JP2009539084A - 高速スループット粒子計測器 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 95
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 19
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 239000003570 air Substances 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 206010036618 Premenstrual syndrome Diseases 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011194 good manufacturing practice Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000036632 reaction speed Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1456—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
- G01N15/1459—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals the analysis being performed on a sample stream
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- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N2015/1486—Counting the particles
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Abstract
【解決手段】粒子計測器(1)は、測少なくとも1分あたり50リットルの最大流量で定室 (6)を通る気体流を生成するようなされたポンプ (2)を備える。前記気体流によって運ばれた粒子負荷から散乱する光 (10)は、光学システム(11)によって集められる。最小限の開口部及び倍率の最も小さい径の製品は少なくとも2mmとなる。特に好ましいのは、少なくとも2.5mmの最も小さい径を持つ最小限の開口部、および少なくとも1.5倍の倍率である。光学システム(11)は気体流と光線(8)の交差により生成された測定分量の投影像をセンサモジュール(13)のアクティブ領域(12)上に写像する。センサモジュール(13)は光電子増倍管(PMT)を含む。粒子計測器の感度と精度の双方は、光電子増倍管の使用により可能となるところのより広い開口部及びより大きい倍率を用いることにより、向上する。
【選択図】図1
【選択図】図1
Description
この発明は、粒子計測器に関し、特に、該粒子計測器を通る気体流を生成するためのポンプ、計測すべき粒子負荷を運ぶ前記気体流、前記気体流を導入する入口と該気体流を排出する出口とを有する測定室、光源と、前記光源から放たれた光線を、該光線が前記気体流を横切るように前記測定室内に導くための手段、前記粒子負荷によって散乱した光を検出するためのセンサ手段、および、前記センサ手段のアクティブエリア上に散乱した光を写像するための光学システムとを含む粒子計測器に関する。
このタイプの粒子計測器は、例えばUS4,571,079により周知であって、クリーンルーム環境の周囲空気中の粒子濃度を決定するために頻繁に使用される。
どこであれ、例えば半導体製造、調剤の生産、マイクロ若しくはナノ加工、科学的なクリーンルーム研究所などのような、高価なプロセウスの製造物を無駄にするかもしれない粒子汚染を避けるためには、極低密度の浮遊微小粒子は極めて重要であり、継続的に又は少なくとも定期的に、実際の粒子密度をモニターすることが要請される。
、
周囲空気にとって評価されるべき粒子密度を代表する結果となる測定を達成するためには、ある最小限の空気量を抽出することが必要である。例えば、製造管理規則に関する欧州委員会の指針(the European Commission Guide to Good Manufacturing Practice)は、クラスA及びクラスBのクリーンルームについて1立方メートルの空気の最小限のサンプル量を要求しており、また、クラスCのクリーンルームについて同じサンプル量をクラスCのクリーンルームに推奨している。
周囲空気にとって評価されるべき粒子密度を代表する結果となる測定を達成するためには、ある最小限の空気量を抽出することが必要である。例えば、製造管理規則に関する欧州委員会の指針(the European Commission Guide to Good Manufacturing Practice)は、クラスA及びクラスBのクリーンルームについて1立方メートルの空気の最小限のサンプル量を要求しており、また、クラスCのクリーンルームについて同じサンプル量をクラスCのクリーンルームに推奨している。
粒子計測器がその測定分量として通過することを許容するサンプル空気の最大流量が、測定を終了するために必要な時間を決定することは、明快である。その測定分量は、サンプル空気の流れと測定室内に導かれた光線とが交差することにより形成される。もし、粒子密度が継続的にモニターされるならば、より多い流量は、粒子密度における変化がよりはやく発見されることを可能とするだろう。
したがって、より多い流量が空気のサンプリングにとっては望ましい。しかしながら、流量が多いほど、非常に細かい粒子、特に、数百ナノメータから1マイクロメータ(サブミクロン粒子)にわたる直径の粒子の検出の検出がより難しくなる。測定分量中に位置している間に付与サイズの粒子が散乱させる光量は、反対に、粒子の速度(そして、その結果、流量)に比例していおり、また、粒子のサイズに比例している。2倍することにより(流量を倍にすることにより)粒子の速度を増加させると、粒子が測定分量を通って移動するタイム・スパンを半分にする結果となり、これにより、粒子によって散乱した光を検出することに必要なタイム・スパンを減少させてしまう。
今日一般に、粒子計測器のセンサとして使用される半導体のフォトダイオードは、US4,571,079に開示されているように、より広いアクティブ領域を有する増量されたキャパシタンスを示している。広いアクティブ領域はセンサの感度を増す。他方では、キャパシタンスを増加させると、応答速度の低下がもたらされる。粒子が測定分量を横切る間の粒子間の相互作用時間をより短くするために、より速い粒子速度について、光検出器からの応答速度を増すことが必要となる。さらに、センサの実際のサイズにかかわらず、完全な測定分量をセンサのアクティブ領域に写像することが必要である。キャオアシタンスを下げ、且つ、応答速度を上げておくには、倍率1未満の光学的検出が要請されるので、フォトダイオードの検出器のアクティブ領域を小さくしておく。すなわち、検出器のアクティブ領域上の像は、実際に検出された散光の量の減少を引き起こすものであるところの、測定分量の投影の領域よりも小さい。その結果、合理的に信頼できるサブミクロン粒子の検出を可能とする最大の流量は制限される。典型的には、商業的に利用可能な粒子計測器は、1分あたり28.3リットル(1立方フィート)の流量で操業している。
上記制限を克服するために、US5,084,629には、サンプル気体流を複数の部分的気体流への分配手段を有する粒子計測であって、部分的気体流毎に測定分量を分離して、それぞれが光源、光学及びセンサを備えるものが提案されている。この並行化のアプローチにより、各部分的気体流の流量は減少し、信頼できるサブミクロン粒子の検出を可能とするが、一方で、複雑さが際立って増加し、また、装置全体のコストが増加するという損失がある。
光学的構成要素の制限により、粒子計測器内の気体流の流路は、多い流量に合うように自由な寸法に形成できない。そのため、流路を通るサンプル気体流をポンプで送るときに、より多い流量になるほどますます重大となるところの更なる問題が生じる。従来の粒子カウンタにしばしば使用される容積式真空ポンプは、携帯用のデザイン、又は、多流量粒子計測器のバッテリー駆動を可能とするほどには能率的でなかった。
より能率的な遠心ブロワを粒子計測器に使用することがUS5,515,164に提案されており、これは種々の利用用途に適しているであろう。しかし、遠心ブロワを用いた能率的なデザインは、特定の測定室への流量が増加することにより生じる圧力降下の増大のため、より多い流量で実装するのがますます難しくなるものと予想される。
ローブポンプを粒子計測器に使用することがUS6,031,610に提案されており、これもまた種々の利用用途に適しているであろう。しかし、ポンプが通常は測定室の出口よりも下流に位置していることから、ポンプ入力における圧力変動による測定室内の気体流の不安定さという危険がある。
商業的に利用可能なサブミクロン粒子を検出できる粒子計測器における最大流量は、1分あたり50リットルをほとんど越えない。
上記に鑑みて、本発明は、粒子計測器の信頼性、感度、および精度を危険にさらすことなく、より多い流量のための粒子計測器を提供することを目的としている。更に、小型で携帯用のデザインの多流量粒子計測器を可能とするのが望ましい。
本発明の1つの観点によれば、この目的は、最初に言及されたタイプの粒子計測器を提供することにより達成されるもので、該粒子計測器において、ポンプが、該粒子計測器を通じて少なくとも1分あたり50リットルの最大気体流を生成するものであり、光学システムの最小限の開口部および倍率の最も小さい径の製品は少なくとも2mmになり、そして、センサ手段が光電子増倍管を含む。好ましくは、光学的検出は少なくとも2mmの最も小さい径を持つ最小限の開口部および1又は1以上の倍率を有する。特に好ましいのは、少なくとも2.5mmの最も小さい径を持つ最小限の開口部、及び少なくとも1.5倍の倍率である。光電子増培管を実装すると、8mm径の開口部も可能であり(そして、好ましい)。本明細書では、「倍率」とは倍率の絶対値をさしており、すなわち、測定分量(光線と気体噴射の交差)の像を反転する光学システムは正の倍率を持っているものといえる。1以上の倍率は、したがって、像のオリエンテーションに関わらず(光学的縮減とは逆に)実際の倍率を意味する。
好ましくは、前記ポンプは、1分あたり56.6リットル(2立方フィート)を越える最大気体流を生成するよう、なされており、その最大気体流とは、サブマイクロ粒子の従来技術の限界、又は1分あたり100リットルでさえあるとみなすことができるものである。
いくぶん大きい開口部及び/又は倍率は、光学システム(検出側)において収差があるかもしれないが、散乱光の十分な収集を可能とする。同時に、フォトダイオードの代わりに光電子増培管を使用することで、センサ手段の反応速度を速い速度に維持できる。光電子増培管の実装は、SN比を許容しうる限界内に保ちつつ、検出用エレクトロニクスの速度を上げて、1ワットあたり50メガボルト以上のオーバーオールゲインで3マイクロ秒未満の立上り時間を実現することを可能とすることが好ましい。
本発明の好ましい実施形態は、請求項2乃至14のいずれかに従って構成される。
本発明の別の観点によれば、粒子計測器を通じて少なくとも1分あたり50リットルの最大気体流を生成するスクロールポンプを用いて基礎をなす物が達成されるものであり、該粒子計測器が光電子増培管を有しており、前記気体流が前記粒子計測器によって計測すべき粒子負荷を運ぶのが好ましい。
粒子計測器を通る気体流を生成するためのスクロールポンプであって、従来は実装も示唆もされていなかったものであるところのスクロールポンプの使用は、様々な利益をもたらす。
スクロールポンプの動作原理は、2つの組み合わせたスクロールに基づいており、2つのスクロールの一方が他方に対して相対的に軌道に沿って周回するよう動き、ポンプ効率を顕著に改良する非常に低摩擦なデザインを可能とする。更に、スクロールポンプの入力気体流は、測定室内での流れの不安定さを防ぐのに役立つよう、非常にスムースである。
スクロールポンプの動作原理は、2つの組み合わせたスクロールに基づいており、2つのスクロールの一方が他方に対して相対的に軌道に沿って周回するよう動き、ポンプ効率を顕著に改良する非常に低摩擦なデザインを可能とする。更に、スクロールポンプの入力気体流は、測定室内での流れの不安定さを防ぐのに役立つよう、非常にスムースである。
これらの有利な点は、一般的には、少流量や異なるセンサタイプの粒子計測器におけるスクロールポンプの使用においてもまた適用されるが、光電子増培管(また、あるいは、いわゆるアバランシェフォトダイオード)を用いた測定により可能となる多流量での操業にとって、効率的なポンプデザインが特に重要であることにことに留意されたい。
一般に、ここで記載された実施形態、又は、言及されたオプションのいずれも、実際の利用状況に応じて特に有利になる。更に、1つの実施形態の特徴は、別の実施形態の特徴を組み合わせても良く、技術的に可能で且つその他の点で明示されていない場合には従来技術から知られている特徴も同様である。
特に、本発明に従う粒子計測器は、例えば、多チャンネル検出、デジタル測定評価、ネットワークとの電子的リンク、あるいは、周辺機器など、従来技術の特徴を備えていてよい。
以下の図は、概略的な説明図であって、縮尺で製図されたものではなく、本発明の特徴をよりよく理解するために供されている。
図1は、この発明の特に好ましい実施形態に係る粒子計測器の全体的構成を示す。
粒子計測器1は、1分あたり100リットルの最大流量で、該粒子計測器1を通じて気体流を生成できるようにしたスクロールポンプ2を備える。スクロールポンプ2は、固定スクロール4に関連するロータースクロール3が軌道に沿って周回する動きによって作動する。スクロールポンプ2は、粒子計測器1を通って装置の入口5に集められた粒子を含む空気を効率的に動かす。信頼性とメンテナンスの容易さを改善するために、スクロールポンプ2は、ブラシレスモータ22により駆動される。
ローブポンプや回転翼型ポンプなど他のポンプタイプが、許容できる電力消費量で多流量を実現することに適しているのに対して、スクロールポンプの使用はポンプ入口での圧力変動が非常に低い点で好ましい。
粒子を含む空気流は、入口ノズル7を通じて測定室6に入り、レーザダイオード9により精しえされた光線8を横切る。レーザダイオード9の代わりに、他のタイプのレーザ、例えばガスレーザや固体レーザなど、さらには、例えばコンデンサ放電ランプなどのインコヒーレント光を放つ装置さえも使用しうる。しかしながら、レーザダイオード9の使用は、利用可能なレーザダイオードの低コスト、低消費電力、及び小サイズのために好ましい。
気体流に引き込まれた粒子から散乱された光10は、2.5mm×5mm(長方形)の最小限の開口部と1.7倍の倍率を有する光学システム11によって集められる。その結果、最小限の開口部及び倍率をもつ最も小さい径の製品は4.25mmとなる。より小さい開口部、例えば2mm×2mmで、より小さい倍率、例えば1倍の倍率のものもまた、本発明の範囲中ではある。しかし、粒子計測器の感度と精度の双方は、光電子増倍管の使用により可能となるところのより広い開口部及びより大きい倍率を用いることにより、向上する。
図1の概略図は、光線8と光学(検出)システム11とを描画面に示しているが、光線8の光軸と、光学システム11の光軸とは、実際には角度を形成するものであることに留意されたい。典型的には、光学システム11の光軸は、光線8の光軸に対して、約30〜120度の間の角度を指向しており、光線8を横切る気体流の流れの向きに対して垂直を指向する。
光学システム11は、気体流と光線8の交差により生成された測定分量の投影像を、センサモジュール13のアクティブ領域12上に写像する。センサモジュール13は、高電圧源とともにシール(封止)した光電子増倍管(PMT)を含み、該高電圧源とはすなわち粒子計測器1の電源電圧を、光電子増培管を駆動するためのより高い電圧に変換するための回路である。そのため、粒子計測器1は、携帯作業を可能とするために、バッテリー駆動されることが好ましい。
PMTを含む検出用エレクトロニクスは、1ワットあたり50メガボルト以上のオーバーオールゲインで3マイクロ秒未満の立上り時間を実現するものである。
高電圧源を含むセンサモジュール13に代えて、個別に分かれたコンポーネントを使用してもよい。しかしながら、PMTを自身に登載したモジュール13を使用することで、粒子計測器1のデザインをシンプルにできる。更に、センサモジュール13は、損傷した場合に簡単に交換することができる。光電子増倍管の実装のために、センサモジュール13の感度及び応答速度は、シリコン又はゲルマニウムフォトダイオードが成し遂げる感度と応答速度よりも高い。
センサモジュール13は、測定室6において散乱光を引き起こす粒子をカウントするためにセンサモジュール13の出力信号の値を求める電子カウンタ回路14に接続されている。所定期間にわたり実行された粒子カウントの結果は、例えはディスプレイ及び/又はプリンタのような適宜の出力装置を用いて出力されてよい。
出口15を通って測定室6を離れた気体流は、ポンプ2を通過して、排出口16から排出される。スクロールポンプ2の上流又は下流に配置された粒子フィルターは、図1には示されていない。
粒子計測器1を通る気体流の流量を制御するために、測定室6の上流の第1位置17と、同下流の第2位置18との間の圧力差が測定される。これは、差圧センサ19を用いるか、又は、二つの別々の圧力センサを用いるかして実現することができる。測定室6の上流と同下流とで圧力差を測定することの代わりに、気体流の流量を特定するために、粒子計測器1の気体流路における、何らかの定められた穴の2つの側の間の圧力差が測定されてもよい。実際の流量は、制御ユニット21において、キャリブレーション関数、又はキャリブレーション値のテーブルを用いて、測定された圧力差から計算される。
好ましくはないが、気体流量を測定するための他の方法を適用することも可能である。
制御ユニット21は、継続的に所望の流量を実現するためにポンプモータ22を制御する。制御ユニットは、操作パネル、又はユーザに多数の流量のうちから1を選択させるための手段を含んで構成される。
好ましくは、制御ユニット21とカウンタ回路14が互いに接続され、それらのパラメータ設定が共通のユーザインターフェースを用いて行われるとよい。粒子密度の高い環境においては、制御ユニット21は、1つずつの粒子をカウントすることができるように、自動的に流量を減少させるとよい。
1 粒子計測器、2 スクロールポンプ、3 ロータースクロール、4 固定スクロール、5 入口、6 測定室、7 入口ノズル、8 光線、9 レーザダイオード、10 光、11 光学システム、12 アクティブ領域、13 センサモジュール、14 電子カウンタ回路、15 出口、16 排出口、17 第1位置、18 第2位置、19 差圧センサ、21 制御ユニット、22 ブラシレスモータ
Claims (15)
- 前記粒子計測器を通る気体流であって、計測すべき粒子負荷を運ぶ該気体流を生成するためのポンプ(2)と、
前記気体流を導入するための入口(7)と該気体流を排出するための出口(15)とを有する測定室(6)と、
光源(9)と、
前記光源(9)から放たれた光線(8)を、該光線(8)が前記気体流を横切るように前記測定室(6)に導くための手段と、
前記粒子負荷により散乱した光(10)を検出するためのセンサ手段(13)と、
前記センサ手段(13)のアクティブ領域(12)上に前記散乱された光(10)を写像するための光学システム(11)と
を備えており、
前記ポンプ(2)が、該粒子計測器を通じて少なくとも1分あたり50リットルの最大流量の気体流を生成するものであり、前記光学システム(11)の最小限の開口部及び倍率の最も小さい径の製品は少なくとも2mmとなり、そして、前記センサ手段(13)が光電子増倍管を含むことを特徴とする粒子計測器。 - 前記光学システム(11)の最小限の開口部及び倍率の最も小さい径の製品は4mmになる請求項1に記載の粒子計測器。
- 前記センサ手段(13)が、3マイクロ秒未満の立上り時間、及び、少なくとも1ワットあたり50メガボルト以上のオーバーオールゲインが可能である請求項1又は2のいずれかに記載の粒子計測器。
- 前記ポンプ(2)がスクロールポンプ(2)である請求項1乃至3のいずれかに記載の粒子計測器。
- 前記スクロールポンプ(2)がブラシレスモータ(22)により駆動される請求項4に記載の粒子計測器。
- 前記スクロールポンプ(2)がバッテリー駆動される請求項4又は5に記載の粒子計測器。
- 更に、前記気体流の流量を測定する手段を含み、前記流量を測定する手段が前記粒子計測器内の前記気体流の流路の第1位置(17)と第2位置(18)の間の圧力差を測定するための手段(19)を含む請求項1乃至6の何れかに記載の粒子計測器。
- 前記第1位置(17)が前記入口(7)の上流であり、前記第2位置(18)が前記出口(15)の下流である請求項7に記載の粒子計測器。
- 前記光電子増倍管が高電圧源を含むモジュールに統合されている請求項1乃至8の何れかに記載の粒子計測器。
- 前記ポンプ(2)が該粒子計測器(1)を通じて少なくとも1分あたり100リットルの最大流量の気体流を生成できるようにした請求項1乃至9の何れかに記載の粒子計測器。
- 前記測定室(6)がレンズチューブである請求項1乃至10の何れかに記載の粒子計測器。
- 前記光源(9)がレーザ光源(9)である請求項1乃至11の何れかに記載の粒子計測器。
- 前記光源(9)がレーザダイオードを含むレーザ光源(9)である請求項1乃至12の何れかに記載の粒子計測器。
- 前記粒子計測器が携帯用である請求項1乃至13の何れかに記載の粒子計測器。
- 粒子計測器を通じて少なくとも1分あたり100リットルの気体流であって、前記粒子計測器によって計測すべき粒子負荷を運ぶ気体流を生成するためのスクロールポンプ(2)の使用。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP06114657A EP1862793A1 (en) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | High throughput particle counter |
PCT/EP2007/054399 WO2007137932A1 (en) | 2006-05-29 | 2007-05-07 | High throughput particle counter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009539084A true JP2009539084A (ja) | 2009-11-12 |
Family
ID=36636571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009512531A Pending JP2009539084A (ja) | 2006-05-29 | 2007-05-07 | 高速スループット粒子計測器 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090237659A1 (ja) |
EP (1) | EP1862793A1 (ja) |
JP (1) | JP2009539084A (ja) |
KR (1) | KR20090013181A (ja) |
CN (1) | CN101454656A (ja) |
AU (1) | AU2007267261A1 (ja) |
WO (1) | WO2007137932A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9250174B2 (en) | 2012-06-27 | 2016-02-02 | Rion Co., Ltd. | Particle counting system |
JP2022031886A (ja) * | 2021-02-03 | 2022-02-22 | ホーチキ株式会社 | 煙検知装置 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101159761B1 (ko) * | 2010-01-06 | 2012-06-28 | (주)에이치시티 | 입자 측정 장치 |
KR101159762B1 (ko) * | 2010-01-06 | 2012-06-28 | (주)에이치시티 | 입자 측정 장치 |
CN102221520A (zh) * | 2011-04-13 | 2011-10-19 | 苏州苏净仪器自控设备有限公司 | 一种激光尘埃粒子计数器 |
US11579072B2 (en) | 2013-03-15 | 2023-02-14 | Particles Plus, Inc. | Personal air quality monitoring system |
US9677990B2 (en) | 2014-04-30 | 2017-06-13 | Particles Plus, Inc. | Particle counter with advanced features |
US10352844B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-07-16 | Particles Plus, Inc. | Multiple particle sensors in a particle counter |
US10983040B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-04-20 | Particles Plus, Inc. | Particle counter with integrated bootloader |
US20150063982A1 (en) * | 2013-09-01 | 2015-03-05 | Particles Plus, Inc. | Multi-stage inflow turbine pump for particle counters |
US10557472B2 (en) | 2015-12-17 | 2020-02-11 | Venturedyne, Ltd. | Environmental sensor and method of operating the same |
US9983596B2 (en) | 2015-12-17 | 2018-05-29 | Venturedyne, Ltd. | Environmental sensor and method of operating the same |
US9857285B2 (en) * | 2015-12-17 | 2018-01-02 | Venturedyne, Ltd. | Environmental sensor and method of operating the same |
EP3225977B1 (en) * | 2016-03-31 | 2019-03-13 | ams AG | Method and sensor system for detecting particles |
CN111344550A (zh) * | 2017-10-09 | 2020-06-26 | Tsi有限公司 | 粒子计数器部件校准 |
DE102020102120A1 (de) * | 2019-02-15 | 2020-08-20 | HELLA GmbH & Co. KGaA | Verfahren zur Steuerung einer Sensorvorrichtung |
US11988591B2 (en) | 2020-07-01 | 2024-05-21 | Particles Plus, Inc. | Modular optical particle counter sensor and apparatus |
CN114264634B (zh) * | 2021-12-24 | 2024-04-16 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种航空煤油在线测量装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3765771A (en) * | 1971-10-27 | 1973-10-16 | Coulter Electronics | Liquid borne particle sensing method using aerosolizing techniques |
US4571079A (en) * | 1983-12-29 | 1986-02-18 | Particle Measuring Systems, Inc. | Aerosol sampling device and method with improved sample flow characteristics |
US4746215A (en) * | 1986-04-24 | 1988-05-24 | Pacific Scientific Company | Particle counter air inlet assembly |
EP0400044A1 (en) * | 1988-02-03 | 1990-12-05 | Loughborough Consultants Limited | Device and method capable of detecting small particles in a fluid |
US5016187A (en) * | 1989-01-17 | 1991-05-14 | Tokheim Corporation | Linearized turbine flow meter for fuel dispensers |
US4978537A (en) * | 1989-04-19 | 1990-12-18 | Wm. Wrigley Jr. Company | Gradual release structures for chewing gum |
US5084629A (en) * | 1990-05-07 | 1992-01-28 | Met One, Inc. | Split flow uniform multisensor detection |
CA2035703A1 (en) * | 1991-01-22 | 1992-07-23 | Pedro Lilienfeld | System and method for determining and printing airborne particle concentration |
WO1995005594A1 (en) * | 1993-08-19 | 1995-02-23 | Venturedyne Limited | Particle sensor with low-pressure-drop air flow system |
US5561515A (en) * | 1994-10-07 | 1996-10-01 | Tsi Incorporated | Apparatus for measuring particle sizes and velocities |
US5998215A (en) * | 1995-05-01 | 1999-12-07 | The Regents Of The University Of California | Portable analyzer for determining size and chemical composition of an aerosol |
US5671046A (en) * | 1996-07-01 | 1997-09-23 | Particle Measuring Systems, Inc. | Device and method for optically detecting particles in a free liquid stream |
US5719667A (en) * | 1996-07-30 | 1998-02-17 | Bayer Corporation | Apparatus for filtering a laser beam in an analytical instrument |
US6122054A (en) * | 1996-11-04 | 2000-09-19 | Certainteed Corporation | Device for measuring the concentration of airborne fibers |
US6031610A (en) * | 1997-10-06 | 2000-02-29 | Pacific Scientific Instruments Company | Multi-lobe pump for particle counters |
US6784981B1 (en) * | 2000-06-02 | 2004-08-31 | Idexx Laboratories, Inc. | Flow cytometry-based hematology system |
US20030015045A1 (en) * | 2001-07-23 | 2003-01-23 | Takehito Yoshida | Particle counting method and particle counter |
US6639671B1 (en) * | 2002-03-01 | 2003-10-28 | Msp Corporation | Wide-range particle counter |
US7379577B2 (en) * | 2003-11-10 | 2008-05-27 | Brightwell Technologies | Method and apparatus for particle measurement employing optical imaging |
US7471393B2 (en) * | 2004-03-06 | 2008-12-30 | Michael Trainer | Methods and apparatus for determining the size and shape of particles |
KR101170859B1 (ko) * | 2004-07-30 | 2012-08-02 | 바이오비질런트 시스템즈 인코포레이티드 | 병원균 및 입자 탐지기 시스템과 방법 |
-
2006
- 2006-05-29 EP EP06114657A patent/EP1862793A1/en not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-05-07 AU AU2007267261A patent/AU2007267261A1/en not_active Abandoned
- 2007-05-07 WO PCT/EP2007/054399 patent/WO2007137932A1/en active Application Filing
- 2007-05-07 CN CNA2007800189026A patent/CN101454656A/zh active Pending
- 2007-05-07 KR KR1020087026828A patent/KR20090013181A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-05-07 JP JP2009512531A patent/JP2009539084A/ja active Pending
- 2007-05-07 US US12/227,425 patent/US20090237659A1/en not_active Abandoned
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9250174B2 (en) | 2012-06-27 | 2016-02-02 | Rion Co., Ltd. | Particle counting system |
DE112013003265B4 (de) | 2012-06-27 | 2023-11-23 | Rion Co., Ltd. | Partikelzählsystem |
JP2022031886A (ja) * | 2021-02-03 | 2022-02-22 | ホーチキ株式会社 | 煙検知装置 |
JP2022128462A (ja) * | 2021-02-03 | 2022-09-01 | ホーチキ株式会社 | 煙検知装置 |
JP7369172B2 (ja) | 2021-02-03 | 2023-10-25 | ホーチキ株式会社 | 煙検知装置 |
JP7429259B2 (ja) | 2021-02-03 | 2024-02-07 | ホーチキ株式会社 | 煙検知装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090013181A (ko) | 2009-02-04 |
AU2007267261A1 (en) | 2007-12-06 |
WO2007137932A1 (en) | 2007-12-06 |
CN101454656A (zh) | 2009-06-10 |
US20090237659A1 (en) | 2009-09-24 |
EP1862793A1 (en) | 2007-12-05 |
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