JP3773065B2 - ジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、化学蒸着法によりコーテイング膜を形成するための材料として有用な新規な化合物、ジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
下記構造式(III)
【化4】
(化4中、Xは 塩素、臭素、フッ素、アルキル基の置換基を、mは0または1〜4の整数を示す。)で表される[2,2]−パラシクロファンおよびその誘導体は、化学蒸着法により以下の反応により基板上にポリパラキシリレン膜(核置換ポリパラキシリレン膜も含む。以下同じ)を形成する。化5中、nは重合数を示す。
【0003】
【化5】
【0004】
このコーテイング法ではあらゆる形状の物体に、その形状通りのコーテイング膜形成が可能であり、このように形成されたポリマー薄膜はガス・バリヤー性、電気特性に優れ電子部品材料、あるいは宇宙機器部品のコーテイングに広く用いられている。
【0005】
しかし、上記構造式(III)からのポリパラキシリレン膜は、その優れた性能にかかわらず、使用に際し、一つの限界を有する。それはポリマー構造において、ベンゼン核を結びつけている−CH2−CH2−構造が酸化され易いため、真空中や窒素中では広い使用範囲を有するものの、空気中では使用温度が制限されることである。例えば、このポリパラキシリレン膜はベンゼン核の置換基の有無、置換基の種類によって多少相違するが、空気中、200℃、約30分以内で膜としての柔軟性や強度を無くし、軽く擦るだけでボロボロになる。この対策として酸化防止剤を混入する提案がなされている(米国特許第4,176,209、米国特許第5,267,390および米国特許第5,270,082参照)が本質的解決にならない。
【0006】
【発明が解決しようとする問題点】
ポリ−p−キシリレン膜の更なる応用範囲拡大のためには酸素存在下における膜の耐熱性を高める必要がある。ポリパラキシリレンのメチレン基の水素を全部フッ素で置き換えた下記構造
【化6】
(化6中、nは重合度を示す。)を持つポリマーは耐熱性に優れていることは知られており、このポリマー製造のための出発物質であるオクタフルオロ−[2,2]−パラシクロファンの製造方法について数件の特許および特許出願がある(米国特許3,268,599、米国特許3,274,267、米国特許3,297,591および特開平5−255149参照)。しかし、水素全部をフッ素で置き換え耐熱性が向上したとしても、その他の物性面すべてにバランスがとれるとは限らない。
【0007】
本発明は、ポリパラキシリレン膜の更なる応用範囲拡大のため、酸素存在下における膜の耐熱性を高めるとともに、その他の物性面すべてにバランスがとれたポリパラキシリレン膜を形成するために有用な新規な化合物、シクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、下記の構造式に示されるように、従来のポリパラキシリレン構造(IV)を、一方のメチレン基の水素二個をフッ素原子で置換した構造式(V)に変えることで空気中での耐熱性あるポリマーとすることを意図し、そのポリマー製造のための出発原料としてジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファン(構造式I)の合成および化学蒸着法による重合、成膜を試みた。
【0009】
【化7】
【0010】
すなわち、本発明は上記構造式(I)で表されるジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンおよびその製造法である。この物質の合成および蒸着は今まで試みられたことはない。
この物質は一つの方法として次のルートで合成した。
【0011】
【化8】
【0012】
出発物質である[2,2]−パラシクロファン(構造式VI)は第三化成(株)から市販されている。
【0013】
テトラブロモ−[2,2]−パラシクロファン(構造式VII)は[2,2]−パラシクロファン(構造式VI)を不活性溶剤中、過酸化物触媒の存在下、紫外線照射下、あるいは両者作用のもと、N−ブロムこはく酸イミドなどのブロム化剤と反応することで得られる。ブロム化では目的物の外、構造式(VIII)で示すブロム体も生成するが、溶媒に対する溶解度の差で分離することができる。
【0014】
ジケトン−[2,2]−パラシクロファン(構造式IX)はテトラブロモ−[2,2]−パラシクロファンに酢酸溶媒中で酢酸ソーグ、酢酸銀などを作用させる等の手段で合成できる。
【化9】
【0015】
テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファン(構造式II)は上記ケトン体に四フッ化イオウあるいはジエチルアミノ硫黄トリフルオリド(以下、DASTと表示する。)などのフッ素化剤を作用して製造することができる。
【0016】
目的物であるジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファン(構造式I)はテトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンの塩素化で得られた。
【0017】
ジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファン(構造式I)の化学蒸着は[2,2]−パラシクロファンおよびその誘導体(構造式III)に一般的に適用される条件に準じて行ない、本物質のラジカルへの分解、その重合、成膜を試みた。
【0018】
【実施例】
以下に実施例を示し、かつ本発明の物質により形成された膜の耐熱性試験の結果を記載する。本発明は実施例により限定されるものではない。
【0019】
実施例I
(テトラブロモ−[2,2]−パラシクロファンの合成)
[2,2]−パラシクロファン40.0g、N−ブロモコハク酸イミド160.0g及び過酸化ベンゾイル1.1gを四塩化炭素溶媒1.51中で紫外線を照射しながら50時間還流、反応した。熱時、不溶物濾過、四塩化炭素を蒸留回収、残留物をジクロロメタンで洗浄、さらにクロロホルムで再結晶してテトラブロモ−[2,2]−パラシクロファン(構造式VII)14.4gを得た。(分解点:221〜223℃)
【0020】
(ジケトン−[2,2]−パラシクロファンの合成)
上で合成したテトラブロム体14.4g、および酢酸銀19.2gを酢酸200mlで4時間、還流下に反応、後に水14mlを加えさらに2時間、還流反応した。反応後、反応液を熱時濾過、酢酸を濃縮、水を加え析出した沈殿を濾取、炭酸カリ水溶液、さらに水で洗浄後、乾燥しジケトン−[2,2]−パラシクロファンを得た。収量5.7g
【0021】
(テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンの合成)
上で合成したジケトン体5.7g、DAST9.5gをジクロロメタン100ml中、30℃以下で攪拌、22時間反応した。水を加えて過剰のDASTを分解、ジクロロメタン溶液を水、炭酸カリ水溶液、さらに水にて洗浄した。ジクロロメタンを留去、残留物をメタノールより再結晶し、テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンを得た。収量4.9g(融点:193〜195℃)。構造は質量分析、核磁気共鳴分析などで確認した。
【0022】
(ジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンの合成)
テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファン5.4gを塩化メチレン250mlに溶解。これに鉄粉0.2gおよび水0.2gを加え攪拌しながら塩素ガスを導入した。反応経過はガスクロマトグラフィー分析で追跡した。反応終了後、窒素を吹き込み過剰の塩素を追い出し、のち反応液を水、炭酸カリウム水溶液で洗浄。さらに洗浄液が中性になるまで水洗した。硫酸マグネシウムで脱水後塩化メチレンを留去した。残った結晶をメタノールより再結晶してジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンを得た。収量:3.6g。構造は質量分析で確認した。
【0023】
(化学蒸着法による重合膜の形成)
パラシクロファンおよびその誘導体(構造式III)の一般的蒸着条件に準じ、ガラス基板上へ蒸着を試みた。透明な薄膜の形成が認められた。
ラス基板上へ蒸着を試みた。透明な薄膜の形成が認められた。
【0024】
(ポリマーの熱安定性試験)
上記化学蒸着によりガラス基板上に生成した薄膜を基板上から剥取り熱安定性試験に供した。熱安定性試験は下記二つの方法にて行った。
(1)試料を200℃に保った加熱炉の中に入れ、一定時間後、その膜の状態を調べる。
表1に構造式IIIからの膜と本発明品からの膜との耐熱性の比較を示す。
(2)示差熱分析により膜の分解発熱の認められる温度を測定し、比較する。その結果を表2に示す。表2に記載の温度は発熱最大ピーク時の温度を示している。
【0025】
【表1】
【0026】
【表2】
【0027】
【発明の効果】
ポリパラキシリレン膜のさらなる応用範囲拡大のため、酸素存在下における膜の耐熱性を高めるとともに、その他の物性面すべてにバランスの期待できるコーティング膜生成のための新規化合物ジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンを提供することができる。本発明品の化学蒸着により生成する膜は従来品に比し、著しく耐熱性が向上し使用範囲の拡大を期待できる。
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US4849559A (en) * | 1987-05-15 | 1989-07-18 | Union Carbide Corporation | Process for the preparation of dichloro-[2,2]paracyclophane |
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JP3773065B2 (ja) * | 1995-08-25 | 2006-05-10 | 第三化成株式会社 | ジクロロ−テトラフルオロ−[2,2]−パラシクロファンおよびその製造方法 |
US5536892A (en) * | 1995-10-18 | 1996-07-16 | Specialty Coating Systems, Inc. | Processes for the preparation of octafluoro-[2,2]paracyclophane |
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