JP3790593B2 - マガジンの搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マガジンの搬送装置に関し、詳しくは、半導体製造工程におけるリードフレームを収納するためのマガジンを搬送手段からエレベーターに向けて1個ずつ搬送移載するための装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、LSI等の半導体デバイスを製造する工程では、ダイボンダによりチップをリードフレームに接着(ダイボンド処理)した後、キュア装置により接着剤を熱硬化してチップをリードフレームに固着し、次いでワイヤボンダによりチップの端子とリードフレームのリードとを結線することが行われている。
【0003】
このような工程において、前記リードフレームの搬送には、多数のリードフレームを上下多段に収納可能なマガジンが用いられており、このマガジンへのリードフレームの収納や、マガジンからのリードフレームの取出しは、前記キュア装置等に設けられているリードフレーム搬送機構に対応した位置にマガジンを昇降させることにより行われている。
【0004】
このための装置として、例えば、マガジンを水平方向に搬送する上下二段の搬送手段を設けるとともに、該搬送手段の一端にマガジンを昇降させる昇降手段を設けたものが用いられている。このような装置では、例えば、下段の搬送手段に空のマガジンを載置して前記昇降手段の方向に搬送するとともに、上段の搬送手段でリードフレームを収納したマガジンを前記昇降手段から受取って反対方向に搬送するように形成し、マガジンを載置した昇降手段を、前記キュア装置等のリードフレーム搬送機構に対応した位置に所定ピッチで上昇させることにより、キュア装置等からの処理済みのリードフレームをマガジン内へ収納するようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記マガジンは、収納するリードフレームの横幅に合わせて形成されるため、幅寸法の異なるマガジンが多数種存在している。一方、マガジンを昇降させる昇降手段は、通常、前記搬送手段と干渉しない位置にマガジン載置用のフォークを設けたものであり、このフォークの長さは、通常、最大幅のマガジンの幅以上に形成されている。このため、幅の狭いマガジンをフォークに載置して昇降させる場合、昇降させるべきマガジンをフォーク上に移送した際に、次に昇降させるマガジンがフォークの先端部に掛かってしまい、このマガジンがフォークの昇降によって転倒してしまうことがあった。したがって、フォークの長さより幅の狭いマガジンを昇降させる場合には、フォーク上に1個ずつマガジンを移送する必要があった。
【0006】
そこで本発明は、搬送手段から昇降装置に移載して昇降させるマガジンと次のマガジンとを分離してマガジンを1個ずつ昇降装置に向けて搬送することができるマガジンの搬送装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のマガジンの搬送装置は、複数のマガジンを載置して水平方向に搬送する上下二段の搬送手段と、該搬送手段の端部に設けられ、一方の搬送手段から他方の搬送手段へマガジンを昇降させて移載するエレベーターとを備え、前記搬送手段から前記エレベーターへマガジンを1個ずつ搬送するためのマガジンの搬送装置であって、前記搬送手段の前記エレベーターの手前に出没可能に設けられ、前記搬送手段により順方向に搬送される第1のマガジンを停止させるマガジンストッパーと、該マガジンストッパーの直前に設けられ、前記第1のマガジン停止に続く前記搬送手段の停止時に前記第1のマガジンを載置して上昇させることにより、該第1のマガジンを前記搬送手段から切り離すマガジンリフターと、を設け、前記第1のマガジンが所定高さに上昇したとき、前記搬送手段を逆方向に移動させることにより、第2のマガジン以降のマガジンを逆移送して、第1のマガジンと第2のマガジンとの間に所定間隔を確保した後、前記搬送手段の逆方向移動を停止し、前記マガジンリフターを下降させて、前記第1のマガジンを前記搬送手段上に戻して該搬送手段を再び順方向移動させ、第1のマガジンを前記エレベータのフォークに移送可能に形成したことを特徴としている。
【0008】
上記構成のマガジンの搬送装置は、搬送手段を順方向に作動させてエレベーター(昇降装置)により昇降させる第1のマガジンが前記マガジンストッパーに当接して停止したときに搬送手段を停止させ、前記マガジンリフターを作動させて第1のマガジンを上昇させる。この状態で搬送手段を逆方向に所定距離移動させると、次に昇降させる第2のマガジン以降のマガジンが搬送手段により逆方向に移送され、マガジンリフターにより上昇して搬送手段から切り離されている第1のマガジンとの間に所定の間隔が形成される。この状態でマガジンリフターを降下させて第1のマガジンを搬送手段上に戻した後、再び搬送手段を順方向に移動させて第1のマガジンをエレベーターに移載する。このとき、第1のマガジンと第2のマガジンとの間に所定間隔を設けておくことにより、第2のマガジンがエレベーターの位置まで移動することがなく、エレベーターには、第1のマガジンのみが載置された状態となる。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明を適用したマガジン搬送装置の一例を示す正面図、図2はマガジン搬送装置をキュア装置等と組合わせた状態を示す平面図、図3は他の組合わせ例を示す平面図、図4はマガジン搬送装置の要部を示す正面図、図5は要部の概略を示す平面図、図6はマガジン搬送装置の作動を説明するための概略図である。
【0010】
マガジン搬送装置1は、例えば、図2,図3に示すように、ダイボンダ2,リードフレーム搬送装置3及びキュア装置4を有するリードフレーム処理装置に組み込まれるもので、キュア装置4でキュア処理されたリードフレームPのマガジンMへの収納、あるいは、マガジンM内に収納されているリードフレームPのキュア装置4への送り出しを行うために用いられている。
【0011】
図2に示すリードフレーム処理装置は、ダイボンダ2でダイボンド処理したリードフレームPを、リードフレーム搬送装置3を介してキュア装置4に搬送し、該キュア装置4内でキュア処理しながらキュア装置4の末端(図2において右端)に設けられた送出用ローラーコンベア41まで搬送し、送出用ローラー41aを介してマガジン搬送装置1にリードフレームPを送り出してマガジンM内に収納するようにしている。
【0012】
図3に示すリードフレーム処理装置は、通常は、ダイボンダ2でダイボンド処理したリードフレームPを、前記同様に、リードフレーム搬送装置3で図3において左側に搬送してキュア装置4でキュア処理した後、送出用ローラー41aによってリードフレームPをマガジンM内に収納するように作動するが、キュア装置4を通さずに、ダイボンド処理した状態のリードフレームPをマガジンMに直接収納することもできるように形成されている。すなわち、リードフレーム搬送装置3で、前記とは逆にリードフレームPを右側に搬送し、送出用ローラーコンベア31からキュア装置4の送出用ローラーコンベア41を通過させてマガジン搬送装置1のマガジンM内に収納できるようにしている。
【0013】
図1に示すように、前記マガジン搬送装置1は、マガジンMを水平方向に搬送する下段コンベア11と上段コンベア12とを有するもので、下段コンベア11は、空のマガジンMを図1において左側から右側に向けて搬送し、上段コンベア12は、リードフレームPを収納したマガジンMを図1において右側から左側に向けて搬送する。両コンベア11,12は、正逆転可能なモーター11a,12aによりそれぞれ駆動される。
【0014】
上記両コンベア11,12の両端部には、マガジンを前記リードフレームPの受け取りや送出し位置に昇降させるための昇降装置13がそれぞれ設けられている。このマガジン昇降装置13は、固定フォーク14aを有する下部エレベーター14と、可動フォーク15aを有する上部エレベーター15とを備えており、各エレベーター14,15は、モーター16に取付けられたボールネジ17により上下動し、前記下部エレベーター14は、下段コンベア11とのマガジン受け渡し位置から中間位置までの間を、上部エレベーター15は、上段コンベア12とのマガジン受け渡し位置から中間位置までの間を、それぞれ昇降するように形成されている。
【0015】
図1右側のマガジン昇降装置13は、下段コンベア11から空のマガジンMを受け取り、前記キュア装置4の送出用ローラー41aにより送り出されるキュア処理済みのリードフレームPをマガジンM内に収納するために所定位置で所定ピッチ毎に上昇した後、リードフレームPを収納したマガジンMを上段コンベア12に移載し、図1左側のマガジン昇降装置13は、上段コンベア12からリードフレームPを収納したマガジンMを受け取り、所定ピッチで下降しながらキュア処理を行うリードフレームPを前記キュア装置4に送り出し、空になったマガジンMを下段コンベア11に移載するものである。
【0016】
なお、図1左側のマガジン昇降装置13に載置されたマガジンMからキュア装置4へのリードフレームPの送り出しは、キュア装置4の左側に設けた受取用ローラーコンベア42及び受取用ローラー42a(図2,図3参照)と、マガジン昇降装置13に対応して設けられたプッシャー43とにより行われる。
【0017】
前記下段コンベア11の送り方向端部には、該下段コンベア11で移送するマガジンMを1個ずつ前記マガジン昇降装置13に移載するための搬送間隔調節装置51が設けられている。この搬送間隔調節装置51は、前記下部エレベーター14の手前に出没可能に設けられたマガジンストッパー52と、該マガジンストッパー52の直前に設けられたマガジンリフター53とを備えている。
【0018】
図4に示すように、前記マガジンストッパー52は、下段コンベア11の下方に設けられたシリンダー52aにより上下動するもので、該マガジンストッパー52を上昇させると、下段コンベア11で搬送されるマガジンMが、マガジンストッパー52に当接した位置で停止する。また、マガジンリフター53は、同様に下段コンベア11の下方に設けられたシリンダー53aにより上下動するもので、このマガジンリフター53を上昇させると、前記マガジンストッパー52に当接した状態のマガジンが上昇して下段コンベア11から浮き上がり、下段コンベア11の作動から切り離された状態になる。
【0019】
また、マガジンリフター53は、下段コンベア11の進行方向に対して前後一対のマガジン載置部54a,54bを有しており、マガジンストッパー52側の一方のマガジン載置部54aは、前記シリンダー53a側に固定されている。他方のマガジン載置部54bは、モーター55により駆動されるネジ軸55aに螺合しており、ネジ軸55aの回転により、下段コンベア11の進行方向に沿って移動可能に設けられている。すなわち、上昇させるマガジンMの幅寸法Wに応じてマガジン載置部54bを移動させ、両マガジン載置部54a,54bの間隔を調節することにより、マガジンストッパー52に当接して停止している先頭のマガジンのみを上昇させることができるように形成されている。なお、この両マガジン載置部54a,54bの間隔調節は、手動で行うこともできるが、通常は、リードフレーム処理装置に組込まれている制御装置に、処理するリードフレームの情報を入力することによって自動的に行われる。
【0020】
次に、図6に基づいて、マガジンを下段コンベア11により搬送して下部エレベーター14のフォーク上に1個ずつ移載する作動について説明する。
【0021】
まず、図6(A)に示すように、マガジンストッパー52が上昇した状態で下段コンベア11が順方向に作動し、下段コンベア11上に並んでいるマガジンを下部エレベーター14方向に移動させる。これにより、先頭のマガジンM1は、マガジンストッパー52に当接して所定位置に停止する。
【0022】
次に、図6(B)に示すように、マガジンリフター53が上昇して第1のマガジンM1のみを下段コンベア11から浮き上がらせ、下段コンベア11の作動から切り離した後、図6(C)に示すように、下段コンベア11が逆方向に作動し、第1のマガジンM1と第2のマガジンM2との間に適当な間隔をあけて下段コンベア11が停止する。次いで、図6(D)に示すように、マガジンリフター53が下降して第1のマガジンM1を下段コンベア11上に降ろすとともに、マガジンストッパー52が下降した後、下段コンベア11が再び順方向に作動し、図6(E)に示すように、第1のマガジンM1を下部エレベーター14のフォーク上に移載する。
【0023】
そして、再びマガジンストッパー52が上昇し、最後に、図6(F)に示すように、第1のマガジンM1を載置した下部エレベーター14が上昇を開始するとともに、下段コンベア11の作動により第2のマガジンM2がマガジンストッパー52に当接して所定位置に停止し、前記図6(A)と同じ状態になる。以下、同様の動作を繰り返すことにより、下段コンベア11上のマガジンが1個ずつ下部エレベーター14に移載されていく。なお、図6(C)における下段コンベア11の逆方向への移動距離は、図6(E)における下部エレベーター14への第1のマガジンM1の移送距離以上に設定すればよく、特に制限はないい。
【0024】
また、適当な位置に各種センサーを設けることによって下段コンベア11上のマガジンの存在を検知したり、下部エレベーター14へのマガジンの移載完了を検知したりすることにより、上述の各動作を確実に行わせることができる。
【0025】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のマガジンの搬送間隔調節装置によれば、コンベア上を搬送されるマガジンを1個ずつ確実にエレベーター(昇降装置)に移載できるので、マガジンの転倒等を生じることがなく、各種幅寸法のマガジンを確実に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明を適用したマガジン搬送装置の一例を示す正面図である。
【図2】 マガジン搬送装置をキュア装置等と組合わせた状態を示す平面図である。
【図3】 他の組合わせ例を示す平面図である。
【図4】 マガジン搬送装置の要部を示す正面図である。
【図5】 要部の概略を示す平面図である。
【図6】 マガジン搬送装置の作動を説明するための概略図である。
【符号の説明】
1…マガジン搬送装置、2…ダイボンダ、3…リードフレーム搬送装置、4…キュア装置、11…下段コンベア、12…上段コンベア、13…昇降装置、14…下部エレベーター、15…上部エレベーター、51…搬送間隔調節装置、52…マガジンストッパー、53…マガジンリフター、54a,54b…マガジン載置部、M…マガジン、P…リードフレーム
Claims (1)
- 複数のマガジンを載置して水平方向に搬送する上下二段の搬送手段と、該搬送手段の端部に設けられ、一方の搬送手段から他方の搬送手段へマガジンを昇降させて移載するエレベーターとを備え、前記搬送手段から前記エレベーターへマガジンを1個ずつ搬送するためのマガジンの搬送装置であって、
前記搬送手段の前記エレベーターの手前に出没可能に設けられ、前記搬送手段により順方向に搬送される第1のマガジンを停止させるマガジンストッパーと、
該マガジンストッパーの直前に設けられ、前記第1のマガジン停止に続く前記搬送手段の停止時に前記第1のマガジンを載置して上昇させることにより、該第1のマガジンを前記搬送手段から切り離すマガジンリフターと、
を設け、
前記第1のマガジンが所定高さに上昇したとき、前記搬送手段を逆方向に移動させることにより、第2のマガジン以降のマガジンを逆移送して、第1のマガジンと第2のマガジンとの間に所定間隔を確保した後、前記搬送手段の逆方向移動を停止し、前記マガジンリフターを下降させて、前記第1のマガジンを前記搬送手段上に戻して該搬送手段を再び順方向移動させ、第1のマガジンを前記エレベータのフォークに移送可能に形成したことを特徴とするマガジンの搬送装置。
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