JP3817162B2 - 回折格子部材及びその製造方法 - Google Patents
回折格子部材及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3817162B2 JP3817162B2 JP2001347116A JP2001347116A JP3817162B2 JP 3817162 B2 JP3817162 B2 JP 3817162B2 JP 2001347116 A JP2001347116 A JP 2001347116A JP 2001347116 A JP2001347116 A JP 2001347116A JP 3817162 B2 JP3817162 B2 JP 3817162B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- plane
- grating member
- concave
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
- G02B5/1852—Manufacturing methods using mechanical means, e.g. ruling with diamond tool, moulding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/0074—Production of other optical elements not provided for in B29D11/00009- B29D11/0073
- B29D11/00769—Producing diffraction gratings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Head (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は回折格子部材及びその製造方法に係り、特に凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有する回折格子部材に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、回折格子部材として図5に示すものがある。この回折格子部材100は、凹部平面101と凸部平面102とを備えた矩形波状の回折格子部103を有するものである。
【0003】
このような回折格子部材100は、発光素子であるレーザダイオードから発せられたDVD記録再生用の光と、CD再生用の光を光ディスクに照射し、あるいは光ディスクからの反射光をフォトダイオードに導き、光ディスクへの信号記録、再生、及びトラッキングを行うようにする光ピックアップに使用される。
【0004】
前述したDVDとCDとの兼用光ピックアップでは、トラッキング検出として、DVDは1ビームですむ位相差法、CDは3ビーム法を採用するのが一般的である。従来、光ピックアップでは、波長の異なる2つのLDを使い、CD側LD(780nm帯)のみに3ビームを発生させるための回折格子を配置してきていた。しかし、近年、2つのLDチップを1つのパッケージに収めた2波長LDが提案されており、この2波長LDを使用する場合には、CD再生時のみ3ビーム法で制御し、DVD録再生時には位相差法で制御するため、CD側のみ3ビームを出射し、DVD側は1ビームで出射する波長選択性の回折格子部材が使用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような回折をする回折格子部材は、格子の凹凸部の光学的位相差((屈折率n−1)×深さ)をDVD波長程度とすることで実現される。しかし、回折格子部材の凹部平面の深さは従来使用されていた1波長用の回折格子の5倍程度となることが計算上明らかである。
【0006】
通常このような回折格子部材100は、エッチング加工により回折溝を母材に直接エッチングする方法もあるが、図5に示すように、切削加工で凹部平面111(回折格子部材100の凸部平面102を成型)と凸部平面112(回折格子部材100の凹部平面101を成型)からなる矩形波状面113を成形した金型110を作成して、この金型110を使用して、光学樹脂を射出成形することにより作成する方法が量産には適している。
【0007】
しかし、いずれの場合も、格子深さd(図5に示した)が一般の回折格子に比べて深いことから、回折格子部材100の凸部平面102や凹部平面101が傾きやすいという問題がある。
【0008】
即ち、エッチングによる製造方法では、大面積の回折格子部材を作る際に、回折格子の場所によるエッチング量のばらつきが発生しやすいことにより前記傾きが発生する。また、金型110により回折格子を作成する際には、金型110を切削加工する場合には、図6に示すように、金型切削用バイト120の切削面121の傾きによる他、工作機械のバイトの保持精度やバイトの移動精度の変動により、金型110の凹部平面111および凸部平面112に傾きが発生する。
【0009】
このように、3ビーム用の回折格子部材100において、凹凸各部平面101,102が傾くと、3ビームのサブビームである+1次光と−1次光に強度差が生じピックアップのトラックエラー信号にオフセットが生じ、安定したトラックサーボ制御ができなくなるという問題が発生する。
【0010】
即ち、図7に示すように、凹凸各面部101,102が傾き、格子の両端に深さの差Δd=d2−d1(nm)の差が生じると、図8に示すように、+1次光と−1次光との間でΔdに略比例した差が生じることとなる。
【0011】
本例のようなトラッキングサーボ制御を行うためには、±1次回折光の差は3%以下であることが求められており、これを実現するためには、図8より、Δdを10nmより小さくしなければならないこととなる。
【0012】
ここで、具体的には、図7に示すように、回折格子部材100の格子間ピッチを30μmとすると、各面101、102の傾斜角度は、0.019度以下という精度が要求されることになる。
【0013】
通常、金型の溝を切削成型する切削バイト120の先端121をこの精度で仕上げるのは、困難とされる。また、このような高精度の加工を実現するためには、テスト加工を行い、傾きの発生分、バイトの取付角度を機械的に補正することが必要となる。しかし、このようの補正は、理論的には可能であるが、ピッチ30μmという微細な加工において、切削バイト120の10nm程度の傾きを正しく測定することは極めて困難であり、また、できたとしても、テスト加工の分、手間がかかることになる。
【0014】
そこで、本発明は、射出成型用金型を作成する切削バイトの刃先角度や取付角度をそれほど精密に調整することなく所定の回折光を得ることができる回折格子部材を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記課題を解決するため、回折格子部材及びその製造方法を以下のように構成した。
【0016】
本発明の回折格子部材は、凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有する回折格子部材であって、前記凹部平面は同じ方向に同じ傾斜角度をなす2つの傾斜面から構成され、両傾斜面の間に段差を持つ傾斜段部が形成されており、2つの傾斜面のうち1つの傾斜面の最も深い位置である凹部の端縁部と、他の傾斜面の最も深い位置である凹部の端縁部とが同一深さ位置に配されている。
【0017】
本発明によれば、格子の傾きによる深さの差を小さくすることができ、ア1次の回折光のアンバランスを解消することができる。また、回折格子部材の作成時に発生する2つの傾斜面の最大及び最小深さは、回折格子部材凹部の設計理論値と大きな差がなくなり、設計された光学性能値と近い値が得られる。
【0018】
また、本発明に係る回折格子部材の製造方法は、凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有する回折格子部材の回折格子部を成型する成型金型の凸部平面を切削するに際して、切削面を格子の並列方向に第1回及び第2回に分け同一のバイトで同一の送り条件で切削して、各回の切削には切削加工用のバイトの切削位置について、格子並列方向にバイトの切削個所を変更して、格子金型に同じ方向に同じ傾斜角度をなす2つの傾斜面から構成され、両傾斜面の間に段差を持つと共に、2つの傾斜面のうち1つの傾斜面の最も深い位置である凹部の端縁部と、他の傾斜面の最も深い位置である凹部の端縁部とが同一深さ位置に配された傾斜段部を形成し、前記金型で回折格子形成素材を射出成型して製造するものである。
【0019】
本発明に係る回折格子部材の製造方法によれば、回折格子を射出成型するための金型を作成するに際して、金型の凸面部を切削作成するときには、1つのバイトで2回切削を行うようにする。このため、特別な切削用バイトを用意する必要や、バイトに特殊な調整をすることなく、ア1次の回折光の不整合性を少なくした回折格子を容易に得ることができる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る回折格子部材の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1乃至図3は本発明に係る回折格子部材10の実施の形態を示すものである。
【0025】
本実施の形態に係る回折格子部材10は、凹部平面13と凸部平面14とを備えた矩形波状の回折格子部15を有するものである。このような基本的な回折格子部材の構成は、従来例として示した回折格子部材100と同様である。
また、本例に係る回折格子部材10は、従来の例と同様の目的であるDVDとCDとの兼用光ピックアップに使用されるものである。
【0026】
また、本例では、図1に示すように、回折格子部材10には、凹部平面13と凸部平面14とが設けられ、凹部平面13には凹部平面13及び凸部平面14との並列方向に沿って同じ傾斜角度θ(図1)をなす2列の傾斜面11,12から構成され、両傾斜面11,12の間に階段状段差が設けられた傾斜段部16が形成されている。なお、本来ならばθの値は0であることが望ましいが、実際の加工では、θを0とすることには手間がかかることとなり、製品として回折格子部材を作成すると非常に高価なものとなってしまう。
【0027】
そこで、本例に係る回折格子部材10においては、凹部平面13は2つの傾斜面11,12で傾斜段部16が形成されており、2つの傾斜面11,12のうち1つの傾斜面12の最も浅い位置12aと、他の傾斜面11の最も深い位置11aとが同一の深さ位置hに形成されている。
【0028】
このような回折格子部材10によれば、回折格子部材10の凹部平面13の平均深さは設計した値と略同一の値となっており、各面からの光はその位相差が相殺され、設計された光学性能値と近い値が得られる。
【0029】
即ち、図3に示すように、成型金型20の凹凸各面部23,24を作成するときのバイト30の傾きによる、+1次光と−1次光と間でのアンバランスは、従来例で同様の傾きのバイトを使用した場合に比べると1/4程度に低減させることができる。
【0030】
次に本発明に係る回折格子部材の製造方法について説明する。本例では、回折格子部材10は、所定の矩形回折格子の凹凸が形成された成型金型20に光学樹脂を射出成型することにより形成される。
【0031】
即ち、本例では、成型金型20には、凹部平面24(射出成型された回折格子部材10の凸部平面14に相当)と凸部平面23(同凹部平面13に相当)とを備えた矩形波状の回折格子形成部25を切削加工して設ける。
【0032】
この成型金型20の回折格子形成部25は、図1及び図2に示すように、金属で形成された母材40をバイト30で切削して凸部平面23及び凹部平面24を形成する。
【0033】
本例では、図2に示すように、成型金型20の凸部平面23を切削形成するに際して、格子の並列方向に第1回及び第2回に分け同一のバイト30で同一の送り条件で切削して、各回の切削には切削加工用のバイト30の切削位置について、格子並列方向にバイト30の切削個所を前部30a、後部30bに変更して切削加工する。この2回の切削加工に次いで凹部平面24を切削する加工を行う。
【0034】
これにより、成型金型20の凸部平面23に同じ傾斜角度をなす2条の傾斜面21,22が形成され、また凹部平面24が形成されることとなる。これらの加工により両傾斜面21,22からなる凸部平面23と凹部平面24とを形成し、回折格子形成部25を形成する。
【0035】
成型金型20の凸部平面23の切削ついて詳細に説明する。本例では、図1及び図2に示すように、1つのバイト30を移動することにより、成型金型20の凸部平面23を前半の傾斜面21及び後半の傾斜面22に分けて切削している。この切削は1つの面について一回で完了させる必要はなく必要な回数切削を行って最終的な平面を形成することができる。
【0036】
本例は、バイト30の幅Wを凹部平面24の幅wと略同一のものとしておき、成型金型20の凹部平面24を切削し、凸部平面23を切削作成するにあたっては、図1及び図2に示すように、1つのバイト30をW/2に相当する寸法送るようにして、凸部平面23を前半及び後半を別々に切削するようにしている。
【0037】
なお、本例にかかる回折格子の製造方法にあっては、バイト30は、ダイヤモンド単結晶の切削チップを取り付けた通常の金型切削用バイトを使用することとしている。
【0038】
このような切削加工により、本例では、金型の凸部平面23の2つの傾斜面21,22のうち1つの傾斜面22の最も高い位置22aと、他の傾斜面11の最も低い位置21aとが同一の深さ位置となる。
【0039】
本例では、このように作成した金型を使用して、光学樹脂を射出成型することにより、上述した回折格子の構成が得られる。この射出成型の方法は従来からの公知の方法が用いられる。
【0040】
本例によれば、特別な形状の金型切削用バイトを使用することや、バイトに特殊な調整をすることなく、±1次の回折光の違いを少なくした回折格子を容易に作成することができる。
【0041】
なお、上記例では、回折格子部材の凹部平面(成型金型の凸部平面)を2つの傾斜面で形成する場合について説明したが、本発明では、凹部平面に加えて凸部平面を複数の傾斜面で構成することができる。また、回折格子部材の凸部平面だけを複数の傾斜面で構成することができる。
【0042】
上述した場合には、図4に示すように、成型金型50を切削形成する際、作成する回折格子部材60の凹凸部平面53、56の幅寸法wの略半分の幅寸法W1を備えたバイト70で切削することにより成型金型50を成型できる。
【0043】
この際、バイト70を単に平行移動させただけでは、図4に示したように、成型金型50の凸部平面53の2つの傾斜面51,52、凹部平面56の2つの傾斜面54,55の最高部及び最低部は互いに同じ位置となってしまい、前述した実施の形態例に比してその効果が低下する。
【0044】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明に係る回折格子部材及び製造方法によれば、以下の優れた効果を奏し得る。
【0045】
本発明によれば、格子の傾きによる深さの差を小さくすることができ、±1次の回折光のアンバランスを解消することができる。
【0046】
また、本発明に係る凹部平面に傾斜段部が形成されている回折格子部材によれば、回折格子部材の凹面平面に対応する成型金型の凸部に段を切削加工することは容易となり、金型を精度良く製造することができる。
【0047】
本発明に係る回折格子部材によれば、回折格子部材の作成時に発生する2つの傾斜面の最大及び最小深さは、回折格子部材凹部の設計理論値と大きな差がなくなり、設計された光学性能値と近い優れた値が得られる。
【0048】
本発明にかかる回折格子部材の製造方法によれば、回折格子を射出成型するための金型を作成するに際して、金型の凸面部を切削作成するときには、1つのバイトで2回切削を行うようにする。このため、特別な切削用バイトを用意する必要や、バイトに特殊な調整をすることなく、±1次の回折光の不整合性を少なくした回折格子を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る回折格子部材の製造方法における金型と回折格子の構成を示す断面図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る回折格子部材の製造方法に置ける金型の切削の状態を示す斜視図である。
【図3】本発明の実施の形態に係る回折格子部材の格子面の傾きと回折光のアンバランスの状態を示すグラフである。
【図4】本発明に係る回折格子部材の他の例を示す断面図である。
【図5】従来例に係る回折格子部材を示す断面図である。
【図6】従来例に係る回折格子部材射出成型用金具の製造方法を示す断面図である。
【図7】従来例に係る回折格子部材の回折面の傾きを示す図である。
【図8】従来例に係る回折格子部材の格子面の傾きと回折光のアンバランスの状態を示すグラフである。
【符号の説明】
10 回折格子部材
11 傾斜面
12 傾斜面
13 凹部平面
14 凸部平面
15 回折格子部
16 傾斜段部
20 成型金型
21 傾斜面
22 傾斜面
23 凸部平面
24 凹部平面
25 回折格子形成部
30 バイト
40 母材
50 成型金型
51 傾斜面
52 傾斜面
53 凸部平面
54 凹部平面
60 回折格子部材
70 バイト
Claims (2)
- 凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有する回折格子部材であって、
前記凹部平面は同じ方向に同じ傾斜角度をなす2つの傾斜面から構成され、両傾斜面の間に段差を持つ傾斜段部が形成されており、2つの傾斜面のうち1つの傾斜面の最も深い位置である凹部の端縁部と、他の傾斜面の最も深い位置である凹部の端縁部とが同一深さ位置に配された回折格子部材。 - 凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有する回折格子部材の回折格子部を成型する成型金型の凸部平面を切削するに際して、
切削面を格子の並列方向に第1回及び第2回に分け同一のバイトで同一の送り条件で切削して、各回の切削には切削加工用のバイトの切削位置について、格子並列方向にバイトの切削個所を変更して、格子金型に同じ方向に同じ傾斜角度をなす2つの傾斜面から構成され、両傾斜面の間に段差を持つと共に、2つの傾斜面のうち1つの傾斜面の最も深い位置である凹部の端縁部と、他の傾斜面の最も深い位置である凹部の端縁部とが同一深さ位置に配された傾斜段部を形成し、前記金型で回折格子形成素材を射出成型して製造する回折格子部材の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001347116A JP3817162B2 (ja) | 2001-11-13 | 2001-11-13 | 回折格子部材及びその製造方法 |
TW091122855A TW577061B (en) | 2001-11-13 | 2002-10-03 | Diffraction grating member and its manufacturing method |
KR10-2002-0069905A KR100485921B1 (ko) | 2001-11-13 | 2002-11-12 | 회절격자부재 및 그 제조방법 |
CNB02150556XA CN100347568C (zh) | 2001-11-13 | 2002-11-13 | 衍射光栅部件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001347116A JP3817162B2 (ja) | 2001-11-13 | 2001-11-13 | 回折格子部材及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003149421A JP2003149421A (ja) | 2003-05-21 |
JP3817162B2 true JP3817162B2 (ja) | 2006-08-30 |
Family
ID=19160173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001347116A Expired - Fee Related JP3817162B2 (ja) | 2001-11-13 | 2001-11-13 | 回折格子部材及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3817162B2 (ja) |
KR (1) | KR100485921B1 (ja) |
CN (1) | CN100347568C (ja) |
TW (1) | TW577061B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100463775C (zh) * | 2004-03-04 | 2009-02-25 | 精工爱普生株式会社 | 微细结构元件的制造方法及其应用 |
JP4552713B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2010-09-29 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 回折光学素子、光通信モジュール及び光ピックアップ装置 |
CN110286433A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-09-27 | 长春理工大学 | 一种采用双刀无空行程进行机械刻划衍射光栅的方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3041969A1 (de) * | 1979-11-07 | 1981-05-21 | Canon K.K., Tokyo | Einstellmattscheibe |
JPH11133219A (ja) * | 1997-10-28 | 1999-05-21 | Canon Inc | 回折光学素子及びその製造方法 |
JP3249081B2 (ja) * | 1997-12-29 | 2002-01-21 | キヤノン株式会社 | 回折面形状及び光学素子の製造方法 |
JP2001087921A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Canon Inc | 加工方法 |
JP3652182B2 (ja) * | 1999-09-24 | 2005-05-25 | キヤノン株式会社 | 回折格子の加工方法及び加工装置 |
JP2002122720A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-04-26 | Canon Inc | 光学素子及び光学素子の加工方法 |
JP3762248B2 (ja) * | 2001-04-24 | 2006-04-05 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子用金型加工方法 |
-
2001
- 2001-11-13 JP JP2001347116A patent/JP3817162B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-10-03 TW TW091122855A patent/TW577061B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-11-12 KR KR10-2002-0069905A patent/KR100485921B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-11-13 CN CNB02150556XA patent/CN100347568C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW577061B (en) | 2004-02-21 |
KR20030040093A (ko) | 2003-05-22 |
KR100485921B1 (ko) | 2005-04-29 |
CN1419141A (zh) | 2003-05-21 |
CN100347568C (zh) | 2007-11-07 |
JP2003149421A (ja) | 2003-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0391664B1 (en) | Optical diffraction grating element, and optical pick-up device and optical scan device that respectively comprise optical diffraction grating element | |
US20060147174A1 (en) | Optical element | |
JP2000076689A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
KR100766651B1 (ko) | 회절격자, 수광소자 및 그들을 이용한 광 헤드 및 광기록재생 장치 | |
JP3808348B2 (ja) | 回折格子部材及びその製造方法 | |
KR20020008795A (ko) | 호환형 광픽업장치 | |
US20050002313A1 (en) | Optical head device, diffraction element and manufacturing method for diffraction element | |
US7558184B2 (en) | Optical pickup device | |
JP3817162B2 (ja) | 回折格子部材及びその製造方法 | |
JP4016395B2 (ja) | 複数波長用回折格子および複数波長用回折格子を用いた光ピックアップ装置ならびに光ディスク装置 | |
KR100656000B1 (ko) | 광회절 소자 및 광정보 처리 장치 | |
US6859319B2 (en) | Optical element, mold for molding optical element and optical pickup device | |
US7420894B2 (en) | Optical pickup device | |
EP0729138B1 (en) | Optical device | |
JP2002196123A (ja) | 2波長用回折光学素子、2波長光源装置および光学ヘッド装置 | |
JP2004344994A (ja) | 段差形成方法、レンズ成形用金型、およびレンズ | |
US20040190427A1 (en) | Optical head | |
JP4209154B2 (ja) | 回折光学素子 | |
JP2003302513A (ja) | バイナリブレーズ格子を備えた光学素子、成形用金型および光ピックアップ装置 | |
JP3652659B2 (ja) | 光ピックアップ装置の光検出器取付位置調整方法及び製造方法、光検出器取付位置調整装置、及び光ピックアップ装置 | |
JP2003121780A (ja) | ビーム整形素子、半導体レーザユニットおよび光ピックアップ装置ならびに半導体レーザユニットの調整方法 | |
JP2004039109A (ja) | 光学素子及びその調整方法並びにそれを用いた光ピックアップ装置及び光再生装置 | |
JP2005037868A (ja) | 反射防止面の形成方法、反射防止部材形成用金型の製造方法、金型、反射防止部材、金型製造用のマスター部材の製造方法 | |
KR100277996B1 (ko) | 이파장 광원 모듈 및 그 제조방법 | |
JP2005038474A (ja) | 光ピックアップ装置及び光ディスク装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050518 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050523 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090616 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110616 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130616 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140616 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |