JP2003149421A - 回折格子部材及びその製造方法 - Google Patents
回折格子部材及びその製造方法Info
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- G02B5/1852—Manufacturing methods using mechanical means, e.g. ruling with diamond tool, moulding
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- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 射出金型切削用バイトの刃先角度や取付角度
を精密に調整しなくても所定の回折光を得ることができ
る回折格子部材を提供すること。 【解決手段】 凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状
の回折格子部を有する回折格子部材を凹部平面と凸部平
面の少なくとも一方は同じ方向に同じ傾斜角度をなす複
数の傾斜面から構成され、両傾斜面の間に段差を持つ傾
斜段部が形成されるよう構成した。
を精密に調整しなくても所定の回折光を得ることができ
る回折格子部材を提供すること。 【解決手段】 凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状
の回折格子部を有する回折格子部材を凹部平面と凸部平
面の少なくとも一方は同じ方向に同じ傾斜角度をなす複
数の傾斜面から構成され、両傾斜面の間に段差を持つ傾
斜段部が形成されるよう構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は回折格子部材及びそ
の製造方法に係り、特に凹部平面と凸部平面とを備えた
矩形波状の回折格子部を有する回折格子部材に関する。
の製造方法に係り、特に凹部平面と凸部平面とを備えた
矩形波状の回折格子部を有する回折格子部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、回折格子部材として図５に示すも
のがある。この回折格子部材１００は、凹部平面１０１
と凸部平面１０２とを備えた矩形波状の回折格子部１０
３を有するものである。
のがある。この回折格子部材１００は、凹部平面１０１
と凸部平面１０２とを備えた矩形波状の回折格子部１０
３を有するものである。
【０００３】このような回折格子部材１００は、発光素
子であるレーザダイオードから発せられたＤＶＤ記録再
生用の光と、ＣＤ再生用の光を光ディスクに照射し、あ
るいは光ディスクからの反射光をフォトダイオードに導
き、光ディスクへの信号記録、再生、及びトラッキング
を行うようにする光ピックアップに使用される。
子であるレーザダイオードから発せられたＤＶＤ記録再
生用の光と、ＣＤ再生用の光を光ディスクに照射し、あ
るいは光ディスクからの反射光をフォトダイオードに導
き、光ディスクへの信号記録、再生、及びトラッキング
を行うようにする光ピックアップに使用される。
【０００４】前述したＤＶＤとＣＤとの兼用光ピックア
ップでは、トラッキング検出として、ＤＶＤは１ビーム
ですむ位相差法、ＣＤは３ビーム法を採用するのが一般
的である。従来、光ピックアップでは、波長の異なる２
つのＬＤを使い、ＣＤ側ＬＤ(７８０ｎｍ帯)のみに３ビ
ームを発生させるための回折格子を配置してきていた。
しかし、近年、２つのＬＤチップを1つのパッケージに
収めた２波長ＬＤが提案されており、この２波長ＬＤを
使用する場合には、ＣＤ再生時のみ３ビーム法で制御
し、ＤＶＤ録再生時には位相差法で制御するため、ＣＤ
側のみ３ビームを出射し、ＤＶＤ側は１ビームで出射す
る波長選択性の回折格子部材が使用されている。
ップでは、トラッキング検出として、ＤＶＤは１ビーム
ですむ位相差法、ＣＤは３ビーム法を採用するのが一般
的である。従来、光ピックアップでは、波長の異なる２
つのＬＤを使い、ＣＤ側ＬＤ(７８０ｎｍ帯)のみに３ビ
ームを発生させるための回折格子を配置してきていた。
しかし、近年、２つのＬＤチップを1つのパッケージに
収めた２波長ＬＤが提案されており、この２波長ＬＤを
使用する場合には、ＣＤ再生時のみ３ビーム法で制御
し、ＤＶＤ録再生時には位相差法で制御するため、ＣＤ
側のみ３ビームを出射し、ＤＶＤ側は１ビームで出射す
る波長選択性の回折格子部材が使用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような回折をする
回折格子部材は、格子の凹凸部の光学的位相差(（屈折
率ｎ−1）×深さ)をＤＶＤ波長程度とすることで実現さ
れる。しかし、回折格子部材の凹部平面の深さは従来使
用されていた1波長用の回折格子の５倍程度となること
が計算上明らかである。
回折格子部材は、格子の凹凸部の光学的位相差(（屈折
率ｎ−1）×深さ)をＤＶＤ波長程度とすることで実現さ
れる。しかし、回折格子部材の凹部平面の深さは従来使
用されていた1波長用の回折格子の５倍程度となること
が計算上明らかである。
【０００６】通常このような回折格子部材１００は、エ
ッチング加工により回折溝を母材に直接エッチングする
方法もあるが、図５に示すように、切削加工で凹部平面
１１１（回折格子部材１００の凸部平面１０２を成型）
と凸部平面１１２（回折格子部材１００の凹部平面１０
１を成型）からなる矩形波状面１１３を成形した金型１
１０を作成して、この金型１１０を使用して、光学樹脂
を射出成形することにより作成する方法が量産には適し
ている。
ッチング加工により回折溝を母材に直接エッチングする
方法もあるが、図５に示すように、切削加工で凹部平面
１１１（回折格子部材１００の凸部平面１０２を成型）
と凸部平面１１２（回折格子部材１００の凹部平面１０
１を成型）からなる矩形波状面１１３を成形した金型１
１０を作成して、この金型１１０を使用して、光学樹脂
を射出成形することにより作成する方法が量産には適し
ている。
【０００７】しかし、いずれの場合も、格子深さｄ（図
５に示した）が一般の回折格子に比べて深いことから、
回折格子部材１００の凸部平面１０２や凹部平面１０１
が傾きやすいという問題がある。
５に示した）が一般の回折格子に比べて深いことから、
回折格子部材１００の凸部平面１０２や凹部平面１０１
が傾きやすいという問題がある。
【０００８】即ち、エッチングによる製造方法では、大
面積の回折格子部材を作る際に、回折格子の場所による
エッチング量のばらつきが発生しやすいことにより前記
傾きが発生する。また、金型１１０により回折格子を作
成する際には、金型１１０を切削加工する場合には、図
６に示すように、金型切削用バイト１２０の切削面１２
１の傾きによる他、工作機械のバイトの保持精度やバイ
トの移動精度の変動により、金型１１０の凹部平面１１
１および凸部平面１１２に傾きが発生する。
面積の回折格子部材を作る際に、回折格子の場所による
エッチング量のばらつきが発生しやすいことにより前記
傾きが発生する。また、金型１１０により回折格子を作
成する際には、金型１１０を切削加工する場合には、図
６に示すように、金型切削用バイト１２０の切削面１２
１の傾きによる他、工作機械のバイトの保持精度やバイ
トの移動精度の変動により、金型１１０の凹部平面１１
１および凸部平面１１２に傾きが発生する。
【０００９】このように、３ビーム用の回折格子部材１
００において、凹凸各部平面１０１，１０２が傾くと、
３ビームのサブビームである＋１次光と−１次光に強度
差が生じピックアップのトラックエラー信号にオフセッ
トが生じ、安定したトラックサーボ制御ができなくなる
という問題が発生する。
００において、凹凸各部平面１０１，１０２が傾くと、
３ビームのサブビームである＋１次光と−１次光に強度
差が生じピックアップのトラックエラー信号にオフセッ
トが生じ、安定したトラックサーボ制御ができなくなる
という問題が発生する。
【００１０】即ち、図７に示すように、凹凸各面部１０
１，１０２が傾き、格子の両端に深さの差Δｄ＝ｄ２−
ｄ１（ｎｍ）の差が生じると、図８に示すように、＋１
次光と−1次光との間でΔｄに略比例した差が生じるこ
ととなる。
１，１０２が傾き、格子の両端に深さの差Δｄ＝ｄ２−
ｄ１（ｎｍ）の差が生じると、図８に示すように、＋１
次光と−1次光との間でΔｄに略比例した差が生じるこ
ととなる。
【００１１】本例のようなトラッキングサーボ制御を行
うためには、±１次回折光の差は３％以下であることが
求められており、これを実現するためには、図８より、
Δｄを１０ｎｍより小さくしなければならないこととな
る。
うためには、±１次回折光の差は３％以下であることが
求められており、これを実現するためには、図８より、
Δｄを１０ｎｍより小さくしなければならないこととな
る。
【００１２】ここで、具体的には、図７に示すように、
回折格子部材１００の格子間ピッチを３０μｍとする
と、各面１０１、１０２の傾斜角度は、０．０１９度以
下という精度が要求されることになる。
回折格子部材１００の格子間ピッチを３０μｍとする
と、各面１０１、１０２の傾斜角度は、０．０１９度以
下という精度が要求されることになる。
【００１３】通常、金型の溝を切削成型する切削バイト
１２０の先端１２１をこの精度で仕上げるのは、困難と
される。また、このような高精度の加工を実現するため
には、テスト加工を行い、傾きの発生分、バイトの取付
角度を機械的に補正することが必要となる。しかし、こ
のようの補正は、理論的には可能であるが、ピッチ３０
μmという微細な加工において、切削バイト１２０の１
０ｎｍ程度の傾きを正しく測定することは極めて困難で
あり、また、できたとしても、テスト加工の分、手間が
かかることになる。
１２０の先端１２１をこの精度で仕上げるのは、困難と
される。また、このような高精度の加工を実現するため
には、テスト加工を行い、傾きの発生分、バイトの取付
角度を機械的に補正することが必要となる。しかし、こ
のようの補正は、理論的には可能であるが、ピッチ３０
μmという微細な加工において、切削バイト１２０の１
０ｎｍ程度の傾きを正しく測定することは極めて困難で
あり、また、できたとしても、テスト加工の分、手間が
かかることになる。
【００１４】そこで、本発明は、射出成型用金型を作成
する切削バイトの刃先角度や取付角度をそれほど精密に
調整することなく所定の回折光を得ることができる回折
格子部材を提供することを目的とする。
する切削バイトの刃先角度や取付角度をそれほど精密に
調整することなく所定の回折光を得ることができる回折
格子部材を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記課題を
解決するため、回折格子部材及びその製造方法を以下の
ように構成した。
解決するため、回折格子部材及びその製造方法を以下の
ように構成した。
【００１６】本発明の回折格子部材は、凹部平面と凸部
平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有するものであ
って、前記凹部平面と凸部平面の少なくとも一方は同じ
方向に同じ傾斜角度をなす複数の傾斜面から構成され、
両傾斜面の間に段差を持つ傾斜段部が形成されている。
平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有するものであ
って、前記凹部平面と凸部平面の少なくとも一方は同じ
方向に同じ傾斜角度をなす複数の傾斜面から構成され、
両傾斜面の間に段差を持つ傾斜段部が形成されている。
【００１７】本発明によれば、格子の傾きによる深さの
差を小さくすることができ、±１次の回折光のアンバラ
ンスを解消することができる。
差を小さくすることができ、±１次の回折光のアンバラ
ンスを解消することができる。
【００１８】また、本発明に係る回折格子部材は、凹部
平面に傾斜段部が形成されているものである。
平面に傾斜段部が形成されているものである。
【００１９】本発明に係る回折格子部材によれば、回折
格子部材の凹面平面に対応する成型金型の凸部に段を切
削加工することは容易となり、金型を精度良く製造する
ことができる。
格子部材の凹面平面に対応する成型金型の凸部に段を切
削加工することは容易となり、金型を精度良く製造する
ことができる。
【００２０】本発明に係る回折格子部材にあっては、前
記凹部平面は２つの傾斜面で傾斜段部が形成されてお
り、２つの傾斜面のうち１つの傾斜面の最も浅い位置で
ある凹部の端縁部と、他の傾斜面の最も深い位置である
凹部の端縁部とが同一深さ位置に配されたものである。
記凹部平面は２つの傾斜面で傾斜段部が形成されてお
り、２つの傾斜面のうち１つの傾斜面の最も浅い位置で
ある凹部の端縁部と、他の傾斜面の最も深い位置である
凹部の端縁部とが同一深さ位置に配されたものである。
【００２１】本発明によれば、回折格子部材の作成時に
発生する２つの傾斜面の最大及び最小深さは、回折格子
部材凹部の設計理論値と大きな差がなくなり、設計され
た光学性能値と近い値が得られる。
発生する２つの傾斜面の最大及び最小深さは、回折格子
部材凹部の設計理論値と大きな差がなくなり、設計され
た光学性能値と近い値が得られる。
【００２２】本発明に係る回折格子の製造方法は、凹部
平面と凸部平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有す
る回折格子部材の回折格子部を成型する成型金型の凸部
平面を切削するに際して、切削面を格子の並列方向に第
１回及び第２回に分け同一のバイトで同一の送り条件で
切削して、各回の切削には切削加工用のバイトの切削位
置について、格子並列方向にバイトの切削個所を変更し
て、格子金型に同じ方向に同じ傾斜角度をなす複数の傾
斜面から構成され、両傾斜面の間に段差を持つ傾斜段部
を形成し、前記金型で回折格子形成素材を射出成型して
製造するものである。
平面と凸部平面とを備えた矩形波状の回折格子部を有す
る回折格子部材の回折格子部を成型する成型金型の凸部
平面を切削するに際して、切削面を格子の並列方向に第
１回及び第２回に分け同一のバイトで同一の送り条件で
切削して、各回の切削には切削加工用のバイトの切削位
置について、格子並列方向にバイトの切削個所を変更し
て、格子金型に同じ方向に同じ傾斜角度をなす複数の傾
斜面から構成され、両傾斜面の間に段差を持つ傾斜段部
を形成し、前記金型で回折格子形成素材を射出成型して
製造するものである。
【００２３】本発明によれば、回折格子を射出成型する
ための金型を作成するに際して、金型の凸面部を切削作
成するときには、１つのバイトで２回切削を行うように
する。このため、特別な切削用バイトを用意する必要
や、バイトに特殊な調整をすることなく、±１次の回折
光の不整合性を少なくした回折格子を容易に得ることが
できる。
ための金型を作成するに際して、金型の凸面部を切削作
成するときには、１つのバイトで２回切削を行うように
する。このため、特別な切削用バイトを用意する必要
や、バイトに特殊な調整をすることなく、±１次の回折
光の不整合性を少なくした回折格子を容易に得ることが
できる。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る回折格子部材
の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１乃至図３
は本発明に係る回折格子部材１０の実施の形態を示すも
のである。
の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１乃至図３
は本発明に係る回折格子部材１０の実施の形態を示すも
のである。
【００２５】本実施の形態に係る回折格子部材１０は、
凹部平面１３と凸部平面１４とを備えた矩形波状の回折
格子部１５を有するものである。このような基本的な回
折格子部材の構成は、従来例として示した回折格子部材
１００と同様である。また、本例に係る回折格子部材１
０は、従来の例と同様の目的であるＤＶＤとＣＤとの兼
用光ピックアップに使用されるものである。
凹部平面１３と凸部平面１４とを備えた矩形波状の回折
格子部１５を有するものである。このような基本的な回
折格子部材の構成は、従来例として示した回折格子部材
１００と同様である。また、本例に係る回折格子部材１
０は、従来の例と同様の目的であるＤＶＤとＣＤとの兼
用光ピックアップに使用されるものである。
【００２６】また、本例では、図１に示すように、回折
格子部材１０には、凹部平面１３と凸部平面１４とが設
けられ、凹部平面１３には凹部平面１３及び凸部平面１
４との並列方向に沿って同じ傾斜角度θ（図１）をなす
２列の傾斜面１１，１２から構成され、両傾斜面１１，
１２の間に階段状段差が設けられた傾斜段部１６が形成
されている。なお、本来ならばθの値は０であることが
望ましいが、実際の加工では、θを０とすることには手
間がかかることとなり、製品として回折格子部材を作成
すると非常に高価なものとなってしまう。
格子部材１０には、凹部平面１３と凸部平面１４とが設
けられ、凹部平面１３には凹部平面１３及び凸部平面１
４との並列方向に沿って同じ傾斜角度θ（図１）をなす
２列の傾斜面１１，１２から構成され、両傾斜面１１，
１２の間に階段状段差が設けられた傾斜段部１６が形成
されている。なお、本来ならばθの値は０であることが
望ましいが、実際の加工では、θを０とすることには手
間がかかることとなり、製品として回折格子部材を作成
すると非常に高価なものとなってしまう。
【００２７】そこで、本例に係る回折格子部材１０にお
いては、凹部平面１３は２つの傾斜面１１，１２で傾斜
段部１６が形成されており、２つの傾斜面１１，１２の
うち１つの傾斜面１２の最も浅い位置１２ａと、他の傾
斜面１１の最も深い位置１１ａとが同一の深さ位置ｈに
形成されている。
いては、凹部平面１３は２つの傾斜面１１，１２で傾斜
段部１６が形成されており、２つの傾斜面１１，１２の
うち１つの傾斜面１２の最も浅い位置１２ａと、他の傾
斜面１１の最も深い位置１１ａとが同一の深さ位置ｈに
形成されている。
【００２８】このような回折格子部材１０によれば、回
折格子部材１０の凹部平面１３の平均深さは設計した値
と略同一の値となっており、各面からの光はその位相差
が相殺され、設計された光学性能値と近い値が得られ
る。
折格子部材１０の凹部平面１３の平均深さは設計した値
と略同一の値となっており、各面からの光はその位相差
が相殺され、設計された光学性能値と近い値が得られ
る。
【００２９】即ち、図３に示すように、成型金型２０の
凹凸各面部２３，２４を作成するときのバイト３０の傾
きによる、＋１次光と−1次光と間でのアンバランス
は、従来例で同様の傾きのバイトを使用した場合に比べ
ると1／４程度に低減させることができる。
凹凸各面部２３，２４を作成するときのバイト３０の傾
きによる、＋１次光と−1次光と間でのアンバランス
は、従来例で同様の傾きのバイトを使用した場合に比べ
ると1／４程度に低減させることができる。
【００３０】次に本発明に係る回折格子部材の製造方法
について説明する。本例では、回折格子部材１０は、所
定の矩形回折格子の凹凸が形成された成型金型２０に光
学樹脂を射出成型することにより形成される。
について説明する。本例では、回折格子部材１０は、所
定の矩形回折格子の凹凸が形成された成型金型２０に光
学樹脂を射出成型することにより形成される。
【００３１】即ち、本例では、成型金型２０には、凹部
平面２４（射出成型された回折格子部材１０の凸部平面
１４に相当）と凸部平面２３（同凹部平面１３に相当）
とを備えた矩形波状の回折格子形成部２５を切削加工し
て設ける。
平面２４（射出成型された回折格子部材１０の凸部平面
１４に相当）と凸部平面２３（同凹部平面１３に相当）
とを備えた矩形波状の回折格子形成部２５を切削加工し
て設ける。
【００３２】この成型金型２０の回折格子形成部２５
は、図１及び図２に示すように、金属で形成された母材
４０をバイト３０で切削して凸部平面２３及び凹部平面
２４を形成する。
は、図１及び図２に示すように、金属で形成された母材
４０をバイト３０で切削して凸部平面２３及び凹部平面
２４を形成する。
【００３３】本例では、図２に示すように、成型金型２
０の凸部平面２３を切削形成するに際して、格子の並列
方向に第１回及び第２回に分け同一のバイト３０で同一
の送り条件で切削して、各回の切削には切削加工用のバ
イト３０の切削位置について、格子並列方向にバイト３
０の切削個所を前部３０ａ、後部３０ｂに変更して切削
加工する。この２回の切削加工に次いで凹部平面２４を
切削する加工を行う。
０の凸部平面２３を切削形成するに際して、格子の並列
方向に第１回及び第２回に分け同一のバイト３０で同一
の送り条件で切削して、各回の切削には切削加工用のバ
イト３０の切削位置について、格子並列方向にバイト３
０の切削個所を前部３０ａ、後部３０ｂに変更して切削
加工する。この２回の切削加工に次いで凹部平面２４を
切削する加工を行う。
【００３４】これにより、成型金型２０の凸部平面２３
に同じ傾斜角度をなす２条の傾斜面２１，２２が形成さ
れ、また凹部平面２４が形成されることとなる。これら
の加工により両傾斜面２１，２２からなる凸部平面２３
と凹部平面２４とを形成し、回折格子形成部２５を形成
する。
に同じ傾斜角度をなす２条の傾斜面２１，２２が形成さ
れ、また凹部平面２４が形成されることとなる。これら
の加工により両傾斜面２１，２２からなる凸部平面２３
と凹部平面２４とを形成し、回折格子形成部２５を形成
する。
【００３５】成型金型２０の凸部平面２３の切削ついて
詳細に説明する。本例では、図１及び図２に示すよう
に、１つのバイト３０を移動することにより、成型金型
２０の凸部平面２３を前半の傾斜面２１及び後半の傾斜
面２２に分けて切削している。この切削は１つの面につ
いて一回で完了させる必要はなく必要な回数切削を行っ
て最終的な平面を形成することができる。
詳細に説明する。本例では、図１及び図２に示すよう
に、１つのバイト３０を移動することにより、成型金型
２０の凸部平面２３を前半の傾斜面２１及び後半の傾斜
面２２に分けて切削している。この切削は１つの面につ
いて一回で完了させる必要はなく必要な回数切削を行っ
て最終的な平面を形成することができる。
【００３６】本例は、バイト３０の幅Ｗを凹部平面２４
の幅ｗと略同一のものとしておき、成型金型２０の凹部
平面２４を切削し、凸部平面２３を切削作成するにあた
っては、図１及び図２に示すように、１つのバイト３０
をＷ／２に相当する寸法送るようにして、凸部平面２３
を前半及び後半を別々に切削するようにしている。
の幅ｗと略同一のものとしておき、成型金型２０の凹部
平面２４を切削し、凸部平面２３を切削作成するにあた
っては、図１及び図２に示すように、１つのバイト３０
をＷ／２に相当する寸法送るようにして、凸部平面２３
を前半及び後半を別々に切削するようにしている。
【００３７】なお、本例にかかる回折格子の製造方法に
あっては、バイト３０は、ダイヤモンド単結晶の切削チ
ップを取り付けた通常の金型切削用バイトを使用するこ
ととしている。
あっては、バイト３０は、ダイヤモンド単結晶の切削チ
ップを取り付けた通常の金型切削用バイトを使用するこ
ととしている。
【００３８】このような切削加工により、本例では、金
型の凸部平面２３の２つの傾斜面２１，２２のうち１つ
の傾斜面２２の最も高い位置２２ａと、他の傾斜面１１
の最も低い位置２１ａとが同一の深さ位置となる。
型の凸部平面２３の２つの傾斜面２１，２２のうち１つ
の傾斜面２２の最も高い位置２２ａと、他の傾斜面１１
の最も低い位置２１ａとが同一の深さ位置となる。
【００３９】本例では、このように作成した金型を使用
して、光学樹脂を射出成型することにより、上述した回
折格子の構成が得られる。この射出成型の方法は従来か
らの公知の方法が用いられる。
して、光学樹脂を射出成型することにより、上述した回
折格子の構成が得られる。この射出成型の方法は従来か
らの公知の方法が用いられる。
【００４０】本例によれば、特別な形状の金型切削用バ
イトを使用することや、バイトに特殊な調整をすること
なく、±１次の回折光の違いを少なくした回折格子を容
易に作成することができる。
イトを使用することや、バイトに特殊な調整をすること
なく、±１次の回折光の違いを少なくした回折格子を容
易に作成することができる。
【００４１】なお、上記例では、回折格子部材の凹部平
面（成型金型の凸部平面）を２つの傾斜面で形成する場
合について説明したが、本発明では、凹部平面に加えて
凸部平面を複数の傾斜面で構成することができる。ま
た、回折格子部材の凸部平面だけを複数の傾斜面で構成
することができる。
面（成型金型の凸部平面）を２つの傾斜面で形成する場
合について説明したが、本発明では、凹部平面に加えて
凸部平面を複数の傾斜面で構成することができる。ま
た、回折格子部材の凸部平面だけを複数の傾斜面で構成
することができる。
【００４２】上述した場合には、図４に示すように、成
型金型５０を切削形成する際、作成する回折格子部材６
０の凹凸部平面５３、５６の幅寸法ｗの略半分の幅寸法
Ｗ１を備えたバイト７０で切削することにより成型金型
５０を成型できる。
型金型５０を切削形成する際、作成する回折格子部材６
０の凹凸部平面５３、５６の幅寸法ｗの略半分の幅寸法
Ｗ１を備えたバイト７０で切削することにより成型金型
５０を成型できる。
【００４３】この際、バイト７０を単に平行移動させた
だけでは、図４に示したように、成型金型５０の凸部平
面５３の２つの傾斜面５１，５２、凹部平面５６の２つ
の傾斜面５４，５５の最高部及び最低部は互いに同じ位
置となってしまい、前述した実施の形態例に比してその
効果が低下する。
だけでは、図４に示したように、成型金型５０の凸部平
面５３の２つの傾斜面５１，５２、凹部平面５６の２つ
の傾斜面５４，５５の最高部及び最低部は互いに同じ位
置となってしまい、前述した実施の形態例に比してその
効果が低下する。
【００４４】
【発明の効果】以上、説明したように本発明に係る回折
格子部材及び製造方法によれば、以下の優れた効果を奏
し得る。
格子部材及び製造方法によれば、以下の優れた効果を奏
し得る。
【００４５】本発明によれば、格子の傾きによる深さの
差を小さくすることができ、±１次の回折光のアンバラ
ンスを解消することができる。
差を小さくすることができ、±１次の回折光のアンバラ
ンスを解消することができる。
【００４６】また、本発明に係る凹部平面に傾斜段部が
形成されている回折格子部材によれば、回折格子部材の
凹面平面に対応する成型金型の凸部に段を切削加工する
ことは容易となり、金型を精度良く製造することができ
る。
形成されている回折格子部材によれば、回折格子部材の
凹面平面に対応する成型金型の凸部に段を切削加工する
ことは容易となり、金型を精度良く製造することができ
る。
【００４７】本発明に係る回折格子部材によれば、回折
格子部材の作成時に発生する２つの傾斜面の最大及び最
小深さは、回折格子部材凹部の設計理論値と大きな差が
なくなり、設計された光学性能値と近い優れた値が得ら
れる。
格子部材の作成時に発生する２つの傾斜面の最大及び最
小深さは、回折格子部材凹部の設計理論値と大きな差が
なくなり、設計された光学性能値と近い優れた値が得ら
れる。
【００４８】本発明にかかる回折格子部材の製造方法に
よれば、回折格子を射出成型するための金型を作成する
に際して、金型の凸面部を切削作成するときには、１つ
のバイトで２回切削を行うようにする。このため、特別
な切削用バイトを用意する必要や、バイトに特殊な調整
をすることなく、±１次の回折光の不整合性を少なくし
た回折格子を容易に得ることができる。
よれば、回折格子を射出成型するための金型を作成する
に際して、金型の凸面部を切削作成するときには、１つ
のバイトで２回切削を行うようにする。このため、特別
な切削用バイトを用意する必要や、バイトに特殊な調整
をすることなく、±１次の回折光の不整合性を少なくし
た回折格子を容易に得ることができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る回折格子部材の製造
方法における金型と回折格子の構成を示す断面図であ
る。
方法における金型と回折格子の構成を示す断面図であ
る。
【図２】本発明の実施の形態に係る回折格子部材の製造
方法に置ける金型の切削の状態を示す斜視図である。
方法に置ける金型の切削の状態を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る回折格子部材の格子
面の傾きと回折光のアンバランスの状態を示すグラフで
ある。
面の傾きと回折光のアンバランスの状態を示すグラフで
ある。
【図４】本発明に係る回折格子部材の他の例を示す断面
図である。
図である。
【図５】従来例に係る回折格子部材を示す断面図であ
る。
る。
【図６】従来例に係る回折格子部材射出成型用金具の製
造方法を示す断面図である。
造方法を示す断面図である。
【図７】従来例に係る回折格子部材の回折面の傾きを示
す図である。
す図である。
【図８】従来例に係る回折格子部材の格子面の傾きと回
折光のアンバランスの状態を示すグラフである。
折光のアンバランスの状態を示すグラフである。
１０ 回折格子部材
１１ 傾斜面
１２ 傾斜面
１３ 凹部平面
１４ 凸部平面
１５ 回折格子部
１６ 傾斜段部
２０ 成型金型
２１ 傾斜面
２２ 傾斜面
２３ 凸部平面
２４ 凹部平面
２５ 回折格子形成部
３０ バイト
４０ 母材
５０ 成型金型
５１ 傾斜面
５２ 傾斜面
５３ 凸部平面
５４ 凹部平面
６０ 回折格子部材
７０ バイト
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2H049 AA03 AA13 AA22 AA39 AA46
AA57
5D118 AA06 AA18 BA01 BB01 CA13
CD03 CF16 CG04 CG24 CG33
CG44
5D119 AA29 AA38 BA01 BB01 EA02
EC41 JA22 NA05
5D789 AA29 AA38 BA01 BB01 EA02
EC41 JA22 NA05
Claims (4)
- 【請求項１】 凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状
の回折格子部を有する回折格子部材であって、 前記凹部平面と凸部平面の少なくとも一方は同じ方向に
同じ傾斜角度をなす複数の傾斜面から構成され、両傾斜
面の間に段差を持つ傾斜段部が形成されている回折格子
部材。 - 【請求項２】 前記凹部平面に傾斜段部が形成されてい
る請求項１に記載の回折格子部材。 - 【請求項３】 前記凹部平面は２つの傾斜面で傾斜段部
が形成されており、２つの傾斜面のうち１つの傾斜面の
最も浅い位置である凹部の端縁部と、他の傾斜面の最も
深い位置である凹部の端縁部とが同一深さ位置に配され
た請求項２に記載の回折格子部材。 - 【請求項４】 凹部平面と凸部平面とを備えた矩形波状
の回折格子部を有する回折格子部材の回折格子部を成型
する成型金型の凸部平面を切削するに際して、 切削面を格子の並列方向に第１回及び第２回に分け同一
のバイトで同一の送り条件で切削して、各回の切削には
切削加工用のバイトの切削位置について、格子並列方向
にバイトの切削個所を変更して、格子金型に同じ方向に
同じ傾斜角度をなす複数の傾斜面から構成され、両傾斜
面の間に段差を持つ傾斜段部を形成し、 前記金型で回折格子形成素材を射出成型して製造する回
折格子部材の製造方法。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP2001347116A JP3817162B2 (ja) | 2001-11-13 | 2001-11-13 | 回折格子部材及びその製造方法 |
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| KR10-2002-0069905A KR100485921B1 (ko) | 2001-11-13 | 2002-11-12 | 회절격자부재 및 그 제조방법 |
| CNB02150556XA CN100347568C (zh) | 2001-11-13 | 2002-11-13 | 衍射光栅部件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001347116A JP3817162B2 (ja) | 2001-11-13 | 2001-11-13 | 回折格子部材及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003149421A true JP2003149421A (ja) | 2003-05-21 |
| JP3817162B2 JP3817162B2 (ja) | 2006-08-30 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| TW (1) | TW577061B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006267388A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Konica Minolta Holdings Inc | 回折光学素子、光通信モジュール及び光ピックアップ装置 |
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|---|---|---|---|---|
| CN100463775C (zh) * | 2004-03-04 | 2009-02-25 | 精工爱普生株式会社 | 微细结构元件的制造方法及其应用 |
| CN110286433A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-09-27 | 长春理工大学 | 一种采用双刀无空行程进行机械刻划衍射光栅的方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2065919B (en) * | 1979-11-07 | 1984-10-17 | Canon Kk | Focussing screen |
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| JP3249081B2 (ja) * | 1997-12-29 | 2002-01-21 | キヤノン株式会社 | 回折面形状及び光学素子の製造方法 |
| JP3652182B2 (ja) * | 1999-09-24 | 2005-05-25 | キヤノン株式会社 | 回折格子の加工方法及び加工装置 |
| JP2001087921A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Canon Inc | 加工方法 |
| JP2002122720A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-04-26 | Canon Inc | 光学素子及び光学素子の加工方法 |
| JP3762248B2 (ja) * | 2001-04-24 | 2006-04-05 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子用金型加工方法 |
-
2001
- 2001-11-13 JP JP2001347116A patent/JP3817162B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-10-03 TW TW091122855A patent/TW577061B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-11-12 KR KR10-2002-0069905A patent/KR100485921B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-11-13 CN CNB02150556XA patent/CN100347568C/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006267388A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Konica Minolta Holdings Inc | 回折光学素子、光通信モジュール及び光ピックアップ装置 |
| JP4552713B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2010-09-29 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 回折光学素子、光通信モジュール及び光ピックアップ装置 |
Also Published As
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|---|---|
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| CN100347568C (zh) | 2007-11-07 |
| CN1419141A (zh) | 2003-05-21 |
| JP3817162B2 (ja) | 2006-08-30 |
| TW577061B (en) | 2004-02-21 |
| KR100485921B1 (ko) | 2005-04-29 |
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