KR102565931B1 - 매거진용 기판 취출 및 적재장치 및 이를 이용한 기판 취출 및 적재방법 - Google Patents

매거진용 기판 취출 및 적재장치 및 이를 이용한 기판 취출 및 적재방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치는, 전방과 후방이 개구되고 기판이 상하로 일정간격을 이루도록 수평적재되는 매거진(magazine)이 수평 공급되도록 하거나 수평 배출되도록 하는 매거진 공급 및 배출부(10); 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로 공급되거나 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로부터 배출될 매거진이 거치되는 매거진 거치부(20); 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진을 고정시키는 매거진 고정부(30); 상기 매거진 거치부(20)를 승하강시키는 매거진 거치부 승강부(40); 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 하강된 매거진의 하단에 적재된 기판이 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 수평이송되도록 기판을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 밀어주는 기판취출 푸셔(50); 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 밀어지는 기판(1)을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 이격되도록 이송하는 기판이송부(60); 정렬된 기판을 공정라인으로 반출시키거나, 공정라인으로부터 이송된 기판을 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 하는 기판정렬 반출 및 유입부(70); 매거진에 적재될 기판을 기판이송부(60)에서 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 수평이송시켜 기판을 매거진에 적재되도록 밀어주는 기판적재 푸셔(80); 상기 기판적재 푸셔(80)를 승강시키는 기판적재 푸셔 승강부(90);를 포함하여 이루어진다.

Description

매거진용 기판 취출 및 적재장치 및 이를 이용한 기판 취출 및 적재방법{Wafer Unloading and Loading Apparatus for magazine and Wafer Unloading and Loading Method using it}
본 발명은 매거진(MAGAZINE)에 적재되어 있는 기판을 개별로 취출하여 메인(MAIN) 설비에 투입하며, 메인 설비로부터 가공된 기판을 매거진에 적재되도록 하는 매거진용 기판 취출 및 적재장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정은 웨이퍼(Wafer)를 절단하여 반도체 칩을 낱개로 분리하는 소잉(Sawing)공정과, 이렇게 낱개로 분리된 반도체 칩(다이(Die))을 PCB 또는 리드프레임(이하 '기판'이라 함)의 탑재판에 에폭시를 사용하여 부착시키는 다이본딩(Die-bonding)공정, 반도체 칩 상에 구비된 칩패드와 기판의 리드(Lead)를 와이어로 연결시켜주는 와이어본딩(Wire-bonding)공정, 반도체 칩의 내부회로와 그 외의 구성부품을 보호하기 위하여 봉지재로 그 외부를 감싸는 몰딩(Molding)공정, 반도체 패키지를 식별할 수 있도록 반도체 패키지의 일면에 문자 및 기호를 새기는 마킹(Marking)공정, 리드와 리드를 연결하고 있는 댐바(dambar)를 커팅하는 트림(Trim)공정 및, 리드를 원하는 형태로 구부리는 포밍(Forming)공정 등으로 이루어진다. 이러한 반도체 제조공정에서 기판은 카세트라는 기판 적재 기구에 적재된 상태로 대부분의 공정이 수행되고 구체적으로는 상기 카세트 내부에 수납된 복수 개의 매거진에 다수의 기판이 적재된다.
이처럼 인쇄회로기판에 반도체 칩 등의 전자부품을 실장하는 공정에 사용되는 매거진(Magazine)은 인쇄회로기판을 적재하거나 수납시키기 위한 일종의 케이스로서 각 공정 간의 이송 시에 사용된다. 따라서 매거진은 각 공정의 공급부 및 배출부에 배치되며, 공급부에 배치된 매거진으로부터 수납된 인쇄회로기판을 해당 공정에 제공한 후에 공정을 마친 인쇄회로기판은 다시 매거진에 적재되어 수납시키게 된다. 이와 같은 매거진에 적재 수납되는 것은 인쇄회로기판 뿐만 아니라 각 공정에 사용되는 스트립 자재, 예를 들어 회로필름이나 리드 프레임 등이 될 수도 있다.
종래에는 매거진에 수용될 기판의 폭에 맞게 기판을 이송할 컨베이어의 폭을 그때그때마다 수동으로 조정하여야 하므로, 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
아울러, 기판을 이송할 컨베이어의 폭에 맞게 기판을 정렬하는 정렬장치 또한 기판의 폭에 맞게 그때그때마다 수동으로 조정하여야 한다.
따라서, 기판의 폭에 맞게 기판을 이송할 컨베이어의 폭을 자동으로 조정하도록 하며, 기판을 정렬하는 정렬장치 또한 기판의 폭에 맞게 자동으로 조정가능하도록 하는 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 기판의 폭에 맞게 기판을 이송할 컨베이어의 폭을 자동으로 조정하도록 하며, 기판을 정렬하는 정렬장치 또한 기판의 폭에 맞게 자동으로 조정가능하도록 하는 매거진용 기판 취출 및 적재장치를 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치는, 전방과 후방이 개구되고 기판이 상하로 일정간격을 이루도록 수평적재되는 매거진(magazine)이 수평 공급되도록 하거나 수평 배출되도록 하는 매거진 공급 및 배출부(10); 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 전방에 위치하며 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로 공급되거나 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로부터 배출될 매거진이 거치되는 매거진 거치부(20); 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진을 고정시키는 매거진 고정부(30); 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 하단에 수평적재된 기판이 일정한 높이의 인출되는 위치가 되도록 상기 매거진 거치부(20)를 승하강시키는 매거진 거치부 승강부(40); 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 하부에 위치하며, 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 하강된 매거진의 하단에 적재된 기판이 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 수평이송되도록 기판을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 밀어주어 취출되도록 하는 기판취출 푸셔(50); 상기 매거진 거치부(20)의 하부 전방에 위치하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 양측 하부를 지지하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 밀어지는 기판(1)을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 이격되도록 이송하는 기판이송부(60); 상기 기판이송부(60)의 전방에 위치하며 상기 기판이송부(60)에 의해 이송된 기판이 이송되며 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 공정라인으로 반출시키거나, 공정라인으로부터 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 매거진에 적재되도록 하기 위해 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 하는 기판정렬 반출 및 유입부(70); 상기 기판이송부(60)의 하부에 구비되며 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 승강된 매거진에 적재될 기판을 기판이송부(60)에서 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 수평이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 밀어주는 기판적재 푸셔(80); 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 공정라인으로부터 이송되어 정렬된 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 하기 위해, 상기 기판이송부(60)로 이송된 기판을 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 밀어주는 높이의 위치로 상기 기판적재 푸셔(80)를 상승시키며, 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 기판을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 민 후에 상기 기판적재 푸셔(80)를 하강되도록 하는 기판적재 푸셔 승강부(90);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)는, 매거진의 하부 일측 단부부위를 지지하며, 벨트의 회전에 의해 지지된 매거진을 이송시키는 매거진 하부 일측 지지부(11)와, 매거진의 하부 타측 단부부위를 지지하며, 벨트의 회전에 의해 지지된 매거진을 이송시키는 매거진 하부 타측 지지부(12)와, 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)를 상기 매거진 하부 일측 지지부(11) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시켜 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)와 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)가 매거진의 폭에 상응하여 매거진이 지지되도록 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)와 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)와의 이격거리를 조절하도록 하는 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)는, 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)가 고정되는 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a)과, 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)가 고정되는 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)과, 일측단부가 상기 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a)에 고정되고, 상기 매거진 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)이 상기 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a) 방향으로 슬라이드 가능하도록 타측이 상기 매거진 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)에 결합되는 매거진 하부 타측 지지부용 거리조절 가이드 봉(13c)과, 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)에 나사결합되는 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류(13d)와, 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)을 상기 매거진 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시키도록 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류(13d)를 정역회전시키는 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류 회전모터(13e)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 매거진 고정부(30)는, 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)의 전방에 위치하며, 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 일측면과 접하여 매거진의 일측면을 고정하는 매거진 일측면 고정부(31)와, 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)의 전방에 위치하며, 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 타측면과 접하여 매거진의 타측면을 고정하는 매거진 타측면 고정부(32)와, 상기 매거진 타측면 고정부(32)를 상기 매거진 일측면 고정부(31) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시켜 상기 매거진 일측면 고정부(31)와 상기 매거진 타측면 고정부(32)가 매거진의 폭에 상응하여 매거진의 양측면이 고정되도록 상기 매거진 타측면 고정부(32)와 상기 매거진 일측면 고정부(31)와의 이격거리를 조절하도록 하는 매거진 고정부용 거리조절부(33)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 매거진 고정부용 거리조절부(33)는, 상기 매거진 타측면 고정부(32)의 외측에 구비되며 상기 매거진 타측면 고정부(32)를 상기 매거진 일측면 고정부(31) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시키도록 상기 매거진 타측면 고정부(32)를 이송시키는 매거진 타측면 고정부 이송용 습동실린더로 된 것을 특징으로 한다.
또, 상기 기판적재 푸셔(80)는, 상기 기판이송부(60)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성된 기판적재 푸셔 가이드(81)와, 상기 기판적재 푸셔 가이드(81)에 결합되어 상기 기판적재 푸셔 가이드(81)를 따라 이동되는 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)와, 상기 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)에 고정되며 상기 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)의 이동에 의해 연동되어 이동되는 기판적재 푸셔 브라켓(83)과, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)의 양단부위에 구비되며 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 돌출되어 기판의 양단부위와 접하는 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)과, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 전진 이동시켜 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 전진 이동시킴으로써 기판을 전진 이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 하는 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 기판적재 푸셔(80)는, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비되며 어느 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 다른 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)으로부터 이격거리를 조절하도록 하는 기판적재 푸셔봉 이격거리조절부(86)가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기판적재 푸셔(80)의 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)은, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸리는 경우 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진에 의한 기판의 파손을 방지하도록 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 후진이동가능하도록 결합되며, 상기 기판적재 푸셔(80)는, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 후부에 구비되고, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 탄지되며, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸리는 경우 기판이 손상되는 것을 완충되도록 탄성력을 제공하고, 후진이동된 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)을 전진 복귀되도록 하는 기판적재 푸셔봉용 완충스프링(87)과, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비되되, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84) 중 어느 하나의 후단에 이격되어 구비되며, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸려 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 후진이동되는 경우 일정거리 이동된 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 감지하며 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 감지되면 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)의 작동을 정지시킴으로써 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)의 이동을 제한하도록 하는 기판적재 푸셔봉 이동 제한부(88)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)는, 상기 기판적재 푸셔 가이드(81)의 길이방향과 동일한 방향으로 길게 형성되며 상부에 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 고정되는 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)와, 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)의 양단에 각각 결합되는 구동풀리(85b) 및 종동풀리(85c)와, 상기 구동풀리(85b)를 회전시켜 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)에 고정된 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)을 전진시킴으로써 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)을 전진시켜 기판을 매거진에 적재되도록 하는 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 모터(85d)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 기판이송부(60)는, 기판(1)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성되며 회전에 의해 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 일측 하부를 지지하여 이송되도록 하는 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)와, 상기 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)가 회전가능하게 지지되는 일측 지지브라켓(62)과, 기판(1)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성되며 회전에 의해 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 타측 하부를 지지하여 이송되도록 하는 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)와, 상기 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)가 회전가능하게 지지되는 타측 지지브라켓(64)과, 상기 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)와 상기 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)를 회전구동시키는 기판이송용 모터(65)와, 상기 일측 지지브라켓(62)과 상기 타측 지지브라켓(64)이 기판의 폭에 상응하여 기판이 상기 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)와 상기 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)에 의해 지지되도록 상기 일측 지지브라켓(62)과 상기 타측 지지브라켓(64)와의 이격거리를 조절하도록 하는 지지브라켓용 거리조절부(66)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지브라켓용 거리조절부(66)는, 기판의 이송방향과 수직되게 구비되는 지지브라켓 거리조절용 가이드(66a)와, 상기 타측 지지브라켓(64)에 구비되며, 상기 지지브라켓 거리조절용 가이드(66a)에 결합되어 상기 지지브라켓 거리조절용 가이드(66a)를 따라 이동되는 지지브라켓 거리조절용 가이드 결합부(66b)와, 상기 타측 지지브라켓(64)에 나사결합되는 지지브라켓 거리조절용 리드스크류(66c)와, 상기 타측 지지브라켓(64)을 상기 일측 지지브라켓(62) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시키도록 지지브라켓 거리조절용 리드스크류(66c)를 정역회전시키는 지지브라켓 거리조절용 리드스크류 회전모터(66d)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 기판이송부(60)에는, 상기 기판이송부(60)의 전방 단부부위 하부에 구비되며, 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되고 기판(1)의 전방단부에 접하여 기판(1)의 전진을 제한하도록 하는 기판반출 제한용 스토퍼(67)와, 상기 기판이송부(60)로부터 이송된 기판이 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 좌우정렬될 때 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)를 상승시켜 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판(1)의 전방 단부에 접하도록 하여 기판(1)의 전진을 제한하도록 하며, 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 기판이 좌우정렬되어 공정라인으로 반출되면 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)를 하강시켜 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판(1)의 전방 단부로부터 이격되도록 함으로써 상기 기판이송부(60)에 의해 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 기판이 이송가능하도록 하는 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)는, 기판의 이송방향과 수직되게 수평으로 평행하게 일정간격으로 이격되어 이송된 기판이 지지되어 반출 및 유입되도록 하는 다수의 이송방향 지지롤러(71)와, 상기 이송방향 지지롤러(71)를 회전구동시키는 이송방향 지지롤러 회전구동부(72)와, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 이송방향으로 정렬되도록 하는 기판반출용 이송방향 정렬부(73)와, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 좌우방향으로 정렬되도록 하는 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기판반출용 이송방향 정렬부(73)는, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되고, 기판(1)의 전방단부에 접하여 기판을 이송방향으로 정렬되도록 하는 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)과, 상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)을 상승시켜 상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)이 기판(1)의 전방 단부에 접하도록 하여 기판(1)이 이송방향으로 정렬되도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)을 하강시켜 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 공정라인으로 반출가능하도록 하는 기판반출용 이송방향 정렬판 승강부(73b)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)는, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되되, 상기 이송방향 지지롤러(71)의 상부에 위치하며, 기판(1)의 양측 단부와 각각 접하여 기판을 좌우방향으로 정렬되도록 하는 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)과, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)의 간격을 작게 하여 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)이 기판(1)의 양측 단부에 접하도록 함으로써 기판(1)이 이송방향으로 정렬되도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)의 간격을 크게 하여 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 공정라인으로 반출가능하도록 하는 기판반출용 좌우방향 정렬판 간격조절부(74b)와, 상기 이송방향 지지롤러(71)의 하부에 위치하며, 상기 이송방향 지지롤러(71) 사이에 각각 설치되고, 기판(1)이 좌우방향으로 이송가능하도록 기판의 좌우방향으로 회전되는 좌우방향 지지롤러(74c)와, 상기 이송방향 지지롤러(71)보다 높게 상기 좌우방향 지지롤러(74c)를 상승시켜 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 상기 이송방향 지지롤러(71)로부터 이격시켜 지지되도록 함으로써 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우방향으로 정렬가능하도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 좌우방향 지지롤러(74c)를 하강시켜 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 지지되도록 하는 좌우방향 지지롤러 승강부(74d)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 기판취출 푸셔(50)는, 상기 기판이송부(60)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성된 기판취출 푸셔 가이드(51)와, 상기 기판취출 푸셔 가이드(51)에 결합되어 상기 기판취출 푸셔 가이드(51)를 따라 이동되는 기판취출 푸셔 가이드 결합부(52)와, 상기 기판취출 푸셔 가이드 결합부(52)에 고정되며 상기 기판취출 푸셔 가이드 결합부(52)의 이동에 의해 연동되어 이동되는 기판취출 푸셔 브라켓(53)과, 상기 기판취출 푸셔 브라켓(53)의 양단부위에 구비되며 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 돌출되어 기판의 양단부위와 접하는 한쌍의 기판취출 푸셔봉(54)과, 상기 기판취출 푸셔 브라켓(53)을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 전진 이동시켜 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 전진 이동시킴으로써 기판을 전진 이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진으로부터 반출되도록 하는 기판취출 푸셔 브라켓 이송부(55)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 기판취출 푸셔(50)는, 상기 기판취출 푸셔 브라켓(53)에 구비되며 어느 하나의 상기 기판취출 푸셔봉(54)을 다른 하나의 상기 기판취출 푸셔봉(54)으로부터 이격거리를 조절하도록 하는 기판취출 푸셔봉 이격거리조절부(56)가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기판 취출 및 적재방법은, 전방과 후방이 개구되고 기판이 상하로 일정간격을 이루도록 수평적재되는 매거진(magazine)이 수평 공급되도록 하는 매거진 공급 및 배출부(10)에 의해 매거진을 수평으로 공급하는 매거진 공급 단계(S10); 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 전방에 위치하며 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로 공급되거나 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로부터 배출될 매거진이 거치되는 매거진 거치부(20)에 의해 매거진을 수평으로 공급된 매거진을 거치시키는 매거진 거치 단계(S20); 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진을 매거진 고정부(30)에 의해 고정시키는 매거진 고정 단계(S30); 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 하단에 수평적재된 기판이 일정한 높이의 인출되는 위치가 되도록 상기 매거진 거치부(20)를 승하강시키는 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 매거진을 승강시키는 매거진 승강 단계(S40); 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 하부에 위치하며, 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 하강된 매거진의 하단에 적재된 기판이 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 수평이송되도록 기판을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 밀어주어 취출되도록 하는 기판취출 푸셔(50)에 의해 매거진으로부터 기판을 취출시키는 기판 취출 단계(S50); 상기 매거진 거치부(20)의 하부 전방에 위치하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 양측 하부를 지지하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 밀어지는 기판(1)을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 이격되도록 이송하는 기판이송부(60)에 의해 기판을 이송하는 취출 기판 이송 단계(S60); 상기 기판이송부(60)의 전방에 위치하며 상기 기판이송부(60)에 의해 이송된 기판이 이송되며 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 공정라인으로 반출시키거나, 공정라인으로부터 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 매거진에 적재되도록 하기 위해 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 하는 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 기판을 정렬하여 반출되도록 하는 취출 기판 정렬 및 반출 단계(S70); 반출되어 공정라인으로부터 가공되어 이송된 기판을 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 유입되도록 하는 기판 유입 단계(S80); 유입된 기판을 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 정렬하여 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 하는 유입 기판 정렬 및 이송 단계(S90); 상기 기판이송부(60)의 하부에 구비되며 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 승강된 매거진에 적재될 기판을 기판이송부(60)에서 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 수평이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 밀어주는 기판적재 푸셔(80)를, 정렬되어 상기 기판이송부(60)로 이송된 유입 기판을 밀어주는 위치로 승강시키는 기판적재 푸셔 승강부(90)에 의해 승강시키는 기판적재 푸셔 승강단계(S100); 정렬되어 상기 기판이송부(60)로 이송된 유입 기판을 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 밀어주는 기판적재 푸셔(80)에 의해 매거진에 적재되도록 하는 기판 적재 단계(S110); 유입 기판이 적재되어 상기 매거진 거치부(20)에 고정된 매거진을 해정시키는 매거진 해정 단계(S120); 해정된 유입기판이 적재된 매거진을 상기 매거진 공급 및 배출부(10)에 의해 수평 배출되도록 하는 매거진 배출단계(S130);를 포함하여 이루어진다.
상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치는, 기판의 폭에 맞게 기판을 이송할 컨베이어의 폭을 자동으로 조절하도록 하며, 기판을 정렬하는 정렬장치 또한 기판의 폭에 맞게 자동으로 조절가능하도록 하여, 기판의 폭에 맞도록 기판의 취출 및 적재가 가능하며, 기판의 폭에 맞게 조절하는 시간이 짧아, 샌산성을 향상시키는 장점이 있다.
아울러, 매거진에 기판을 적재하거나, 매거진으로부터 기판을 취출할 때 걸림이 발생되면 이를 감지하여 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치 전체를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치 전체를 나타낸 측면도이다.
도 3은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 매거진 거치부 및 매거진 거치부 승강부를 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 매거진 거치부 및 매거진 거치부 승강부를 확대한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판취출 푸셔를 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판취출 푸셔의 작동상태를 나타낸 측면도이다.
도 7은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판이송부를 나타낸 평면도이다.
도 8과 도 9는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판정렬 반출 및 유입부를 나타낸 측면도이다.
도 10은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판취출 푸셔를 나타낸 평면도이다.
도 11은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판취출 푸셔의 작동상태를 나타낸 측면도이다.
도 12 내지 도 28은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 작동상태를 나타낸 사진이다.
도 29는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치를 이용한 기판 취출 및 적재방법을 나타낸 흐름도이다.
이하, 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치 전체를 나타낸 평면도이고, 도 2는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치 전체를 나타낸 측면도이며, 도 3은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 매거진 거치부 및 매거진 거치부 승강부를 나타낸 측면도이고, 도 4는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 매거진 거치부 및 매거진 거치부 승강부를 확대한 측면도이며, 도 5는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판취출 푸셔를 나타낸 평면도이고, 도 6은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판취출 푸셔의 작동상태를 나타낸 측면도이며, 도 7은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판이송부를 나타낸 평면도이고, 도 8과 도 9는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판정렬 반출 및 유입부를 나타낸 측면도이며, 도 10은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판취출 푸셔를 나타낸 평면도이고, 도 11은 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 기판취출 푸셔의 작동상태를 나타낸 측면도이다.
본 발명의 설명에 사용되는 용어 중에서, "전방"은 기판이 진입되어 매거진에 기판이 적재되도록 하기 위한 방향 또는 매거진을 중심으로 앞쪽에 위치하는 것을 의미하며, "후방"은 기판이 매거진으로부터 취출되도록 하기 위한 방향 또는 매거진을 중심으로 뒤쪽에 위치하는 것을 의미한다.
"폭방향"은 매거진으로의 기판 적재 및 매거진으로부터의 기판 취출방향과 수직되는 방향으로 기판(1)의 너비방향을 의미한다.
본 발명에 의한 매거진용 기판 취출 및 적재장치는, 매거진 공급 및 배출부(10); 매거진 거치부(20); 매거진 고정부(30); 매거진 거치부 승강부(40); 기판취출 푸셔(50); 기판이송부(60); 기판정렬 반출 및 유입부(70); 기판적재 푸셔(80); 기판적재 푸셔 승강부(90);를 포함하여 이루어진다.
매거진 공급 및 배출부(10), 매거진 거치부(20), 매거진 고정부(30), 매거진 거치부 승강부(40), 기판취출 푸셔(50), 기판이송부(60), 기판정렬 반출 및 유입부(70), 기판적재 푸셔(80) 및 기판적재 푸셔 승강부(90)는 4각형태의 프레임(3)에 설치되게 된다.
통상 매거진(magazine)은 기판이 상하로 일정간격을 이루도록 수평적재되며, 기판의 적재 및 반출이 가능하도록 전방과 후방이 개구된다.
상기 매거진 공급 및 배출부(10)는, 매거진(magazine)이 수평 공급되도록 하거나 수평 배출되도록 하는 역할을 한다.
상기 매거진 공급 및 배출부(10)로 매거진(magazine)이 수평 공급되는 경우에는 기판이 차 있는 매거진을 공급하여 기판의 제조공정을 위한 공정라인으로 투입되도록 하며, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로부터 매거진(magazine)이 수평 배출되는 경우에는 제조공정이 완료된 기판이 적재된 매거진을 배출하거나 빈 매거진을 배출되도록 한다.
상기 매거진 공급 및 배출부(10)는, 매거진 거치부(20)로 매거진을 공급되도록 하는 공급부와 매거진 거치부(20)로부터 매거진이 배출되도록 하는 배출부가 각각 구비되어도 무방하다.
도면에서는 매거진 거치부(20)로 매거진을 공급되도록 하는 공급부와 매거진 거치부(20)로부터 매거진이 배출되도록 하는 배출부가 각각 구비된 것을 나타내었다(도 12 참조). 이 경우에는 도시된 바와 같이 공급부와 배출부가 상하로 구비되게 된다.
상기 매거진 거치부(20)는, 도 1 및 도 3에서와 같이, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 전방에 위치하며, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로부터 공급된 매거진을 거치되도록 하거나, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로 배출될 매거진을 거치되도록 하는 역할을 한다.
상기 매거진 고정부(30)는, 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진을 고정시키는 역할을 한다.
상기 매거진 거치부 승강부(40)는, 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 하단에 수평적재된 기판이 일정한 높이의 인출되는 위치가 되도록 상기 매거진 거치부(20)를 승하강시키는 역할을 한다.
상기 매거진 거치부 승강부(40)는, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 이송방향과 수직되게 직립설치되는 매거진 거치부 승강용 리드스크류와, 상기 매거진 거치부(20)에 구비되며 상기 매거진 거치부 승강용 리드스크류에 결합되는 매거진 거치부 승강용 리드스크류 결합부와, 상기 매거진 거치부 승강용 리드스크류를 회전시켜 상기 매거진 거치부 승강용 리드스크류 결합부를 승강시킴으로써 상기 매거진 거치부(20)를 승강시키는 매거진 거치부 승강용 리드스크류 회전모터로 이루어진다. 이때, 매거진 거치부 승강용 리드스크류 회전모터는 서보모터로 되어 매거진의 기판 적재 이격높이에 상응하는 높이가 되도록 상기 매거진 거치부 승강용 리드스크류를 회전시키도록 한다.
상기 기판취출 푸셔(50)는, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 하부에 위치하며, 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 하강된 매거진의 하단에 적재된 기판이 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 수평이송되도록 기판을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 밀어주어 취출되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 밀어지는 기판은 기판이송부(60)로 이동된다.
상기 기판이송부(60)는, 상기 매거진 거치부(20)의 하부 전방에 위치하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 양측 하부를 지지하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 밀어지는 기판(1)을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 이격되도록 이송하는 역할을 한다. 상기 기판이송부(60)에 의해 이송된 기판은 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 이송되어 기판을 정렬시켜 반출되도록 하거나, 공정라인으로부터 이송된 기판을 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 한다.
상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)는, 상기 기판이송부(60)의 전방에 위치하며 상기 기판이송부(60)에 의해 이송된 기판이 이송되며 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 공정라인으로 반출시키거나, 공정라인으로부터 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 매거진에 적재되도록 하기 위해 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)는, 전술한 상기 매거진 공급 및 배출부(10)와 마찬가지로, 상기 기판이송부(60)에 의해 이송된 기판이 이송되며 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 공정라인으로 반출시키는 반출부와, 공정라인으로부터 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 매거진에 적재되도록 하기 위해 상기 기판이송부(60)로 유입이송되도록 하는 유입부가 각각 구비되어도 무방하다. 이 경우에는 반출부와 유입부가 상하로 구비되게 된다.
상기 기판적재 푸셔(80)는, 상기 기판이송부(60)의 하부에 구비되며 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 승강된 매거진에 적재될 기판을 기판이송부(60)에서 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 수평이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 밀어주는 역할을 한다. 상기 기판적재 푸셔(80)는, 공정라인으로부터 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 매거진에 적재되도록 할 때 사용한다.
상기 기판적재 푸셔 승강부(90)는, 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 공정라인으로부터 이송되어 정렬된 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 하기 위해, 상기 기판이송부(60)로 이송된 기판을 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 밀어주는 높이의 위치로 상기 기판적재 푸셔(80)를 상승시키며, 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 기판을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 민 후에 상기 기판적재 푸셔(80)를 하강되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판적재 푸셔 승강부(90)에 의해 상기 기판적재 푸셔(80)가 하강하게 되면, 공정라인으로부터 이송되어 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 유입된 기판이 정렬된 후에 상기 기판이송부(60)로의 이송이 가능하게 된다. 상기 기판이송부(60)로 이송된 기판은 상기 기판적재 푸셔 승강부(90)에 의해 상기 기판적재 푸셔(80)가 상승하여 상기 기판이송부(60)로 이송된 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재할 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명은 기판이 적재된 매거진의 투입에서부터 공정라인으로의 기판의 공급 및 공정라인으로부터 공정이 완료된 기판을 매거진에 적재되도록 하여 기판이 적재된 매거진의 배출을 자동으로 일괄작업이 가능한 장점이 있다.
아울러, 본 발명은 상기 매거진 공급 및 배출부(10)가 매거진의 폭에 상응하여 매거진의 공급 및 배출이 가능하도록 하는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)는, 도 1에서와 같이, 매거진 하부 일측 지지부(11)와, 매거진 하부 타측 지지부(12) 및 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)로 이루어지도록 한다.
상기 매거진 하부 일측 지지부(11)는, 매거진의 하부 일측 단부부위를 지지하며, 벨트의 회전에 의해 지지된 매거진을 이송시키는 역할을 한다.
상기 매거진 하부 타측 지지부(12)는, 매거진의 하부 타측 단부부위를 지지하며, 벨트의 회전에 의해 지지된 매거진을 이송시키는 역할을 한다.
상기 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)는, 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)를 상기 매거진 하부 일측 지지부(11) 방향으로 이동시키거나, 서로 이격시켜 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)와 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)가 매거진의 폭에 상응하여 매거진이 지지되도록 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)와 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)와의 이격거리를 조절하도록 하는 역할을 한다.
이와 같이, 본 발명은 상기 매거진 공급 및 배출부(10)가 매거진의 폭에 상응하여 매거진의 공급 및 배출이 가능하므로, 다양한 크기의 매거진의 공급 및 배출이 가능하게 되며, 이에 따라 다양한 폭을 갖는 기판의 공정라인으로의 투입 및 기판의 공정라인으로부터 배출이 가능하게 된다.
이때, 상기 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)는, 도 1에서와 같이, 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a)과, 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)과, 매거진 하부 타측 지지부용 거리조절 가이드 봉(13c)과, 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류(13d)와, 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류 회전모터(13e)를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a)은 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)가 고정된다.
상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)은 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)가 고정된다.
상기 매거진 하부 타측 지지부용 거리조절 가이드 봉(13c)은, 일측단부가 상기 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a)에 고정되고, 상기 매거진 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)이 상기 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a) 방향으로 슬라이드 가능하도록 타측이 상기 매거진 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)에 결합된다.
상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류(13d)는, 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)에 나사결합된다.
상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류 회전모터(13e)는, 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)을 상기 매거진 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시키도록 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류(13d)를 정역회전시키는 역할을 한다.
상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류 회전모터(13e)에 의해 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류(13d)가 회전되면, 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류(13d)가 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)에 나사결합되므로, 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)이 상기 매거진 하부 타측 지지부용 거리조절 가이드 봉(13c)을 따라 상기 매거진 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a) 방향으로 이동시키거나 서로 이격되게 된다. 이에 따라 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)이 상기 매거진 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a) 방향으로 이동시키거나 서로 이격됨으로써 매거진의 폭에 상응하여 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)과 상기 매거진 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a)의 이격거리가 조절되게 된다.
이때, 상기 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)에 의한 상기 하부 타측 지지부 고정 브라켓(13b)과 상기 매거진 하부 일측 지지부 고정 브라켓(13a)의 이격거리 조절은, 공급되거나 배출되는 매거진의 폭을 감지하여 이에 상응하는 매거진의 폭에 맞게 이격거리가 조절되도록 하는 것이 바람직하다.
매거진의 폭 감지는 매거진의 폭을 감지하는 감지센서에 의해 감지될 수 있으며, 매거진에 구비되는 태그를 감지하는 리더기를 구비하여 이에 상응하는 매거진의 폭에 맞게 이격거리가 조절될 수 있다.
아울러, 본 발명의 상기 매거진 고정부(30)는, 도 3에서와 같이, 매거진을 고정할 때 매거진의 양측면을 고정되도록 하는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 본 발명의 상기 매거진 고정부(30)는, 도 4에서와 같이, 매거진 일측면 고정부(31)와, 매거진 타측면 고정부(32) 및 매거진 고정부용 거리조절부(33)로 이루어지도록 한다.
상기 매거진 일측면 고정부(31)는, 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)의 전방에 위치하며, 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 일측면과 접하여 매거진의 일측면을 고정하는 역할을 한다.
상기 매거진 타측면 고정부(32)는, 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)의 전방에 위치하며, 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 타측면과 접하여 매거진의 타측면을 고정하는 역할을 한다.
상기 매거진 고정부용 거리조절부(33)는, 상기 매거진 타측면 고정부(32)를 상기 매거진 일측면 고정부(31) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시켜 상기 매거진 일측면 고정부(31)와 상기 매거진 타측면 고정부(32)가 매거진의 폭에 상응하여 매거진의 양측면이 고정되도록 상기 매거진 타측면 고정부(32)와 상기 매거진 일측면 고정부(31)와의 이격거리를 조절하도록 하는 역할을 한다.
이때, 상기 매거진 고정부용 거리조절부(33)는, 상기 매거진 타측면 고정부(32)의 외측에 구비되며 상기 매거진 타측면 고정부(32)를 상기 매거진 일측면 고정부(31) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시키도록 상기 매거진 타측면 고정부(32)를 이송시키는 매거진 타측면 고정부 이송용 습동실린더로 된 것이 바람직하다.
상기 매거진 고정부용 거리조절부(33)의 상기 매거진 타측면 고정부(32)는 상기 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)의 상기 매거진 타측면 고정부(32)와 동일한 방향에 위치되도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치가 좌우 한쌍으로 구비될 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치가 좌우 한쌍으로 구비되게 되면 매거진의 공급 및 배출, 기판의 취출 및 적재를 더 많게 할 수 있게 되므로 생산성을 향상시킬 수 있으며, 특히, 매거진의 크기를 달리하여 공급 및 배출할 수 있는 장점을 갖게 된다.
상기 매거진 고정부용 거리조절부(33)의 상기 매거진 타측면 고정부(32)는 상기 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)의 상기 매거진 타측면 고정부(32)와 동일한 방향에 위치하게 되면, 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치가 좌우 한쌍으로 구비되는 경우 공간을 적게 차지 할 수 있게 된다. 이때, 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치가 좌우 한쌍으로 구비되는 경우, 상기 매거진 고정부용 거리조절부(33)의 상기 매거진 타측면 고정부(32)와 상기 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)의 상기 매거진 타측면 고정부(32)는 각각 좌우 외측에 위치하는 것이 바람직하다.
아울러, 본 발명의 상기 기판취출 푸셔(50)는, 도 5 및 도 6에서와 같이, 기판취출 푸셔 가이드(51)와, 기판취출 푸셔 가이드 결합부(52)와, 기판취출 푸셔 브라켓(53)과, 한쌍의 기판취출 푸셔봉(54)과, 기판취출 푸셔 브라켓 이송부(55)를 포함하여 이루어진다.
상기 기판취출 푸셔 가이드(51)는, 상기 기판이송부(60)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성된다.
상기 기판취출 푸셔 가이드 결합부(52)는, 상기 기판취출 푸셔 가이드(51)에 결합되어 상기 기판취출 푸셔 가이드(51)를 따라 이동된다.
상기 기판취출 푸셔 브라켓(53)은, 상기 기판취출 푸셔 가이드 결합부(52)에 고정되며 상기 기판취출 푸셔 가이드 결합부(52)의 이동에 의해 연동되어 이동된다.
상기 기판취출 푸셔봉(54)은, 상기 기판취출 푸셔 브라켓(53)의 양단부위에 구비되며 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 돌출되어 기판의 양단부위와 접하며, 좌우 한쌍으로 이루어진다.
상기 기판취출 푸셔 브라켓 이송부(55)는, 상기 기판취출 푸셔 브라켓(53)을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 전진 이동시켜 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 전진 이동시킴으로써 기판을 전진 이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진으로부터 반출되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판취출 푸셔 브라켓 이송부(55)는 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)와 동일한 형태가 될 수 있다. 도면에서는 리드스크류와 이에 리드스크류 결합부 및 리드스크류 회전모터의 형태로 구성되어 기판취출 푸셔 브라켓(53)을 이송하는 형태로 도시하였다.
상기 기판취출 푸셔 브라켓 이송부(55)는, 기판취출 푸셔 브라켓 이송용 리드스크류(55a)와, 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 고정되며 기판취출 푸셔 브라켓 이송용 리드스크류(55a)가 나사결합되는 기판취출 푸셔 브라켓 이송용 리드스크류 결합부(55b)와, 상기 기판취출 푸셔 브라켓 이송용 리드스크류(55a)를 회전시키는 기판취출 푸셔 브라켓 이송용 리드스크류 회전모터(55c)로 이루어진다.
아울러, 상기 기판취출 푸셔(50)는, 상기 기판적재 푸셔(80)의 상기 기판적재 푸셔봉(84)과 마찬가지로, 기판취출 푸셔봉(54)의 이격거리를 조절하도록 하는 기판취출 푸셔봉 이격거리조절부(56)가 더 구비된 것이 바람직하다.
상기 기판취출 푸셔봉 이격거리조절부(56)는, 상기 기판취출 푸셔 브라켓(53)에 구비되며 어느 하나의 상기 기판취출 푸셔봉(54)을 다른 하나의 상기 기판취출 푸셔봉(54)으로부터 이격거리를 조절하도록 하는 역할을 한다. 상기 기판취출 푸셔봉 이격거리조절부(56)는, 상기 기판취출 푸셔 브라켓(53)에 고정되는 기판취출 푸셔봉 이격거리조절용 실린더(56a)와, 하나의 상기 기판취출 푸셔봉(54)에 결합되며 기판취출 푸셔봉 이격거리조절용 실린더(56a)의 인출 및 인입에 의해 하나의 상기 기판취출 푸셔봉(54)과 다른 하나의 상기 기판취출 푸셔봉(54)의 이격거리를 조절되도록 하는 기판취출 푸셔봉 이격거리조절용 피스톤(56b)으로 이루어진다.
상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)이 상기 기판이송부(60)로 이송되어 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 이동되어 기판이 반출될 때에는 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 기판이 정렬되어 반출되게 되므로 큰 문제가 되지 않지만, 공정라인으로부터 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 이동되어 상기 기판이송부(60)로 이동되는 기판 유입시에는 기판이 정렬되어 이동될 필요성이 있으며, 기판이송부(60)에서 기판이 정렬되어 이동되어야 기판을 매거진에 원활하게 적재되도록 할 수 있게 된다.
이를 위하여, 상기 기판이송부(60)는, 도 7에서와 같이, 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)와, 일측 지지브라켓(62)과, 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)와, 타측 지지브라켓(64)과, 기판이송용 모터(65)와, 지지브라켓용 거리조절부(66)로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)는, 기판(1)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성되며 회전에 의해 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 일측 하부를 지지하여 이송되도록 하는 역할을 한다.
상기 일측 지지브라켓(62)은, 상기 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)가 회전가능하게 지지된다.
상기 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)는, 기판(1)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성되며 회전에 의해 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 타측 하부를 지지하여 이송되도록 하는 역할을 한다.
상기 타측 지지브라켓(64)은, 상기 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)가 회전가능하게 지지된다.
상기 기판이송용 모터(65)는, 상기 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)와 상기 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)를 회전구동시키는 역할을 한다.
상기 지지브라켓용 거리조절부(66)는, 상기 일측 지지브라켓(62)과 상기 타측 지지브라켓(64)이 기판의 폭에 상응하여 기판이 상기 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)와 상기 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)에 의해 지지되도록 상기 일측 지지브라켓(62)과 상기 타측 지지브라켓(64)와의 이격거리를 조절하도록 하는 역할을 한다.
이와 같이, 본 발명의 기판이송부(60)는, 상기 지지브라켓용 거리조절부(66)에 의해 상기 일측 지지브라켓(62)과 상기 타측 지지브라켓(64)이 기판의 폭에 상응하여 기판이 상기 일측 기판이송용 루프형 벨트(61)와 상기 타측 기판이송용 루프형 벨트(63)에 의해 지지되도록 하여 기판이 정렬된 상태로 이송되게 되므로, 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 기판이송부(60)에서 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 원활하게 적재할 수 있게 된다.
이때, 상기 지지브라켓용 거리조절부(66)는, 지지브라켓 거리조절용 가이드(66a)와, 지지브라켓 거리조절용 가이드 결합부(66b)와, 지지브라켓 거리조절용 리드스크류(66c)와, 지지브라켓 거리조절용 리드스크류 회전모터(66d)로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 지지브라켓 거리조절용 가이드(66a)는, 기판의 이송방향과 수직되게 구비된다.
상기 지지브라켓 거리조절용 가이드 결합부(66b)는, 상기 타측 지지브라켓(64)에 구비되며, 상기 지지브라켓 거리조절용 가이드(66a)에 결합되어 상기 지지브라켓 거리조절용 가이드(66a)를 따라 이동된다.
상기 지지브라켓 거리조절용 리드스크류(66c)는, 상기 타측 지지브라켓(64)에 나사결합된다.
상기 지지브라켓 거리조절용 리드스크류 회전모터(66d)는, 상기 타측 지지브라켓(64)을 상기 일측 지지브라켓(62) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시키도록 지지브라켓 거리조절용 리드스크류(66c)를 정역회전시키는 역할을 한다.
상기 지지브라켓 거리조절용 리드스크류 회전모터(66d)에 의해 상기 지지브라켓 거리조절용 리드스크류(66c)가 회전되면, 상기 지지브라켓 거리조절용 리드스크류(66c)가 상기 타측 지지브라켓(64)에 나사결합되므로, 상기 타측 지지브라켓(64)에 구비된 상기 지지브라켓 거리조절용 가이드 결합부(66b)가 이와 결합되는 상기 지지브라켓 거리조절용 가이드(66a)를 따라 상기 타측 지지브라켓(64)이 상기 일측 지지브라켓(62) 방향으로 이동시키거나 서로 이격되게 된다. 이에 따라 상기 타측 지지브라켓(64)이 상기 일측 지지브라켓(62) 방향으로 이동시키거나 서로 이격됨으로써 기판의 폭에 상응하여 상기 일측 지지브라켓(62)과 상기 타측 지지브라켓(64)의 이격거리가 조절되게 된다.
아울러, 본 발명의 기판이송부(60)에는 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의한 기판 정렬시에 기판이 상기 기판이송부(60)로부터 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 이동되는 것을 제한하도록 하는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 본 발명은, 상기 기판이송부(60)에, 기판(1)의 전진을 제한하도록 하는 기판반출 제한용 스토퍼(67)와, 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)를 승강시키는 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)가 더 구비되도록 한다.
상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)는, 상기 기판이송부(60)의 전방 단부부위 하부에 구비되며, 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되고 기판(1)의 전방단부에 접하여 기판(1)의 전진을 제한하도록 하는 역할을 한다.
상기 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)는, 상기 기판이송부(60)로부터 이송된 기판이 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 좌우정렬될 때, 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)를 상승시켜 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판(1)의 전방 단부에 접하도록 하여 기판(1)의 전진을 제한하도록 하며, 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 기판이 좌우정렬되어 공정라인으로 반출되면 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)를 하강시켜 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판(1)의 전방 단부로부터 이격되도록 함으로써 상기 기판이송부(60)에 의해 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 기판이 이송가능하도록 하는 역할을 한다.
이때, 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의한 기판 정렬시에 기판의 전방단부가 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)에 접하게 되면 상기 기판이송부(60)의 이송작동이 정지되게 되며, 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의한 기판 정렬이 완료되어 상기 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)를 하강시키면 다시 상기 기판이송부(60)의 이송작동이 재가동되도록 한다.
본 발명의 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)는, 기판의 이송을 위하여 롤러에 의해 이송되도록 하고, 기판을 정렬되도록 하기 위하여 이송방향 정렬과 이송방향과 수직되는 좌우방향 정렬이 되도록 하는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 본 발명의 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)는, 도 8 및 도 9에서와 같이, 다수의 이송방향 지지롤러(71)와, 이송방향 지지롤러 회전구동부(72)와, 기판반출용 이송방향 정렬부(73)와, 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)를 포함하여 이루어지도록 한다.
상기 이송방향 지지롤러(71)는, 기판의 이송방향과 수직되게 수평으로 평행하게 일정간격으로 이격되어 이송된 기판이 지지되어 반출 및 유입되도록 하며 다수개로 이루어진다.
상기 이송방향 지지롤러 회전구동부(72)는, 상기 이송방향 지지롤러(71)를 회전구동시키는 역할을 한다.
상기 기판반출용 이송방향 정렬부(73)는, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 이송방향으로 정렬되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)는, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 좌우방향으로 정렬되도록 하는 역할을 한다.
이때, 상기 기판반출용 이송방향 정렬부(73)는, 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)과, 기판반출용 이송방향 정렬판 승강부(73b)로 이루어지도록 한다.
상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)은, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되고, 기판(1)의 전방단부에 접하여 기판을 이송방향으로 정렬되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판반출용 이송방향 정렬판 승강부(73b)는, 상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)을 상승시켜 상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)이 기판(1)의 전방 단부에 접하도록 하여 기판(1)이 이송방향으로 정렬되도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)을 하강시켜 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 공정라인으로 반출가능하도록 하는 역할을 한다.
아울러, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)는, 상기 이송방향 지지롤러(71)의 상부로 이격된 상태에서 기판을 좌우 정렬되도록 하는 것이 바람직하며, 이를 위하여, 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)과, 기판반출용 좌우방향 정렬판 간격조절부(74b)와, 좌우방향 지지롤러(74c)와, 좌우방향 지지롤러 승강부(74d)로 이루어지도록 한다.
상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)은, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되되, 상기 이송방향 지지롤러(71)의 상부에 위치하며, 기판(1)의 양측 단부와 각각 접하여 기판을 좌우방향으로 정렬되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판반출용 좌우방향 정렬판 간격조절부(74b)는, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)의 간격을 작게 하여 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)이 기판(1)의 양측 단부에 접하도록 함으로써 기판(1)이 이송방향으로 정렬되도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)의 간격을 크게 하여 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 공정라인으로 반출가능하도록 하는 역할을 한다.
상기 기판반출용 좌우방향 정렬판 간격조절부(74b)는, 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)의 이송방향 지지롤러(71)의 하부에 구비되는 것이 바람직하다.
상기 기판반출용 좌우방향 정렬판 간격조절부(74b)는, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)이 각각 고정되는 한쌍의 로드(74b-1)와, 상기 로드(74b-1)가 각각 고정되는 한쌍의 좌우방향 정렬용 리드스크류 결합부(74b-2)와, 상기 좌우방향 정렬용 리드스크류 결합부(74b-2)가 결합되는 좌우방향 정렬용 리드스크류(74b-3)와, 상기 좌우방향 정렬용 리드스크류(74b-3)를 회전시키는 좌우방향 정렬용 리드스크류 회전수단(74b-4)으로 이루어진다.
이때, 각각의 좌우방향 정렬용 리드스크류 결합부(74b-2)는 좌우방향 정렬용 리드스크류(74b-3)의 회전에 의해 이송방향이 각각 반대로 되며, 좌우방향 정렬용 리드스크류(74b-3)는 좌우방향 정렬용 리드스크류 결합부(74b-2)가 결합되는 나사부위가 좌우방향 정렬용 리드스크류(74b-3)의 중심으로부터 각각 대칭되게 반대방향으로 형성된다. 이에 따라 상기 좌우방향 정렬용 리드스크류(74b-3)가 일방향으로 회전되면 좌우방향 정렬용 리드스크류 결합부(74b-2)는 가까워지게 되어 결국 한쌍의 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)의 간격이 작게 되며, 좌우방향 정렬용 리드스크류(74b-3)가 타방향으로 회전되면 좌우방향 정렬용 리드스크류 결합부(74b-2)는 멀어지게 되어, 결국 한쌍의 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)의 간격이 크게 된다.
즉, 좌우방향 정렬용 리드스크류(74b-3)는 한쪽에 형성된 나사가 왼쪽 나선으로 형성되면 다른쪽에 형성된 나사는 오른쪽 나선으로 형성된다.
상기 좌우방향 지지롤러(74c)는, 상기 이송방향 지지롤러(71)의 하부에 위치하며, 상기 이송방향 지지롤러(71) 사이에 각각 설치되고, 기판(1)이 좌우방향으로 이송가능하도록 기판의 좌우방향으로 회전되는 역할을 한다.
상기 좌우방향 지지롤러 승강부(74d)는, 상기 이송방향 지지롤러(71)보다 높게 상기 좌우방향 지지롤러(74c)를 상승시켜 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 상기 이송방향 지지롤러(71)로부터 이격시켜 지지되도록 함으로써 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우방향으로 정렬가능하도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 좌우방향 지지롤러(74c)를 하강시켜 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 지지되도록 하는 역할을 한다.
본 발명의 상기 기판적재 푸셔(80)는, 상기 기판취출 푸셔(50)와 유사한 형태로 되며, 도 10 및 도 11에서와 같이, 기판적재 푸셔 가이드(81)와, 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)와, 기판적재 푸셔 브라켓(83)과, 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)과, 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 기판적재 푸셔 가이드(81)는, 상기 기판이송부(60)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성된다.
상기 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)는, 상기 기판적재 푸셔 가이드(81)에 결합되어 상기 기판적재 푸셔 가이드(81)를 따라 이동된다.
상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)은, 상기 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)에 고정되며 상기 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)의 이동에 의해 연동되어 이동된다.
상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)은, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)의 양단부위에 구비되며 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 돌출되어 기판의 양단부위와 접하여 기판의 양단부위를 미는 역할을 한다.
상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)는, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 전진 이동시켜 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 전진 이동시킴으로써 기판을 전진 이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)에 의해 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 전진 이동시키게 되면, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)은 이에 고정된 상기 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)가 상기 기판적재 푸셔 가이드(81)를 따라 이동되게 되면서, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)의 양단부위에 구비된 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 전진하게 되며, 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)에 접하는 기판이 전진하게 되어 기판이 매거진에 적재되게 된다.
또한, 본 발명은 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)에 의해 기판의 양단부위를 상기 기판적재 푸셔봉(84)으로 밀어 매거진에 적재하도록 하는 이유는, 기판의 폭이 커지게 되면 가운데 부분이 처짐이 발생될 수 있으므로, 기판을 밀어 적재하는 것을 안정적으로 수행할 수 있도록 하기 위함이다.
이때, 상기 기판적재 푸셔(80)는, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비되며 어느 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 다른 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)으로부터 이격거리를 조절하도록 하는 기판적재 푸셔봉 이격거리조절부(86)가 더 구비된 것이 바람직하다.
상기 기판적재 푸셔봉 이격거리조절부(86)는, 상기 기판취출 푸셔봉(54)과 유사한 형태로 되며, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 고정되는 기판적재 푸셔봉 이격거리조절용 실린더(86a)와, 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)에 결합되며 기판적재 푸셔봉 이격거리조절용 실린더(86a)의 인출 및 인입에 의해 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)과 다른 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)의 이격거리를 조절되도록 하는 기판적재 푸셔봉 이격거리조절용 피스톤(86b)으로 이루어진다.
이와 같이, 본 발명은 상기 기판적재 푸셔봉 이격거리조절부(86)에 의해 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 다른 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)으로부터 이격거리를 조절하도록 하게 되므로, 기판의 폭에 상응하여 상기 기판적재 푸셔봉(84)에 의해 기판을 밀어 매거진에 적재할 수 있게 된다.
아울러, 본 발명은 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 기판이 매거진에 적재되도록 할 때, 기판이 매거진에 걸리는 경우 기판이 손상되는 것을 방지되도록 하는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)은 후진가능하도록 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 결합되도록 하며, 상기 기판적재 푸셔(80)에 기판적재 푸셔봉용 완충스프링(87)과 기판적재 푸셔봉 이동 제한부(88)가 구비되도록 한다.
상기 기판적재 푸셔(80)의 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)은, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸리는 경우 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진에 의한 기판의 파손을 방지하도록 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 후진이동가능하도록 결합되도록 한다.
상기 기판적재 푸셔봉용 완충스프링(87)은, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 후부에 구비되고, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 탄지되며, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸리는 경우 기판이 손상되는 것을 완충되도록 탄성력을 제공하고, 후진이동된 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)을 전진 복귀되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판적재 푸셔봉 이동 제한부(88)는, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비되되, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84) 중 어느 하나의 후단에 이격되어 구비되며, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸려 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 후진이동되는 경우 일정거리 이동된 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 감지하며 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 감지되면 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)의 작동을 정지시킴으로써 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 이동을 제한하도록 하는 역할을 한다.
이때, 상기 기판적재 푸셔봉용 완충스프링(87)의 탄성력은, 기판이 매거진에 걸리지 않고 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)에 의해 기판을 밀 때 기판이 원활하게 밀려 매거진에 정상적으로 적재될 수 있는 탄성력보다 크도록 하며, 기판이 매거진에 적재될 때 기판이 걸려 매거진에 적재되지 않는 경우 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)에 의해 기판을 밀 때 기판이 손상되지 않을 정도의 탄성력보다 작도록 하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성으로 된 본 발명의 상기 기판적재 푸셔(80)는, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 정상적으로 적재되는 경우에는 문제가 되지 않지만, 기판이 걸려 정상적으로 매거진에 적재되지 않는 경우에는, 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 후진가능하도록 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 결합되므로, 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 기판이 밀리는 반대방향으로 후진하게 된다. 상기 기판적재 푸셔봉(84)의 후부에는 상기 기판적재 푸셔봉용 완충스프링(87)이 탄지되므로, 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 상기 기판적재 푸셔봉용 완충스프링(87)에 탄지된 상태로 후진하다가, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비되며 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84) 중 어느 하나의 후단에 이격되어 구비된 상기 기판적재 푸셔봉 이동 제한부(88)에 의해 상기 기판적재 푸셔봉(84)의 후단이 감지되면, 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)의 작동을 정지시킴으로써 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)의 이동을 제한하게 된다. 이와 같이, 본 발명은 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸려 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 후진이동되는 경우, 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 감지하여 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)의 작동을 정지시킴으로써 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)는, 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)와, 구동풀리(85b) 및 종동풀리(85c)와, 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 모터(85d)를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)는, 상기 기판적재 푸셔 가이드(81)의 길이방향과 동일한 방향으로 길게 형성되며 상부에 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 고정된다.
상기 구동풀리(85b) 및 종동풀리(85c)는 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)의 양단에 각각 결합된다.
상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 모터(85d)는, 상기 구동풀리(85b)를 회전시켜 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)에 고정된 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)을 전진시킴으로써 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)을 전진시켜 기판을 매거진에 적재되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)가 회전되면 상부에 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 고정되므로, 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트(85a)의 회전방향에 따라 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)이 전후진 이동되게 되며, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)의 전진이동에 의해 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)에 의해 기판을 매거진에 밀어 적재되도록 하며, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)의 후진이동에 의해 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)이 원위치로 복귀되게 된다.
본 발명의 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 공정라인으로부터 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 매거진에 적재되도록 하기 위해 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 할 때, 상기 기판유입용 이송방향 정렬부(75)가 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 구비되도록 한다.
이때, 상기 기판유입용 이송방향 정렬부(75)는, 기판반출용 이송방향 정렬부(73)와 마찬가지로, 기판유입용 이송방향 정렬판과, 기판유입용 이송방향 정렬판 승강부로 이루어지도록 한다.
상기 기판유입용 이송방향 정렬판은, 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되고, 유입되는 기판(1)의 전방단부에 접하여 기판을 이송방향으로 정렬되도록 하는 역할을 한다.
상기 기판유입용 이송방향 정렬판 승강부는, 상기 기판반출용 이송방향 정렬판 승강부와 동일한 형태로 되며, 상기 기판유입용 이송방향 정렬판을 상승시켜 상기 기판유입용 이송방향 정렬판이 유입되는 기판(1)의 전방 단부에 접하도록 하여 기판(1)이 이송방향으로 정렬되도록 하며, 상기 기판유입용 좌우 정렬부에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 기판유입용 이송방향 정렬판을 하강시켜 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 상기 기판이송부(60)로 유입가능하도록 하는 역할을 한다.
아울러, 상기 기판유입용 좌우 정렬부는, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)를 공동으로 이용하게 되며, 상기 이송방향 지지롤러(71)의 상부로 이격된 상태에서 기판을 좌우 정렬되도록 한다.
아울러, 본 발명의 기판이송부(60)에는 공정라인으로부터 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 유입되어 정렬된 기판이 상기 기판이송부(60)에 의해 이송되게 되는데, 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 밀어주기 전에 상기 기판이송부(60)로부터 상기 매거진 거치부(20)로 이동되는 것을 제한하도록 하는 것이 바람직하다.
이를 위하여, 본 발명은, 상기 기판이송부(60)에, 유입된 기판(1)의 전진을 제한하도록 하는 기판유입 제한용 스토퍼(69a)와, 상기 기판유입 제한용 스토퍼(69a)를 승강시키는 기판유입 제한용 스토퍼 승강부(미도시됨)가 더 구비되도록 한다.
상기 기판유입 제한용 스토퍼(69a)는, 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)와 마찬가지로, 상기 기판이송부(60)의 전방 단부부위 하부에 구비되며, 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되고 유입되는 기판(1)의 전방단부에 접하여 기판(1)의 전진을 제한하도록 하는 역할을 한다.
상기 기판유입 제한용 스토퍼 승강부는, 상기 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)와 마찬가지로, 공정라인으로부터 이송된 기판이 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 좌우정렬되어 상기 기판이송부(60)에 의해 이송될 때, 상기 기판유입 제한용 스토퍼(69a)를 상승시켜 상기 기판유입 제한용 스토퍼(69a)가 유입되는 기판(1)의 전방 단부에 접하도록 하여 기판(1)의 전진을 제한하도록 하며, 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 기판(1)을 밀어 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 할 때, 상기 기판유입 제한용 스토퍼(69a)를 하강시켜 상기 기판유입 제한용 스토퍼(69a)가 유입되는 기판(1)의 전방 단부로부터 이격되도록 함으로써 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재가능하도록 하는 역할을 한다.
이때, 상기 기판이송부(60)에 의해 이송된 유입되는 기판의 전방단부가 상기 기판유입 제한용 스토퍼(69a)에 접하게 되면 상기 기판이송부(60)의 유입이송작동이 정지되게 되며, 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재가 완료되어 상기 기판적재 푸셔(80)가 복귀되고 상기 기판유입 제한용 스토퍼 승강부에 의해 상기 기판유입 제한용 스토퍼(69a)가 상승하면 다시 상기 기판이송부(60)의 유입이송작동이 재가동되도록 한다.
상기와 같은 구성으로 된 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치를 이용하여 다음과 같이 공급된 매거진으로부터 기판을 취출하여 공정라인으로 투입되도록 하고, 공정라인으로부터 제조가 완료된 기판을 매거진에 적재시켜 매거진을 배출되도록 한다.
이하, 도 12 내지 도 27에 도시된 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치의 작동상태를 나타낸 사진을 참고하여 설명하면 다음과 같다.
매거진(2)이 매거진 공급 및 배출부(10)에 의해 매거진 거치부(20)로 공급되어 거치되며, 매거진(2)이 매거진 거치부(20)로 거치되면 매거진 고정부(30)에 의해 고정되게 된다.
도 12는 매거진 공급 및 배출부(10) 및 매거진 거치부(20)를 나타낸 사진으로, 매거진 공급 및 배출부(10)로부터 매거진(2)이 공급되어 매거진 거치부(20)에 거치된 상태를 나타내며, 도 13은 매거진 공급 및 배출부(10)에 의해 매거진이 매거진 거치부(20)로 공급이송되어 매거진 고정부(30)에 의해 매거진(2)이 고정된 상태를 나타낸다.
매거진(2)이 매거진 고정부(30)에 의해 고정되면, 매거진 거치부(20)가 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 하강하게 되며, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 하부에 위치하는 기판취출 푸셔(50)가 전진이동되며, 기판취출 푸셔 브라켓(53)에 구비된 기판취출 푸셔봉(54)이 전진되어 매거진(2)에 적재된 기판(1)을 하나씩 반출하게 된다.
도 14는 기판취출 푸셔(50)에 의해 매거진(2)으로부터 기판(1)을 반출하기 직전의 상태이고, 도 15는 기판취출 푸셔(50)에 의해 매거진(2)으로부터 기판(1)이 반출되는 상태를 나타낸 사진이고, 도 16은 기판취출 푸셔(50)에 의해 매거진(2)으로부터 기판(1)이 반출되어 기판이송부(60)에 의해 기판이 이송되는 상태를 나타낸 사진이다.
기판취출 푸셔(50)의 전진이동에 의해 매거진(2)으로부터 기판(1)이 반출되게 되면, 기판이송부(60)에 의해 기판(1)이 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 이송되게 된다.
이때, 기판(1)이 기판이송부(60)에 의해 이송되어 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 이송되기 전에 기판반출 제한용 스토퍼(67)에 의해 이송이 제한되게 된다. 이 경우에는 기판정렬 반출 및 유입부(70)에서 기판이 공정라인으로 배출되기 전의 상태이며, 기판정렬 반출 및 유입부(70)에서 기판이 공정라인으로 배출되기 시작하면, 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 하강되어 기판이 기판정렬 반출 및 유입부(70)로의 이송이 가능하도록 한다.
도 17과 도 18은 기판이송부로부터 기판정렬 반출 및 유입부로 기판이 이송되기 전의 상태로 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 상승되어 기판이 기판정렬 반출 및 유입부(70)로의 이송이 제한된 상태이다.
기판정렬 반출 및 유입부(70)에서 기판이 공정라인으로 배출되기 시작하면, 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 하강되어 기판이 기판정렬 반출 및 유입부(70)로의 이송이 가능한 상태가 되도록 한다.
도 19와 도 20은 기판이송부(60)로부터 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 기판이 이송되기 직전의 상태로 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 하강되어 기판이 기판정렬 반출 및 유입부(70)로의 이송이 가능한 상태이다.
기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 하강하면, 기판이송부(60)에 의해 기판(1)이 기판정렬 반출 및 유입부(70)로의 이송되게 된다. 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 이송된 기판(1)은 먼저 기판반출용 이송방향 정렬부(73)의 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)에 의해 기판(1)이 이송방향으로 정렬되게 된다. 이때, 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 선행된 기판이 공정라인으로의 배출이 완료되면, 기판반출용 이송방향 정렬부(73)의 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)이 기판반출용 이송방향 정렬판 승강부(73b)에 의해 상승되어 기판의 이송방향 정렬대기 상태가 된다.
도 21은 기판이송부(60)로부터 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 이송된 기판이 기판반출용 이송방향 정렬부(73)의 상승된 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)에 의해 이송방향으로 정렬되는 상태를 나타낸 사진이다.
기판(1)이 이송방향으로 정렬이 완료되면, 기판(1)은 기판정렬 반출 및 유입부(70)의 이송방향 지지롤러(71)로부터 상부로 이격된 상태에서 좌우정렬되도록 한다.
이를 위하여 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)의 좌우방향 지지롤러 승강부(74d)에 의해 좌우방향 지지롤러(74c)를 상승시켜 기판(1)이 이송방향 지지롤러(71)로부터 상부로 이격되도록 하며, 기판반출용 좌우방향 정렬판 간격조절부(74b)에 의해 간격 조절되는 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판(1)이 좌우방향으로 정렬되도록 한다.
도 22는 기판이송부(60)로부터 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 이송된 기판이 좌우방향으로 정렬되기 위해 기판(1)이 좌우방향 지지롤러(74c)의 상승에 의해 이송방향 지지롤러(71)로부터 상부로 이격된 상태를 나타내며, 도 23은 좌우방향 지지롤러(74c)의 상승에 의해 이송방향 지지롤러(71)로부터 상부로 이격된 기판(1)이 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 좌우방향으로 정렬되는 상태를 나타낸 사진이다.
기판(1)이 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)에 의해 이송방향으로 정렬되고, 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 좌우방향으로 정렬이 완료되면, 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)은 하강하게 되고, 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)은 원위치로 복귀되게 되며, 정렬된 기판(1)은 공정라인으로 배출되게 된다.
한편, 공정라인으로부터 제조가 완료된 기판(1)은 매거진(2)에 적재시키기 위해 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 유입되도록 한다.
기판정렬 반출 및 유입부(70)로 유입된 기판은 유입이송방향으로의 정렬 및 좌우방향으로의 정렬을 수행하여 기판이송부(60)로 이송되게 된다.
유입된 기판(1)은 기판반출용 이송방향 정렬부(73)와 동일하게 작동되는 기판유입용 이송방향 정렬부(75)에 의해 유입이송방향으로 정렬되게 되며, 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)에 의해 좌우방향으로 정렬되게 된다.
도 24는 공정라인으로부터 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 유입된 기판(1)이 이송방향으로 정렬되는 상태를 나타낸 사진이다.
정렬이 완료된 유입된 기판은 기판이송부(60)로 이송되고, 기판이송부(60)로 이송된 기판은 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진(2)으로의 적재를 위해 이송되게 된다.
도 25는 기판정렬 반출 및 유입부(70)로부터 이송된 기판(1)이 기판이송부(60)에 의해 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진(2)으로의 적재를 위해 이송되는 상태를 나타낸 사진이다.
기판이송부(60)에 의해 이송된 기판은 매거진에 적재되기 직전에 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 상승된 기판유입 제한용 스토퍼(69a)에 의해 유입이 제한되게 된다. 이때, 기판적재 푸셔(80)는 기판이송부(60)에 의해 기판(1)의 이송이 가능하도록 하강한 상태이다.
도 26은 유입된 기판이 기판이송부(60)에 의해 이송되어 매거진(2)에 적재되기 직전의 상태로, 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 상승된 기판유입 제한용 스토퍼(69a)에 의해 유입이 제한된 상태를 나타낸 사진이다.
이러한 상태에서, 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 기판유입 제한용 스토퍼(69a)가 하강하게 되고 하강된 기판적재 푸셔(80)는 상승하게 되고, 기판적재 푸셔(80)의 전진에 의해 기판(1)을 매거진(2)에 적재되도록 한다.
도 27은 유입된 기판이 기판이송부(60)에 의해 이송되어 기판적재 푸셔(80)에 의해 매거진에 적재되기 직전의 상태로, 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)에 의해 기판유입 제한용 스토퍼(69a)가 하강하게 되고 하강된 기판적재 푸셔(80)가 상승한 상태를 나타낸다.
기판(1)이 매거진(2)에 적재가 완료되면, 기판(1)이 적재된 매거진(2)은 매거진 거치부(20)로부터 매거진 공급 및 배출부(10)로 이송되어 매거진(2)을 배출하게 된다.
도 28은 매거진 거치부(20)로부터 매거진 공급 및 배출부(10)로 매거진이 배출되는 상태를 나타낸 사진이다.
상기와 같은 구성으로 된 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치를 이용하여 다음과 같이 매거진으로부터 기판을 취출하고 공정라인으로부터 가공이 완료된 기판을 매거진에 적재되도록 한다.
도 29는 본 발명의 매거진용 기판 취출 및 적재장치를 이용한 기판 취출 및 적재방법을 나타낸 흐름도이다.
먼저, 전방과 후방이 개구되고 기판이 상하로 일정간격을 이루도록 수평적재되는 매거진(magazine)이 수평 공급되도록 하는 매거진 공급 및 배출부(10)에 의해 매거진을 수평으로 공급한다(S10).
이어서, 상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 전방에 위치하며 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로 공급되거나 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로부터 배출될 매거진이 거치되는 매거진 거치부(20)에 의해 매거진을 수평으로 공급된 매거진을 거치시킨다(S20).
상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진을 매거진 고정부(30)에 의해 고정시킨다(S30).
이어서, 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 하단에 수평적재된 기판이 일정한 높이의 인출되는 위치가 되도록 상기 매거진 거치부(20)를 승하강시키는 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 매거진을 승강시킨다(S40).
상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 하부에 위치하며, 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 하강된 매거진의 하단에 적재된 기판이 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 수평이송되도록 기판을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 밀어주어 취출되도록 하는 기판취출 푸셔(50)에 의해 기판을 반출시킨다(S50).
이어서, 상기 매거진 거치부(20)의 하부 전방에 위치하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 양측 하부를 지지하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 밀어지는 기판(1)을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 이격되도록 이송하는 기판이송부(60)에 의해 취출 기판을 이송한다(S60).
상기 기판이송부(60)의 전방에 위치하며 상기 기판이송부(60)에 의해 이송된 기판이 이송되며 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 공정라인으로 반출시키거나, 공정라인으로부터 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 매거진에 적재되도록 하기 위해 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 하는 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 기판을 정렬하여 반출되도록 한다(S70).
반출되어 공정라인으로부터 가공되어 이송된 기판을 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 유입되도록 한다(S80).
유입된 기판을 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 정렬하여 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 한다(S90).
상기 기판이송부(60)의 하부에 구비되며 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 승강된 매거진에 적재될 기판을 기판이송부(60)에서 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 수평이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 밀어주는 기판적재 푸셔(80)를, 정렬되어 상기 기판이송부(60)로 이송된 유입 기판을 밀어주는 위치로 승강시키는 기판적재 푸셔 승강부(90)에 의해 승강시킨다(S100).
정렬되어 상기 기판이송부(60)로 이송된 유입 기판을 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 밀어주는 기판적재 푸셔(80)에 의해 매거진에 적재되도록 한다(S110).
유입 기판이 적재되어 상기 매거진 거치부(20)에 고정된 매거진을 해정시킨다(S120).
해정된 유입기판이 적재된 매거진을 상기 매거진 공급 및 배출부(10)에 의해 수평 배출되도록 한다(S130).
아울러, 본 발명의 상기 매거진 공급 및 배출부(10)는, 매거진의 하부 일측 단부부위를 지지하며, 벨트의 회전에 의해 지지된 매거진을 이송시키는 매거진 하부 일측 지지부(11)와, 매거진의 하부 타측 단부부위를 지지하며, 벨트의 회전에 의해 지지된 매거진을 이송시키는 매거진 하부 타측 지지부(12)와, 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)를 상기 매거진 하부 일측 지지부(11) 방향으로 이동시키거나 서로 이격시켜 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)와 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)가 매거진의 폭에 상응하여 매거진이 지지되도록 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)와 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)와의 이격거리를 조절하도록 하는 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)로 이루어지며, 상기 매거진 공급 단계(S10) 및 상기 매거진 배출단계(S130)시, 상기 매거진 하부 지지부용 거리조절부(13)에 의해 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)와 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)와의 이격거리를 조절하여 상기 매거진 하부 일측 지지부(11)와 상기 매거진 하부 타측 지지부(12)가 매거진의 폭에 상응하여 매거진이 지지되도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 상기한 실시예에 한정하여 기술적 사상을 해석해서는 안된다. 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당업자의 수준에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 당업자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 된다.
1 : 기판
2 : 매거진(magazine)
10 : 매거진 공급 및 배출부
11 : 매거진 하부 일측 지지부
12 : 매거진 하부 타측 지지부
13 : 매거진 하부 지지부용 거리조절부
13a : 하부 일측 지지부 고정 브라켓
13b : 하부 타측 지지부 고정 브라켓
13c : 매거진 하부 타측 지지부용 거리조절 가이드 봉
13d : 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류
13e : 하부 타측 지지부 고정 브라켓 이송용 리드스크류 회전모터
20 : 매거진 거치부
30 : 매거진 고정부
31 : 매거진 일측면 고정부
32 : 매거진 타측면 고정부
33 : 매거진 고정부용 거리조절부
40 : 매거진 거치부 승강부
50 : 기판취출 푸셔
51 : 기판취출 푸셔 가이드
52 : 기판취출 푸셔 가이드 결합부
53 : 기판취출 푸셔 브라켓
54 : 기판취출 푸셔봉
55 : 기판취출 푸셔 브라켓 이송부
55a : 기판취출 푸셔 브라켓 이송용 리드스크류
55b : 기판취출 푸셔 브라켓 이송용 리드스크류 결합부
55c : 기판취출 푸셔 브라켓 이송용 리드스크류 회전모터
56 : 기판취출 푸셔봉 이격거리조절부
56a : 기판취출 푸셔봉 이격거리조절용 실린더
56b : 기판취출 푸셔봉 이격거리조절용 피스톤
60 : 기판이송부
61 : 일측 기판이송용 루프형 벨트
62 : 일측 지지브라켓
63 : 타측 기판이송용 루프형 벨트
64 : 타측 지지브라켓
65 : 기판이송용 모터
66 : 지지브라켓용 거리조절부
66a : 지지브라켓 거리조절용 가이드
66b : 지지브라켓 거리조절용 가이드 결합부
66c : 지지브라켓 거리조절용 리드스크류
66d : 지지브라켓 거리조절용 리드스크류 회전모터
67 : 기판반출 제한용 스토퍼
68 : 기판반출 제한용 스토퍼 승강부
69a : 기판유입 제한용 스토퍼
70 : 기판정렬 반출 및 유입부
71 : 이송방향 지지롤러
72 : 이송방향 지지롤러 회전구동부
73 : 기판반출용 이송방향 정렬부
73a : 기판반출용 이송방향 정렬판
73b : 기판반출용 이송방향 정렬판 승강부
74 : 기판반출용 좌우방향 정렬부
74a : 기판반출용 좌우방향 정렬판
74b : 기판반출용 좌우방향 정렬판 간격조절부
74b-1 : 로드
74b-2 : 좌우방향 정렬용 리드스크류 결합부
74b-3 : 좌우방향 정렬용 리드스크류
74b-4 : 좌우방향 정렬용 리드스크류 회전수단
74c : 좌우방향 지지롤러
74d : 좌우방향 지지롤러 승강부
75 : 기판유입용 이송방향 정렬부
80 : 기판적재 푸셔
81 : 기판적재 푸셔 가이드
82 : 기판적재 푸셔 가이드 결합부
83 : 기판적재 푸셔 브라켓
84 : 기판적재 푸셔봉
85 : 기판적재 푸셔 브라켓 이송부
85a : 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 루프형 벨트
85b : 구동풀리
85c : 종동풀리
85d : 기판적재 푸셔 브라켓 이송용 모터
86 : 기판적재 푸셔봉 이격거리조절부
86a : 기판적재 푸셔봉 이격거리조절용 실린더
86b : 기판적재 푸셔봉 이격거리조절용 피스톤
87 : 기판적재 푸셔봉용 완충스프링
88 : 기판적재 푸셔봉 이동 제한부
90 : 기판적재 푸셔 승강부

Claims (19)

  1. 전방과 후방이 개구되고 기판이 상하로 일정간격을 이루도록 수평적재되는 매거진(magazine)이 수평 공급되도록 하거나 수평 배출되도록 하는 매거진 공급 및 배출부(10);
    상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 전방에 위치하며 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로 공급되거나 상기 매거진 공급 및 배출부(10)로부터 배출될 매거진이 거치되는 매거진 거치부(20);
    상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진을 고정시키는 매거진 고정부(30);
    상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진의 하단에 수평적재된 기판이 일정한 높이의 인출되는 위치가 되도록 상기 매거진 거치부(20)를 승하강시키는 매거진 거치부 승강부(40);
    상기 매거진 공급 및 배출부(10)의 하부에 위치하며, 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 하강된 매거진의 하단에 적재된 기판이 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 수평이송되도록 기판을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 밀어주어 취출되도록 하는 기판취출 푸셔(50);
    상기 매거진 거치부(20)의 하부 전방에 위치하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 전방으로 밀어지는 기판(1)의 양측 하부를 지지하며 상기 기판취출 푸셔(50)에 의해 밀어지는 기판(1)을 상기 매거진 거치부(20)의 전방으로 이격되도록 이송하는 기판이송부(60);
    상기 기판이송부(60)의 전방에 위치하며 상기 기판이송부(60)에 의해 이송된 기판이 이송되며 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 공정라인으로 반출시키거나, 공정라인으로부터 이송된 기판을 좌우정렬시켜 정렬된 기판을 매거진에 적재되도록 하기 위해 상기 기판이송부(60)로 이송되도록 하는 기판정렬 반출 및 유입부(70);
    상기 기판이송부(60)의 하부에 구비되며 상기 매거진 거치부 승강부(40)에 의해 승강된 매거진에 적재될 기판을 기판이송부(60)에서 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 수평이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 밀어주는 기판적재 푸셔(80);
    상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 공정라인으로부터 이송되어 정렬된 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 하기 위해, 상기 기판이송부(60)로 이송된 기판을 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 밀어주는 높이의 위치로 상기 기판적재 푸셔(80)를 상승시키며, 상기 기판적재 푸셔(80)에 의해 기판을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 민 후에 상기 기판적재 푸셔(80)를 하강되도록 하는 기판적재 푸셔 승강부(90);를 포함하여 이루어지며,
    상기 기판이송부(60)에는,
    상기 기판이송부(60)의 전방 단부부위 하부에 구비되며, 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되고 기판(1)의 전방단부에 접하여 기판(1)의 전진을 제한하도록 하는 기판반출 제한용 스토퍼(67)와,
    상기 기판이송부(60)로부터 이송된 기판이 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 좌우정렬될 때 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)를 상승시켜 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판(1)의 전방 단부에 접하도록 하여 기판(1)의 전진을 제한하도록 하며, 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)에 의해 기판이 좌우정렬되어 공정라인으로 반출되면 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)를 하강시켜 상기 기판반출 제한용 스토퍼(67)가 기판(1)의 전방 단부로부터 이격되도록 함으로써 상기 기판이송부(60)에 의해 상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)로 기판이 이송가능하도록 하는 기판반출 제한용 스토퍼 승강부(68)가 더 구비되고,
    상기 기판정렬 반출 및 유입부(70)는,
    기판의 이송방향과 수직되게 수평으로 평행하게 일정간격으로 이격되어 이송된 기판이 지지되어 반출 및 유입되도록 하는 다수의 이송방향 지지롤러(71)와,
    상기 이송방향 지지롤러(71)를 회전구동시키는 이송방향 지지롤러 회전구동부(72)와,
    상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 이송방향으로 정렬되도록 하는 기판반출용 이송방향 정렬부(73)와,
    상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 좌우방향으로 정렬되도록 하는 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)가 구비되며,
    상기 기판반출용 이송방향 정렬부(73)는,
    상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되고, 기판(1)의 전방단부에 접하여 기판을 이송방향으로 정렬되도록 하는 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)과,
    상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)을 상승시켜 상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)이 기판(1)의 전방 단부에 접하도록 하여 기판(1)이 이송방향으로 정렬되도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 기판반출용 이송방향 정렬판(73a)을 하강시켜 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 공정라인으로 반출가능하도록 하는 기판반출용 이송방향 정렬판 승강부(73b)로 이루어지고,
    상기 기판반출용 좌우방향 정렬부(74)는,
    상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송되는 기판(1)과 수직되게 직립설치되되, 상기 이송방향 지지롤러(71)의 상부에 위치하며, 기판(1)의 양측 단부와 각각 접하여 기판을 좌우방향으로 정렬되도록 하는 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)과,
    상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)의 간격을 작게 하여 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)이 기판(1)의 양측 단부에 접하도록 함으로써 기판(1)이 이송방향으로 정렬되도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)의 간격을 크게 하여 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 공정라인으로 반출가능하도록 하는 기판반출용 좌우방향 정렬판 간격조절부(74b)와,
    상기 이송방향 지지롤러(71)의 하부에 위치하며, 상기 이송방향 지지롤러(71) 사이에 각각 설치되고, 기판(1)이 좌우방향으로 이송가능하도록 기판의 좌우방향으로 회전되는 좌우방향 지지롤러(74c)와,
    상기 이송방향 지지롤러(71)보다 높게 상기 좌우방향 지지롤러(74c)를 상승시켜 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 이송된 기판(1)을 상기 이송방향 지지롤러(71)로부터 이격시켜 지지되도록 함으로써 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우방향으로 정렬가능하도록 하며, 상기 기판반출용 좌우방향 정렬판(74a)에 의해 기판이 좌우정렬되면 상기 좌우방향 지지롤러(74c)를 하강시켜 기판이 상기 이송방향 지지롤러(71)에 의해 지지되도록 하는 좌우방향 지지롤러 승강부(74d)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 매거진용 기판 취출 및 적재장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판적재 푸셔(80)는,
    상기 기판이송부(60)의 이송방향과 동일한 방향으로 길게 형성된 기판적재 푸셔 가이드(81)와,
    상기 기판적재 푸셔 가이드(81)에 결합되어 상기 기판적재 푸셔 가이드(81)를 따라 이동되는 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)와,
    상기 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)에 고정되며 상기 기판적재 푸셔 가이드 결합부(82)의 이동에 의해 연동되어 이동되는 기판적재 푸셔 브라켓(83)과,
    상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)의 양단부위에 구비되며 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 돌출되어 기판의 양단부위와 접하는 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)과,
    상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)을 상기 매거진 거치부(20) 방향으로 전진 이동시켜 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비된 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 전진 이동시킴으로써 기판을 전진 이송시켜 기판을 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 적재되도록 하는 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 매거진용 기판 취출 및 적재장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판적재 푸셔(80)는,
    상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비되며 어느 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 다른 하나의 상기 기판적재 푸셔봉(84)으로부터 이격거리를 조절하도록 하는 기판적재 푸셔봉 이격거리조절부(86)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 매거진용 기판 취출 및 적재장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판적재 푸셔(80)의 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)은, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸리는 경우 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진에 의한 기판의 파손을 방지하도록 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 후진이동가능하도록 결합되며,
    상기 기판적재 푸셔(80)는,
    상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 후부에 구비되고, 상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 탄지되며, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸리는 경우 기판이 손상되는 것을 완충되도록 탄성력을 제공하고, 후진이동된 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)을 전진 복귀되도록 하는 기판적재 푸셔봉용 완충스프링(87)과,
    상기 기판적재 푸셔 브라켓(83)에 구비되되, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84) 중 어느 하나의 후단에 이격되어 구비되며, 상기 한쌍의 기판적재 푸셔봉(84)의 전진 이동에 의한 기판의 전진이송시 기판이 상기 매거진 거치부(20)에 거치된 매거진에 걸려 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 후진이동되는 경우 일정거리 이동된 상기 기판적재 푸셔봉(84)을 감지하며 상기 기판적재 푸셔봉(84)이 감지되면 상기 기판적재 푸셔 브라켓 이송부(85)의 작동을 정지시킴으로써 한쌍의 상기 기판적재 푸셔봉(84)의 이동을 제한하도록 하는 기판적재 푸셔봉 이동 제한부(88)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 매거진용 기판 취출 및 적재장치.
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일본 특허공보 평03-025014호(1991.04.04.) 1부.*

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