JP3813104B2 - 絶縁性流動体の計測装置、純度制御装置、混合度制御装置 - Google Patents
絶縁性流動体の計測装置、純度制御装置、混合度制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3813104B2 JP3813104B2 JP2002087431A JP2002087431A JP3813104B2 JP 3813104 B2 JP3813104 B2 JP 3813104B2 JP 2002087431 A JP2002087431 A JP 2002087431A JP 2002087431 A JP2002087431 A JP 2002087431A JP 3813104 B2 JP3813104 B2 JP 3813104B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating fluid
- flow path
- capacitance
- insulating
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D11/00—Control of flow ratio
- G05D11/02—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/228—Circuits therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Weting (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流路を流れる絶縁性流動体の純度、混合割合等を計測することのできる絶縁性流動体の計測装置、及び計測結果に基づき絶縁性流動体の純度を制御する純度制御装置、計測結果に基づき絶縁性流動体の混合割合を制御する混合度制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、管内の流動状態を判断するものとして、例えば図10に示すようなものがある。この図10では、管体201に電極203,205を差し込み、管体201内を流れる流動体207の流動状態を判断する。流動状態の判断は、電極203,205によって管体201内の導電率を検出し、流動体207と微小異物209との導電率の相違を検出することにより行っている。この判断結果により、管体201内を流動する流動体207に対する微小異物211の混入を判断し、微小異物211の混在した流動体207を分岐廃出するなどして微少異物211の混在しない流動体207を取り出すようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の図10のような装置では、絶縁性流動体に対する絶縁性微小異物の混入を判断することができないという問題があった。
【0004】
従来、半導体シリコンウエハの洗浄には超純水が用いられ、洗浄後排出された超純水は再生されて繰り返し使用されている。前記洗浄後に排出された超純水は、半導体シリコンウエハの微小な欠片を含んでいる。この半導体シリコンウエハの微小な欠片を含む超純水をそのまま洗浄に再利用すると、半導体シリコンウエハの表面を傷つけてしまい、歩留まりが低下する。このため、フィルタを用いて前記欠片を除去し、洗浄後に排出された超純水の再生を行っている。再生された超純水は半導体シリコンウエハの洗浄に再利用される前にセンサにより微小な欠片の混入が検査される。微小異物の混入が検出されると再びフィルタに通される等して前記欠片の混入のない超純水のみが再利用される。
【0005】
しかし、前記超純水及び半導体シリコンウエハの微小な欠片は共に絶縁性物質のため、前記図10のような導電率の測定では超純水に対する半導体シリコンウエハの微小な欠片の混入を検出することはできなかった。
【0006】
また、半導体シリコンウエハを鏡面仕上げするために研磨剤(スラリー液)が使用されている。このスラリー液は、超純水にアルミナセラミックの一種である「シリカ」の微粒子(数mミクロン粒)を混在させたものである。このスラリー液は、超純水に対する「シリカ」の微粒子濃度が低ければ鏡面仕上げを十分に行うことができず、逆に濃度が高ければマスクパターンを傷つけてしまうものとなる。従って、スラリー液の濃度管理は極めて重要なファクターである。しかし、超純水及び「シリカ」の微粒子は共に絶縁性物質のため、前記図10のような導電率の測定では超純水に対する「シリカ」の微粒子濃度を検出することはできなかった。
【0007】
さらに、このスラリー液も繰り返し再生利用され、超純水での洗浄の場合と同様の理由で、半導体シリコンウエハの研磨に再利用される前にセンサにより微小な欠片の混入が検査され、前記欠片の混入のないスラリー液のみが再利用される。しかし、前記同様の理由により前記図10のような導電率の測定では半導体シリコンウエハの微小な欠片の混入を検出することはできなかった。
【0008】
これに対し、超音波、可視光線、UVモニターなどを利用した測定器も利用されているが、何れも精度が低く、半導体シリコンウエハの歩留まり向上には至っていなかった。
【0009】
本発明は、流路を流れる絶縁性流動体の純度、混合割合等を正確に計測することのできる絶縁性流動体の計測装置、及び計測結果に基づき絶縁性流動体の純度を制御する純度制御装置、計測結果に基づき絶縁性流動体の混合割合を制御する混合度制御装置の提供を課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、流路の外側に周回状に設けられた測定電極及びグランド電極を備え前記流路内の静電容量の変化を検出する静電容量センサと、前記流路を流れる絶縁性流動体の割合を判断するために該流路の基準の静電容量の変化を予め記憶する基準値記憶手段と、前記検出した静電容量の変化と記憶した静電容量の変化とを比較して前記流路を流れる絶縁性流動体の割合を計測する割合計測手段とを備え、前記測定電極及びグランド電極は、相互間に隙間を有して一対設けられると共に、グランド電極が測定電極よりも細く形成され且つ流動方向に沿って螺旋状に巻き付けられ、前記流路の断面の周方向で、前記一対の測定電極及びグランド電極が相互間の隙間を持って前記流路の外側を包囲し、該一対の測定電極及びグランド電極間で静電容量を検出することを特徴とする。
【0014】
請求項2の発明は、請求項1記載の絶縁性流動体の計測装置であって、前記割合計測手段は、前記流路を流れる絶縁性流動体の純度を計測することを特徴とする。
【0015】
請求項3の発明は、請求項1記載の絶縁性流動体の計測装置であって、前記割合計測手段は、前記流路を流れる絶縁性流動体の混合割合を計測することを特徴とする。
【0016】
請求項4の発明は、請求項2記載の絶縁性流動体の計測装置であって、前記静電容量センサの上流側に前記流路を流れる絶縁性流動体に混在する異物を除去するための異物除去フィルタを備えると共に該異物除去フィルタの下流側に前記絶縁性流動体の取出口及び分岐口を備え、前記絶縁性流動体の流れを前記取出口及び分岐口の何れかへ切り換える調整手段を備え、前記純度の計測値が設定値内であるとき前記絶縁性流動体を前記取出口側へ流し、前記純度の計測値が設定値外であるとき前記絶縁性流動体を前記分岐口側へ流すように前記調整手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とする。
【0017】
請求項5の発明は、請求項3記載の絶縁性流動体の計測装置であって、少なくとも2種の絶縁性流動体を混合して前記流路に流す混合手段を備えると共に該混合手段の下流側に前記前記絶縁性流動体の取出口及び分岐口を備え、前記絶縁性流動体の流れを前記取出口及び分岐口の何れかへ切り換える調整手段を備え、前記混合割合の計測値が設定値内であるとき前記絶縁性流動体を前記取出口側へ流し、前記混合割合の計測値が設定値外であるとき前記絶縁性流動体を前記分岐口側へ流すように前記調整手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とする。
【0018】
【発明の効果】
請求項1の発明では、測定電極及びグランド電極は、相互間に隙間を有して一対設けられると共に、グランド電極が測定電極よりも細く形成され且つ流動方向に沿って螺旋状に巻き付けられ、前記流路の断面の周方向で、前記一対の測定電極及びグランド電極が相互間の隙間を持って前記流路の外側を包囲し、該一対の測定電極及びグランド電極間で静電容量を検出することができる。基準値記憶手段では、流路を流れる絶縁性流動体の割合を判断するために該流路の基準の静電容量の変化を予め記憶することができる。割合計測手段では、前記検出した静電容量の変化と記憶した静電容量の変化とを比較して前記流路を流れる絶縁性流動体の割合を計測することができる。
【0019】
従って、流路内の絶縁性流動体と絶縁性の微小異物との割合や2種以上の絶縁性流動体の混合割合等を的確に計測することができる。
【0023】
請求項2の発明では、請求項1の発明の効果に加え、前記割合計測手段により、前記流路を流れる絶縁性流動体の純度を正確に計測することができる。
【0024】
請求項3の発明では、請求項1の発明の効果に加え、前記割合計測手段により、前記流路を流れる絶縁性流動体の混合割合を正確に計測することができる。
【0025】
請求項4の発明では、請求項2の発明の効果に加え、前記静電容量センサの上流側に前記流路を流れる絶縁性流動体に混在する異物を除去するための異物除去フィルタを備えると共に該異物除去フィルタの下流側に前記絶縁性流動体の取出口及び分岐口を備え、前記絶縁性流動体の流れを前記取出口及び分岐口の何れかへ切り換える調整手段を備え、前記純度の計測値が設定値内であるとき前記絶縁性流動体を前記取出口側へ流し、前記純度の計測値が設定値外であるとき前記絶縁性流動体を前記分岐口側へ流すように前記調整手段を制御する制御手段を備えたため、純度の計測値が設定値内である絶縁性流動体のみを的確に取り出すことができる。
【0026】
請求項5の発明は、請求項3の発明の効果に加え、少なくとも2種の絶縁性流動体を混合して前記流路に流す混合手段を備えると共に該混合手段の下流側に前記前記絶縁性流動体の取出口及び分岐口を備え、前記絶縁性流動体の流れを前記取出口及び分岐口の何れかへ切り換える調整手段を備え、前記混合割合の計測値が設定値内であるとき前記絶縁性流動体を前記取出口側へ流し、前記混合割合の計測値が設定値外であるとき前記絶縁性流動体を前記分岐口側へ流すように前記調整手段を制御する制御手段を備えたため、混合割合の計測値が設定値内である絶縁性流動体のみを的確に取り出すことができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1は本発明の第1実施形態に係り、絶縁性流動体の純度制御装置の全体概略図である。図1のように、管体1は、本実施形態において絶縁性流動体として、例えば半導体シリコンウエハ洗浄用の超純水を内部側の流路1aに流し、配送する構成となっている。
【0028】
前記管体1は、本実施形態において絶縁材、例えば塩化ビニル等の絶縁樹脂製のパイプにより形成されている。但し、管体1は、後述する第1,第2,第3センサユニット19,21,23に対応する部分でのみ絶縁性樹脂等の絶縁材で形成することもできる。また、前記絶縁材としては、石英ガラス等を用いることもこともできる。
【0029】
この管体1の一端3には、再生装置5が接続され、同他端の端末には取出口7が設けられている。この管体1の取出口7側には、分岐口である第1,第2分岐口9,11が設けられている。この第1,第2分岐口9,11には、第1,第2分岐管13,15が接続されている。この第1,第2分岐管13,15は、回収タンク17に接続されている。この回収タンク17は、前記再生装置5に接続されている。前記回収タンク17には、前記取出口7から取り出されて半導体シリコンウエハを洗浄した後の超純水を回収するようになっている。
【0030】
前記管体1には、流路1aの静電容量を検出する静電容量センサとして第1、第2,第3センサーユニット19,21,23が上流側から順に設けられている。各第1,第2,第3センサーユニット19,21,23により、流路1aの静電容量の変化を検出することができる。前記第2センサーユニット21は、前記管体1の第1分岐口9の上流側に備えられ、前記第3センサーユニット23は、前記管体1の第2分岐口11の上流側に備えられている。
【0031】
前記第2,第3センサーユニット21,23の上流側には、異物除去フィルタ25が備えられている。この異物除去フィルタ25は、前記流路1aを流れる超純水に混在する異物として、例えば半導体シリコンウエハの微小な欠片を除去するためのものである。
【0032】
前記管体1の後流側には、前記絶縁性流動体である超純水の流れを前記取出口7及び分岐口である第1,第2分岐口9,11の何れかへ切り換える調整手段として第1,第2,第3電磁開閉バルブ27,29,31が備えられている。
【0033】
前記第1電磁開閉バルブ27は、前記取出口7側で前記第2分岐口11の後流側に備えられている。この第1電磁開閉バルブ27を開けると、管体1の取出口7から超純水が取り出され、第1電磁開閉バルブ27が閉じられると、取出口7からの超純水の取り出しが停止される。
【0034】
前記第2電磁開閉バルブ29は、前記第1分岐管13に備えられ、前記第3電磁開閉バルブ31は、前記第2分岐管15に備えられている。前記第1,第3電磁開閉バルブ27,31が閉じられているときに第2電磁開閉バルブ29が開けられると、管体1の流路1aから第1分岐管13を介して回収タンク17に超純水が排出される。前記第1,第2電磁開閉バルブ27,29が閉じられているときに第3電磁開閉バルブ31が開けられると、管体1の流路1aから第2分岐管15を介して回収タンク17に超純水が排出される。前記第1電磁開閉バルブ27が開けられ第2,第3電磁開閉バルブ29,31が閉じられると、管体1の流路1aから回収タンク17への超純水の排出は停止される。
【0035】
前記第1、第2,第3センサーユニット19,21,23の検出信号は、信号処理回路33を介して制御装置35に入力されるようになっている。この制御装置35には、基準値37として、前記第1、第2,第3センサーユニット19,21,23と同様のセンサーユニットにより検出された流路1aの基準の静電容量の変化が前記信号処理回路33を介して入力されている。
【0036】
前記基準の静電容量の変化としては、前記流路1aを流れる超純水が気体(泡)及び半導体シリコンウエハの欠片の異物を含まない高純度のときのもの(第1基準値)、超純水が気体(泡)を含むときのもの(第2基準値)、超純水が半導体シリコンウエハの欠片を含むときのもの(第3基準値)を予め検出したものとしている。なお、この基準値は、必要により種々設定することができる。
【0037】
前記制御装置35は、例えばMPU(Microprocessing Unit)39によって演算部が構成され、メモリ41等を備えている。前記演算部はDSP(DigitalSignal Processor)等によって構成することもできる。
【0038】
前記メモリ41には、前記基準値37が記憶されている。本実施形態においてメモリ41は、基準値記憶手段を構成している。すなわち、メモリ41には、流路1aを流れる絶縁性流動体としての超純水の割合を判断するために該流路1aの基準の静電容量として第1,第2,第3基準値の変化が予め記憶されている。
【0039】
前記制御装置35は、前記検出した静電容量の変化と後述するように前記メモリ41で記憶した静電容量の変化とを比較して前記流路1aを流れる絶縁性流動体の割合を計測する割合計測手段を構成している。
【0040】
すなわち、前記第1センサーユニット19が検出する静電容量の変化と第1,第2,第3基準値との比較により、流路1aを流れる超純水に気体(泡)及び半導体シリコンウエハの欠片がどれだけ含まれているかの割合を計測することができる。また、前記第2センサーユニット21が検出する静電容量の変化と前記第1,第2基準値との比較により、流路1aを流れる超純水に気体(泡)がどれだけ含まれているかの割合を計測することができる。前記第3センサーユニット23が検出する静電容量の変化と第1,第3基準値との比較により、流路1aを流れる超純水に半導体シリコンウエハの欠片がどれだけ含まれているかの割合を計測することができる。かかる計測により、制御装置35は、本実施形態において流路1aを流れる絶縁性流動体としての超純水の純度を計測している。
【0041】
前記制御装置35は、また前記純度の計測値が設定値内であるとき前記絶縁性流動体としての超純水を前記取出口7側へ流し、前記純度の計測値が設定値外であるとき前記絶縁性流動体としての超純水を前記分岐口としての第1,第2分岐口9,11側へ流すように前記第1,第2,第3電磁開閉バルブ27,29,31を制御する制御手段を構成している。このため、前記制御装置35には、駆動回路43を介して前記第1,第2,第3電磁開閉バルブ27,29,31が接続されている。
【0042】
前記制御装置35には、その他、電源45,表示パネル47,環境センサ49,データ転送インターフェース51が接続されている。
【0043】
前記第1、第2,第3センサーユニット19,21,23は、例えば図2〜図4のようになっている。
【0044】
図2は前記第1、第2,第3センサーユニット19,21,23及びその周辺を示す拡大断面図である。図3は図2のSA−SA矢視における拡大断面図である。図4は図2の一部をさらに拡大して示す要部拡大断面図である。なお、第1、第2,第3センサーユニット19,21,23は同一構成であり、第1センサーユニット19を説明し、第2,第3センサーユニット21,23の説明は省略する。
【0045】
図2〜図4のように、前記静電容量センサとしての第1センサーユニット19は、前記流路1aに対し絶縁状態で周回状の導電性金属泊製の測定電極及びグランド電極として電極55を備えたものである。
【0046】
前記電極55は、流路1aを形成する管体1の外側に装着された装着用円筒53に周回状に巻き付けられている。前記装着用円筒53は、本実施形態において、絶縁材、例えば塩化ビニル製のパイプで形成されている。但し、装着用円筒53は、絶縁性であれば良く、石英ガラス、その他の絶縁材で形成することもでき、樹脂モールドによって形成することもできる。この装着用円筒53は管体1の外周面に密に嵌合している。この嵌合は、接着剤などで固定することもできる。このように、例えば塩化ビニル製のパイプの装着用円筒53を用いることで、第1センサーユニット19を管体1に対しアッセンブリとして一体に取り扱うことができ、管体1への取り付けも容易に行うことができる。
【0047】
前記電極55は銅泊などの導電性金属箔製であり、その具体的構成は後述する。電極55の外側は、絶縁材57で密に覆われ、その外側にシールド材59が設けられている。前記絶縁材57は、本実施形態において塩化ビニル製のパイプで形成されている。但し、絶縁材57は、石英ガラス等で形成することもでき、樹脂モールドによって形成することもできる。
【0048】
前記シールド材59は、本実施形態においてアルミパイプによって形成されている。シールド材59は、絶縁材57の外面に密に嵌合している。シールド材59の両端部には端部シールド材61a,61bが固着されている。端部シールド材61a,61bは、本実施形態によってアルミニウムによって形成されている。
【0049】
前記一方の端部シールド材61aには、図4のように貫通孔63が設けられ、前記電極55の配線65が外部に引き出されている。端部シールド材61aと配線65との間には、例えば樹脂モールド67が施されている。配線65の端部には、図2,図5のように接続用のコネクタ68が設けられている。
【0050】
前記電極55の具体的構成は図5のようになっている。図5においては、塩化ビニル製パイプの装着用円筒53に電極55を螺旋状に巻き付けた状態を一点鎖線で示し、電極55の展開状態を実線で示している。図5のように、電極55は測定電極69と、グランド電極71とからなっている。両電極69,71ともに銅箔により展開状態で略平行四辺形帯状に形成されている。両電極69,71の短辺の長さ(図5の実線図示の右端又は左端の上下方向の長さ)は、両電極69,71間の後述する隙間73を加えて、装着用円筒53の外周長さとほぼ一致している。
【0051】
前記グランド電極71は測定電極69よりも細く形成されている。測定電極69、グランド電極71は装着用円筒53の外周面に一点鎖線図示のように流動方向に沿って螺旋状に巻き付けられ、接着などにより固定されている。巻き付け回数は、本実施形態において装着用円筒53の外周面をほぼ3周する程度である。但し、電極69,71により管体1の全周に渡って静電容量の変化が検出できる限り、巻き付け回数は任意に選択できるものである。装着用円筒53に巻き付けた両電極69,71の間には、隙間73が設けられている。
【0052】
前記両電極69,71は、図5の装着用円筒53に巻き付け状態において両者が交互に配置された構成となっている。この巻き付け状態において、隣接する測定電極69相互は、短絡点AB間において短絡接続されている。前記グランド電極71は、巻き付け状態において短絡点CD間において短絡接続されている。電極55の図5の巻き付け状態において、短絡点A,B,C,Dの位置は、便宜的に同一面側に同時に示しているが、実際の短絡点A,B,C,Dの位置は展開状態の位置で示される箇所にある。
【0053】
このような構成によって、例えば図6の電極55Aと同様な構成の電極配置となっている。すなわち図5の電極55は、図6のような電極55Aにおける点A1,B1,C1,D1に前記短絡点A,B,C,Dが位置的に対応し、電極55では略平行四辺形帯状の電極69,71及び前記短絡点A,B,C,Dでの短絡接続とにより装着用円筒53の外面に螺旋状に巻き付けることができるようにしたものである。
【0054】
尚、電極55に代え、図6の電極55Aの構成にすることも勿論可能である。図6では、電極55Aが測定電極69Aとグランド電極71Aとを装着用円筒53の外面全周に周回状に巻き付けるものである。但し、図5の電極55のように装着用円筒53の外面に螺旋状に巻き付ける場合は、流路1aの静電容量の変化をより的確かつ容易に検出することができる。
【0055】
図7は、絶縁性流動体の計測装置を含めた絶縁性流動体の純度制御装置の概略ブロック図を示している。第1,第2,第3センサーユニット19,21,23、発振回路75、周波数電圧変換回路77、A/D変換回路79、MPU39は、絶縁性流動体の計測装置83を構成している。この絶縁性流動体の計測装置83に駆動回路43、制御バルブ85を加えて絶縁性流動体の純度制御装置87を構成している。この場合、制御バルブ85は、図1の第1,第2,第3電磁開閉バルブ27,29,31で構成されている。
【0056】
前記第1,第2,第3センサーユニット19,21,23が静電容量の変化を検出すると、発振回路75から静電容量の変化に対応した周波数変化として周波数電圧変換回路77に入力される。周波数電圧変換回路77では、入力された周波数変化を電圧変化に変換し、A/D変換回路79に入力する。A/D変換回路79では、入力された電圧変化をディジタル信号の2進数数値に置き換え、MPU39へ入力する。MPU39では、検出により入力された静電容量の変化と前記基準値37としての静電容量の変化とが比較される。
【0057】
前記MPU39は、前記比較結果により、前記第1センサーユニット19の箇所で前記流路1aを流れる超純水に気体(泡)及び半導体シリコンウエハの欠片がどれだけ含まれているかの割合を計測する。また、前記第2センサーユニット21の箇所で流路1aを流れる超純水に気体(泡)がどれだけ含まれているかの割合を計測する。さらに、前記第1センサーユニット19の箇所で流路1aを流れる超純水に半導体シリコンウエハの欠片がどれだけ含まれているかの割合を計測する。
【0058】
そして、図1のように、流路1aを超純水が流動し、取出口7まで配送されるとき、第1,第2,第3センサーユニット19,21,23において流路1aの静電容量の変化が検出される。
【0059】
この検出により、第2センサーユニット21の箇所で気体(泡)が検出されたときは、MPU39から駆動回路43を介し、第1,第2,第3電磁開閉バルブ27,29,31に信号が送られる。このとき、第1,第3電磁開閉バルブ27,31は閉、第2電磁開閉バルブ29は開とされ、気体(泡)を含んだ超純水が第1分岐管13を通り、回収タンク17に排出される。
【0060】
前記検出により、第3センサーユニット23の箇所で半導体シリコンウエハの欠片が検出されたときは、同様の制御により第1,第2電磁開閉バルブ27,29は閉、第3電磁開閉バルブ31は開とされ、半導体シリコンウエハの欠片を含んだ超純水が第2分岐管15を通り、回収タンク17に排出される。
【0061】
前記検出により、第3センサーユニット23の箇所で半導体シリコンウエハの欠片が検出されないときは、同様の制御により第2,第3電磁開閉バルブ29,31は閉、第1電磁開閉バルブ27は開とされ、半導体シリコンウエハの欠片等の異物を含まない高純度の超純水が取出口7から取り出される。
【0062】
この結果、取出口7から取り出された高純度の超純水により半導体シリコンウエハを洗浄することができる。これにより、半導体シリコンウエハを洗浄時に傷つけることが無くなり、製品の歩留まりを著しく向上させることができる。
【0063】
前記半導体シリコンウエハ洗浄後の超純水は、前記回収タンク17に回収される。回収タンク17からは、再生装置5に送られ、ここで超純水から半導体シリコンウエハの欠片等を取り除く再生処理が施される。再生された超純水は、前記管体1の一端3から、流路1aに再度送られる。
【0064】
尚、第1,第2センサーユニット19,21の検出結果の比較により、異物除去フィルタ25が、正常に働いているか否かを検出することができる。この検出により異物除去フィルタ25の交換等のメンテナンスを的確に行うことができる。
【0065】
以上のようなサイクルにより超純水は半導体シリコンウエハの洗浄に繰り返し使用される。
【0066】
また、流路1aを流動する超純水の流動状態を非接触で検出することができるため、電極の腐蝕なども起こることはなく、流路1aを流動する超純水の純度を高度に保つことができる。
【0067】
前記静電容量の変化は大きな電圧変化をもたらすため、検出結果を積分する必要はなく、演算量が少なく迅速かつ的確な制御を行うことができ、また装置も小型化することができる。
【0068】
前記超純水の純度を静電容量の変化で計測するため、磁場の影響を受けにくく、例えば第1,第2,第3電磁開閉バルブ27,29,31に近接した位置に第2,第3センサーユニット21,23を設けることも可能であり、設計自由度を広げることができる。
【0069】
図8は、絶縁性流動体の純度制御装置の変形例を示している。なお、図8において、図7と対応する構成部分には同符号を付して説明する。図8の絶縁性流動体の純度制御装置87Aでは、前記A/D変換回路79及びMPU39に代えて、電圧比較回路89、基準電圧発生回路91を設けている。
【0070】
そして、第1,第2,第3センサーユニット19,21,23、発振回路75、周波数電圧変換回路77、電圧比較回路89、基準電圧発生回路91が絶縁性流動体の計測装置83Aを構成している。
【0071】
基準電圧発生回路91では、電圧比較回路89において比較すべき基準電圧を発生するもので、設定すべき基準値37の静電容量の変化に対応した基準電圧が発生される。従って、基準電圧発生回路91は、本実施形態において基準値記憶手段を構成している。
【0072】
前記基準電圧発生回路91で発生した基準電圧が電圧比較回路89へ送られ、検出された静電容量の変化に応じた電圧変化と比較され、比較結果に応じて駆動回路43を介し制御バルブ85(27,29,31)に信号が出力される。
【0073】
この図8の実施形態においても、上記同様に静電容量の変化の比較により、第1,第2,第3電磁開閉バルブ27,29,31が制御され、高純度の超純水を取出口7から取り出すことができる。
【0074】
尚、上記実施形態では、第2分岐管15に第3電磁開閉バルブ31を設ける構成にしたが、第1電磁開閉バルブ27を3方弁とし、該3方弁に第2分岐管15を接続することもできる。この3方弁を制御装置35による電気的な切り替え制御で切り替え、管体1から取出口7側への流れと回収タンク17側への流れとに切り替えることができる。
【0075】
上記実施形態では、直線状の管体1に第1,第2,第3センサーユニット19,21,23を嵌合させるようにしたが、装着用円筒53,57、シールド材59等を軟質なものとすれば、管体1にコーナー部があっても容易に嵌合させることができ、またコーナー部に取り付けることも可能である。かかる場合、電極55のように螺旋状に巻き付けられていると、管体1のコーナー部に沿って電極55を的確に配置することができる。
【0076】
電極55,55Aは、塩化ビニル製のパイプなどで形成された管体1に直接巻き付け、内側の装着用円筒53を省略することもできる。また、装着用円筒53を管体1の途中に結合し、管体1の一部を構成するように形成することもできる。
(第2実施形態)
図9は本発明の第2実施形態に係り、絶縁性流動体の混合度制御装置の全体概略図である。なお、上記実施形態と対応する構成部分には同符号を付して説明する。
【0077】
図2のように、本実施形態において管体1は、絶縁性流動体として、例えば半導体シリコンウエハを鏡面仕上げするために研磨剤(スラリー液)を配送する構成となっている。このスラリー液は、超純水にアルミナセラミックの一種である「シリカ」の微粒子(数mミクロン粒)を混在させたものである。
【0078】
従って、本実施形態では、図1の上記実施形態の異物除去フィルタ25,再生装置5に代えて図9のように混合手段としてのミキサー93、研磨剤取出装置113を設けている。前記ミキサー93は、少なくとも2種の絶縁性流動体を混合して前記流路1aに流すものである。本実施形態では、「シリカ」と超純水とを混合するものとしている。
【0079】
前記管体1には、前記ミキサー93の上流側に合流口95が設けられ、第2センサーユニット21の下流側に分岐口として環流口97が設けられている。前記合流口95には、合流管99が接続され、前記環流口97には、環流管101が接続されている。これら合流管99及び環流管101には、超純水供給管103が接続されている。この超純水供給管103の端部105からは、超純水が適宜供給されるようになっている。
【0080】
前記管体1の一端3側の第1センサーユニット19上流には、第4電磁開閉バルブ107が設けられている。前記超純水供給管103の一端105側には、第5電磁開閉バルブ109が設けられている。前記環流管101には、第6電磁開閉バルブ111が設けられている。
【0081】
制御装置35には、基準値37Aとして基準の静電容量の変化が記憶されている。この基準の静電容量は、前記流路1aを取出口7側へ流れるスラリー液が適正な標準濃度であるときのもの(適正基準値)である。
【0082】
前記制御装置35は、第1実施形態と同様に、第1,第2,第3センサーユニット19,21,23で検出した静電容量の変化とメモリ41で記憶した静電容量の変化とを比較して前記流路1aを流れる絶縁性流動体の割合を計測する割合計測手段を構成している。すなわち、前第1,第2,第3センサーユニット19,21,23が検出する静電容量の変化と適正基準値との比較により、流路1aを流れるスラリー液の適正な標準濃度を計測することができる。かかる計測により、制御装置35は、本実施形態において流路1aを流れる絶縁性流動体の混合割合を計測している。
【0083】
前記制御装置35は、また前記超純水に対する「シリカ」の微粒子の混合割合の計測値が設定値内であるとき前記絶縁性流動体としてのスラリー液を前記取出口7側へ流し、前記混合割合の計測値が設定値外であるとき前記絶縁性流動体としてのスラリー液を前記分岐口としての第1,第2分岐口9,11側又は環流口97側へ流すように前記調整手段としての前記第1,第2,第3,第6電磁開閉バルブ27,29,31,111を制御する制御手段を構成している。このため、前記制御装置35には、駆動回路43を介して前記第1,第2,第3,第6電磁開閉バルブ27,29,31,111が接続されている。
【0084】
前記駆動回路43には、前記スラリー液と超純水との供給を制御するために第4,第5電磁開閉バルブ107,109が接続されている。
【0085】
本実施形態の絶縁性流動体の混合度制御装置の概略ブロック図としては、前記図7,図8と同様に構成することができる。この場合、図7,図8の絶縁性流動体の純度制御装置87,87Aが、絶縁性流動体の混合度制御装置となる。
【0086】
そして、図9のように、流路1aの一端3から、スラリー液及び「シリカ」が供給され、超純水供給管103の端部105から必要に応じて超純水が供給される。前記スラリー液及び「シリカ」の供給は、制御装置35が第4電磁開閉バルブ107を開閉制御することにより調整される。前記超純水の供給は、制御装置35による第5電磁開閉バルブ109の開閉制御により調整される。
【0087】
前記必要に応じて供給された超純水は合流管99から合流口95を介し管体1側へ流れる。この超純水とスラリー液及び「シリカ」とは、後流側のミキサー93で混合され、その後流の第2センサーユニット21を通過する。
【0088】
前記第2センサーユニット21の箇所で、スラリー液の濃度が適正な標準濃度よりも低いと検出されたときは、制御装置35により第6電磁開閉バルブ111が開制御され、濃度の低いスラリー液が環流管101から合流管99側へ戻される。また、第2センサーユニット21の箇所で、スラリー液の濃度が高いと検出されたときは、第2電磁開閉バルブ29が開とされ、濃度の高いスラリー液が第1分岐管13を通り、回収タンク17に排出される。
【0089】
前記第2センサーユニット21の箇所で、スラリー液が適正な標準濃度であると検出されたとき、後流の第3センサーユニット23を次に通過する。この第3センサーユニット23の箇所で半導体シリコンウエハの欠片が検出されたときは、第3電磁開閉バルブ31が開とされ、半導体シリコンウエハの欠片を含んだスラリー液が第2分岐管15を通り、回収タンク17に排出される。
【0090】
前記第3センサーユニット23の箇所で半導体シリコンウエハの欠片が検出されず適正な標準濃度であるときは、第1電磁開閉バルブ27が開とされ、半導体シリコンウエハの欠片等の異物を含まない適正な標準濃度のスラリー液のみが取出口7から取り出される。
【0091】
この結果、取出口7から取り出された適正な標準濃度のスラリー液により半導体シリコンウエハの鏡面仕上げを的確に行うことができる。また、半導体シリコンウエハを研磨時に傷つけることが無く、製品の歩留まりを著しく向上させることができる。
【0092】
前記半導体シリコンウエハ研磨後のスラリー液は、前記回収タンク17に回収される。回収タンク17からは、研磨剤取出装置113に送られ、ここでスラリー液から半導体シリコンウエハの欠片等を取り除く等して再生処理が施される。再生されたスラリー液は、前記管体1の一端3側に戻される。
【0093】
以上のようなサイクルによりスラリー液は半導体シリコンウエハの研磨に繰り返し使用される。
【0094】
従って、第1実施形態と同様な効果を奏することができる他、異物を含まない適正な標準濃度のスラリー液により、半導体シリコンウエハの研磨を的確に行うことができ、歩留まりを著しく向上させることができる。
【0095】
上記実施形態では、3種以上の絶縁性流動体の混合に適用することも可能である。
【0096】
なお、各実施形態において、前記静電容量の比較は、その変化値の比較判断に限らず静電容量そのものの比較も均等の範囲である。前記第1,第2,第3センサーユニット19,21,23は、管体1内に配置することも可能である。前記第1,第3電磁開閉バルブ27,31又3方弁を調整手段とし、また、第2,第3センサーユニット21,23の何れかのみを用いる構成にすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る絶縁性流動体の純度制御装置の概略構成図である。
【図2】第1実施形態に係り、センサーユニット及びその周辺を示す断面図である。
【図3】第1実施形態に係り、図2のSA−SA矢視における拡大断面図である。
【図4】第1実施形態に係り、センサーユニットの要部拡大断面図である。
【図5】第1実施形態に係り、電極の巻き付け状態の説明図である。
【図6】第1実施形態に係り、図5の電極に対応する電極を展開状態で示す説明図である。
【図7】第1実施形態に係り、絶縁性流動体の純度制御装置の概略ブロック図である。
【図8】変形例の実施形態に係る絶縁性流動体の純度制御装置の概略ブロック図である。
【図9】本発明の第2実施形態に係り、絶縁性流動体の混合度制御装置の概略構成図である。
【図10】従来例に係る絶縁性流動体の計測装置の概略説明図である。
【符号の説明】
1 管体
1a 流路
19 第1センサーユニット(静電容量センサ)
21 第2センサーユニット(静電容量センサ)
23 第3センサーユニット(静電容量センサ)
27 第1電磁開閉バルブ(調整手段)
29 第2電磁開閉バルブ(調整手段)
31 第3電磁開閉バルブ(調整手段)
35 制御装置(割合計測手段、制御手段)
41 メモリ(基準値記憶手段)
69,69A 測定電極
71,71A グランド電極
83,83A 絶縁性流動体の計測装置
87,87A 絶縁性流動体の純度制御装置(絶縁性流動体の混合度制御装置)
91 基準電圧発生回路(基準値記憶手段)
基準の静電容量
93 ミキサー(混合手段)
111 第6電磁開閉バルブ(調整手段)
Claims (5)
- 流路の外側に周回状に設けられた測定電極及びグランド電極を備え前記流路内の静電容量の変化を検出する静電容量センサと、
前記流路を流れる絶縁性流動体の割合を判断するために該流路の基準の静電容量の変化を予め記憶する基準値記憶手段と、
前記検出した静電容量の変化と記憶した静電容量の変化とを比較して前記流路を流れる絶縁性流動体の割合を計測する割合計測手段とを備え、
前記測定電極及びグランド電極は、相互間に隙間を有して一対設けられると共に、グランド電極が測定電極よりも細く形成され且つ流動方向に沿って螺旋状に巻き付けられ、
前記流路の断面の周方向で、前記一対の測定電極及びグランド電極が相互間の隙間を持って前記流路の外側を包囲し、該一対の測定電極及びグランド電極間で静電容量を検出することを特徴とする絶縁性流動体の計測装置。 - 請求項1記載の絶縁性流動体の計測装置であって、
前記割合計測手段は、前記流路を流れる絶縁性流動体の純度を計測することを特徴とする絶縁性流動体の計測装置。 - 請求項1記載の絶縁性流動体の計測装置であって、
前記割合計測手段は、前記流路を流れる絶縁性流動体の混合割合を計測することを特徴とする絶縁性流動体の計測装置。 - 請求項2記載の絶縁性流動体の計測装置であって、
前記静電容量センサの上流側に前記流路を流れる絶縁性流動体に混在する異物を除去するための異物除去フィルタを備えると共に該異物除去フィルタの下流側に前記絶縁性流動体の取出口及び分岐口を備え、
前記絶縁性流動体の流れを前記取出口及び分岐口の何れかへ切り換える調整手段を備え、
前記純度の計測値が設定値内であるとき前記絶縁性流動体を前記取出口側へ流し、前記純度の計測値が設定値外であるとき前記絶縁性流動体を前記分岐口側へ流すように前記調整手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とする絶縁性流動体の純度制御装置。 - 請求項3記載の絶縁性流動体の計測装置であって、
少なくとも2種の絶縁性流動体を混合して前記流路に流す混合手段を備えると共に該混合手段の下流側に前記前記絶縁性流動体の取出口及び分岐口を備え、
前記絶縁性流動体の流れを前記取出口及び分岐口の何れかへ切り換える調整手段を備え、
前記混合割合の計測値が設定値内であるとき前記絶縁性流動体を前記取出口側へ流し、前記混合割合の計測値が設定値外であるとき前記絶縁性流動体を前記分岐口側へ流すように前記調整手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とする絶縁性流動体の混合度制御装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002087431A JP3813104B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 絶縁性流動体の計測装置、純度制御装置、混合度制御装置 |
US10/393,898 US6885200B2 (en) | 2002-03-27 | 2003-03-21 | Measuring apparatus, purity controller, and mixing ratio controller for insulative fluid |
TW092106266A TWI237113B (en) | 2002-03-27 | 2003-03-21 | Measuring apparatus, purity controller, and mixing ratio controller for insulative fluid |
CNB031208991A CN1259562C (zh) | 2002-03-27 | 2003-03-25 | 绝缘性流动物的计测装置、纯度控制装置、混合度控制装置 |
KR1020030018730A KR100748868B1 (ko) | 2002-03-27 | 2003-03-26 | 절연성 유동체의 계측 장치, 순도 제어 장치, 혼합도 제어장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002087431A JP3813104B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 絶縁性流動体の計測装置、純度制御装置、混合度制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003279524A JP2003279524A (ja) | 2003-10-02 |
JP3813104B2 true JP3813104B2 (ja) | 2006-08-23 |
Family
ID=28449382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002087431A Expired - Fee Related JP3813104B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 絶縁性流動体の計測装置、純度制御装置、混合度制御装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6885200B2 (ja) |
JP (1) | JP3813104B2 (ja) |
KR (1) | KR100748868B1 (ja) |
CN (1) | CN1259562C (ja) |
TW (1) | TWI237113B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112005000387T5 (de) * | 2004-03-08 | 2007-04-05 | Jiri Vanek | Messverfahren für die genaue Größe von Luftblasen in einer durch einen Schlauch fließenden Flüssigkeit und eine Elektrode eines Kapazitätssensors und ein Kapazitätssensor zur Durchführung des Messverfahrens |
JP4437699B2 (ja) * | 2004-05-14 | 2010-03-24 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | センサ |
US7378025B2 (en) | 2005-02-22 | 2008-05-27 | Asml Netherlands B.V. | Fluid filtration method, fluid filtered thereby, lithographic apparatus and device manufacturing method |
DE102006057136A1 (de) * | 2006-05-19 | 2007-11-22 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Mischungsverhältnisses eines Stoffgemisches |
EP2109774B1 (en) | 2007-02-15 | 2018-07-04 | Advanced Liquid Logic, Inc. | Capacitance detection in a droplet actuator |
JP5467857B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2014-04-09 | 株式会社Ihi | 粒子の濃度検出方法およびその装置 |
JP5031047B2 (ja) * | 2010-01-28 | 2012-09-19 | 東レエンジニアリング株式会社 | マイクロリアクタのプラグフロー検出装置と方法、およびそれらを用いた気液分離装置と気液分離方法 |
JP5748501B2 (ja) * | 2011-02-23 | 2015-07-15 | 京セラ株式会社 | 固体酸化物形燃料電池装置 |
WO2012154745A2 (en) | 2011-05-09 | 2012-11-15 | Advanced Liquid Logic, Inc. | Microfluidic feedback using impedance detection |
JP6532038B2 (ja) * | 2016-03-30 | 2019-06-19 | 都市拡業株式会社 | 水改質効果判定装置 |
KR102351275B1 (ko) * | 2020-02-13 | 2022-01-17 | 주식회사 유니크 | 물 감지기와 이를 포함한 물 포집 장치 |
KR102351276B1 (ko) * | 2020-02-13 | 2022-01-17 | 주식회사 유니크 | 물 감지기를 포함한 물 포집 장치 |
EP3940377A1 (en) * | 2020-07-16 | 2022-01-19 | 3M Innovative Properties Company | Method, data set and sensor to sense a property of a liquid |
US20220362902A1 (en) * | 2021-05-14 | 2022-11-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Method and system for slurry quality monitoring |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4487057A (en) | 1980-09-16 | 1984-12-11 | Raychem Corporation | Continuous sense and locate device |
US5215253A (en) * | 1990-08-30 | 1993-06-01 | Nordson Corporation | Method and apparatus for forming and dispersing single and multiple phase coating material containing fluid diluent |
US5311769A (en) | 1992-03-04 | 1994-05-17 | Hetzel Henry T | Method and apparatus for automatic measurement of evapotranspiration |
US5790422A (en) * | 1995-03-20 | 1998-08-04 | Figgie International Inc. | Method and apparatus for determining the quantity of a liquid in a container independent of its spatial orientation |
JPH10209108A (ja) | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Takao Nakazawa | 半導体ウエハの洗浄処理装置 |
KR19990024322A (ko) * | 1997-08-29 | 1999-04-06 | 김영환 | 액체용량 감지장치 |
KR100299310B1 (ko) | 1999-06-26 | 2001-11-01 | 정명세 | 크로스 커패시터 전극 시험관, 이를 이용한 액체의 유전상수측정장치 및 그 측정방법 |
-
2002
- 2002-03-27 JP JP2002087431A patent/JP3813104B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-03-21 US US10/393,898 patent/US6885200B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-03-21 TW TW092106266A patent/TWI237113B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-03-25 CN CNB031208991A patent/CN1259562C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-03-26 KR KR1020030018730A patent/KR100748868B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003279524A (ja) | 2003-10-02 |
US6885200B2 (en) | 2005-04-26 |
TW200305720A (en) | 2003-11-01 |
CN1259562C (zh) | 2006-06-14 |
KR20030078004A (ko) | 2003-10-04 |
US20030184316A1 (en) | 2003-10-02 |
TWI237113B (en) | 2005-08-01 |
CN1447057A (zh) | 2003-10-08 |
KR100748868B1 (ko) | 2007-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3813104B2 (ja) | 絶縁性流動体の計測装置、純度制御装置、混合度制御装置 | |
JP2003097986A (ja) | 電磁流量計 | |
US20010003426A1 (en) | Method and device for oil-in-water measurement | |
JP3589449B2 (ja) | 静電容量センサ、管内流動判断装置、管内流動制御装置 | |
JP2001033378A (ja) | 粒子測定装置 | |
JP2012204813A (ja) | 気泡検出方法及びレジスト塗布方法並びにレジスト塗布装置 | |
JP2000131008A (ja) | 磁性体の堆積量検知装置 | |
CN109855693A (zh) | 带漏水保护及前置过滤的超声波水表装置 | |
JP2012008059A (ja) | ガス中粒子計測システム | |
CN207717756U (zh) | 一种电厂在线化学仪表水样监测装置 | |
JPH01288724A (ja) | 電磁流量計の電極汚れ検知装置 | |
US5944939A (en) | Wet station apparatus having quartz heater monitoring system and method of monitoring thereof | |
JP4512264B2 (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP5854217B2 (ja) | 電磁流量計 | |
JP2005091098A (ja) | 血球計数装置 | |
JP5978123B2 (ja) | 電磁流量計を使用した洗浄品質管理システム、及び洗浄品質管理方法 | |
JPS61181939A (ja) | 液中微粒子計測システム | |
JP2001124692A (ja) | 微粒子計測装置 | |
JPH06300887A (ja) | 破損燃料検出装置 | |
WO2016024690A1 (en) | Apparatus for detecting particles | |
JP2004305998A (ja) | 浄水カートリッジの欠陥検査方法及び浄水カートリッジの欠陥検査装置 | |
RU2059232C1 (ru) | Датчик для определения параметров жидких сред | |
TWM630615U (zh) | 液體微粒計數器及其系統 | |
JPH0738453Y2 (ja) | バキュームカー | |
JPH04295721A (ja) | セラミック電磁流量計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050323 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050628 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060314 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090609 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees | ||
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316313 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |