JPS59224542A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JPS59224542A JPS59224542A JP9781683A JP9781683A JPS59224542A JP S59224542 A JPS59224542 A JP S59224542A JP 9781683 A JP9781683 A JP 9781683A JP 9781683 A JP9781683 A JP 9781683A JP S59224542 A JPS59224542 A JP S59224542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- counting device
- light
- per unit
- foreign matter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
Landscapes
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、粒子測定技術に関し、たとえば、半導体装置
の製造分野において使用される各種液体中の異物の密度
を測定するのに利用して有効な技術に関する。
の製造分野において使用される各種液体中の異物の密度
を測定するのに利用して有効な技術に関する。
［背景技術］
半導体装置の製造過程においては、超微細加工が行われ
ているので、洗浄用純水、エツチング液等のような液体
の中に塵埃や微生物等のような異物が混入していること
をきらう。
ているので、洗浄用純水、エツチング液等のような液体
の中に塵埃や微生物等のような異物が混入していること
をきらう。
そのため、このような液体中における異物の混入密度を
自動的かつ正確に測定する異物測定技術の確立が要望さ
れている。
自動的かつ正確に測定する異物測定技術の確立が要望さ
れている。
［発明の目的］
本発明の目的は、流体中における粒子の混入密度を測定
することができる測定技術を提供することにある。
することができる測定技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
［発明の概要］
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、流路内に光線を入射せしめて散乱光を検出す
る等の手段により粒子を計数するとともに、流量を計測
し、両データに基づき単位容積当たりの粒子量を演算す
ることにより、粒子の混入密度を測定するようにしたも
のである。
る等の手段により粒子を計数するとともに、流量を計測
し、両データに基づき単位容積当たりの粒子量を演算す
ることにより、粒子の混入密度を測定するようにしたも
のである。
実施例
図は本発明の一実施例である測定装置を示すブロック図
である。
である。
本実施例において、この測定装置は、混入した粒子とし
ての異物２を測定すべき流体としての液体１を一定の速
度でかつ層流状態で流す流路としての管３を備えており
、この管３の適当箇所には異物計数装置４が設けられて
いる。管３の途中には、サファイヤ等液体１によって侵
蝕されない透明材料からなる透光部５が設けられており
、この透光部５の外方にはレーザ光源６が設けられてい
る。このレーザ光源からのレーザ光線７はレンズ８を通
して対向する透光部５に照射され、この透光部５を透過
して管３内の液体１を通り、透光部５の１８０度反対側
の位置を透過して外部に出て行く。
ての異物２を測定すべき流体としての液体１を一定の速
度でかつ層流状態で流す流路としての管３を備えており
、この管３の適当箇所には異物計数装置４が設けられて
いる。管３の途中には、サファイヤ等液体１によって侵
蝕されない透明材料からなる透光部５が設けられており
、この透光部５の外方にはレーザ光源６が設けられてい
る。このレーザ光源からのレーザ光線７はレンズ８を通
して対向する透光部５に照射され、この透光部５を透過
して管３内の液体１を通り、透光部５の１８０度反対側
の位置を透過して外部に出て行く。
透光部５のレーザ光線７と直角な外方位置には、散乱光
９を集光するためのレンズ１０が設けられ、このレンズ
ＩＯの後方には散乱光９を検出する手段としての光セン
サ１１が設けられている。この先センサ１１の出力端に
はアンプ１２を介してカウンタ１３が接続されており、
カウンタ１３の出力端は、単位容積光たりの異物量を演
算する演算器１４に接続されている。
９を集光するためのレンズ１０が設けられ、このレンズ
ＩＯの後方には散乱光９を検出する手段としての光セン
サ１１が設けられている。この先センサ１１の出力端に
はアンプ１２を介してカウンタ１３が接続されており、
カウンタ１３の出力端は、単位容積光たりの異物量を演
算する演算器１４に接続されている。
管３の異物計数装置４の下流には羽根車式流量計１５が
設けられており、この流量計１５はケーシング１６を備
えている。このケーシング１６には管３が挿入され、そ
の反対側には排出管１７が接続されている。ケーシング
１６内には液体１に侵蝕されないように形成された羽根
車１８が管３から接線方向に流出される液体１によって
回転駆動されるように軸架されている。ケーシング１６
にはこの羽根車１８の回転速度をたとえば光学的な手法
により計測する速度計１９が設けられている。この速度
計１９の出力端には信号処理部２０が接続され、この処
理部２０は回転速度から流体の流量を求めるように構成
されている。信号処理部２０の出力端は前記演算器１４
の他の入力端に接続されている。
設けられており、この流量計１５はケーシング１６を備
えている。このケーシング１６には管３が挿入され、そ
の反対側には排出管１７が接続されている。ケーシング
１６内には液体１に侵蝕されないように形成された羽根
車１８が管３から接線方向に流出される液体１によって
回転駆動されるように軸架されている。ケーシング１６
にはこの羽根車１８の回転速度をたとえば光学的な手法
により計測する速度計１９が設けられている。この速度
計１９の出力端には信号処理部２０が接続され、この処
理部２０は回転速度から流体の流量を求めるように構成
されている。信号処理部２０の出力端は前記演算器１４
の他の入力端に接続されている。
次に、作用を説明する。
被測定流体である液体１は、ポンプや圧力タンク等適当
な圧送手段（不図示）により管３に圧送される。このと
き、管３内の液体１の流れは可及的に一定流速で、かつ
層流状態になることが望ましい。
な圧送手段（不図示）により管３に圧送される。このと
き、管３内の液体１の流れは可及的に一定流速で、かつ
層流状態になることが望ましい。
液体１が流れ始めると、異物計数装置４のレーザ光源６
によりレーザ光線７が発射される。レーザ光線７はレン
ズ８を通して透光部５に照射され、透光部５を透過して
管３内を流れる液体ｌ中を通り反対側から出てい（。レ
ーザ光線７が液体ｌ中を通るとき異物２に照射すると、
散乱光９が発生される。この散乱光９は透光部５を経て
レンズ１０により集光され、光センサ１１により検出さ
れる。この光センサ１１の散乱光９の検出回数はカウン
タ１３により計数され、単位時間当たりの針数回数が測
定信号として演算器１４に印加される。
によりレーザ光線７が発射される。レーザ光線７はレン
ズ８を通して透光部５に照射され、透光部５を透過して
管３内を流れる液体ｌ中を通り反対側から出てい（。レ
ーザ光線７が液体ｌ中を通るとき異物２に照射すると、
散乱光９が発生される。この散乱光９は透光部５を経て
レンズ１０により集光され、光センサ１１により検出さ
れる。この光センサ１１の散乱光９の検出回数はカウン
タ１３により計数され、単位時間当たりの針数回数が測
定信号として演算器１４に印加される。
このようにして、混入異物の数を測定された液体１は管
３を流れて流量計１５のケーシング１６内に流入する。
３を流れて流量計１５のケーシング１６内に流入する。
この流入液体３により、羽根車１８が回転され、この回
転速度が速度計１９によって計測される。このとき、羽
根車１８の回転速度はこれを回転させる流速に比例する
ため、信号処理部２０は速度計１９の測定値から単位時
間当たりの流量を求め、これを演算器１４に印加させる
。
転速度が速度計１９によって計測される。このとき、羽
根車１８の回転速度はこれを回転させる流速に比例する
ため、信号処理部２０は速度計１９の測定値から単位時
間当たりの流量を求め、これを演算器１４に印加させる
。
演算器１４は、異物計数装置４からの入力データと、流
量計１５からの入力データに基づき、次式のような演算
を実行することにより、液体の単位容積光たりの異物量
を求める。
量計１５からの入力データに基づき、次式のような演算
を実行することにより、液体の単位容積光たりの異物量
を求める。
単位容積光たりの異物量（ｎ個／ｃｃ）＝単位時間当た
りの異物数（ｎ個／分）／単位時間当たりの流量（ｃｃ
７分） このようにして求められた単位容積光たりの異物量は、
演算器１８からディスプレイ装置やプリンタ等の表示装
置（不図示）により出力される。
りの異物数（ｎ個／分）／単位時間当たりの流量（ｃｃ
７分） このようにして求められた単位容積光たりの異物量は、
演算器１８からディスプレイ装置やプリンタ等の表示装
置（不図示）により出力される。
［効果］
（１）、流路内に光源を入射せしめる等の手段により流
体中の粒子を計数するとともに、その流量を計測し、こ
れら針数データと計測データとに基づき単位容積光たり
の粒子量を演算することにより、粒子の混入密度を自動
的かつ正確に、しかも時々刻々と測定することができる
。
体中の粒子を計数するとともに、その流量を計測し、こ
れら針数データと計測データとに基づき単位容積光たり
の粒子量を演算することにより、粒子の混入密度を自動
的かつ正確に、しかも時々刻々と測定することができる
。
（２）１粒子の混入密度を時々刻々と測定することによ
り、測定すべき流体の流れの変動による悪影響がたとえ
ば平均値を求める手法等によって回避できるため、実際
使用中の流体における測定（インプロセスにおける測定
）が実現でき、その結果、測定試料のサンプリング作業
の省略等による生産性向上およびスループットの向上等
が促進できる。
り、測定すべき流体の流れの変動による悪影響がたとえ
ば平均値を求める手法等によって回避できるため、実際
使用中の流体における測定（インプロセスにおける測定
）が実現でき、その結果、測定試料のサンプリング作業
の省略等による生産性向上およびスループットの向上等
が促進できる。
（３）、流量針を計数装置の下流に設けることにより、
流量計測時の流体の乱流等による計数測定への悪影響が
回避できるため、測定精度が一層向上できる。
流量計測時の流体の乱流等による計数測定への悪影響が
回避できるため、測定精度が一層向上できる。
（４）０粒子の混入密度を時々刻々と測定できるため、
半導体装置の製造過程において許容量を趙えた異物を含
んでいる薬液を使用することを阻止できるので、半導体
装置の歩留りを向上させることができる。
半導体装置の製造過程において許容量を趙えた異物を含
んでいる薬液を使用することを阻止できるので、半導体
装置の歩留りを向上させることができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、異物計数装置は異物による散乱光を検出する
構成に限らず、異物による遮光を検出する構成でもよい
。
構成に限らず、異物による遮光を検出する構成でもよい
。
流量計は羽根車式手段針に限らず、他の適当な流量針が
使用できる。
使用できる。
［利用分野］
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造分
野における液体中の異物測定技術に適用した場合につい
て説明したが、それに限定されるものではなく、たとえ
ば、あらゆる分野における流体中の粒子測定技術に適用
することができる。
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造分
野における液体中の異物測定技術に適用した場合につい
て説明したが、それに限定されるものではなく、たとえ
ば、あらゆる分野における流体中の粒子測定技術に適用
することができる。
図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
１・・・液体（流体）、２・・・異物（粒子）、３・・
・管（流路）、４・・・計数装置、５・・・透光部、６
・・・レーザ光源、７・・・レーザ光線、８・・・レン
ズ、９・・・散乱光、１０・・・レンズ、１１・・・光
センサ、１３・・・カウンタ、１４・・・演算器、１５
・・・流量針、１６・・・ケーシング、１７・・・排出
管、１８・・・羽根車、Ｉ９・・・速度計、２ｏ・・・
信号処理部。
・管（流路）、４・・・計数装置、５・・・透光部、６
・・・レーザ光源、７・・・レーザ光線、８・・・レン
ズ、９・・・散乱光、１０・・・レンズ、１１・・・光
センサ、１３・・・カウンタ、１４・・・演算器、１５
・・・流量針、１６・・・ケーシング、１７・・・排出
管、１８・・・羽根車、Ｉ９・・・速度計、２ｏ・・・
信号処理部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、流体が流される流路と、この流体中の粒子を計数す
る計数装置と、流体の流量を計測する流量計と、この流
量計と前記計数装置とのデータにより単位容積当たりの
粒子量を演算する演算器とを備えてなる測定装置。 ２、流量計が、計数装置の下流に配されたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9781683A JPS59224542A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9781683A JPS59224542A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59224542A true JPS59224542A (ja) | 1984-12-17 |
Family
ID=14202266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9781683A Pending JPS59224542A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59224542A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989007253A1 (en) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 | Loughborough Consultants Limited | Device and method capable of detecting small particles in a fluid |
| GB2235764A (en) * | 1988-02-03 | 1991-03-13 | Loughborough Consult Ltd | Device and method capable of detecting small particles in a fluid |
| WO2014002484A1 (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-03 | リオン株式会社 | 粒子計数システム |
-
1983
- 1983-06-03 JP JP9781683A patent/JPS59224542A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989007253A1 (en) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 | Loughborough Consultants Limited | Device and method capable of detecting small particles in a fluid |
| GB2235764A (en) * | 1988-02-03 | 1991-03-13 | Loughborough Consult Ltd | Device and method capable of detecting small particles in a fluid |
| WO2014002484A1 (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-03 | リオン株式会社 | 粒子計数システム |
| JP2014006218A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Rion Co Ltd | 粒子計数システム |
| US9250174B2 (en) | 2012-06-27 | 2016-02-02 | Rion Co., Ltd. | Particle counting system |
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