JPS63311145A - エアフィルタの捕集効率測定装置 - Google Patents
エアフィルタの捕集効率測定装置Info
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- JPS63311145A JPS63311145A JP14752587A JP14752587A JPS63311145A JP S63311145 A JPS63311145 A JP S63311145A JP 14752587 A JP14752587 A JP 14752587A JP 14752587 A JP14752587 A JP 14752587A JP S63311145 A JPS63311145 A JP S63311145A
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高性能エアフィルタの補集効率を測定するため
の測定装置に関するものである。
の測定装置に関するものである。
従来ＩＣ工場等では清浄度の高いクリーンルームが必要
となり高性能のエアフィルタが用いられる。このような
エアフィルタはその性能を測定するだめに捕集効率を測
定する必要がある。従来エアフィルタの捕集効率測定方
法としては、所定の微粒子、例えば０．３μｍのフタル
酸ジオクチール（以下ＤＯＰという）のエアロゾルをエ
アフィルタに与え、供給したエアロゾルの濃度ＣＩとエ
アフィルタを通過した後の清浄な空気の濃度Ｃ２とを直
接測定すると共に、その比によって以下の式によりエア
フィルタの捕集効率ηを測定していた。
となり高性能のエアフィルタが用いられる。このような
エアフィルタはその性能を測定するだめに捕集効率を測
定する必要がある。従来エアフィルタの捕集効率測定方
法としては、所定の微粒子、例えば０．３μｍのフタル
酸ジオクチール（以下ＤＯＰという）のエアロゾルをエ
アフィルタに与え、供給したエアロゾルの濃度ＣＩとエ
アフィルタを通過した後の清浄な空気の濃度Ｃ２とを直
接測定すると共に、その比によって以下の式によりエア
フィルタの捕集効率ηを測定していた。
η−（１−Ｃ２／ＣＩ）Ｘ１００ （％）そして捕集
効率ηが９９．９７％以上のものをＨＥＰＡ（ハイエフ
ィシエンシーパーティキュレートエア）フィルタといい
、捕集効率ηが９９．９９９５％以上のものをＵＬＰＡ
（ウルトラローペネトレーションエア）フィルタと称
している。
効率ηが９９．９７％以上のものをＨＥＰＡ（ハイエフ
ィシエンシーパーティキュレートエア）フィルタといい
、捕集効率ηが９９．９９９５％以上のものをＵＬＰＡ
（ウルトラローペネトレーションエア）フィルタと称
している。
しかるにこのような高性能のエアフィルタの捕集効率を
測定するためには、フィルタの上流側及び下流側の濃度
比（Ｃｚ／Ｃ＋）が極めて大きくなる。例えばＨＥＰＡ
フィルタの測定時には濃度比は約１／４０００． Ｕ
ＬＰＡフィルタでは濃度比は１７５０００００となり、
これらの濃度を１つの濃度計で測定するためには極めて
広いダイナミックレンジが必要であるという問題点があ
った。
測定するためには、フィルタの上流側及び下流側の濃度
比（Ｃｚ／Ｃ＋）が極めて大きくなる。例えばＨＥＰＡ
フィルタの測定時には濃度比は約１／４０００． Ｕ
ＬＰＡフィルタでは濃度比は１７５０００００となり、
これらの濃度を１つの濃度計で測定するためには極めて
広いダイナミックレンジが必要であるという問題点があ
った。
又このような高性能フィルタの捕集効率測定時には０．
３μｍ程度の微小粒子が用いられる。従ってその濃度を
測定するために微小な粒子の粒子数を測定できる光学式
の微粒子カウンタが用いられる。そしてフィルタに供給
する上流側のエアロゾルの濃度Ｃ１はフィルタを通過し
た後の濃度Ｃ２が１０００〜１００００個／ｃｆ （ｃ
ｆ ：キュービソクフィート、即ち０．０３〜０．３個
／ｃｃ）となるような濃度を選択していた。これは光学
式微粒子カウンタが光源として用いており測定領域を小
さくしているため吸引流量が比較的小さく、例えば毎分
０．ｉ程度の吸引流量であるため、測定時間を充分短く
しようとすれば後流の濃度Ｃ２を高（する必要があるか
らである。従って上流側の濃度もＨＥＰＡフィルタ又は
ＵＬＰＡフィルタの捕集効率ηに対応して極めて高い濃
度とする必要がある。例えばＵＬＰＡフィルタの場合に
は５Ｘ１０８〜５Ｘ１０９個／ｃｆ （１，５Ｘ １０
” 〜１．５ Ｘ １０Ｓ個／ｃｃ）程度の濃度のエア
ロゾルが用いられていた。しかるに通常の大気の微粒子
濃度は例えば１０’個／ｃｃ程度であるので、高性能エ
アフィルタの捕集効率測定時には通過の大気よりも相当
高い濃度のエアロゾルを用いて行うこととなる。しかし
ながらこのような高性能フィルタは極めて低濃度のクリ
ーンルームにおいて空気を清浄化するために用いられる
ものであり、実際の使用環境とは極めて異なった状況で
捕集効率測定が行われていることになる。そのためフィ
ルタの圧力損失が大きくなり正確な捕集効率測定を行う
ことができないという問題点があった。
３μｍ程度の微小粒子が用いられる。従ってその濃度を
測定するために微小な粒子の粒子数を測定できる光学式
の微粒子カウンタが用いられる。そしてフィルタに供給
する上流側のエアロゾルの濃度Ｃ１はフィルタを通過し
た後の濃度Ｃ２が１０００〜１００００個／ｃｆ （ｃ
ｆ ：キュービソクフィート、即ち０．０３〜０．３個
／ｃｃ）となるような濃度を選択していた。これは光学
式微粒子カウンタが光源として用いており測定領域を小
さくしているため吸引流量が比較的小さく、例えば毎分
０．ｉ程度の吸引流量であるため、測定時間を充分短く
しようとすれば後流の濃度Ｃ２を高（する必要があるか
らである。従って上流側の濃度もＨＥＰＡフィルタ又は
ＵＬＰＡフィルタの捕集効率ηに対応して極めて高い濃
度とする必要がある。例えばＵＬＰＡフィルタの場合に
は５Ｘ１０８〜５Ｘ１０９個／ｃｆ （１，５Ｘ １０
” 〜１．５ Ｘ １０Ｓ個／ｃｃ）程度の濃度のエア
ロゾルが用いられていた。しかるに通常の大気の微粒子
濃度は例えば１０’個／ｃｃ程度であるので、高性能エ
アフィルタの捕集効率測定時には通過の大気よりも相当
高い濃度のエアロゾルを用いて行うこととなる。しかし
ながらこのような高性能フィルタは極めて低濃度のクリ
ーンルームにおいて空気を清浄化するために用いられる
ものであり、実際の使用環境とは極めて異なった状況で
捕集効率測定が行われていることになる。そのためフィ
ルタの圧力損失が大きくなり正確な捕集効率測定を行う
ことができないという問題点があった。
本発明はこのような従来の捕集効率測定時の問題点に鑑
みてなされたものであって、通常の大気又はそれより低
い濃度の試料を用い実際の使用環境に近い環境下で測定
すると共に、比較的狭い範囲のダイナミックレンジを有
する濃度測定装置を用いてもエアフィルタの捕集効率を
正確に測定できるようにすることを技術的課題とする。
みてなされたものであって、通常の大気又はそれより低
い濃度の試料を用い実際の使用環境に近い環境下で測定
すると共に、比較的狭い範囲のダイナミックレンジを有
する濃度測定装置を用いてもエアフィルタの捕集効率を
正確に測定できるようにすることを技術的課題とする。
本発明はエアフィルタの捕集効率を測定する測定装置で
あって、第１図に示すように、測定用フィルタが中間に
接続された測定用ダクトと、測定用ダクトの一端に一定
濃度の所定の流量（Ｑ）のエアロゾルを供給するエアロ
ゾル供給手段と、測定用ダクトの上下流間に接続される
バイパスダクトと、バイパスダクトを開閉する弁と、測
定用ダクトの上下流間にバイパスダクトを介して接続さ
れ所定の径のダクト、及びその両端の圧力を測定する圧
力測定手段を有し、弁の開放時に前記バイパスダクトを
流れるエアロゾルの流量（ｑ）を測定する層流流量計と
、測定ダクトの下流側に接続され測定用ダクトを通過す
るエアロゾルの濃度を測定する濃度測定装置と、を具備
し、弁の開閉時の測定濃度Ｃ，，Ｃ３に基づいて次式 によりフィルタの捕集効率（η）を測定することを特徴
とするものである。
あって、第１図に示すように、測定用フィルタが中間に
接続された測定用ダクトと、測定用ダクトの一端に一定
濃度の所定の流量（Ｑ）のエアロゾルを供給するエアロ
ゾル供給手段と、測定用ダクトの上下流間に接続される
バイパスダクトと、バイパスダクトを開閉する弁と、測
定用ダクトの上下流間にバイパスダクトを介して接続さ
れ所定の径のダクト、及びその両端の圧力を測定する圧
力測定手段を有し、弁の開放時に前記バイパスダクトを
流れるエアロゾルの流量（ｑ）を測定する層流流量計と
、測定ダクトの下流側に接続され測定用ダクトを通過す
るエアロゾルの濃度を測定する濃度測定装置と、を具備
し、弁の開閉時の測定濃度Ｃ，，Ｃ３に基づいて次式 によりフィルタの捕集効率（η）を測定することを特徴
とするものである。
このような特徴を有する本発明によれば、試料となるフ
ィルタに一定の濃度のエアロゾルを所定の流量（Ｑ）で
供給すると共にその一部をバイパスダクトを介して層流
流量計に導きバイパスダクトを流れる微小な流量（ｑ）
を検出すると共に、フィルタの後流に加えるバイパス通
路を設けている。そしてこのようなバイパス通路の有無
によってフィルタの後流に得られるエアロゾルの濃度（
Ｃ２，Ｃ３）に基づいてフィルタの捕集効率を測定する
ようにしている。
ィルタに一定の濃度のエアロゾルを所定の流量（Ｑ）で
供給すると共にその一部をバイパスダクトを介して層流
流量計に導きバイパスダクトを流れる微小な流量（ｑ）
を検出すると共に、フィルタの後流に加えるバイパス通
路を設けている。そしてこのようなバイパス通路の有無
によってフィルタの後流に得られるエアロゾルの濃度（
Ｃ２，Ｃ３）に基づいてフィルタの捕集効率を測定する
ようにしている。
第１図は本発明の一実施例によるエアフィルタの捕集効
率測定装置を示す図である。本図において貯留部１は所
定濃度のＤＯＰ溶液を貯留しており、ＤＯＰ溶液は細い
ダクト２を介してアトマイザ３に与えられる。アトマイ
ザ３にはコンプレッサ４よりフィルタ５及びレギュレー
タ６を介して清浄な加圧空気が与えられている。アトマ
イザ３は加圧空気をノズルに送り込むことによってり。
率測定装置を示す図である。本図において貯留部１は所
定濃度のＤＯＰ溶液を貯留しており、ＤＯＰ溶液は細い
ダクト２を介してアトマイザ３に与えられる。アトマイ
ザ３にはコンプレッサ４よりフィルタ５及びレギュレー
タ６を介して清浄な加圧空気が与えられている。アトマ
イザ３は加圧空気をノズルに送り込むことによってり。
Ｐ溶液を霧化して拡散ドライア７に与える。拡散ドライ
ア７は霧化されたＤＯＰＯ液滴を拡散乾燥することによ
って所定粒径、例えば中心粒径０．３μｍのＤＯＰエア
ロゾルを得るものである。拡散ドライア７より得られる
エアロゾルは希釈器８に与えられる。希釈器８にはフィ
ルタ５及び流量計９を介して清浄な空気が与えられ、測
定対象となるフィルタに与えるエアロゾルの濃度が所望
の値となるように希釈量を選定するものである。希釈器
８によって希釈されたエアロゾルは濃度調節チャンバー
１０を介して測定用ダクト１１に与えられる。濃度調節
チャンバー１０は一端にフィルタが設けられ測定ダクト
ｌｌａからのエアロゾルの吸引量と希釈器８から送り込
むエアロゾルの量を調整するためのものである。測定用
ダクト１１は一定の径を有するダクトであり、上流側を
ダクト１１ａ、下流側をダクトｌｌｂとすると、その中
間には測定対象となるエアフィルタ１２が取付けられる
。そしてダクト１１のエアフィルタ１２より上流側とそ
の下流側の間にはバイパスダクト１３が設けられバルブ
１４を介して層流流量計１５が設けられている。層流流
量計１５は一定の細い内径を有する所定の長さのダクト
１５ａとその両端の気圧を測定する圧力測定装置により
構成され、ダク）１５ａの両端の気圧差によって流れる
流量を測定するものである。ダクト１５ａとしては例え
ば内径が０．８ｍｍφで長さが１５０ｍｍ、又は内径１
．５ｍｍφ、長さが１５０１のダクトを用いる。又その
両端には気圧測定用のＵ字形ダク）１５ｂが接続される
。Ｕ字形ダクト１５ｂ内には図示のように液体、例えば
水が封止されており、その液面の差によってダク）１５
ａを流れる流量を測定する。さてバイパスダクト１３の
他端は図示のようにフィルタ１２の後流のダクトｌｌｂ
に接続される。ダクトｌｌｂの一端には流量計１６を介
してポンプ１７が接続されている。又ダクトｌｌｂには
微小な粒子が含まれるエアロゾルの濃度を測定する濃度
測定装置１８が接続されている。尚本実施例において貯
留部１から濃度調節チャンバー１０は一定の濃度のエア
ロゾルを測定用ダクト１１に供給するエアロゾル供給手
段１９を構成している。
ア７は霧化されたＤＯＰＯ液滴を拡散乾燥することによ
って所定粒径、例えば中心粒径０．３μｍのＤＯＰエア
ロゾルを得るものである。拡散ドライア７より得られる
エアロゾルは希釈器８に与えられる。希釈器８にはフィ
ルタ５及び流量計９を介して清浄な空気が与えられ、測
定対象となるフィルタに与えるエアロゾルの濃度が所望
の値となるように希釈量を選定するものである。希釈器
８によって希釈されたエアロゾルは濃度調節チャンバー
１０を介して測定用ダクト１１に与えられる。濃度調節
チャンバー１０は一端にフィルタが設けられ測定ダクト
ｌｌａからのエアロゾルの吸引量と希釈器８から送り込
むエアロゾルの量を調整するためのものである。測定用
ダクト１１は一定の径を有するダクトであり、上流側を
ダクト１１ａ、下流側をダクトｌｌｂとすると、その中
間には測定対象となるエアフィルタ１２が取付けられる
。そしてダクト１１のエアフィルタ１２より上流側とそ
の下流側の間にはバイパスダクト１３が設けられバルブ
１４を介して層流流量計１５が設けられている。層流流
量計１５は一定の細い内径を有する所定の長さのダクト
１５ａとその両端の気圧を測定する圧力測定装置により
構成され、ダク）１５ａの両端の気圧差によって流れる
流量を測定するものである。ダクト１５ａとしては例え
ば内径が０．８ｍｍφで長さが１５０ｍｍ、又は内径１
．５ｍｍφ、長さが１５０１のダクトを用いる。又その
両端には気圧測定用のＵ字形ダク）１５ｂが接続される
。Ｕ字形ダクト１５ｂ内には図示のように液体、例えば
水が封止されており、その液面の差によってダク）１５
ａを流れる流量を測定する。さてバイパスダクト１３の
他端は図示のようにフィルタ１２の後流のダクトｌｌｂ
に接続される。ダクトｌｌｂの一端には流量計１６を介
してポンプ１７が接続されている。又ダクトｌｌｂには
微小な粒子が含まれるエアロゾルの濃度を測定する濃度
測定装置１８が接続されている。尚本実施例において貯
留部１から濃度調節チャンバー１０は一定の濃度のエア
ロゾルを測定用ダクト１１に供給するエアロゾル供給手
段１９を構成している。
濃度測定装置１８は例えば第２図に示すように凝縮核カ
ウンタを用いた粒子測定装置を用いる。
ウンタを用いた粒子測定装置を用いる。
この粒子測定装置は図示のように流量計２１とフィルタ
２２を有しており、フィルタ２２を介して清浄な空気が
高温飽和蒸気室２３に与えられる。
２２を有しており、フィルタ２２を介して清浄な空気が
高温飽和蒸気室２３に与えられる。
高温飽和蒸気室２３は水等の溶媒がヒータ２４によって
加熱されており、与えられた空気を清浄な高温の飽和水
蒸気として混合室２５に与えるものである。混合室２５
には更に前述したダクト１１ｂからの微粒子を含むエア
ロゾルが与えられている。混合室１５は常温のエアロゾ
ルと清浄な高温の飽和蒸気とを混合しエアロゾルである
微粒子を核として蒸気を凝縮させ粒径を拡大する領域で
あって、ノズル２６と一体に形成されている。ノズル２
６の先端はレーザビームの光行路を介して排出ダクト２
７に対向している。排出ダクト２７はノズル２６から排
出されるエアロゾルを吸い込むものであって、その一端
に流量計２８を介してポンプ２９が接続される。ポンプ
２９は排出ダクト２７からの排気を吸い込みフィルタ３
０を介して空気中に放出することによってノズル２６か
ら測定用のエアロゾルを噴出させるものである。
加熱されており、与えられた空気を清浄な高温の飽和水
蒸気として混合室２５に与えるものである。混合室２５
には更に前述したダクト１１ｂからの微粒子を含むエア
ロゾルが与えられている。混合室１５は常温のエアロゾ
ルと清浄な高温の飽和蒸気とを混合しエアロゾルである
微粒子を核として蒸気を凝縮させ粒径を拡大する領域で
あって、ノズル２６と一体に形成されている。ノズル２
６の先端はレーザビームの光行路を介して排出ダクト２
７に対向している。排出ダクト２７はノズル２６から排
出されるエアロゾルを吸い込むものであって、その一端
に流量計２８を介してポンプ２９が接続される。ポンプ
２９は排出ダクト２７からの排気を吸い込みフィルタ３
０を介して空気中に放出することによってノズル２６か
ら測定用のエアロゾルを噴出させるものである。
さてダクト２６と２７間には光源室３１．計測室３２及
び検出室３３から成り、光散乱によって微粒子数を計数
する光学手段が構成される。光源室３１はレーザダイオ
ード等のレーザ光源と集束レンズを有しており、レーザ
光を計測室３２の測定領域内で集束するものである。計
測室３２ではレーザビームの光行路にエアロゾルを所定
の速度で噴出させて光散乱させる領域であって、拡大し
た粒子の粒径を保持し迷光による雑音を減少させるため
密閉構造とする。検出室３３は散乱光を集光して電気信
号に変換する部分であり、散乱光を集光する集光レンズ
と光電変換器が設けられている。光電変換器の出力は計
数部３４に与えられる。
び検出室３３から成り、光散乱によって微粒子数を計数
する光学手段が構成される。光源室３１はレーザダイオ
ード等のレーザ光源と集束レンズを有しており、レーザ
光を計測室３２の測定領域内で集束するものである。計
測室３２ではレーザビームの光行路にエアロゾルを所定
の速度で噴出させて光散乱させる領域であって、拡大し
た粒子の粒径を保持し迷光による雑音を減少させるため
密閉構造とする。検出室３３は散乱光を集光して電気信
号に変換する部分であり、散乱光を集光する集光レンズ
と光電変換器が設けられている。光電変換器の出力は計
数部３４に与えられる。
計数部３４は光電変換器から得られるパルス信号を計数
することによってエアロゾルに含まれる粒子数を検出し
ている。従って吸引流量と計数された粒子数との比によ
ってダクトｌｌｂを流れるエアロゾルの濃度を測定する
ことができる。
することによってエアロゾルに含まれる粒子数を検出し
ている。従って吸引流量と計数された粒子数との比によ
ってダクトｌｌｂを流れるエアロゾルの濃度を測定する
ことができる。
次に本実施例の捕集効率測定装置における測定方法につ
いて説明する。捕集効率を測定する場合にはまずコンプ
レッサ４及びポンプ１７．濃度測定装置１８内のポンプ
２９を動作させてアトマイザ３に清浄な空気を与える。
いて説明する。捕集効率を測定する場合にはまずコンプ
レッサ４及びポンプ１７．濃度測定装置１８内のポンプ
２９を動作させてアトマイザ３に清浄な空気を与える。
そうすれば貯留部１よりＤＯＰ溶液がダクト２を通じて
アトマイザ３に吸引されＤＯＰ溶液が霧化される。そし
て液滴となったＤＯＰ溶液は拡散ドライア７によって乾
燥されてＤＯＰｉ粒子が析出することとなって、微粒子
を含むエアロゾルが希釈器８に伝えられる。
アトマイザ３に吸引されＤＯＰ溶液が霧化される。そし
て液滴となったＤＯＰ溶液は拡散ドライア７によって乾
燥されてＤＯＰｉ粒子が析出することとなって、微粒子
を含むエアロゾルが希釈器８に伝えられる。
従って希釈器８より測定用のダク）ｌｌａに所定の粒径
のエアロゾルを与えることができる。ここで弁１４を開
放しない状態で測定用のフィルタ１２を通過した後の濃
度を濃度測定装置１８によって測定し、このときの濃度
を０２とする。その後弁１４を開放しバイパスダクト１
３を介してエアロゾルを測定用ダクトｌｌｂに与える。
のエアロゾルを与えることができる。ここで弁１４を開
放しない状態で測定用のフィルタ１２を通過した後の濃
度を濃度測定装置１８によって測定し、このときの濃度
を０２とする。その後弁１４を開放しバイパスダクト１
３を介してエアロゾルを測定用ダクトｌｌｂに与える。
そしてバイパスダクト１３を介して与えられる清浄な空
気と高濃度のエアロゾルを混合させた後の濃度Ｃ８を測
定する。ここでバイパスダクト１３を流れるエアロゾル
は層流流量計のダクト１５ａを通過するため、その流量
はＵ字形のダクト１５ｂの両端の圧力変化として検出さ
れる。そして第３図に示すようにダク）１５ａが充分長
ければその間の圧力差はダク）１５ａを通過する流量に
比例しているため、その差圧Δｈに基づいてダクト１５
ａを通過する流量ｑを測定することができる。そしてバ
イパスダクト１３を介してフィルタ１２を通過しない高
い濃度のエアロゾルとフィルタ１２を通過した低濃度の
エアロゾルがダクトｌｌｂによって混合され、混合され
た後のエアロゾルが濃度測定装置１８によって検出され
る。このとき測定された濃度を０３とすると、濃度ｃ３
と元の測定用ダクト１１に与えられるエアロゾルの流量
Ｑ及び濃度Ｃ１との間には以下の式が成り立っている。
気と高濃度のエアロゾルを混合させた後の濃度Ｃ８を測
定する。ここでバイパスダクト１３を流れるエアロゾル
は層流流量計のダクト１５ａを通過するため、その流量
はＵ字形のダクト１５ｂの両端の圧力変化として検出さ
れる。そして第３図に示すようにダク）１５ａが充分長
ければその間の圧力差はダク）１５ａを通過する流量に
比例しているため、その差圧Δｈに基づいてダクト１５
ａを通過する流量ｑを測定することができる。そしてバ
イパスダクト１３を介してフィルタ１２を通過しない高
い濃度のエアロゾルとフィルタ１２を通過した低濃度の
エアロゾルがダクトｌｌｂによって混合され、混合され
た後のエアロゾルが濃度測定装置１８によって検出され
る。このとき測定された濃度を０３とすると、濃度ｃ３
と元の測定用ダクト１１に与えられるエアロゾルの流量
Ｑ及び濃度Ｃ１との間には以下の式が成り立っている。
Ｃ３＝ Ｃｚ ＋ Ｃ＋ Ｘ ｑ／ Ｑ −−−−−
−−４２１Ｃｚ ／ Ｃ＋ −Ｅ −−−
−−−−（３１従って式（２）及び（３）より 従ってこの式を（１１に代入することによって以下の式
が得られる。
−−４２１Ｃｚ ／ Ｃ＋ −Ｅ −−−
−−−−（３１従って式（２）及び（３）より 従ってこの式を（１１に代入することによって以下の式
が得られる。
、−−−−−（５）
従って弁１４を閉成したときに得られる濃度Ｃ２と弁Ｉ
４を開放して得られる濃度Ｃ３及び２つの流量Ｑ、
ｑに基づいてフィルタ１１の捕集効率ηを測定すること
ができる。この場合測定用ダクト１１を流れる流量は流
量計１６及び濃度測定装置１８を流れる流量の和によっ
て与えられるが、本実施例の凝縮核カウンタを用いた粒
子測定装置のように濃度測定装置で用いる流量がポンプ
１７を流れる流量に比べて極めて低い値である場合はこ
の値を無視し、流量計１６で得られる流量をそのまま流
量Ｑとして計算してもよい。
４を開放して得られる濃度Ｃ３及び２つの流量Ｑ、
ｑに基づいてフィルタ１１の捕集効率ηを測定すること
ができる。この場合測定用ダクト１１を流れる流量は流
量計１６及び濃度測定装置１８を流れる流量の和によっ
て与えられるが、本実施例の凝縮核カウンタを用いた粒
子測定装置のように濃度測定装置で用いる流量がポンプ
１７を流れる流量に比べて極めて低い値である場合はこ
の値を無視し、流量計１６で得られる流量をそのまま流
量Ｑとして計算してもよい。
次表は測定用フィルタ１２の前後の濃度ｃｌ。
Ｃ２を直接測定することによってフィルタの捕集効率η
を測定すると共に、本実施例の装置を用いて弁１４を閉
成及び開放したときの濃度Ｃ２，Ｃ３及び流量Ｑ、
ｑを測定し、（４）式で示される濃度比Ｅ及びそれに基
づいて捕集効率η”を求めたものである。
を測定すると共に、本実施例の装置を用いて弁１４を閉
成及び開放したときの濃度Ｃ２，Ｃ３及び流量Ｑ、
ｑを測定し、（４）式で示される濃度比Ｅ及びそれに基
づいて捕集効率η”を求めたものである。
表
この表より示されているように直接フィルタの捕集効率
ηを測定した場合と本実施例のバイパス法を用いた方法
とでは捕集効率が極めてよく一致しており、正確に捕集
効率を測定することができる。
ηを測定した場合と本実施例のバイパス法を用いた方法
とでは捕集効率が極めてよく一致しており、正確に捕集
効率を測定することができる。
この場合濃度Ｃ３はフィルタ１１を通過した清浄な空気
と元のエアロゾルとを混合したものであるため、元のエ
アロゾルの濃度より充分低い濃度である。そのため濃度
測定装置１８のダイナミックレンジをあまり高くする必
要がなく、フィルタの捕集効率を測定することができる
。従って試料としてフィルタ１２に与えるエアロゾルの
濃度Ｃ０をあまり高くする必要がな（、大気中の微粒子
濃度より充分低い濃度のエアロゾルを供給することによ
って測定することが可能である。
と元のエアロゾルとを混合したものであるため、元のエ
アロゾルの濃度より充分低い濃度である。そのため濃度
測定装置１８のダイナミックレンジをあまり高くする必
要がなく、フィルタの捕集効率を測定することができる
。従って試料としてフィルタ１２に与えるエアロゾルの
濃度Ｃ０をあまり高くする必要がな（、大気中の微粒子
濃度より充分低い濃度のエアロゾルを供給することによ
って測定することが可能である。
尚本実施例は濃度測定装置として凝縮核カウンタを用い
た装置について説明しているが、通常のレーザ光を光源
として用いその光を測定領域に照射し、散乱光の有無に
よって粒子数を測定するいわゆるレーザパーティクルカ
ウンタを用いて吸引流量と計数された粒子数との比によ
って濃度を測定することも可能である。その場合にはダ
クト１１ｂの下流側よりエアロゾルを取出して第２図に
示す計測室３２にノズル２６より噴出させるようにして
測定することができる。
た装置について説明しているが、通常のレーザ光を光源
として用いその光を測定領域に照射し、散乱光の有無に
よって粒子数を測定するいわゆるレーザパーティクルカ
ウンタを用いて吸引流量と計数された粒子数との比によ
って濃度を測定することも可能である。その場合にはダ
クト１１ｂの下流側よりエアロゾルを取出して第２図に
示す計測室３２にノズル２６より噴出させるようにして
測定することができる。
そのため本発明によれば、通常の大気に含まれる微粒子
の濃度より高い濃度のエアロゾルをフィルタに供給する
必要がなく、実際の使用環境に近い濃度のエアロゾルを
フィルタに供給することによってエアフィルタの捕集効
率を測定することができる。又フィルタを通過した後流
の濃度を測定することによって捕集効率を測定すること
ができるため、ＵＬＰＡフィルタ等の高性能のエアフィ
ルタの補集効率を測定する場合にもあまり高いダイナミ
ックレンジの粒子測定装置を用いる必要がなく、高精度
で捕集効率を測定することができる。
の濃度より高い濃度のエアロゾルをフィルタに供給する
必要がなく、実際の使用環境に近い濃度のエアロゾルを
フィルタに供給することによってエアフィルタの捕集効
率を測定することができる。又フィルタを通過した後流
の濃度を測定することによって捕集効率を測定すること
ができるため、ＵＬＰＡフィルタ等の高性能のエアフィ
ルタの補集効率を測定する場合にもあまり高いダイナミ
ックレンジの粒子測定装置を用いる必要がなく、高精度
で捕集効率を測定することができる。
第１図は本発明の一実施例によるエアフィルタの捕集効
率測定装置の全体構成を示すブロック図、第２図は濃度
測定装置を凝縮核カウンタによって構成した場合の例を
示すブロック図、第３図は層流流量計の気圧差と流量の
関係を示すグラフである。
率測定装置の全体構成を示すブロック図、第２図は濃度
測定装置を凝縮核カウンタによって構成した場合の例を
示すブロック図、第３図は層流流量計の気圧差と流量の
関係を示すグラフである。
Claims (2)
- （１）エアフィルタの捕集効率を測定する測定装置であ
って、 測定用フィルタが中間に接続された測定用ダクトと、 前記測定用ダクトの一端に一定濃度の所定の流量（Ｑ）
のエアロゾルを供給するエアロゾル供給手段と、 前記測定用ダクトの上下流間に接続されるバイパスダク
トと、 前記バイパスダクトを開閉する弁と、 前記測定用ダクトの上下流間に前記バイパスダクトを介
して接続され所定の径のダクト、及びその両端の圧力を
測定する圧力測定手段を有し、前記弁の開放時に前記バ
イパスダクトを流れるエアロゾルの流量（ｑ）を測定す
る層流流量計と、前記測定ダクトの下流側に接続され測
定用ダクトを通過するエアロゾルの濃度を測定する濃度
測定装置と、 を具備し、前記弁の開閉時の測定濃度Ｃ＿２、Ｃ＿３に
基づいて次式 η＝｛１−｛（ｑ／Ｑ）／［（Ｃ＿３−Ｃ＿２）／Ｃ＿
２］｝｝×１００（％）によりフィルタの捕集効率（η
）を測定することを特徴とするエアフィルタの捕集効率
測定装置。 - （２）前記濃度測定装置は、凝縮核カウンタを用いた微
粒子数計数装置により構成したことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のエアフィルタの捕集効率測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14752587A JPH0733992B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | エアフィルタの捕集効率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14752587A JPH0733992B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | エアフィルタの捕集効率測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63311145A true JPS63311145A (ja) | 1988-12-19 |
| JPH0733992B2 JPH0733992B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=15432286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14752587A Expired - Lifetime JPH0733992B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | エアフィルタの捕集効率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733992B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5203201A (en) * | 1991-12-20 | 1993-04-20 | Donaldson Company, Inc. | On-line web filtration efficiency test method |
| US5351523A (en) * | 1993-01-21 | 1994-10-04 | Tsi Incorporated | Apparatus and process for determining filter efficiency in removing colloidal suspensions |
| US5939617A (en) * | 1997-04-17 | 1999-08-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and apparatus for testing the filtration efficiency of cloth materials intended for use in a clean room environment |
| US6327893B1 (en) | 1999-12-07 | 2001-12-11 | Aaf Mcquay | Filter layer comparative testing method and apparatus |
| JP2014500139A (ja) * | 2010-11-08 | 2014-01-09 | エーエーエフ−マックウェイ インコーポレイテッド ディー／ビー／エー エーエーエフ インターナショナル | 無菌薬学用ｅＰＴＦＥフィルタおよび使用方法 |
| CN105547936A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-05-04 | 中国计量学院 | 一种超声波水雾去除超细颗粒物测试系统 |
| CN106706493A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-05-24 | 苏州单科机电有限公司 | 一种高温高压大流量过滤器装置检测系统 |
| CN112782028A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-05-11 | 中国辐射防护研究院 | 核燃料循环设施应急工况下过滤器效率实验平台及方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4139654A4 (en) * | 2020-07-08 | 2024-01-03 | Corning Incorporated | OFFLINE MEASUREMENT OF THE FILTRATION EFFICIENCY OF A HONEYCOMB BODY |
-
1987
- 1987-06-12 JP JP14752587A patent/JPH0733992B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5203201A (en) * | 1991-12-20 | 1993-04-20 | Donaldson Company, Inc. | On-line web filtration efficiency test method |
| US5351523A (en) * | 1993-01-21 | 1994-10-04 | Tsi Incorporated | Apparatus and process for determining filter efficiency in removing colloidal suspensions |
| US5939617A (en) * | 1997-04-17 | 1999-08-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and apparatus for testing the filtration efficiency of cloth materials intended for use in a clean room environment |
| US6327893B1 (en) | 1999-12-07 | 2001-12-11 | Aaf Mcquay | Filter layer comparative testing method and apparatus |
| JP2014500139A (ja) * | 2010-11-08 | 2014-01-09 | エーエーエフ−マックウェイ インコーポレイテッド ディー／ビー／エー エーエーエフ インターナショナル | 無菌薬学用ｅＰＴＦＥフィルタおよび使用方法 |
| CN105547936A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-05-04 | 中国计量学院 | 一种超声波水雾去除超细颗粒物测试系统 |
| CN106706493A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-05-24 | 苏州单科机电有限公司 | 一种高温高压大流量过滤器装置检测系统 |
| CN112782028A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-05-11 | 中国辐射防护研究院 | 核燃料循环设施应急工况下过滤器效率实验平台及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0733992B2 (ja) | 1995-04-12 |
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