JPH10181873A - マガジンの昇降装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体製造工程において、リードフレームを
収納するマガジンの搬送タクトタイムを短縮することが
できるマガジンの昇降装置を提供する。 【解決手段】 マガジン昇降装置１１は、固定フォーク
１２ａを有する下部エレベーター１２と、可動フォーク
１３ａを有する上部エレベーター１３とを備えている。
可動フォーク１３ａは、固定フォーク１２ａと干渉しな
いマガジン載置位置と退避位置とに移動可能で、エレベ
ーターの昇降途中において可動フォーク１３ａを移動さ
せることにより、一方のエレベーターから他方のエレベ
ーターへマガジンＭを移載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おけるリードフレームを収納するためのマガジンの昇降
装置に関し、詳しくは、多数のリードフレームを収納可
能なマガジンを昇降させるとともに、該昇降の途中でキ
ュア装置等との間でリードフレームの受け渡しを行うマ
ガジン搬送装置に設けられるマガジンの昇降装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＬＳＩ等の半導体デバイスを製
造する工程では、ダイボンダによりチップをリードフレ
ームに接着（ダイボンド処理）した後、キュア装置によ
り接着剤を熱硬化してチップをリードフレームに固着
し、次いでワイヤボンダによりチップの端子とリードフ
レームのリードとを結線することが行われている。

【０００３】このような工程において、前記リードフレ
ームの搬送には、多数のリードフレームを上下多段に収
納可能なマガジンが用いられており、このマガジンへの
リードフレームの収納や、マガジンからのリードフレー
ムの取出しは、前記キュア装置等に設けられているリー
ドフレーム搬送機構に対応した位置にマガジンを昇降さ
せることにより行われている。

【０００４】このための装置として、例えば、マガジン
を水平方向に搬送する上下二段の搬送手段を設けるとと
もに、該搬送手段の一端にマガジンを昇降させる昇降手
段を設けたものが用いられている。このような装置で
は、例えば、下段の搬送手段に空のマガジンを載置して
前記昇降手段方向に搬送するとともに、上段の搬送手段
でリードフレームを収納したマガジンを前記昇降手段か
ら受取って反対方向に搬送するように形成し、マガジン
を載置した昇降手段を、前記キュア装置等のリードフレ
ーム搬送機構に対応した位置に所定ピッチで上昇させる
ことにより、キュア装置等からの処理済みのリードフレ
ームをマガジン内へ収納するようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の装置で
は、下段の搬送手段からのマガジンの受取りから、所定
位置でのリードフレームの収納、上段の搬送手段へのマ
ガジンの移載までの一連の動作を一つの昇降手段で行っ
ていたため、下段の搬送手段の位置までの下降に要する
時間が完全なロスタイムとなり、マガジンの昇降に要す
るタクトタイムの短縮には限界があった。

【０００６】そこで本発明は、一方の搬送手段からのマ
ガジンの受取り、所定位置でのリードフレームの収納あ
るいは取出し、他方の搬送手段へのマガジンの移載の一
連の動作に要するタクトタイムの短縮を図ることができ
るマガジンの昇降装置を提供することを目的としてい
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のマガジンの昇降装置は、マガジンを水平方
向に搬送する上下二段の搬送手段の端部に設けられ、一
方の搬送手段から他方の搬送手段へマガジンを昇降させ
て移載するマガジンの昇降装置であって、前記マガジン
を載置する固定フォークを有し、かつ、下段の搬送手段
とのマガジン受け渡し位置から中間位置までの間を昇降
する下部昇降手段と、前記マガジンを載置する可動フォ
ークを有し、かつ、上段の搬送手段とのマガジン受け渡
し位置から中間位置までの間を昇降する上部昇降手段と
を備え、前記固定フォークと前記可動フォークとを互い
に干渉しない位置に設けるとともに、前記可動フォーク
をマガジン載置位置と退避位置とに移動可能に形成し、
前記中間位置において前記可動フォークを移動させるこ
とにより、一方の昇降手段から他方の昇降手段へマガジ
ンを移載可能に形成したことを特徴としている。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面を参照して
さらに詳細に説明する。図１は、本発明のマガジンの昇
降装置を備えたマガジン搬送装置の一例を示す正面図、
図２はマガジン搬送装置をキュア装置等と組合わせた状
態を示す平面図、図３は他の組合わせ例を示す平面図、
図４は昇降装置の正面図、図５は左側面図、図６は右側
面図、図７は昇降装置の作動を説明する概略図、図８は
タクトタイムの短縮効果を説明するためのタイムチャー
トである。

【０００９】マガジン昇降装置１１は、例えば、図２，
図３に示すように、ダイボンダ１，リードフレーム搬送
装置２，キュア装置３及びマガジン搬送装置４からなる
リードフレーム処理装置におけるマガジン搬送装置４に
設けられるもので、キュア装置３でキュア処理されたリ
ードフレームＰのマガジンＭへの収納、あるいは、マガ
ジンＭ内に収納されているリードフレームＰのキュア装
置３への送り出しを行うために用いられている。

【００１０】図２に示すリードフレーム処理装置は、ダ
イボンダ１でダイボンド処理したリードフレームＰを、
リードフレーム搬送装置２を介してキュア装置３に搬送
し、該キュア装置３内でキュア処理しながらキュア装置
３の末端（図２において右端）に設けられた送出用ロー
ラーコンベア３１まで搬送し、送出用ローラー３１ａを
介してマガジン搬送装置４にリードフレームＰを送り出
してマガジンＭ内に収納するようにしている。

【００１１】図３に示すリードフレーム処理装置は、通
常は、ダイボンダ１でダイボンド処理したリードフレー
ムＰを、前記同様に、リードフレーム搬送装置２で図３
において左側に搬送してキュア装置３でキュア処理した
後、送出用ローラー３１ａによってリードフレームＰを
マガジンＭ内に収納するように作動するが、キュア装置
３を通さずに、ダイボンド処理した状態のリードフレー
ムＰをマガジンＭに直接収納することもできるように形
成されている。すなわち、リードフレーム搬送装置２
で、前記とは逆にリードフレームＰを右側に搬送し、送
出用ローラーコンベア２１からキュア装置３の送出用ロ
ーラーコンベア３１を通過させてマガジンＭ内に収納で
きるようにしている。

【００１２】図１に示すように、前記マガジン搬送装置
４は、マガジンＭを水平方向に搬送する下段コンベア４
１と上段コンベア４２とを有するもので、下段コンベア
４１は、空のマガジンＭを図１において左側から右側に
向けて搬送し、上段コンベア４２は、リードフレームＰ
を収納したマガジンＭを図１において右側から左側に向
けて搬送する。

【００１３】マガジン昇降装置１１は、上記両コンベア
４１，４２の両端部にそれぞれ設けられており、図１右
側のマガジン昇降装置１１は、下段コンベア４１から空
のマガジンＭを受け取り、前記キュア装置３の送出用ロ
ーラー３１ａにより送り出されるキュア処理済みのリー
ドフレームＰをマガジンＭ内に収納するために所定位置
で所定ピッチ毎に上昇した後、リードフレームＰを収納
したマガジンＭを上段コンベア４２に移載するもので、
図１左側のマガジン昇降装置１１は、上段コンベア４２
からリードフレームＰを収納したマガジンＭを受け取
り、所定ピッチで下降しながらキュア処理を行うリード
フレームＰを前記キュア装置３に送り出し、空になった
マガジンＭを下段コンベア４１に移載するものである。

【００１４】なお、図１左側のマガジン昇降装置１１に
載置されたマガジンＭからキュア装置３へのリードフレ
ームＰの送り出しは、キュア装置３の左側に設けた受取
用ローラーコンベア３２及び受取用ローラー３２ａ（図
２，図３参照）と、マガジン昇降装置１１に対応して設
けられたプッシャー４３とにより行われる。

【００１５】図４乃至図６にも示すように、マガジン昇
降装置１１は、４本の固定フォーク１２ａを有する下部
昇降手段である下部エレベーター１２と、同じく４本の
可動フォーク１３ａを有する上部昇降手段である上部エ
レベーター１３とを備えている。各エレベーター１２，
１３は、ガイドレール１４によりガイドされる支持部材
１２ｂ，１３ｂを、モーター１２ｃ，１３ｃに取付けら
れたボールネジ１２ｄ，１３ｄで上下動させることによ
り、前記下部エレベーター１２は、下段コンベア４１と
のマガジン受け渡し位置から中間位置までの間を、上部
エレベーター１３は、上段コンベア４２とのマガジン受
け渡し位置から中間位置までの間を、それぞれ昇降する
ように形成されている。

【００１６】また、上部エレベーター１３の可動フォー
ク１３ａは、支持部材１３ｂに設けられた軸１３ｅを中
心として、図４に示す水平方向のマガジン載置位置と、
軸１３ｅから鉛直方向下方に回動した退避位置との間に
回動可能に形成されており、このマガジン載置位置と退
避位置とへの移動は、シリンダー１３ｆの作動により行
われる。一方、前記固定フォーク１２ａの基部には、前
記軸１３ｅの位置に対応する凹部１２ｅが設けられてお
り、該凹部１２ｅに前記軸１３ｅが進入したときに、マ
ガジン載置位置の可動フォーク１３ａと固定フォーク１
２ａとが互いに干渉せずに同一高さになるように設定さ
れている。

【００１７】さらに、図１等に示すように、前記上段コ
ンベア４２の両端には、該上段コンベア４２と上部エレ
ベーター１３との間でマガジンＭを移載するための移載
装置４４がそれぞれ設けられており、両コンベア４１，
４２の搬送方向終端部には、各エレベーター１２，１３
にマガジンＭを１個ずつ移送するためのマガジン送り装
置４５が設けられるとともに、各コンベア４１，４２か
ら各フォーク１２ａ，１３ａ上に載置するマガジンＭの
位置決めを行うためのストッパー４６及び該ストッパー
４６を位置決めするためのモーター４６ａが設けられて
いる。

【００１８】次に、図７に基づいて、マガジン上昇側に
おけるマガジン昇降装置１１の作動を説明する。まず、
図７（Ａ）は、下段コンベア４１とのマガジン受け渡し
位置から下部エレベーター１２の固定フォーク１２ａ上
に空のマガジンＭを移載した状態を示すもので、下部エ
レベーター１２は、マガジンＭ内にリードフレームＰを
収納する所定位置への上昇を開始し、上部エレベーター
１３は、可動フォーク１３ａを退避位置に移動させた状
態で上段コンベア４２とのマガジン受け渡し位置から下
降を開始する。なお、可動フォーク１３ａを退避位置に
移動させる動作が、下部エレベーター１２に載置したマ
ガジンＭと干渉する場合には、上部エレベーター１３を
一旦上昇させてから可動フォーク１３ａを退避位置に移
動させ、その後に上部エレベーター１３の下降を開始さ
せればよい。

【００１９】図７（Ｂ）に示すように、上昇する下部エ
レベーター１２と下降する上部エレベーター１３とが中
間位置で出会うと、前記シリンダー１３ｆが作動して可
動フォーク１３ａが退避位置からマガジン載置位置に移
動し、固定フォーク１２ａと同一高さになって、固定フ
ォーク１２ａと共にマガジンＭを載置した状態になる。
このように、可動フォーク１３ａがマガジンＭを載置し
た状態になると、図７（Ｃ）に示すように、下部エレベ
ーター１２は下降を開始し、上部エレベーター１３は、
マガジンＭ内へのリードフレームＰの収納が終了するま
で、所定ステップで上昇する状態となる。

【００２０】そして、図７（Ｄ）に示すように、下部エ
レベーター１２が下段コンベア４１とのマガジン受け渡
し位置まで下降すると、下段コンベア４１から固定フォ
ーク１２ａへのマガジンＭの移載が行われる。一方の上
部エレベーター１３は、マガジンＭ内へのリードフレー
ムＰの収納が終了すると、上段コンベア４２とのマガジ
ン受け渡し位置まで上昇する。

【００２１】最後に、図７（Ｅ）に示すように、固定フ
ォーク１２ａにマガジンＭを載置した下部エレベーター
１２がリードフレーム収納位置への上昇を開始するとと
もに、可動フォーク１３ａから上段コンベア４２へのマ
ガジンＭの移載を終了した上部エレベーター１３は、可
動フォーク１３ａを退避位置に回動させる。これによ
り、最初の図７（Ａ）の状態に戻ったことになり、以
下、この順序を繰り返してリードフレームＰの収納を行
いながら、マガジンＭを下段コンベア４１から上段コン
ベア４２に移載する。

【００２２】ここで、上記マガジン上昇側におけるタク
トタイムの短縮効果を、図８に基づいて説明する。ま
ず、図８（Ａ）は、従来のマガジン昇降装置におけるエ
レベーターの動きを時間に沿って示すもので、従来のエ
レベーターは、太い実線で示すように、下段Ｌでマガジ
ンを受け取って上昇を開始し、リードフレームの収納を
行いながら中段Ｃを通過し、上段Ｕでマガジンを受け渡
した後、太い破線で示すように、下段Ｌまで下降してか
ら次のマガジンを受け取り、この動作を繰り返すことに
よってマガジンを下段Ｌから上段Ｕに上昇させている。

【００２３】一方、図８（Ｂ）に示すように、本形態例
に示すマガジン昇降装置においては、下部エレベーター
１２が下段Ｌと中段Ｃとの間を往復し、上部エレベータ
ー１３が中段Ｃと上段Ｕとの間を往復してマガジンを下
段Ｌから上段Ｕに上昇させるので、中段Ｃで上部エレベ
ーター１３にマガジンを移載した下部エレベーター１２
は、上部エレベーター１３によるリードフレーム収納中
に下段Ｌへの下降を開始することができ、上部エレベー
ター１３がリードフレームの収納を終えて上段Ｕに達し
たときには、次のマガジンを受け取って上昇を開始する
ことができる。

【００２４】すなわち、従来の装置においては、エレベ
ーターが上段Ｕから下段Ｌに下降する間は、リードフレ
ームの収納は絶対に不可能であり、エレベーターの下降
速度を早めたとしても相当のロスタイムを生じることに
なる。一方、本形態例の場合は、上部エレベーター１３
によるリードフレームの収納を終える前に、下部エレベ
ーター１２に次のマガジンを載置させて、ある程度上昇
させておくことが可能なため、マガジンへのリードフレ
ームの収納を連続的に行うことが可能となり、ロスタイ
ムを最小に抑えてタクトタイムを大幅に短縮することが
できる。

【００２５】なお、図８においては、リードフレームの
収納に要する時間や、各コンベアとの間のマガジンの受
け渡しに要する時間等を省略しているが、実際のマガジ
ンの昇降操作においても略同様のタクトタイム短縮効果
を得ることが可能であり、タクトタイムを従来の１／２
程度にすることができる。

【００２６】なお、マガジン下降側のマガジン昇降装置
１１における作動も、リードフレームＰの出し入れの相
違等はあるが略同様であり、マガジン上昇側と同様の作
用効果が得られる。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のマガジン
の昇降装置によれば、マガジンの昇降に要するタクトタ
イムを大幅に短縮することができ、半導体製造工程の製
造効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のマガジンの昇降装置を備えたマガジ
ン搬送装置の一例を示す正面図である。

【図２】 マガジン搬送装置をキュア装置等と組合わせ
た状態を示す平面図である。

【図３】 他の組合わせ例を示す平面図である。

【図４】 昇降装置の正面図である。

【図５】 同じく左側面図である。

【図６】 同じく右側面図である。

【図７】 昇降装置の作動を説明する概略図である。

【図８】 タクトタイムの短縮効果を説明するためのタ
イムチャートである。

【符号の説明】

１…ダイボンダ、２…リードフレーム搬送装置、３…キ
ュア装置、４…マガジン搬送装置、１１…マガジン昇降
装置、１２…下部エレベーター、１２ａ…固定フォー
ク、１３…上部エレベーター、１３ａ…可動フォーク、
４１…下段コンベア、４２…上段コンベア、Ｍ…マガジ
ン、Ｐ…リードフレーム

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マガジンを水平方向に搬送する上下二段
   の搬送手段の端部に設けられ、一方の搬送手段から他方
   の搬送手段へマガジンを昇降させて移載するマガジンの
   昇降装置であって、前記マガジンを載置する固定フォー
   クを有し、かつ、下段の搬送手段とのマガジン受け渡し
   位置から中間位置までの間を昇降する下部昇降手段と、
   前記マガジンを載置する可動フォークを有し、かつ、上
   段の搬送手段とのマガジン受け渡し位置から中間位置ま
   での間を昇降する上部昇降手段とを備え、前記固定フォ
   ークと前記可動フォークとを互いに干渉しない位置に設
   けるとともに、前記可動フォークをマガジン載置位置と
   退避位置とに移動可能に形成し、前記中間位置において
   前記可動フォークを移動させることにより、一方の昇降
   手段から他方の昇降手段へマガジンを移載可能に形成し
   たことを特徴とするマガジンの昇降装置。