JP2002079203A - 紫外線照射装置と紫外線照射装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 紫外線照射により発生した本体ケース４
内の気体中のオゾンを吸気管５によりサンプリングし、
オゾン濃度測定器６によりオゾン濃度を測定して紫外線
照射ランプ１の動作状態を状態表示器７に表示させる。
測定されたオゾン濃度は変換器８により電気信号に変換
され、その信号に基づき電源コントローラー９から紫外
線照射ランプ１のパワーが調整、制御される。 【効果】 紫外線照射により発生した気体中のオゾン濃
度を測定することにより、作業を中断することなく紫外
線照射ランプの動作状態をリアルタイムで監視すること
ができ、測定したオゾン濃度に基づいて紫外線照射ラン
プのパワーを調整、制御できるため、極めて効率的であ
るとともに品質の安定性も確保でき、紫外線照射ランプ
も適切な時期に交換することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線照射装置と
紫外線照射装置の制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、液晶表示装置のガラス基板やシ
リコンウエハー等の表面をクリーニング（分解洗浄）す
るために、紫外線照射装置が使用されている。この装置
は、照射対象物に近接させて紫外線照射ランプを配置
し、対象物に紫外線を照射して有機物を分解し、同時に
発生したオゾンによって、対象物表面に付着している分
解物質を酸化しガス化して、オゾンガスと共に排出する
よう動作する。これにより、ガラス基板等の表面の微細
な有機質による汚れが除去される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な従来の技術には、次のような解決すべき課題があっ
た。上記の動作をする紫外線照射装置が常に一定以上の
安定したクリーニング機能を発揮するためには、対象物
に照射される紫外線の照射量が、常に一定レベルの範囲
にあるように管理する必要がある。このため、定期的に
紫外線照射ランプの照射強度を紫外線強度計を用いて点
検する一方、紫外線照射ランプの定格で定められた使用
期限に従って、紫外線照射ランプを定期的に交換するよ
うにしている。

【０００４】特に照射対象物が大面積の基板の場合、照
射洗浄を行うときは、通常紫外線照射ランプを複数本並
べて配置する。この場合には照射領域全体の照度分布を
均一にする必要があるため、個々のランプの強度を調整
する必要がある。従って、個々の紫外線照射ランプ毎の
照射強度を紫外線強度計を用いて適宜測定しなければな
らない。

【０００５】しかしながら、紫外線照射ランプの照射強
度を紫外線強度計を用いて測定する場合には、装置を用
いた実作業をいったん停止して、紫外線を照射する対象
物を配置すべき場所に紫外線強度計を配置して点検作業
を行わなければならない。従って、測定作業に手間がか
かると共に、装置の稼働率が低下するという問題があっ
た。

【０００６】また、紫外線照射ランプの寿命にはかなり
ばらつきがあり、紫外線照射ランプを交換する時期はこ
のばらつきを考慮して定められている。例えば、紫外線
照射ランプの寿命は低圧水銀電灯では通常４０００時
間、エキシマランプでは数千時間といわれている。そこ
で、紫外線照射ランプに印可するパワーは１００％では
なく、余裕を持たせて少し低いパワーを上限として動作
させている。一般に紫外線照射ランプの照度が８０％ま
で低下したときの時間をランプの交換寿命としている。

【０００７】従って、紫外線照射ランプが未だ正常に動
作していても強制的に交換をすることもあり、不経済で
あるという問題があった。さらに、万一紫外線照射ラン
プの不良により、上記の点検作業や交換以前に紫外線照
射量が低下した場合には、一時的にクリーニング機能が
低下し、製品の品質を低下させる。

【０００８】このような問題を解決するには、紫外線照
射ランプの照射する紫外線量を常時モニタするために、
紫外線照射ランプ近傍に紫外線強度計を配置しておくこ
とが考えられる。ところが、紫外線強度計は比較的大型
になり紫外線を遮るため、対象物に照射される紫外線量
が減少してしまい、現実的でないという問題があった。

【０００９】また、紫外線強度計を紫外線照射ランプの
真上に配置することも可能ではあるが、紫外線照射ラン
プの近傍や真上に紫外線強度計を常時配置する場合には
強度計がオゾンに直接接触することにより劣化してしま
うという他の問題もあった。さらに、紫外線強度計は測
定すべき紫外線量が増えるほど非常に高価になるため、
紫外線強度計を使用した紫外線照射装置は装置全体のコ
スト高の要因となるという問題もあった。

【００１０】その他、クリーニングの品質に関係するオ
ゾン化の状況は、紫外線照射ランプの強度、クリーニン
グの品質に関して極めて重要である紫外線照射ランプと
照射されるべき基板との距離、紫外線照射ランプの種類
あるいは温度や雰囲気等周囲の環境条件によっても変化
するものであり、このように紫外線照射ランプの交換に
は種々の要因が関係しているために一律に時間で管理す
る方法は適切とはいえない。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は以上の点を解決
するため次の構成を採用する。 〈構成１〉対象物に紫外線を照射する紫外線照射ランプ
と、上記紫外線照射ランプと対象物を収容した本体ケー
スと、上記本体ケース内部の所定位置の気体をサンプリ
ングするサンプリング手段と、上記サンプリング手段に
よりサンプリングした気体中のオゾン濃度を測定するオ
ゾン濃度測定器と、上記オゾン濃度測定器の測定値に基
づいて上記紫外線照射ランプの動作状態を表示する状態
表示器とを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。

【００１２】〈構成２〉対象物に紫外線を照射する複数
の紫外線照射ランプと、上記紫外線照射ランプと対象物
を収容した本体ケースと、上記本体ケース内部の各紫外
線照射ランプ近傍の気体をサンプリングするサンプリン
グ手段と、上記サンプリング手段によりサンプリングし
た気体中のオゾン濃度を測定するオゾン濃度測定器と、
上記オゾン濃度測定器の測定値に基づいて上記全ての紫
外線照射ランプの動作状態を表示する状態表示器とを備
えたことを特徴とする紫外線照射装置。

【００１３】〈構成３〉構成１に記載の紫外線照射装置
において、上記サンプリング手段は、接続本体ケースの
上記紫外線照射ランプの近傍に一端を開口し、他端を上
記オゾン濃度測定器の測定室に開口した吸気管からなる
ことを特徴とする紫外線照射装置。

【００１４】〈構成４〉紫外線照射ランプと紫外線を照
射する対象物とを収容した本体ケースに設けたサンプリ
ング手段により、上記紫外線照射ランプ近傍の気体をサ
ンプリングし、上記サンプリング手段によりサンプリン
グした気体中のオゾン濃度を測定して、上記オゾン濃度
の測定値に基づいて、上記紫外線照射ランプの動作状態
を判定することを特徴とする紫外線照射装置。

【００１５】〈構成５〉複数の紫外線照射ランプと紫外
線を照射する対象物とを収容した本体ケースに設けたサ
ンプリング手段により、上記各紫外線照射ランプ近傍の
複数箇所の気体を順番にサンプリングし、上記サンプリ
ング手段によりサンプリングした気体中のオゾン濃度を
測定して、上記オゾン濃度の全ての測定値を表示して、
上記全ての紫外線照射ランプの動作状態を比較判定する
ことを特徴とする紫外線照射装置の制御方法。

【００１６】〈構成６〉複数の紫外線照射ランプと紫外
線を照射する対象物とを収容した本体ケースに設けたサ
ンプリング手段により、上記各紫外線照射ランプ近傍の
複数箇所の気体を順番にサンプリングし、上記サンプリ
ング手段によりサンプリングした気体中のオゾン濃度を
測定して、上記オゾン濃度の全ての測定値を表示して、
上記各紫外線照射ランプの動作状態を調整することを特
徴とする紫外線照射装置の制御方法。

【００１７】〈構成７〉対象物に紫外線を照射する紫外
線照射ランプと、上記紫外線照射ランプと対象物を収容
した本体ケースと、上記本体ケース内部の所定位置に一
端を配置し、他端を上記本体ケースの外部に配置した紫
外光ガイドと、この紫外光ガイドの他端側に配置したシ
ャッターと、このシャッターが上記紫外光ガイドの他端
側を開放したとき、当該紫外光ガイドの他端から出力さ
れる紫外線の強度を測定する紫外線強度センサとを備え
たことを特徴とする紫外線照射装置。

【００１８】〈構成８〉構成７に記載の紫外線照射装置
において、複数の紫外線照射ランプと、各紫外線照射ラ
ンプの近傍にそれぞれ一端を配置し、他端を上記本体ケ
ースの外部に配置した紫外光ガイドとを備え、各紫外光
ガイドの他端側に配置したシャッターを常時閉鎖して、
所定のタイミングで所定時間だけ当該シャッターを開放
し、上記紫外線強度センサにより紫外線の強度を測定す
るように制御する、測定制御部を備えたことを特徴とす
る紫外線照射装置。

【００１９】〈構成９〉構成７または８に記載の紫外線
照射装置において、上記紫外光ガイドは、所定の紫外光
減衰特性を有するように、その全長を選定したことを特
徴とする紫外線照射装置。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を具体
例を用いて説明する。図１は本発明の紫外線照射装置を
模式的に表した図である。図１を用いて本発明の紫外線
照射装置とこの装置を用いて行う紫外線照射装置の制御
方法を説明する。

【００２１】図１において、紫外線照射ランプ１とステ
ージ２の上に載置された対象物３が本体ケース４内に収
容されている。紫外線照射ランプ１は、ステージ２の上
に載置された対象物３に紫外線を照射し、その表面に付
着した有機物を分解する。一方、紫外線は本体ケース４
の内部の酸素をオゾンに変化させる。このオゾンの活性
によって、紫外線により分解した対象物３の表面に付着
したままの有機物がガス化する。本体ケース４には後で
説明するように、このガスを排出する機構が設けられて
いる。

【００２２】紫外線照射ランプ１の紫外線照射量が減少
するとこのような機能が低下する。本発明では、上記の
ような紫外線照射による対象物のクリーニングを実行中
に紫外線照射量をモニタする。この場合に、紫外線照射
量を直接モニタするのではなく、紫外線照射量と関連性
の深いオゾン発生量をモニタする。このために、本体ケ
ース４には外部から本体ケース４内の気体をサンプリン
グするための吸気管５が挿入されている。

【００２３】この吸気管５は一端の開口が紫外線照射ラ
ンプ１の近傍に配置され、他端の開口がオゾン濃度測定
器６の測定室に接続されている。この吸気管５により、
紫外線照射ランプ１の近傍の気体が吸気管５により吸引
され、オゾン濃度測定器６の測定室に送られてオゾン濃
度が測定される。既知のオゾン濃度測定器にはオゾン濃
度を数値表示できるものがある。例えば電解式の測定器
は小型で高感度であり、周辺の影響を受けにくい特徴を
有している。このようにして測定されたオゾン濃度は液
晶表示板等の状態表示器７を用いて、この測定結果を表
示する。

【００２４】ここで、紫外線照射ランプの紫外線強度と
オゾン濃度の関係を予め求めておけば、表示されたオゾ
ン濃度の数値から紫外線照射ランプの強度の状況が把握
でき、紫外線照射ランプの運転状態を診断することがで
きる。従って、紫外線照射ランプの交換時期を事前に把
握することが可能となり、ランプの交換態勢を整えるこ
とができるため、運転停止の時間的なロスを最小限にす
ることができる。また、紫外線照射ランプの過負荷を防
止することができ、ひいてはランプの寿命を長くするこ
とが可能となる。

【００２５】この、具体例の装置では、測定したオゾン
濃度に基づいて紫外線照射ランプ１のパワーを自動制御
できる。即ち、測定されたオゾン濃度に相当する信号
は、変換器８に入力する。変換器８は、オゾン濃度に相
当する信号を紫外線照射ランプ１の電源制御信号に変換
する。変換器８の出力は電源コントローラー９に入力
し、基準値よりも照射量が低下している場合には、照射
量が基準値に達するまでパワーをアップさせる。こうし
て、予め定めた基準値に紫外線照射ランプ１のパワーが
自動調整される。

【００２６】このような方法を用いると、本体ケース４
内の対象物クリーニング作業を中断することなく、紫外
線照射ランプ１の動作状態をリアルタイムで判定でき
る。また測定したオゾン濃度に基づいて紫外線照射ラン
プ１のパワーを調整制御できるため、照射領域全体の紫
外線照度分布を均一化することができ、極めて効率的で
あるとともに品質の安定性も確保でき、紫外線照射ラン
プも適切に交換することができる。

【００２７】なお、本体ケース４にはガス導入管１０を
通じてクリーンエアが導入される。紫外線照射によって
生じたオゾンや有機物が分解して発生したガスは、排気
管１１から、オゾンスクラバ１２内の触媒により分解さ
れ、ブロワー１３を通して外部へ排出されるようになっ
ている。

【００２８】図２は複数の紫外線照射ランプを用いた紫
外線照射装置とその制御方法を説明する図である。な
お、図２において図１と同一の箇所は同一番号で表すこ
ととする。

【００２９】図２において、複数の紫外線照射ランプ
１、１、・・・とステージ２の上に載置された対象物３
が本体ケース４内に収容されている。本体ケース４には
外部から本体ケース４内の気体をサンプリングするため
の複数の吸気管５、５、・・・が挿入されている。この
吸気管５、５・・・は一端の開口が紫外線照射ランプ
１、１・・・の近傍の各紫外線照射ランプの間に配置さ
れ、他端の開口はオゾン濃度測定器６の測定室に接続さ
れている。なお、それぞれの吸気管５、５・・・には本
体ケース４からオゾン濃度測定器６の測定室へ向かう気
体の流路を開閉するためのバルブ１４、１５、１６、１
７、１８が設けられている。

【００３０】図１で説明した装置と同様に、紫外線照射
ランプ１、１・・・の近傍の気体は吸気管５、５・・・
により吸引され、オゾン濃度測定器６の測定室に送られ
てそれぞれのオゾン濃度が測定され、状態表示器７に表
示される。状態表示器７はオゾン濃度の測定結果に基づ
いて全ての紫外線照射ランプ１、１・・・の動作状態を
表示できることが好ましい。あるいは、各紫外線照射ラ
ンプの動作状態をそれぞれ個別に一定の順でかわるがわ
る表示できるようにしてもよい。

【００３１】吸気管５、５・・・の中間に設けられてい
るバルブ１４、１５、１６、１７、１８はＣＰＵ１９の
制御ポートに接続されており、ＣＰＵ１９からの指示に
より順番にバルブを開放状態にしてサンプリングを行う
ように構成されている。即ち、バルブ１４が開放状態の
時はバルブ１５、１６、１７、１８は閉状態に保持さ
れ、次にバルブ１５が開放状態となるとバルブ１４、１
６、１７、１８が閉状態を保持される。このように順次
一つのバルブが開放状態の時、他のバルブは閉状態とな
るようにされ、バルブ同士が互いに排他的なタイミング
で開放されるようになっている。

【００３２】この図では、図示を省略したが、本体ケー
ス４には、図１の装置と同様に、ガス導入管と排気管と
が接続されている。例えば、バルブ１４が開放状態にな
ると、このバルブ１４を備えた吸気管５を通じてサンプ
リングされた気体が、オゾン濃度測定器６の測定室に送
られる。ＣＰＵ１９は、開放したバルブに対応した状態
表示器７上の表示位置に、測定結果を表示する。次のタ
イミングで、バルブ１５が開放状態になると、このバル
ブ１５を備えた吸気管５によりサンプリングされた気体
が、オゾン濃度測定器６の測定室に送られる。

【００３３】こうして、本体ケース４の内部の気体が順
番にサンプリングされて、複数の紫外線照射ランプ１、
１・・・の近傍のオゾン濃度が順番に測定される。な
お、バルブ１４を閉じてバルブ１５を開放したときは、
オゾン濃度測定器６の測定室内部の気体が完全に新たな
気体に入れ替わるまで所定時間待ってから測定を行うと
良い。こうして、気体が複数のバルブからかわるがわる
吸気され、正確に各部のオゾン濃度を測定できる。

【００３４】上記のように測定された本体ケース各部の
オゾン濃度は、次々に状態表示器７に表示される。この
結果、紫外線照射ランプ１、１・・・のそれぞれの動作
状態がリアルタイムで比較判定できる。また、図１で説
明した装置と同様にして、変換器８と電源コントローラ
ー９により、紫外線照射ランプの照射量を自動制御する
こともできる。また、例えば、対象物に照射処理中、突
然いずれかの紫外線照射ランプが異常消灯したような場
合に、その状態を警報機等で知らせるようにすれば、早
急に対応をすることができ、照射処理の不十分な製品が
でるのを防止できる。とくに複数の紫外線照射ランプを
使用している装置では、一本のランプが消灯したり、急
激に照射量が不足しても見逃される場合もあり、本発明
の装置はこれに有効に対処できるという効果がある。

【００３５】図３は、サンプリング手段の本体ケースへ
の取り付け方法を説明するための図で、（ａ）は本体ケ
ースの上面図、（ｂ）は本体ケースを紫外線照射ランプ
の側面から見た図、（ｃ）はその本体ケースを紫外線照
射ランプの端面から見た図、（ｄ）は本体ケースを紫外
線照射ランプの側面から見た図である。サンプリング方
法は、様々なものが考えられるが、上記のように吸気管
を使用することがもっとも簡便で堅牢である。図の
（ａ）において、本体ケース４には、図示しない上蓋部
分から３本の吸気管５が丁度紫外線照射ンプ１の高さと
同じ高さまでその先端開口を下ろすように配置されてい
る。図の（ｂ）に紫外線照射ランプ１と吸気管５との位
置関係を示す。このようにすると、各紫外線照射ランプ
１の照射光を吸気管５がさえぎることなく気体のサンプ
リングができる。しかも、対象物にもっとも近い位置で
オゾン濃度を測定できるという効果がある。

【００３６】なお、この種の装置では、図の（ｃ）に示
すように紫外線照射ランプ１の照射光を効率よく対象物
３に照射するために、反射板２０を使用する。吸気管５
の開口は、これらの反射板２０の最下部に位置するよう
に取り付けるとよい。これで、反射光を遮らず適切な位
置で気体のサンプリングができる。また、上記の例では
吸気管５を垂直に配置したが、吸気管５を水平に配置す
る事もできる。図の（ｄ）はその例を示している。この
場合には、吸気管５先端はできるだけオゾン濃度測定に
適した本体ケースの中心部まで達するようにすることが
好ましい。

【００３７】図４は，本体ケースの吸気排気機構の具体
例を示す配管図である。図のように、本体ケース４に
は、吸気のためにフィルタ２１と吸気バルブ２２が取り
付けられている。また、排気のためにオゾンスクラバ２
７とブロワー２８が取り付けられている。本体ケース４
からの排気は、流量調整バルブ２４と開閉バルブ２５か
らオゾンスクラバ２７に通じるルートを通る。この排気
系は装置の動作中常に開放され、本体ケース４の内部に
清浄な空気を取り込むようにしている。

【００３８】オゾン濃度測定器６が動作するときは、図
２に示したバルブ１４〜１８が開く。そのとき本体ケー
ス４からオゾン濃度測定器６に吸い込まれ気体はパイプ
２６を通じてオゾンスクラバ２７に送り込まれる。この
動作を適当な時間間隔で繰り返す事により順に本体ケー
ス内部の気体をサンプリングできる。紫外線の照射量は
短時間に急激に変化するものではないから、気体のサン
プリング間隔は比較的長くても支障はない。

【００３９】図５は、本発明の別の具体例を示し、
（ａ）は紫外線照射装置の断面図、（ｂ）はこの装置の
シャッターの動作説明図である。図の装置は、対象物３
に紫外線を照射する紫外線照射ランプ１の直上に、反射
板２０を配置している。さらに、この反射板２０のほぼ
中央を貫通して、紫外線照射ランプ１に近接した位置に
一端を配置し、他端を本体ケース４の外部に配置した、
紫外光ガイド３０を備える。この紫外光ガイド３０の他
端側には、シャッター３１と紫外線強度センサ３２が配
置されている。紫外光ガイド３０は、例えば、石英棒か
ら成る。紫外光ガイド３０の一端を紫外線照射ランプ１
に近接した位置に配置したのは、紫外線照射ランプ１か
ら発射された紫外線を、散乱させずに外部に導き出すた
めである。紫外光ガイド３０の他端を本体ケース４の外
部に配置したのは、本体ケースの内部に紫外線強度セン
サ３２を配置すると、紫外線強度センサ３２の紫外線に
よる劣化が激しいからである。

【００４０】紫外光ガイド３０の内部では、その一端か
ら他端に向かって紫外線が伝搬する。紫外線強度センサ
３２はこの紫外線を測定する。石英棒の外周には必要に
応じて保護被覆を施してもよい。また、光ファイバのよ
うな内部に屈折率分布をもたせた構造の石英棒を使用し
てもよい。なお、本発明では、紫外線強度センサ３２の
紫外線による劣化を防止するために、紫外光減衰特性を
有する紫外光ガイド３０を使用する。石英の材質を選定
することでこの紫外光減衰特性を与えてもよいし、石英
棒の長さを調整することで、この紫外光減衰特性を与え
てもよい。実際に、紫外線照射ランプ１の直下で紫外線
を測定する場合に比べて数十パーセント紫外線の強度を
減衰させることができれば、それだけ紫外線強度センサ
３２の長寿命化を図ることができる。

【００４１】また、シャッター３１は、紫外線強度セン
サ３２が紫外線の強度を測定するとき以外は常時閉鎖し
ているように制御される。この制御を測定制御部３３で
行う。図の（ｂ）に示すように、シャッター３１のブレ
ード３５は、常時閉鎖しており、紫外光ガイド３０を通
じて到達する紫外線３６が紫外線強度センサ３２に入射
しない。そして、例えば、一定の周期で紫外線の強度を
測定するとき、シャッター３１のブレード３５が開放さ
れ、紫外光ガイド３０を通じて紫外線３６が紫外線強度
センサ３２に入射する。この時間を紫外線強度測定に必
要な最短時間にして、再びシャッター３１のブレード３
５を閉鎖する。

【００４２】このような制御をすることにより、紫外線
強度センサ３２の紫外線による劣化をさらに抑制するこ
とができる。上記の測定制御部３３は、例えば、図５の
（ａ）に示す３台の紫外線強度センサ３２のシャッター
３１をタイマーによって、順番に周期的に一定時間ずつ
開放する制御を繰り返す。その測定結果は電気信号に変
換されて測定制御部３３に入力する。検出した紫外線強
度は、紫外光ガイド３０の紫外光減衰特性に応じて換算
されて記録される。こうして、紫外線照射ランプ１の発
光強度をモニタできる。

【００４３】なお、本発明は上記した実施の形態に限定
されない。例えば、エッチングの他、アッシング、重合
および成膜プロセス等にも応用することが可能である。

【００４４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、本体ケー
ス内部で紫外線照射により発生したオゾン濃度を測定す
ることにより、作業を中断することなく紫外線照射ラン
プの動作状態をリアルタイムで監視することができる。
故に、測定したオゾン濃度に基づいて紫外線照射ランプ
のパワーを調整、制御できる。これにより、紫外線を照
射して処理をする対象物の品質の安定性も確保できる。
さらに、紫外線照射ランプも適切な時期に交換すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による紫外線照射装置の一実施例を表す
図である。

【図２】本発明による紫外線照射装置の他の実施例を表
す図である。

【図３】（ａ）は本体ケースの上面図、（ｂ）は本体ケ
ースを紫外線照射ランプの側面から見た図、（ｃ）はそ
の本体ケースを紫外線照射ランプの端面から見た図、
（ｄ）は（ｂ）とは別の構成の本体ケースを紫外線照射
ランプの側面から見た図である。

【図４】本体ケースの吸気排気機構の具体例を示す配管
図である。

【図５】本発明の別の具体例を示し、（ａ）は紫外線照
射装置の断面図、（ｂ）はこの装置のシャッターの動作
説明図である。

【符号の説明】

１ 紫外線照射ランプ ２ ステージ ３ 対象物 ４ 本体ケース ５ 吸気管 ６ オゾン濃度測定器 ７ 状態表示器 ８ 変換器 ９ 電源コントローラー １０ ガス導入管 １１ 排気管 １２ オゾンスクラバ １３ ブロワー １４、１５、１６、１７、１８ バルブ １９ ＣＰＵ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象物に紫外線を照射する紫外線照射ラ
   ンプと、 前記紫外線照射ランプと対象物を収容した本体ケース
   と、 前記本体ケース内部の所定位置の気体をサンプリングす
   るサンプリング手段と、 前記サンプリング手段によりサンプリングした気体中の
   オゾン濃度を測定するオゾン濃度測定器と、 前記オゾン濃度測定器の測定値に基づいて前記紫外線照
   射ランプの動作状態を表示する状態表示器とを備えたこ
   とを特徴とする紫外線照射装置。
2. 【請求項２】 対象物に紫外線を照射する複数の紫外線
   照射ランプと、 前記紫外線照射ランプと対象物を収容した本体ケース
   と、 前記本体ケース内部の各紫外線照射ランプ近傍の気体を
   サンプリングするサンプリング手段と、 前記サンプリング手段によりサンプリングした気体中の
   オゾン濃度を測定するオゾン濃度測定器と、 前記オゾン濃度測定器の測定値に基づいて前記全ての紫
   外線照射ランプの動作状態を表示する状態表示器とを備
   えたことを特徴とする紫外線照射装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の紫外線照射装置におい
   て、 前記サンプリング手段は、 接続本体ケースの前記紫外線照射ランプの近傍に一端を
   開口し、他端を前記オゾン濃度測定器の測定室に開口し
   た吸気管からなることを特徴とする紫外線照射装置。
4. 【請求項４】 紫外線照射ランプと紫外線を照射する対
   象物とを収容した本体ケースに設けたサンプリング手段
   により、前記紫外線照射ランプ近傍の気体をサンプリン
   グし、 前記サンプリング手段によりサンプリングした気体中の
   オゾン濃度を測定して、 前記オゾン濃度の測定値に基づいて、前記紫外線照射ラ
   ンプの動作状態を判定することを特徴とする紫外線照射
   装置。
5. 【請求項５】 複数の紫外線照射ランプと紫外線を照射
   する対象物とを収容した本体ケースに設けたサンプリン
   グ手段により、前記各紫外線照射ランプ近傍の複数箇所
   の気体を順番にサンプリングし、 前記サンプリング手段によりサンプリングした気体中の
   オゾン濃度を測定して、 前記オゾン濃度の全ての測定値を表示して、前記全ての
   紫外線照射ランプの動作状態を比較判定することを特徴
   とする紫外線照射装置の制御方法。
6. 【請求項６】 複数の紫外線照射ランプと紫外線を照射
   する対象物とを収容した本体ケースに設けたサンプリン
   グ手段により、前記各紫外線照射ランプ近傍の複数箇所
   の気体を順番にサンプリングし、 前記サンプリング手段によりサンプリングした気体中の
   オゾン濃度を測定して、 前記オゾン濃度の全ての測定値を表示して、 前記各紫外線照射ランプの動作状態を調整することを特
   徴とする紫外線照射装置の制御方法。
7. 【請求項７】 対象物に紫外線を照射する紫外線照射ラ
   ンプと、 前記紫外線照射ランプと対象物を収容した本体ケース
   と、 前記本体ケース内部の所定位置に一端を配置し、他端を
   前記本体ケースの外部に配置した紫外光ガイドと、 この紫外光ガイドの他端側に配置したシャッターと、 このシャッターが前記紫外光ガイドの他端側を開放した
   とき、当該紫外光ガイドの他端から出力される紫外線の
   強度を測定する紫外線強度センサとを備えたことを特徴
   とする紫外線照射装置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の紫外線照射装置におい
   て、 複数の紫外線照射ランプと、各紫外線照射ランプの近傍
   にそれぞれ一端を配置し、他端を前記本体ケースの外部
   に配置した紫外光ガイドとを備え、 各紫外光ガイドの他端側に配置したシャッターを常時閉
   鎖して、所定のタイミングで所定時間だけ当該シャッタ
   ーを開放し、前記紫外線強度センサにより紫外線の強度
   を測定するように制御する、測定制御部を備えたことを
   特徴とする紫外線照射装置。
9. 【請求項９】 請求項７または８に記載の紫外線照射装
   置において、 前記紫外光ガイドは、所定の紫外光減衰特性を有するよ
   うに、その全長を選定したことを特徴とする紫外線照射
   装置。