JP2012008059A - ガス中粒子計測システム - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 190
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 364
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 53
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 8
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 7
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 7
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 74
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 5
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- -1 etching Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】 空気以外の気体に浮遊する粒子を計測するガス中粒子計測システムであって、多孔性隔壁を介して計測対象となる試料ガスと空気との分圧差による拡散により、試料ガスを空気に置換するガス空気置換部1と、このガス空気置換部1で置換された空気中の粒子を計測する空気中粒子計数器2を備える。ガス空気置換部1の試料ガス流入口Aと空気流入口Bの差圧を測定する差圧計10を設けることができる。また、ガス空気置換部1の試料ガス流入口Aの上流に、試料ガス又は空気を選択して試料ガス流入口Aへ導く切換バルブ12を設けることができる。
【選択図】 図1
Description
空気中微粒子計に流量計及び試料ガス体積量を算出する処理部を設け、流量計により試料空気体積量を求め、求めた試料空気体積量を用い処理部により試料ガス体積量を算出する。
Claims (15)
- 空気以外の気体に浮遊する粒子を計測するガス中粒子計測システムであって、計測対象となる試料ガスを空気に置換する前処理部を備えることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項1に記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記前処理部が多孔性隔壁を介して計測対象となる試料ガスと空気との分圧差による拡散により、試料ガスを空気に置換するガス空気置換部であり、このガス空気置換部で置換された空気中の粒子を計測する空気中粒子計数器を備えることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項2に記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記ガス空気置換部の試料ガス流入口と空気流入口の差圧を測定する差圧計と、前記空気流入口への空気流量を制御するバルブを設けることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項2又は3に記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記ガス空気置換部の試料ガス流入口の上流に、試料ガス又は空気を選択して前記試料ガス流入口へ導く切換バルブを設けることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 空気以外の気体に浮遊する粒子を計測するガス中粒子計測システムであって、計測対象となる試料ガスを空気に置換するガス空気置換部と、このガス空気置換部で置換された空気中の粒子を計測する空気中粒子計数器を備え、前記ガス空気置換部は一段置換部と二段置換部からなる二段式で、前記一段置換部で試料ガスを中間ガスに置換し、この中間ガスを前記二段置換部で空気に置換することを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項5に記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記一段置換部は、多孔性隔壁を介して試料ガスと中間ガスとの分圧差による拡散により、試料ガスを中間ガスに置換し、前記二段置換部は、多孔性隔壁を介して中間ガスと空気との分圧差による拡散により、中間ガスを空気に置換することを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項5又は6に記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記一段置換部の試料ガス流入口と中間ガス流入口の差圧を測定する差圧計と、前記二段置換部の中間ガス流入口と空気流入口の差圧を測定する差圧計と、前記中間ガス流入口への中間ガス流量を制御するバルブと、前記空気流入口への空気流量を制御するバルブを設けることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項5乃至請求項7のいずれかに記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記一段置換部の試料ガス流入口の上流に、試料ガス又は中間ガスを選択して前記試料ガス流入口へ導く切換バルブと、前記二段置換部の中間ガス流入口の上流に、中間ガス又は空気を選択して前記中間ガス流入口へ導く切換バルブを設けることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項5乃至請求項8のいずれかに記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記試料ガスが特殊ガスであり、前記中間ガスが不活性ガスであることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項5乃至請求項8のいずれかに記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記中間ガスがヘリウムであることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項2乃至請求項10のいずれかに記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記空気中粒子計数器の内部に前記ガス空気置換部を備えることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項2乃至請求項11のいずれかに記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記空気中粒子計数器が、光散乱式気中粒子計数器又は凝縮粒子計数器であることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項2乃至請求項11のいずれかに記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記空気中粒子計数器が、電気移動度分級器による粒子径弁別機能を備えていることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項2乃至請求項13のいずれかに記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記空気中粒子計数器が所定の試料空気流量を吸引した時の粒子数測定値を、前記ガス空気置換部に吸引される試料ガス流量から個数濃度に換算する処理部を備えることを特徴とするガス中粒子計測システム。
- 請求項2乃至請求項14のいずれかに記載のガス中粒子計測システムにおいて、前記ガス空気置換部の外管及び接続管がステンレス製であることを特徴とするガス中粒子計測システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010145758A JP5495978B2 (ja) | 2010-06-28 | 2010-06-28 | ガス中粒子計測システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010145758A JP5495978B2 (ja) | 2010-06-28 | 2010-06-28 | ガス中粒子計測システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012008059A true JP2012008059A (ja) | 2012-01-12 |
JP5495978B2 JP5495978B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=45538762
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010145758A Expired - Fee Related JP5495978B2 (ja) | 2010-06-28 | 2010-06-28 | ガス中粒子計測システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5495978B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107064432A (zh) * | 2017-05-22 | 2017-08-18 | 苏州宏瑞净化科技有限公司 | 高压气体扩散器 |
US10170291B1 (en) | 2017-10-19 | 2019-01-01 | Industrial Technology Research Institute | Apparatus for on-line monitoring particle contamination in special gases |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11105726B2 (en) | 2018-01-18 | 2021-08-31 | Industrial Technology Research Institute | Calibrated particle analysis apparatus and method |
KR102541876B1 (ko) * | 2021-06-03 | 2023-06-12 | 케이앤제이엔지니어링 주식회사 | 자동 정화 및 보정 기술을 적용한 미세먼지 측정시스템 |
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-
2010
- 2010-06-28 JP JP2010145758A patent/JP5495978B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US10170291B1 (en) | 2017-10-19 | 2019-01-01 | Industrial Technology Research Institute | Apparatus for on-line monitoring particle contamination in special gases |
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KR102156360B1 (ko) * | 2017-10-19 | 2020-09-16 | 인더스트리얼 테크놀로지 리서치 인스티튜트 | 특수 가스 내의 입자 오염의 온라인 모니터링용 장치 |
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---|---|
JP5495978B2 (ja) | 2014-05-21 |
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Date | Code | Title | Description |
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