JP2001124692A - 微粒子計測装置 - Google Patents
微粒子計測装置Info
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 29
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 23
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- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 5
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 純水や超純水中に含まれている微粒子の個数
を、従来にくらべて格段と少ない誤差で検出できるよう
にする。 【解決手段】 試料流体中の粒子数を計測する微粒子検
出部１０と、上記微粒子検出部に試料流体を供給する供
給管１１と、前記検出部から出る計測済みの試料流体を
受入れて排出する排出管１２とを備えた微粒子計測装置
において、前記供給管と排出管との間に、前記微粒子検
出部と並列に分岐管１３を設け、供給管の上記分岐管と
の分岐点１４から微粒子検出部までの間を配管１５のみ
で接続する。
を、従来にくらべて格段と少ない誤差で検出できるよう
にする。 【解決手段】 試料流体中の粒子数を計測する微粒子検
出部１０と、上記微粒子検出部に試料流体を供給する供
給管１１と、前記検出部から出る計測済みの試料流体を
受入れて排出する排出管１２とを備えた微粒子計測装置
において、前記供給管と排出管との間に、前記微粒子検
出部と並列に分岐管１３を設け、供給管の上記分岐管と
の分岐点１４から微粒子検出部までの間を配管１５のみ
で接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体製
造工場における超純水装置の微粒子管理などで、特にそ
の管理基準が厳しく測定誤差を低減する必要がある場合
に、測定誤差を格段に低減することができる微粒子計測
装置に関する。
造工場における超純水装置の微粒子管理などで、特にそ
の管理基準が厳しく測定誤差を低減する必要がある場合
に、測定誤差を格段に低減することができる微粒子計測
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】純水や超純水などの流体中に含まれてい
る微粒子の個数を光散乱法により測定する微粒子カウン
タなどの検出部に試料流体を通過流動させ、該試料流体
中の粒子数を計測することは、従来から公知である。
る微粒子の個数を光散乱法により測定する微粒子カウン
タなどの検出部に試料流体を通過流動させ、該試料流体
中の粒子数を計測することは、従来から公知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、半導体産業など
で用いられる純水や超純水中の微粒子数の計測において
許容される測定誤差は１０〜数１０個／ｍ立程度であっ
たが、近年１０個／ｍ立以下の精度が要求されるように
なってきた。このため、微粒子検出部への試料流体の供
給管に設けられた継ぎ手やバルブなどに試料流体が滞留
することにより生じる汚染が問題となるようになった。
この汚染の影響は汚染個所を通過する流体流量を増やす
ことで軽減されうるが、前記微粒子検出部ではレーザー
光などを用いた高感度での微粒子濃度の測定を行うた
め、試料流体の流量を増やすことは困難であった。
で用いられる純水や超純水中の微粒子数の計測において
許容される測定誤差は１０〜数１０個／ｍ立程度であっ
たが、近年１０個／ｍ立以下の精度が要求されるように
なってきた。このため、微粒子検出部への試料流体の供
給管に設けられた継ぎ手やバルブなどに試料流体が滞留
することにより生じる汚染が問題となるようになった。
この汚染の影響は汚染個所を通過する流体流量を増やす
ことで軽減されうるが、前記微粒子検出部ではレーザー
光などを用いた高感度での微粒子濃度の測定を行うた
め、試料流体の流量を増やすことは困難であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した問題
点を解消するために開発されたもので、試料流体中の粒
子数を計測する微粒子検出部と、上記微粒子検出部に試
料流体を供給する供給管と、前記検出部から出る計測済
みの試料流体を受入れて排出する排出管とを備えた微粒
子計測装置において、前記供給管と排出管との間に、前
記微粒子検出部と並列に分岐管を設け、供給管の上記分
岐管との分岐点から微粒子検出部までの間を配管のみで
接続したことを特徴とする。そして、前記分岐管に流量
調整装置を接続したり、前記排出管に、分岐管との合流
点よりも上流に流量調整装置を設けたりすることが好ま
しい。
点を解消するために開発されたもので、試料流体中の粒
子数を計測する微粒子検出部と、上記微粒子検出部に試
料流体を供給する供給管と、前記検出部から出る計測済
みの試料流体を受入れて排出する排出管とを備えた微粒
子計測装置において、前記供給管と排出管との間に、前
記微粒子検出部と並列に分岐管を設け、供給管の上記分
岐管との分岐点から微粒子検出部までの間を配管のみで
接続したことを特徴とする。そして、前記分岐管に流量
調整装置を接続したり、前記排出管に、分岐管との合流
点よりも上流に流量調整装置を設けたりすることが好ま
しい。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１，図２，図３は夫々本発明の
実施形態の三例を示すもので、図中、１０は流体中に含
まれている粒子数を光（レーザ）散乱法で測定する微粒
子カウンタや、遠心濾過により測定する周知の微粒子検
出部、１１は超純水などの試料流体を上記微粒子検出部
に供給する供給管、１２は上記検出部から出る計測済み
の試料流体を受け入れて排出する排出管を示す。
実施形態の三例を示すもので、図中、１０は流体中に含
まれている粒子数を光（レーザ）散乱法で測定する微粒
子カウンタや、遠心濾過により測定する周知の微粒子検
出部、１１は超純水などの試料流体を上記微粒子検出部
に供給する供給管、１２は上記検出部から出る計測済み
の試料流体を受け入れて排出する排出管を示す。
【０００６】上記供給管１１と排出管１２との間には前
記微粒子検出部１０と並列に分岐管１３を設けてある。
供給管１１は分岐管１３と分岐点１４で接続し、排出管
１２は分岐管１３と合流点１６で接続する。供給管１１
の分岐点１４から微粒子検出部１０までの区間は配管１
５のみからなる。
記微粒子検出部１０と並列に分岐管１３を設けてある。
供給管１１は分岐管１３と分岐点１４で接続し、排出管
１２は分岐管１３と合流点１６で接続する。供給管１１
の分岐点１４から微粒子検出部１０までの区間は配管１
５のみからなる。
【０００７】供給管１１の上流にある開閉弁Ｖを開にす
ると、供給管１１には、微粒子検出部１０に供給する流
量よりも多い流量の試料流体が流れ込む。
ると、供給管１１には、微粒子検出部１０に供給する流
量よりも多い流量の試料流体が流れ込む。
【０００８】従って、供給管１１の、分岐管１３が接続
した分岐点１４のＴ形管継ぎ手や、それよりも上流の例
えば上記開閉弁Ｖで発生した汚染は多量の試料流体で希
釈される。そして、分岐点１４から微粒子検出部１０ま
での区間は汚染を生じない配管１５のみからなるため、
汚染を希釈された所定流量の試料流体が微粒子検出部１
０に供給され、該検出部は試料流体中の粒子数を少ない
誤差で検出する。
した分岐点１４のＴ形管継ぎ手や、それよりも上流の例
えば上記開閉弁Ｖで発生した汚染は多量の試料流体で希
釈される。そして、分岐点１４から微粒子検出部１０ま
での区間は汚染を生じない配管１５のみからなるため、
汚染を希釈された所定流量の試料流体が微粒子検出部１
０に供給され、該検出部は試料流体中の粒子数を少ない
誤差で検出する。
【０００９】そして、供給管には、微粒子検出部１０に
供給される流量よりも多い多流量の試料流体が流れ込む
ため供給管１１の、分岐管との分岐点１４よりも上流で
発生した汚染は多流量の試料流体で剥離、除去されるた
め、測定の開始後、測定値が安定するまでの安定時間
は、分岐管１３を無くし、微粒子検出部に検出に必要な
流量の試料流体を供給管１１から供給するよりは遙かに
短縮する。
供給される流量よりも多い多流量の試料流体が流れ込む
ため供給管１１の、分岐管との分岐点１４よりも上流で
発生した汚染は多流量の試料流体で剥離、除去されるた
め、測定の開始後、測定値が安定するまでの安定時間
は、分岐管１３を無くし、微粒子検出部に検出に必要な
流量の試料流体を供給管１１から供給するよりは遙かに
短縮する。
【００１０】開閉弁Ｖから供給管１１に流入する装置へ
の試料流体の流量は２０〜１００００ｍ立／分好ましく
は５０〜５０００ｍ立／分、分岐点１４から配管１５で
微粒子検出部１０に供給する試料流体の流量は５〜５０
０ｍ立／分、好ましくは１０〜３００ｍ立／分で、その
比（装置流入流量／検出部流量）は２〜１０００倍、好
ましくは５〜３００倍にし、微粒子検出部に供給される
以外の過剰な流量の試料流体は分岐管１３に流し、検出
部１０で計測した計測済みの試料流体と合流点１６で合
流させて排出管１２により系外に排出する。
の試料流体の流量は２０〜１００００ｍ立／分好ましく
は５０〜５０００ｍ立／分、分岐点１４から配管１５で
微粒子検出部１０に供給する試料流体の流量は５〜５０
０ｍ立／分、好ましくは１０〜３００ｍ立／分で、その
比（装置流入流量／検出部流量）は２〜１０００倍、好
ましくは５〜３００倍にし、微粒子検出部に供給される
以外の過剰な流量の試料流体は分岐管１３に流し、検出
部１０で計測した計測済みの試料流体と合流点１６で合
流させて排出管１２により系外に排出する。
【００１１】図４，図５は図１の実施形態を使用し、装
置への試料流体の流量を１０００ｍ立／分、検出部への
試料流体の供給流量を１０ｍ立／分にして運転を行った
場合と、微粒子検出部に同じ試料流体を同じ流量（１０
ｍ立／分）で供給した分岐配管を持たない従来法の装置
での測定値と、測定開始からの測定値の変化を比較して
示すグラフである。尚、試料流体にはＵＦ膜処理後の超
純水を使用し、微粒子検出部１０には光散乱法の微粒子
カウンタを用いた。
置への試料流体の流量を１０００ｍ立／分、検出部への
試料流体の供給流量を１０ｍ立／分にして運転を行った
場合と、微粒子検出部に同じ試料流体を同じ流量（１０
ｍ立／分）で供給した分岐配管を持たない従来法の装置
での測定値と、測定開始からの測定値の変化を比較して
示すグラフである。尚、試料流体にはＵＦ膜処理後の超
純水を使用し、微粒子検出部１０には光散乱法の微粒子
カウンタを用いた。
【００１２】図４のグラフによれば、本発明の実施形態
の測定値は０．５（個／ｍ立）であるのに対し、従来法
では５．４（個／ｍ立）で、汚染による測定誤差は＋５
（個／ｍ立）になり、本発明での測定値の精度は格段と
向上していたことが分かる。
の測定値は０．５（個／ｍ立）であるのに対し、従来法
では５．４（個／ｍ立）で、汚染による測定誤差は＋５
（個／ｍ立）になり、本発明での測定値の精度は格段と
向上していたことが分かる。
【００１３】図５のグラフによれば、本発明によれば測
定開始から約６０時間で測定値の変化が無くなり、安定
時間は約６０時間であるのに対し、従来法では測定開始
から１８０時間を経過しても未だ安定していなかった。
つまり、本発明によれば、測定開始からの安定時間が従
来法に較べて格段と早く到達することが分かる。
定開始から約６０時間で測定値の変化が無くなり、安定
時間は約６０時間であるのに対し、従来法では測定開始
から１８０時間を経過しても未だ安定していなかった。
つまり、本発明によれば、測定開始からの安定時間が従
来法に較べて格段と早く到達することが分かる。
【００１４】図２の実施形態では、微粒子検出部１０の
下流の排出管１２には合流点１６に至るまでの途中に流
量計２０を接続し、分岐管１３には流量調整装置２１、
例えばニードル弁を接続してある。これにより開閉弁Ｖ
から供給管１１に流入した試料流体のうち、管１５から
微粒子検出部１０に供給される流体の流量を、流量計２
０で確認しながら流量調整装置２１の開度を調整するこ
とによって最適に保つことができる。
下流の排出管１２には合流点１６に至るまでの途中に流
量計２０を接続し、分岐管１３には流量調整装置２１、
例えばニードル弁を接続してある。これにより開閉弁Ｖ
から供給管１１に流入した試料流体のうち、管１５から
微粒子検出部１０に供給される流体の流量を、流量計２
０で確認しながら流量調整装置２１の開度を調整するこ
とによって最適に保つことができる。
【００１５】又、図３の実施例では、図２の実施例に加
えて排出管１２に微粒子検出部１０と流量計２０との間
にもう１つの流量調整装置２２、例えばニードル弁を接
続してある。これにより微粒子検出部１０に供給される
試料流体の流量を流量計２０で確認しながら、双方の流
量調整装置２１，２２を調整し、最適に保つことができ
る。この図３の実施例では分岐管１３に設けた流量調整
装置２１を省略しても同じ効果が得られる。
えて排出管１２に微粒子検出部１０と流量計２０との間
にもう１つの流量調整装置２２、例えばニードル弁を接
続してある。これにより微粒子検出部１０に供給される
試料流体の流量を流量計２０で確認しながら、双方の流
量調整装置２１，２２を調整し、最適に保つことができ
る。この図３の実施例では分岐管１３に設けた流量調整
装置２１を省略しても同じ効果が得られる。
【００１６】
【発明の効果】以上で明らかなように、本発明によれば
従来にくらべて粒子数を格段と少ない誤差で検出できる
ため、厳しい管理基準に対応できる微粒子計測装置を提
供でき、品質管理のレベルアップや、純水装置等の診断
能力の向上が図れる。その上、測定開始から安定時間に
達するまでの所要時間が著しく短縮されるので、迅速に
測定が行える。
従来にくらべて粒子数を格段と少ない誤差で検出できる
ため、厳しい管理基準に対応できる微粒子計測装置を提
供でき、品質管理のレベルアップや、純水装置等の診断
能力の向上が図れる。その上、測定開始から安定時間に
達するまでの所要時間が著しく短縮されるので、迅速に
測定が行える。
【図１】本発明の第１実施形態のフローシート。
【図２】本発明の第２実施形態のフローシート。
【図３】本発明の実施形態の他の一例のフローシート。
【図４】本発明と従来装置による測定値の誤差を示すグ
ラフ。
ラフ。
【図５】本発明と従来装置による測定開始からの測定値
の変化を示すグラフ。
の変化を示すグラフ。
１０ 微粒子検出部 １１ 供給管 １２ 排出管 １３ 分岐管 １４ 分岐点 １５ 分岐点から微粒子検出部までの管 １６ 合流点 ２０ 流量計 ２１，２２ 流量調整装置（ニードル弁）
Claims (3)
- 【請求項１】 試料流体中の粒子数を計測する微粒子検
出部と、上記微粒子検出部に試料流体を供給する供給管
と、前記検出部から出る計測済みの試料流体を受入れて
排出する排出管とを備えた微粒子計測装置において、前
記供給管と排出管との間に、前記微粒子検出部と並列に
分岐管を設け、供給管の上記分岐管との分岐点から微粒
子検出部までの間を配管のみで接続したことを特徴とす
る微粒子計測装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の微粒子計測装置におい
て、前記分岐管に流量調整装置を接続したことを特徴と
する微粒子計測装置。 - 【請求項３】 請求項１、請求項２のどれか１項に記載
の微粒子計測装置において、前記排出管に、分岐管との
合流点よりも上流に流量調整装置を設けた微粒子計測装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30375099A JP2001124692A (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | 微粒子計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30375099A JP2001124692A (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | 微粒子計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124692A true JP2001124692A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17924832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30375099A Pending JP2001124692A (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | 微粒子計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001124692A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100964798B1 (ko) * | 2010-04-08 | 2010-06-21 | (주)플록마스터 | 플록 센서 조립체 |
| JP2014185904A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Kurita Water Ind Ltd | 水質測定方法 |
| JP2018063488A (ja) * | 2016-10-11 | 2018-04-19 | 東京電力ホールディングス株式会社 | 粒子計測システム |
| JP2020153948A (ja) * | 2019-03-22 | 2020-09-24 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 微粒子測定システムの洗浄方法及び超純水製造システム |
| WO2022131042A1 (ja) * | 2020-12-15 | 2022-06-23 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 水質測定システム及び水質測定方法 |
-
1999
- 1999-10-26 JP JP30375099A patent/JP2001124692A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100964798B1 (ko) * | 2010-04-08 | 2010-06-21 | (주)플록마스터 | 플록 센서 조립체 |
| JP2014185904A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Kurita Water Ind Ltd | 水質測定方法 |
| JP2018063488A (ja) * | 2016-10-11 | 2018-04-19 | 東京電力ホールディングス株式会社 | 粒子計測システム |
| JP2020153948A (ja) * | 2019-03-22 | 2020-09-24 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 微粒子測定システムの洗浄方法及び超純水製造システム |
| WO2020195510A1 (ja) * | 2019-03-22 | 2020-10-01 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 微粒子測定システムの洗浄方法及び超純水製造システム |
| WO2022131042A1 (ja) * | 2020-12-15 | 2022-06-23 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 水質測定システム及び水質測定方法 |
| KR20230119640A (ko) | 2020-12-15 | 2023-08-16 | 노무라마이크로사이엔스가부시키가이샤 | 수질 측정 시스템 및 수질 측정 방법 |
| JP7526656B2 (ja) | 2020-12-15 | 2024-08-01 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 水質測定システム及び水質測定方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040226 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040309 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040706 |