破壊防止用短絡部とからなり、前記切断部が、前記第1の静電破壊防止用短絡部と薄膜トランジスタとの電気的接続、および前記第2の静電破壊防止用短絡部と薄膜トランジスタとの電気的接続を切断すると共に、前記ゲート線と前記ゲート層とを連結するゲート連結線上に、該ゲート連結線を外部から切断するための切断用開口部を複数個形成してなり、前記ゲート線、前記ゲート層、および前記ゲート連結線が第1の導電層からなり、前記ソース線、前記ソース層、前記ドレイン電極、および前記ドレイン層が前記第1の導電層よりも上層に形成された第2の導電層からなり、前記切断用開口部内においては、前記ゲート連結線上に前記第2の導電層が積層され、該第2の導電層が最上層となっているものである。
本発明の液晶装置によれば、アレイ基板製造中に、薄膜トランジスタのソース領域とドレイン領域とゲート電極とを全て短絡させておき、アレイ基板製造の最終工程でこの短絡を解除することができるので、製造工程中に生じる静電気によってゲート絶縁膜の静電破壊が確実に防止されるばかりでなく、製造工程中はソース領域とドレイン領域とゲート領域との間も短絡しているので、ソース−ドレイン間接合破壊を防止することもできる。
【0005】
本発明における静電破壊防止用短絡部は、具体的には、前記ゲート線と電気的に接続されているゲート層上に、前記ソース線と電気的に接続されているソース層が積層されてなる第1の静電破壊防止用短絡部と、前記ゲート線と電気的に接続されているゲート層上に、前記薄膜トランジスタのドレイン電極と電気的に接続されているドレイン層が積層されてなる第2の静電破壊防止用短絡部とからなり、前記第1の静電破壊防止用短絡部と薄膜トランジスタとの電気的接続、および前記第2の静電破壊防止用短絡部と薄膜トランジスタとの電気的接続を切断する切断部を有する構成を好ましく採用することができる。この構成は、ソース線とドレイン電極とを直接接続していないが、ゲート層を介してソース線とドレイン電極とを短絡させたものである。
また切断部の具体的な構成としては、ゲート線とゲート層とを連結するゲート連結線上に、ゲート連結線を外部から切断するための切断用開口部を複数個形成する構成を好ましく採用することができる。このような構成とすれば、1本のゲート連結線が複数箇所で切断されるので、ゲート連結線の切断不良のためにTFTの短絡が解除されないままアレイ基板が完成されるのをより確実に防止することができ、したがって信頼性が向上し、歩留まりも向上する。
また前記ゲート線、前記ゲート層、および前記ゲート連結線を第1の導電層で構成し、前記ソース線、前記ソース層、前記ドレイン電極、および前記ドレイン層を第1の導電層よりも上層に形成される第2の導電層で構成し、切断用開口部内においては、第1の導電層からなるゲート連結線上に第2の導電層が積層され、第2の導電層が最上層となっている構成とすれば、アレイ基板の製造工程において、工程数を増加させずに第1の静電破壊防止用短絡部、第2の静電破壊防止用短絡部、および切断部を形成することができるので好ましい。
さらに、第1の導電層と第2の導電層とを同一の材料で構成すれば、切断用開口部内のゲート連結線と第2の導電層とが同一材料となるので、一回のエッチングでこれら2層を同時に除去することが可能である。
【0006】
本発明における静電破壊防止用短絡部は、特に、周辺回路内の薄膜トランジスタに接続させて設けることが好ましい。アレイ基板の中でも特に周辺回路が設けられている部分は、表示領域に比べて多数のTFTが密に設けられている場合があるので、周辺回路内のTFTは特に静電気の影響を受け易く、ここに静電破壊防止用短絡部を設ければより効果的である。
本発明の液晶装置の製造方法は、絶縁基板上にTFTを形成すると同時に静電破壊防止用短絡部を形成し、画素電極を形成した後に、切断用開口部内の第2の導電層およびゲート連結線を除去して短絡を解除するものである。したがって液晶装置の製造工程において、静電破壊防止用短絡部を形成するのに工程数を増加させなくて済む。短絡の解除は、画素電極形成後であれば任意のタイミングで行ってよく、できるだけ後ろの工程で行うことが好ましい。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。図1ないし図3は本発明の液晶装置の一実施形態における静電破壊防止用短絡部および切断部を示したもので、図1は平面図、図2は図1中II−II線に沿う断面図、図3は図1中III−III線に沿う断面図である。本実施形態では、静電破壊防止用短絡部を、液晶装置の周辺回路部に設けられている電気的特性検査用TFTの測定用パットと隣接させて形成した例を示している。図中符号1は第1の静電破壊防止用短絡部、2は第2の静電破壊防止用短絡部、3は切断部、5はTFT(ここでは電気的特性検査用TFT)をそれぞれ示している。
図1に示すように、TFT5は、ソース領域10、ドレイン領域12、ドレイン電極35、およびゲート電極8からなっており、ゲート電極8及びここから延びるゲート線6を成す層は、第1の測定用パット100aの層101、ゲート連結線71、第1の静電破壊防止用短絡部1のゲート層61、第2の測定用パッド100bの層101、第3の測定用パット101cの層101、第2の静電破壊防止用短絡部2のゲート層61、第4の測定用パッド100dの層101と連続して形成されている。またTFT5のソース領域10に接続されているソース線4をなす層は、第1の静電破壊防止用短絡部1のソース層62および第2の測定用パッド100bの層103と連続して形成されている。さらにドレイン電極35をなす層は、第2の静電破壊防止用短絡部2のドレイン層64および第4の測定用パッド100dの層103と連続して形成されている。
そして、第1の静電破壊防止用短絡部1においてゲート層61とソース62とが第1のコンタクトホール63を介して接触しており、かつ第2の静電破壊防止用短絡部2においてゲート層61とドレイン層64とが第1のコンタクトホール65を介して接触しているので、これによってTFT5のソース領域10とドレイン領域12とゲート電極8とが全て短絡されている。
【0008】
図3に示すように、第1の静電破壊防止用短絡部1は、ガラス基板31上に絶縁層32およびゲート絶縁層30が設けられた上に、ゲート層61が形成され、その上に第1の層間絶縁膜33が積層されている。ゲート層61上の第1の層間絶縁膜33には第1のコンタクトホール63が形成されており、少なくとも第1のコンタクトホール63上にソース層62が積層され、さらにその上に第2の層間絶縁膜34が積層されている。
ゲート層61は、ゲート連結線71を介して、ゲート線6に連結されており、ゲート線6はTFT5のゲート電極8に続いている。ゲート層61、ゲート連結線71、ゲート線6、およびゲート電極8は同一の層からなっている。
ソース層62はソース連結線を介してソース線4に連結されるが、本実施形態のTFT5は電気的特性検査用TFTであるので、ソース線4がソース連結線を兼ねることができる。そしてソース線4はTFT5のソース領域10に電気的に接続されている。ソース層62、ソース線4、およびソース連結線は同一の層で構成される。また本実施形態においてゲート層61、ゲート連結線71、ゲート線6、およびゲート電極8を成す層とソース層62、ソース線4、およびソース連結線を成す層とは同じ材料で形成されている。
ゲート層61とソース層62とは、第1のコンタクトホール63内において接触しており、これによってTFT5のゲート電極8とソース領域10とが短絡されている。
【0009】
第2の静電破壊防止用短絡部2は、第1の静電破壊防止用短絡部1と同じ断面構造を有している。すなわち、ガラス基板31上に絶縁層32およびゲート絶縁層30が設けられた上に、ゲート層61が形成され、その上に第1のコンタクトホール65を有する第1の層間絶縁膜33が積層されている。そして第1の静電破壊防止用短絡部1では第1の層間絶縁膜33上にソース層62が積層されていたが、第2の静電破壊防止用短絡部2では第1の層間絶縁膜33上にドレイン層64が積層されて構成されている。ドレイン層64の上には第2の層間絶縁膜34が積層されている。
ゲート層61は、ゲート連結線71を介して、ゲート線6に連結されており、ゲート線6はTFT5のゲート電極8に続いている。またドレイン層64はドレイン連結線70を介してTFT5のドレイン電極35に連結されており、ドレイン電極35はドレイン領域12に電気的に接続されている。ドレイン層64、ドレイン連結線70、およびドレイン電極35は同一の層で構成される。この層は、ソース層62、ソース線4、およびソース連結線と同一層でもあり、ゲート層61、ゲート連結線71、ゲート線6、およびゲート電極8を成す層と同じ材料からなっている。
ゲート層61とドレイン層64とは、第1のコンタクトホール65内において接触しており、これによってTFT5のゲート電極8とドレイン領域12とが短絡されている。また第2の静電破壊防止用短絡部2のゲート層61、および第1の静電破壊防止用短絡部1のゲート層61は、1つのTFT5のゲート電極8と電気的に接続されている。したがってTFT5のゲート電極8とソース領域10とドレイン領域12とが短絡されていることになる。
【0010】
第1の静電破壊防止用短絡部1および第2の静電破壊防止用短絡部2は、上記のようにゲート層61上に、これと接触してソース層63およびドレイン層65がそれぞれ積層されていればよく、その大きさや形状は適宜変更可能である。また第1および第2の静電破壊防止用短絡部を設ける位置は任意に設定することができ、1つのTFT5のゲート電極8とソース領域10とドレイン領域12を短絡させる第1の静電破壊防止用短絡部1および第2の静電破壊防止用短絡部2が少なくとも1個ずつあればよい。さらに、1つの第1の静電破壊防止用短絡部1または第2の静電破壊防止用短絡部2が複数のTFT5と電気的に接続されていてもよい。
ここで、図中符号102は第1の層間絶縁膜に形成された第1のコンタクトホール、104は第2の層間絶縁膜に形成された第2のコンタクトホール、105は画素電極(図6中の符号20)と同一の層である。
【0011】
切断部3はガラス基板31上に絶縁層32およびゲート絶縁層30が設けられた上にゲート連結線71が形成されており、その上に第1の層間絶縁膜33が設けられている。後述するようにこのゲート連結線71上には切断用開口部74が形成されており、この切断用開口部74が形成される位置の第1の層間絶縁膜33が除去されて第1のコンタクトホール73が形成されている。そして、第1の層間絶縁膜33上には、少なくとも切断用開口部74内のゲート連結線71を覆うように第2の導電層72が設けられている。この第2の導電層72は、ソース層62、ソース線4、ソース連結線、ドレイン層64、ドレイン連結線70、およびドレイン電極35と同一の層からなる。さらに、第2の導電層72の上には第2の層間絶縁膜34が設けられ、切断用開口部74が形成されている。切断部3における第1のコンタクトホール73と切断用開口部74とはほぼ同じ大きさに形成されている。
切断用開口部74内において第2の導電層72の上には他の層が設けられておらず、第2の導電層72が最上層となっている。また本実施形態においては、第2の導電層72とゲート連結線71とは同じ材料で形成されている。
切断部3を設ける位置は、少なくとも、ここでゲート連結線71を切断することによって、第1の静電破壊防止用短絡部1とTFT5との電気的接続を切断できる箇所、および第2の静電破壊防止用短絡部1とTFT5との電気的接続を切断できる箇所に設ける必要がある。第1の静電破壊防止用短絡部1とTFT5との間および第2の静電破壊防止用短絡部1とTFT5との間に、それぞれ複数の切断部3を設けてもよい。
また本実施形態において、切断部3には切断用開口部74が2個ずつ設けられている。1箇所の切断部3に設ける切断用開口部74の数は少なくとも2個あればよく、3個以上設けてもよい。また複数個の切断用開口部74を近接させて設ける場合に、例えば切断部3’のように、複数の切断用開口部74内に配される第2の導電層72を連続して形成してもよい。
【0012】
図4および図5に、本実施形態の液晶装置の全体構成の例を示す。図4は液晶装置用ガラス基板31をその上に形成された各構成要素と共に対向基板220の側から見た平面図であり、図5は図4中H−H’線に沿う断面図である。
ガラス基板31の上には、シール材252がその縁に沿って設けられており、シール材252とほぼ同じ輪郭を持つ対向基板220がこのシール材252によりガラス基板31に固着されている。シール材252の内側には、これに並行して、遮光膜253が設けられており、この遮光膜253で囲まれた領域内が画像表示領域となっている。画像表示領域内において、ガラス基板31の内側面上には複数の互いに並行なゲート線と、このゲート線に交差するように配された複数のソース線とが設けられ、これらの交差部にはそれぞれTFTが設けられている。また対向基板220の内側面上には対向電極(図示略)が設けられており、ガラス基板31と対向基板220との間には液晶250が封入されている。
シール材252の外側の領域には、周辺回路が設けられている。例えばソース線駆動回路301および実装端子302がガラス基板31の一辺に沿って設けられており、ゲート線駆動回路304が、この一辺に隣接する2辺に沿って設けられている。ゲート線に供給されるゲート信号遅延が問題にならないのならばゲート線駆動回路304は片側だけでもよい。また、ソース線駆動回路301を画面表示領域の辺に沿って両側に配列してもよい。さらに、ガラス基板31の残る一辺には、画素表示領域の両側に設けられたゲート線駆動回路104間をつなぐための複数の配線305が設けられている。また対向基板220のコーナー部の少なくとも1箇所においては、ガラス基板31と対向基板220との間で電気的導通をとるための導通材306が設けられている。
【0013】
図6は本発明の液晶装置の製造方法の一実施形態を示したものであり、第1および第2静電破壊防止用短絡部1,2および切断部3の製造工程を、これと同時並行的に形成される画像表示領域のTFT21(NチャンネルTFT)及び蓄積容量22の製造工程とともに示している。
まず、図6(1)に示されるように、ガラス基板31上に絶縁層32を形成し、その上にアモルファスのシリコン層を積層する。その後、このシリコン層に対して例えばレーザアニール処理等の加熱処理を施すことにより、アモルファスのシリコン層を再結晶させ、結晶性のポリシリコン層40(厚さは、例えば50nm)を形成する。
次に、図6(2)に示されるように、形成されたポリシリコン層40をパターニングしてTFT21の半導体層、および接続部16、下部電極18となる領域を形成した後、その上にゲート絶縁膜30を積層する。このとき、第1および第2静電破壊防止用短絡部1,2、および切断部3においては、ポリシリコン層40を形成した後、パターニングの際に除去する。したがって第1および第2静電破壊防止用短絡部1,2、および切断部3においては、絶縁層32上にゲート絶縁膜30が積層されることになる。ゲート絶縁膜30の厚さは、たとえば100〜150nm程度である。
次に、図6(3)に示されるように、表示領域の接続部16および下部電極18となる領域以外をレジスト41でマスク処理した後、ドナーとしてのリンイオンをゲート絶縁膜30を介してポリシリコン層40にドーピングすることにより接続部16および下部電極18を形成する。
【0014】
次に、図6(4)に示されるように、レジスト41を剥離し、その後、TFT21のゲート電極8およびゲート線6、第1および第2の静電破壊防止用短絡部1,2におけるゲート層61、およびゲート連結線71を形成する。ゲート電極8は、導電性材料をスパッタ又は真空蒸着して第1の導電層を形成した後、ゲート電極形成領域を覆うレジストマスクからなるパターニングマスク50を形成した後、このパターニングマスク50を介して第1の導電層をパターニングすることによって形成される。このパターニングの際には、パターニングマスク50で覆われている第1の導電層に横方向のエッチング(サイドエッチング)が起こる。このため、ゲート電極8はパターニングマスク50よりも幅方向および長さ方向のいずれにおいても小さい。ここで、第1の導電層に積極的にサイドエッチングを進行させるという観点からすれば、ゲート電極8を形成する工程では、ウエットエッチング、あるいはプラズマエッチングなどといった等方性を有するエッチング方法が好ましい。また、このゲート電極8と同時に形成されるゲート連結線71等も同様にしてパターニングすることによって形成できる。本実施形態において、この第1の導電層の材料としてはクロム(Cr)が用いられる。
そして、これらゲート連結線71等を形成した後、パターニングマスク50を残したまま、また表示領域の下部電極18に相当する領域にレジスト42を塗布してマスク処理した後、再度リンイオンを高濃度ドーピングする。これにより、パターニングマスク50に対してセルフアライン的に不純物が導入され、TFT21の高濃度ソース領域10a、おおび高濃度ドレイン領域12aが形成される。ここで、ポリシリコン層40のうち、高濃度のリンが導入されない領域は、ゲート電極8で覆われている領域より広い。すなわち、ポリシリコン層40のうち、ゲート電極8と対向する領域の両側には高濃度ソース領域10a、高濃度ドレイン領域12aとの間に高濃度のリンが導入されない領域が形成される。
【0015】
続いて、図6(5)に示すように、パターニングマスク50を除去し、この状態でリンイオンを低濃度でドーピングする。これによりポリシリコン層40にはゲート電極8に対してセルフアライン的に不純物が導入され、低濃度ソース領域10b、おおび低濃度ドレイン領域12bが形成される。またゲート電極8と重なる領域にはチャネル領域14が形成される。
この後、図6(6)に示されるように、レジスト42を剥離した後、第1の層間絶縁膜33を積層する。次いで、第1の層間絶縁膜33に、TFT21における第1のコンタクトホールC2、C3、第1および第2の静電破壊防止用短絡部1,2における第1のコンタクトホール63,65、および切断部における第1のコンタクトホール73を開口する。続いて、導電性材料を蒸着等することにより第2の導電層を形成し、TFT21におけるソース線4、ドレイン電極35、第1の静電破壊防止用短絡部1におけるソース層62、第2の静電破壊防止用短絡部2におけるドレイン層64、および切断部3における第2の導電層72のレジストパターンをそれぞれ形成した後エッチングを行って、これらソース線4等を形成する。この第2の導電層の材料は、前記第1の導電層と同じ材料を用いることが好ましく、本実施形態ではクロム(Cr)が好適に用いられる。
【0016】
その後、第2の層間絶縁膜34を積層した後、ドレイン電極35上に第2のコンタクトホールC1を形成すると同時に、切断部3に切断用開口部74を形成する。その上に透明導電膜を成膜した後、これをパターニングして第2のコンタクトホールC1上に画素電極20を形成する。この際、切断用開口部74上の透明導電膜は除去する。
そしてアレイ基板を完成させる最終工程として、切断用開口部74内の第2の導電層72およびその下層のゲート連結線71を除去してゲート連結線71を切断する。本実施形態においては第2の導電層72およびゲート連結線71がクロム(Cr)で形成されているので、これらのクロム層をエッチングすることにより、切断用開口部74内の第2の導電層72およびゲート連結線71を一括的に除去することができる。
この後、対向基板220に対向電極を形成し、前記画素電極20と対向電極220との間に液晶250を充填するなどの処理を経て液晶装置が完成する。
なお、ここでは説明を省略したが、これらの工程と同時並行的に、周辺回路や電気的特性検査用TFT5、および測定用パット100も形成される。また周辺回路と表示領域とでTFTの構造が異なる場合など、必要に応じて上記工程の途中に適宜の工程が追加されることもある。
【0017】
本実施形態の液晶装置によれば、第1の静電破壊防止用短絡部1を介してTFT5のソース領域10とゲート電極8とが短絡されており、第2の静電破壊防止用短絡部2を介してTFT5のドレイン領域12とゲート電極8とが短絡されている。したがって、TFT5のソース領域10とドレイン領域12とゲート電極8とが短絡されており、これら3つの端子が全て同電位となっている。このため、製造工程中に静電気が生じても、TFT5の上記3つの端子間に電位差が生じることがなく、TFTが静電破壊されたり、静電気によって特性が変化したりするのを防止することができる。
また、ゲート連結線71上には切断部3が設けられており、そこに形成されて切断用開口部74内においては、クロムからなるゲート連絡線71上に同じクロムからなる第2の導電層72が積層され、この第2の導電層72が最上層となっている。したがってアレイ基板の画素電極20を形成した後に、切断用開口部74内のクロム層をエッチングして除去することにより、ゲート連結線71を容易に切断することができる。したがって、最終的に得られるアレイ基板においては、TFT5の3つの端子の短絡が解除されており、TFT5は正常に作動する。
【0018】
また、本実施形態においては、ゲート電極8から第1の静電破壊防止用短絡部1を経て第2の静電破壊防止用短絡部2に至るゲート連結線71上の複数箇所に切断部3が設けられており、さらにそれぞれの切断部3には切断用開口部74が2個ずつ近接して形成されている。ところで、アレイ基板製造工程の最終工程において、ゲート連結線71を切断するためのエッチングを行う際には、エッチング不良によって切断用開口部74内のゲート連結線71が完全に除去されない場合も起こりうる。そこで、本実施形態のような構成としておけば、いずれかの切断用開口部74内においてエッチング不良が生じたとしても、その他の切断用開口部74内でゲート連結線71が切断される。したがって、TFTの短絡が解除されないままアレイ基板が完成されるのを確実に防止することができる。
【0019】
なお、本実施形態では、TFT5のゲート電極8と同一層からなるゲート層61に対して、第1の静電破壊防止用短絡部1においてソース層62を接触させ、第2の静電破壊防止用短絡部2においてドレイン層64を接触させたが、ソース層62に対して、1箇所ではゲート層61を接触させて他の箇所ではドレイン層64を接触させる構成、あるいはドレイン層64に対して、1箇所ではゲート層61を接触させて他の箇所ではソース層62を接触させる構成とすることも可能である。あるいは1箇所において、ゲート層61とソース層62とドレイン層64とを接触させることも可能である。
特に、ソース層62とドレイン層64とは同一の層からなり、ゲート層61はこれとは異なる層からなるので、本実施形態の構成とすれば、両層を積層させ、こららの間の第1の層間絶縁膜33に第1のコンタクトホール63を設けるだけで、ゲート層61に対してソース層62とドレイン層64をそれぞれ確実に接触させることができるので構成が簡単である。
【0020】
また本実施形態では、第1の静電破壊防止用短絡部1とTFT5との電気的接続を切断するための構成、および第2の静電破壊防止用短絡部1とTFT5との電気的接続を切断するための構成を、いずれもゲート連結線71を切断する構成としたが、ソース連結線およびドレイン連結線70をそれぞれ切断する構成とすることも可能である。
なお、本実施形態では第1および第2の静電破壊防止用短絡部1,2とは別の箇所に切断部3を設けたが、これらを同じ位置とすることも可能である。すなわち、第1および第2の静電破壊防止用短絡部1,2において、ゲート層61とソース層63またはドレイン層65とが積層している部分に切断用開口部を設けておき、アレイ基板の最終工程においてこの部分を除去する構成とすることも可能である。
【0021】
また、本実施形態の液晶装置によれば、アレイ基板のTFTを形成すると同時に第1および第2の静電破壊防止用短絡部と切断部3を形成することができるので、製造工程を増加させずに静電破壊を防止するための構造を得ることができる。また、アレイ基板製造の最終工程で、切断用開口部内のクロム層をエッチングすることによって短絡の解除を容易に行うことができる。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、アレイ基板製造中に、薄膜トランジスタのソース領域とドレイン領域とゲート電極とを全て短絡させておき、アレイ基板製造の最終工程でこの短絡を解除することができるので、製造工程中に生じる静電気によって薄膜トランジスタが電気的に破壊されたり、特性が変化したりするのを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液晶装置の一実施形態における静電破壊防止用短絡部および切断部を示した平面図である。
【図2】図1中II−II線に沿う断面図である。
【図3】図1中III−III線に沿う断面図である。
【図4】本発明の液晶装置の一実施形態における全体構成を示した平面図である。
【図5】図4中H−H’線に沿う断面図である。
【図6】本発明の液晶装置の製造方法の例を工程順に示した断面図である。
【符号の説明】
1…第1の静電破壊防止用短絡部、2…第2の静電破壊防止用短絡部、
3…切断部、4…ソース線 5,21…薄膜トランジスタ、6…ゲート線、
8…ゲート電極、10…ソース領域、12…ドレイン領域、
20…画素電極域、31…ガラス基板、33…第1の層間絶縁膜、
34…第2の層間絶縁膜、35…ドレイン電極、61…ゲート層、
62…ソース層、70…ドレイン連結線、71ゲート連結線、
72…第2の導電層、74…切断用開口部、
C2,C3,63,65,73…第1のコンタクトホール、
C1…第2のコンタクトホール。
Claims (4)
- 一対の対向する基板間に液晶が挟持されており、いずれか一方の基板の内側面上に、ゲート線と、ソース線と、前記ゲート線およびソース線と接続されている薄膜トランジスタを有する液晶装置であって、
前記ゲート線と前記ソース線と前記薄膜トランジスタのドレイン電極とを電気的に接続させる静電破壊防止用短絡部と、
前記静電破壊防止用短絡部と薄膜トランジスタとの電気的接続を切断する切断部と
を有し、
前記静電破壊防止用短絡部が、前記ゲート線と電気的に接続されているゲート層上に、前記ソース線と電気的に接続されているソース層が積層されてなる第1の静電破壊防止用短絡部と、前記ゲート線と電気的に接続されているゲート層上に、前記薄膜トランジスタのドレイン電極と電気的に接続されているドレイン層が積層されてなる第2の静電破壊防止用短絡部とからなり、
前記切断部が、前記第1の静電破壊防止用短絡部と薄膜トランジスタとの電気的接続、および前記第2の静電破壊防止用短絡部と薄膜トランジスタとの電気的接続を切断すると共に、前記ゲート線と前記ゲート層とを連結するゲート連結線上に、該ゲート連結線を外部から切断するための切断用開口部を複数個形成してなり、
前記ゲート線、前記ゲート層、および前記ゲート連結線が第1の導電層からなり、前記ソース線、前記ソース層、前記ドレイン電極、および前記ドレイン層が前記第1の導電層よりも上層に形成された第2の導電層からなり、前記切断用開口部内においては、前記ゲート連結線上に前記第2の導電層が積層され、該第2の導電層が最上層となっている
ことを特徴とする液晶装置。 - 前記第1の導電層と前記第2の導電層とが同一の材料からなることを特徴とする請求項1記載の液晶装置。
- 前記静電破壊防止用短絡部が、周辺回路内の薄膜トランジスタに接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液晶装置。
- 絶縁基板上に薄膜トランジスタを形成する工程を有する液晶装置の製造方法において、
第1の導電層からなるゲート線を形成すると同時に、第1および第2の静電破壊防止用短絡部のゲート層、および該ゲート層と前記ゲート線とを連結するゲート連結線を前記第1の導電層で形成する工程と、
前記薄膜トランジスタの第1の領域に当該薄膜トランジスタのソース領域を形成する工程と、
前記薄膜トランジスタの第2の領域に当該薄膜トランジスタのドレイン領域を形成する工程と、
前記第1の導電層上に第1の層間絶縁膜を成膜した後、前記第1の領域上、前記第2の領域上、第1および第2の静電破壊防止用短絡部のゲート層上にそれぞれ第1のコンタクトホールを形成するとともに、切断用開口部形成位置におけるゲート連結線上の第1の層間絶縁膜を除去する工程と、
第1のコンタクトホール形成後、第2の導電層からなるソース線およびドレイン電極を形成すると同時に、該第2の導電層で、第1の静電破壊防止用短絡部の第1のコンタクトホール上にソース層を形成するとともに該ソース層と前記ソース線とを接続するソース連結線を形成し、第2の静電破壊防止用短絡部の第1のコンタクトホール上にドレイン層を形成するとともに該ドレイン層と前記ドレイン電極とを接続するドレイン連結線を形成し、切断用開口部形成位置にも第2の導電層を形成する工程と、
前記第2の導電層上に第2の層間絶縁膜を成膜した後、該第2の層間絶縁膜に前記ドレイン電極と画素電極とを接続するための第2のコンタクトホールを形成すると同時に、前記切断用開口部形成位置における第2の層間絶縁膜を除去して切断用開口部を形成する工程と、
前記画素電極の形成後、前記切断用開口部内の第2の導電層およびゲート連結線を除去する工程と
を有することを特徴とする液晶装置の製造方法。
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