JP3769302B2 - 圧電振動子及びこの圧電振動子を実装した回路基板 - Google Patents

圧電振動子及びこの圧電振動子を実装した回路基板 Download PDF

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Description

技術分野
本発明は、水晶振動子などの圧電振動片を内部に収納する圧電振動子容器、この圧電振動子容器を用いた圧電振動子及びこの圧電振動子を実装した回路基板並びに圧電振動子の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、圧電振動子容器に用いた楕円あるいは略楕円の筒状ケースの開放端に対する封止技術に関するものである。
背景技術
各種電子機器に用いられる圧電振動子は容器に収納された状態で電子機器に組み込まれる。圧電振動子では、音叉型あるいはATカットされた水晶片などといった圧電振動片に対して所定のパターンで電極が形成された薄板状のものが用いられる。従って、圧電振動片の形状に対応させて、楕円あるいは略楕円の筒状ケースを用いれば、圧電振動片を効率よく収納でき、圧電振動子の薄型化を図ることができる。このような容器としては、たとえば、実開平2−55727号公報に開示されたものがある。この圧電振動子容器では、圧電振動子を略楕円のケース内に収納するとともに、ケースの開放端に対してステムを圧入してその封止を行う構造になっている。
しかしながら、実開平2−55727号公報に開示された圧電振動子容器のように、略楕円のケースを圧入によって封止する構造では、ケースとステムとの接触面圧が周方向においてばらつくため、接触面圧の小さな部分で漏れが発生しやすいという問題点がある。
このような問題点を解消するものとして、再公表特許公報WO97/08826には、楕円あるいは略楕円の円周形状を備えるケースに対して、楕円あるいは略楕円の外周形状を備えるステムを圧入する際の圧入代を短径部分と長径部分との間において最大にした圧電振動子容器が開示されている。この構成によれば、実験的に最も気密不良が発生しやすい箇所の圧入代を最大にしているので、この部分での気密不良を防止できるというものである。
しかしながら、圧入代を短径部分と長径部分との間において最大にした圧電振動子容器では、この短径部分と長径部分との間に相当する部分において、圧入時にケースの周方向に加わる応力(引っ張り応力)が最大となる部分が発生する。その結果、この部分でケースが破断し、気密不良が発生するという新たな問題点がある。
本発明の目的は、上記課題を解消して、楕円あるいは略楕円のケースを用いても気密不良の発生しない圧電振動子容器、それを用いた圧電振動子及びこの圧電振動子を実装した回路基板並びに圧電振動子の製造方法を実現し、楕円あるいは略楕円といった偏平なケースを用いてもケース内周に圧電振動片が触れることのない圧電振動子容器を実現することである。
発明の開示
本発明における圧電振動子は、
(1)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の曲率半径が前記ステムの長径部分より短径部分の方で大きく、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
(2)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の曲率半径が前記ステムの長径部分より短径部分の方で大きく、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
この(1)(2)の発明では、ステムの外周およびケースの内周が大小2種類の円弧で形成された略楕円形状、もしくは楕円形状を有していても、ステムの圧入方向に位置する円弧状断面を有する肩部の曲率半径を長径部分より短径部分を大きくすることで、ケースをステムにセットする際にケース開放端部の内周縁に設けたテーパ面の全周にわたりステムの円弧状肩部が当接することになり、ケースとステムの回転方向のずれを発生させないので、ステムとケースが正しい回転位置で圧入され、ずれが原因となる圧入代「0」部分の発生が防止され気密が確保される。よって、本発明によれば、信頼性の高い圧電振動子及びこれを実装した回路基板を構成することができる。
(3)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の中心位置が前記ステムの短径部分より長径部分の方で前記圧入方向側に位置し、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面について内周縁がテーパ面になっており、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
(4)一方端が開放端になっている状態のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の中心位置が前記ステムの短径部分より長径部分の方で前記圧入方向側に位置し、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
この(3)(4)の発明では、ステムの外周およびケースの内周が大小2種類の円弧で形成された略楕円形状、もしくは楕円形状を有していても、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分が、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の中心位置が前記ステムの短径部分より長径部分の方で前記圧入方向側に位置することで、前記ケースを前記ステムにセットする際に前記ケース開放端部の内周縁に設けたテーパ面の全周にわたり前記ステムの円弧状肩部が当接することになり、前記ケースと前記ステムの回転方向のずれを発生させないので、前記ステムと前記ケースが正しい回転位置で圧入され、ずれが原因となる圧入代「0」部分の発生が防止され気密が確保される。よって、本発明によれば、信頼性の高い圧電振動子及びこれを実装した回路基板を構成することができる。
(5)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲面半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面が前記軸線方向となす角度が前記ケースの長径部分より短径部分の方で小さく、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
(6)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面が前記軸線方向となす角度が前記ケースの長径部分より短径部分の方で小さく、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
この(5)(6)の発明では、ステムの外周およびケースの内周が大小2種類の円弧で形成された略楕円形状、もしくは楕円形状を有していても、前記ステムの圧力方向側に位置する肩部分が、前記ケースの軸線方向において円弧状の断面を有しており、前記ケースの開放端の内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面が前記ケースの軸線方向となす角度が長径部分より短径部分のほうが小さくなっていることで、前記ケースを前記ステムにセットする際に前記ケース開放端部の内周縁に設けたテーパ面の全周にわたり前記ステムの円弧状肩部が当接することになり、前記ケースと前記ステムの回転方向のずれを発生させないので、前記ステムと前記ケースが正しい回転位置で圧入され、ずれが原因となる圧入代「0」部分の発生が防止され気密が確保される。よって、本発明によれば、信頼性の高い圧電振動子及びこれを実装した回路基板を構成することができる。
(7)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲線半径の接線とが一致し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面の前記軸線方向における位置が前記ケースの長径部分より短径部分の方で前記圧入方向側にあり、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内でおさめていることを特徴とする。
(8)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面の前記軸線方向における位置が前記ケースの長径部分より短径部分の方で前記圧入方向側にあり、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
この(7)(8)の発明では、ステムの外周およびケースの内周が大小2種類の円弧で形成された略楕円形状もしくは楕円形状を有していても、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分が、前記ケースの軸線方向において円弧状の断面を有しており、前記ケースの開放端の内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面が前記ケースの軸線方向における位置が長径部分より短径部分の方で圧入方向側にあることで、前記ケースを前記ステムにセットする際に前記ケース開放端部の内周縁に設けたテーパ面の全周にわたり前記ステムの円弧状肩部が当接することになり、前記ケースと前記ステムの回転方向のずれを発生させないので、前記ステムと前記ケースが正しい回転位置で圧入され、ずれが原因となる圧入代「0」部分の発生が防止され気密が確保される。よって、本発明によれば、信頼性の高い圧電振動子及びこれを実装した回路基板を構成することができる。
(9)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記長径部分と前記短径部分との間に相当する4箇所には、突起がそれぞれ形成され、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径を長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において、内周縁が前記ステムの前記肩部分の前記4箇所の突起に当接するテーパ面になっており、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
(10)一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止してステムとを有する圧力振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記長径部分と前記短径部分との間に相当する4箇所には、突起がそれぞれ形成され、前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において、内周縁が前記ステムの前記肩部分の前記4箇所の突起に当接するテーパ面になっており、前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする。
この(9)(10)の発明では、ステムの外周およびケースの内周が大小2種類の円弧で形成された略楕円形状もしくは楕円形状を有していても、前記ケースを前記ステムにセットする際に、前記ケース開放端部の内周縁に設けたテーパ面に、前記ステムの円弧状肩部の4箇所の突起が同時に当接し、前記ケースと前記ステムの回転方向のずれを発生させないので、前記ステムと前記ケースが正しい回転位置で圧入され、ずれが原因となる圧入代「0」部分の発生が防止され気密が確保される。よって、本発明によれば、信頼性の高い圧電振動子及びこれを実装した回路基板を構成することができる。
さらに(1)(3)(5)(7)(9)の発明によれば、ステムの外周およびケースの内周が大小2種類の円弧で形成された略楕円形状を有しているので、偏平な圧電振動片を効率よく収納でき、圧電振動子を薄型化できる。さらに、短径部分と長径部分の曲率半径の接続部において接線を一致させ、滑らかな形状となり角部分がなくなることで圧入時の垂直応力の不安定部分を解消し、気密不良が発生しない。さらに、垂直応力が小さくなりがちな短径部分について圧入代を大きくしたので、全周にわたって垂直応力が下限値以上となり、封止不良に起因する気密不良が発生しない。さらに、引っ張り応力が大きくなりがちな長径部分について圧入代を小さく設定したので、全周にわたって引っ張り応力が上限値以下である。このため、ケースの破断に起因する気密不良も発生しない。よって、本発明によれば、信頼性の高い圧電振動子及びこれを実装した回路基板を構成することができる。
また(2)(4)(6)(8)(10)の発明によれば、ステムの外周およびケースの内周が楕円形状を有しているので、偏平な圧電振動片を効率よく収納でき、圧電振動子を薄型化できる。さらに、垂直応力が小さくなりがちな短径部分について圧入代を大きく設定したので、全周にわたって垂直応力が下限値以上である。また、引っ張り応力が大きくなりがちな長径部分について圧入代を小さく設定したので、全周にわたって引っ張り応力が上限値以下である。従って、封止不良やケースの破断に起因する気密不良が発生しないので、信頼性の高い圧電振動子及びこれを実装した回路基板を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、圧電振動子の全体構成を示す平面図、側面図および正面図。
第2図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、本発明の実施の形態1に係る圧電振動子容器の全体構成を示す平面断面図、側面断面図および正面断面図。
第3図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態1に係る圧電振動子容器におけるケース内周面とステム外周面とのサイズを比較して示す説明図、およびその一部を拡大して示す説明図。
第4図(A)、(B)はそれぞれ、本発明を適用した圧電振動子容器および比較例に係る圧電振動子容器について垂直応力および引っ張り応力を計算した結果を示すグラフ、(C)は応力の方向を示す説明図。
第5図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、本発明の実施の形態2に係る圧電振動子容器の全体構成を示す平面断面図、側面断面図および正面断面図。
第6図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態2に係る圧電振動子容器におけるケース内周面とステム外周面とのサイズを比較して示す説明図、およびその一部を拡大して示す説明図。
第7図本発明の実施の形態1、2に係る圧電振動子容器を更に改良すべき点を説明するための圧電振動子容器の封止部分の説明図。
第8図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2に係る圧電振動子容器を更に改良すべき点を説明するためのケースとステムとの相対的な位置関係を示す説明図。
第9図は、本発明の実施の形態1、2の改良例1に係る圧電振動子容器の封止部分の説明図。
第10図は、本発明の実施の形態1、2の改良例2に係る圧電振動子容器の封止部分の説明図。
第11図は、本発明の実施の形態1、2の改良例3に係る圧電振動子容器の封止部分の説明図。
第12図は、本発明の実施の形態1、2の改良例4に係る圧電振動子容器の封止部分の説明図。
第13図は、本発明の実施の形態1、2の改良例5に係る圧電振動子容器の封止部分の説明図。
第14図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2に係る各圧電振動子容器において第13図に示す突起を形成すべき位置を示す説明図。
第15図(A)、(B)はそれぞれ、ステムの外周上の位置(回転角θ)と外形寸法(半径C)との関係、およびステムの外周上の位置(回転角θ)に対する外径寸法(半径C)の変化率を示すグラフ。
第16図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2の改良例6に係る圧電振動子容器においてケースの周方向における肉厚分布を示す説明図、およびこの圧電振動子容器に圧力が加わった様子を示す説明図。
第17図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2の改良例7に係る圧電振動子容器においてステムから延びるインナーリード部分の径を示すステムの正面図および平面断面図。
第18図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2に係る圧電振動子容器におけるケース内周と圧電振動片との隙間を示す説明図、本発明の実施の形態1、2の改良例8に係る圧電振動子容器におけるケース内周と圧電振動片との隙間を示す説明図、および本発明の実施の形態1、2の改良例7に係る圧電振動子容器におけるケース内周と圧電振動片との隙間を示す説明図。
第19図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2の改良例8に係る圧電振動子容器に用いたステムの正面図、平面断面図および側面断面図。
第20図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2の改良例8に係る別の圧電振動子容器に用いたステムの平面断面図および側面断面図。
第21図は、本発明の実施の形態1、2の改良例8に係る圧電振動子容器において、断面形状の異なる2つのタイプのケースにおけるケース内周と圧電振動片との隙間を示す説明図。
第22図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2の改良例8に係る圧電振動子容器をさらに改良すべき点を説明する説明図、および本発明の実施の形態1、2の改良例9に係る圧電振動子容器の説明図。
第23図は、本発明の実施の形態1、2の改良例9に係る圧電振動子容器においてインナーリード部分に形成した突起の第1の例を示す説明図。
第24図は、本発明の実施の形態1、2の改良例9に係る圧電振動子容器においてインナーリード部分に形成した突起の第2の例を示す説明図。
第25図は、本発明の実施の形態1、2の改良例9に係る圧電振動子容器においてインナーリード部分に形成した突起の第3の例を示す説明図。
第26図(A)、(B)、(C)は、それぞれ本発明の実施の形態10に係る圧電振動子の構成を示す側面断面図、(A)のA−A矢視図、および(A)のマウント部の部分拡大図。
第27図は、本発明の実施の形態10に係る圧電振動子の製造方法の説明図であり、(A)、(B)はそれぞれ、インナーリード曲げ治具にステムをセットした断面図、インナーリード曲げ治具によりインナーリードが曲げられたステムの断面図。
第28図は、本発明の実施の形態10に係る圧電振動子の別の製造方法の説明図であり、マウント治具に圧電振動片とステムとをセットした断面図。
第29図は、本発明の実施の形態に係わる各圧電振動子のいずれかを基板に実装した場合の応用例を示す斜視図。
第30図(A)、(B)は、それぞれ第29図の圧電振動子を基板にはんだ付けした場合の構成例を示す斜視図及び部分断面図。
第31図(A)、(B)は、それぞれ図29図の圧電振動子を基板にはんだ付けした場合の別の構成例を示す斜視図及び部分断面図。
発明を実施するための最良の形態
以下に、図面を参照して、本発明の好適な実施の形態を説明する。
〔実施の形態1〕
第1図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、圧電振動子の全体構成を示す平面図、側面図および正面図である。第2図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、圧電振動子の全体構成を示す平面断面図、側面断面図および正面断面図である。
第1図(A)、(B)、(C)および第2図(A)、(B)、(C)からわかるように、圧電振動子20に用いた圧電振動子容器10は、一方端が開放端110になっている筒状のケース11と、このケース11の開放端110を封止するステム12とから構成されている。ケース11は、主組成が銅、亜鉛、ニッケルである洋白材、あるいは約41%〜約42%のニッケルと残部の鉄からなる42アロイなどから構成され、その表面には膜厚が約10μm以下のニッケルめっきなどが施されている。ステム12は、コバールや42アロイなどからなる金属外環121と、この金属外環121の内側に充填された封止ガラス122と、この封止ガラス122によって金属外環121の内側に固定された2本のリード13、14とから構成され、2本のリード13、14は、互いに電気的に絶縁している。金属外環121は、下地として形成された膜厚が約6μm以下の銅めっき層の表面に膜厚が約22μm以下のはんだめっきが施されている。2本のリード13、14では、ステム12から外側に突き出ている一方側がアウターリード部分131、141であり、ケース11内に向けて延びている部分がインナーリード部分132、142である。これらのリード13、14は、コバールや42アロイなどの金属表面に膜厚が約6μm以下の銅めっき層を下地層として形成し、その表面に膜厚が約22μm以下の高融点のはんだをめっきしたものである。封止ガラス122は、熱膨張係数が約4×10−6/℃〜約6×10−6/℃とコバールに近いコバールガラスである。
圧電振動子20は、ATカットした水晶片からなる薄板状の圧電振動片21に所定の電極パターン22が形成され、圧電振動片21の基部に相当する部分がマウント部23になっている。マウント部23には、前記のインナーリード部分132、142が導電性接着剤やはんだなどで接続され、これらのインナーリード部分132、142への接続によって圧電振動片21は、ステム12に対して所定の姿勢で保持されている。
このように構成した圧電振動子容器10では、リード13、14に固定された圧電振動片21をケース11内に差し込むようにしてケース11の開放端110にステム12を取り付ける。ここで、ケース11の開放端110における内径寸法はステム12の外径寸法よりも全周にわたって小さく設定されているので、ケース11の開放端110にステム12を圧入すると、圧入代(ケース11の内径寸法とステム12の外径寸法との差)に応じた垂直応力によって、ケース11の開放端110がステム12によって封止される。
このような封止工程においては、はんだの固相線よりもやや低い温度に予熱された治工具(図示せず。)にケース11とステム12とを取り付けた後、真空炉あるいは窒素ガス雰囲気中に投入して、ケース11、ステム12および圧電振動片21などに付着、吸着しているガスを除去する。次に、真空雰囲気中でケース11の開放端110にステム12を圧入する。このときには、ステム12の金属外環121の表面に形成されているはんだは固相状態であるが、固相点近くの温度にまで熱せられているので、軟化している。従って、この状態でケース11の開放端110にステム12を圧入すると、はんだがケース11とステム12との間を隙間無く埋め、開放端110を確実に封止する。
第3図(A)、(B)はそれぞれ、本形態の圧電振動子容器10におけるケース内周面とステム外周面とのサイズを比較して示す説明図、およびその一部を拡大して示す説明図である。
本形態では、圧電振動子容器10に対して薄板上の圧電振動片21を効率よく収納し、かつ、圧電振動子容器10の薄型化を図るために、圧電振動子容器10は、第3図(A)、(B)に示すように、円筒状ではなく、略楕円形状の断面形状を有している。すなわち、ステム12とケース11とが接触する部分におけるケース11の軸線Lの方向と直交する方向の断面において、ステム12の外周120は、第1の曲率半径を備える短径部分125と、この第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分126を有する略楕円形状(2円弧構成)を有している。従って、ステム12の外周120は、短径部分125に相当する大きな円弧部分と、長径部分126に相当する小さな円弧部分が交互に配置された形状になっており、短軸および長軸に対して線対称になっている。ここで、大きな円弧部分と小さな円弧部分とが接続する点が接続点Pであり、この接続点Pでは、大きな円弧部分に対する接線と小さな円弧部分に対する接線とが一致する。このため、ステム12の外周形状において、大きな円弧部分と小さな円弧部分とは滑らかに接続し、角部分がない。
また、ケース11とステム12とが接触する部分におけるケース11の軸線Lの方向と直交する方向の断面において、ケース11の内周111は、第3の曲率半径を備える短径部分115と、この第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分116を有する略楕円形状を有している。従って、ケース11の内周111も、短径部分115に相当する大きな円弧部分と、長径部分116に相当する小さな円弧部分が交互に配置された形状になっており、短軸および長軸に対して線対称になっている。ここで、大きな円弧部分と小さな円弧部分とが接続する接続点Pに相当する位置では、大きな円弧部分に対する接線と小さな円弧部分に対する接線とが一致する。このため、ケース11の内周111において、大きな円弧部分と小さな円弧部分とは滑らかに接続し、角部分がない。
このように構成した圧電振動子容器10では、ケース11にステム12を圧入した状態において、ケース11の軸線Lの方向と直交する方向の断面では、長軸方向の寸法が約3.5mm以下で、かつ、短軸方向における寸法は長軸方向における寸法の約1/4〜約2/3になっている。
このように構成した圧電振動子容器10において、本形態では、第3図(B)に示すように、ケース11の開放端110にステム12を圧入する際の圧入代は、ケース11およびステム12の長径部分116、126の側から短径部分115、125の側に向かって単調増加している。圧入代とは、厳密にはステム12の外周面の法線方向におけるケース11の内周111とステム12の外周120との間の寸法として定義される。ここで、ケース11およびステム12の長径部分116、126における圧入代は約0.03mm以下であり、ケース11およびステム12の短径部分115、125における圧入代は約0.02mm〜約0.06mmの範囲内であり、このような条件下で、圧入代がケース11およびステム12の長径部分116、126の側から短径部分115、125の側に向かって単調増加するように設定されている。
このように構成した圧電振動子容器10、および比較例に係る圧電振動子容器について、ケース11にステム12を圧入した際の垂直応力および引っ張り応力を計算した結果を、第4図(A)、(B)に示す。ここで、垂直応力とは、第4図(C)に矢印Aで示す方向の応力である。従って、垂直応力(圧入した後の接触面圧)が大きいほど封止能力が高い。また、引っ張り応力とは、第4図(C)に矢印Bで示す方向の応力であり、ケース11を周方向に破断させる応力に相当する。それ故、引っ張り応力が大きいほどケース11に無理がかかって破断が起きやすいので、気密不良などを発生しやすいといえる。
第4図(A)、(B)において、実線L1で示すのが本形態に係る圧電振動子容器10について計測した結果である。×と実線L3で示すのは、比較例1に係る圧電振動子容器について計測した結果であり、この比較例1に係る圧電振動子容器は、断面長円形状(トラック形状)のケース11およびステム12が使用されている。点線L4および二点鎖線L5で示すのは、比較例2、3に係る圧電振動子容器について計測した結果であり、この比較例2、3に係る圧電振動子では、長径部分126と短絡部分125との間に圧入代の最大部分がある。なお、第4図(A)において実線LL1で示すのは垂直応力の下限値である。第4図(B)において実線LL2で示すのは引っ張り応力の上限値である。
第4図(A)からわかるように、実線L1で示す本形態に係る圧電振動子容器10では、垂直応力が小さくなりがちな短径部分115、125において圧入代を大きく設定したので、全周にわたって垂直応力が下限値以上である。従って、封止不良に起因する気密不良が発生しない。また、第4図(B)からわかるように、実線L1で示す本形態に係る圧電振動子容器では、引っ張り応力が大きくなりがちな長径部分116、126において圧入代を小さく設定したので、全周にわたって引っ張り応力が上限値以下である。このため、ケース11の破断に起因する気密不良も発生しない。よって、本形態によれば、信頼性の高い圧電振動子20を構成することができる。
これに対して、比較例に係る圧電振動子容器では、垂直応力および引っ張り応力を全周にわたって許容範囲内におさめることが困難であることがわかる。
〔実施の形態2〕
第5図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、圧電振動子の全体構成を示す平面断面図、側面断面図および正面断面図である。第6図(A)、(B)はそれぞれ、本形態の圧電振動子容器10におけるケース内周面とステム外周面とのサイズを比較して示す説明図、およびその一部を拡大して示す説明図である。なお、本形態の圧電振動子は、実施の形態1と外形など基本的な構成が共通するので、対応する部分には同一の符号を付してそれらの詳細な説明を省略する。
第5図(A)、(B)、(C)からわかるように、本形態の圧電振動子容器10も、一方端が開放端110になっている筒状のケース11と、ケース11の開放端110を封止するステム12とから構成されている。ステム12は、金属外環121と、この金属外環121の内側に充填された封止ガラス122と、この封止ガラス122によって金属外環121の内側に固定された2本のリード13、14とから構成され、2本のリード13、14は、互いに電気的に絶縁している。2本のリード13、14では、ステム12から外側に突き出ている一方側がアウターリード部分131、141であり、ケース11内に向けて延びている部分がインナーリード部分132、142である。
圧電振動子20は、音叉型形状にカットした水晶片からなる薄板状の圧電振動片21に所定の電極パターン(図示せず。)が形成されているとともに、圧電振動片21の基部に相当する部分がマウント部23になっている。マウント部23には、インナーリード部132、142が導電性接着剤やはんだなどで接続され、これらのインナーリード部132、142によって圧電振動子片21は、ステム12に対して所定の姿勢で保持されている。
このように構成した圧電振動子容器10において、本形態でも、ケース11の内径寸法はステム12の外径寸法よりも小さく設定されているので、ケース11の開放端110にステム12を圧入すると、圧入代(ケース11の内径寸法とステム12の外径寸法との差)に応じた垂直応力によって、ケース11の開放端110がステム12によって封止される。
このように構成した圧電振動子20において、薄板上の圧電振動片21を効率よく収納し、かつ、圧電振動子容器10の薄型化を図るために、第6図(A)、(B)に示すように、本形態の圧電振動子容器10は円筒状ではなく、楕円形状の断面形状を有している。すなわち、ステム12とケース11とが接触する部分におけるケース11の軸線Lの方向と直交する方向の断面において、ステム12の外周120が楕円形状を有している。従って、ステム12の外周120の形状は、短径部分125と長径部分126と交互に配置された形状になっており、短軸および長軸に対して線対称になっている。
また、ケース11とステム12とが接触する部分におけるケース11の軸線Lの方向と直交する方向の断面において、ケース11の内周111が楕円形状を有している。従って、ケース11の内周111の形状も、短径部分115と長径部分116とが交互に配置された形状になっており、短軸および長軸に対して線対称になっている。
このように構成した圧電振動子容器10では、ケース11にステム12を圧入した状態において、ケース11の軸線Lの方向と直交する方向の断面では、長軸方向の寸法が約3.5mm以下で、かつ、短軸方向における寸法は長軸方向における寸法の約1/4〜約2/3になっている。
本形態でも、ケース11の開放端110にステム12を圧入する際の圧入代は、ケース11およびステム12の長径部分116、126の側から短径部分115、125の側に向かって単調増加している構成になっている。ここで、ケース11およびステム12の長径部分116、126における圧入代は約0.03mm以下であり、ケース11およびステム12の短径部分115、125における圧入代は約0.02mm〜約0.06mmの範囲内であり、このような条件下で、圧入代がケース11およびステム12の長径部分116、126の側から短径部分115、125の側に向かって単調増加するように設定されている。
このように構成した圧電振動子容器10について、垂直応力および引っ張り応力を計算した結果は、実施の形態1での計算結果と同様、第4図(A)、(B)において、実線L1で示す特性である。すなわち、第4図(A)からわかるように、実線L1で示す本形態に係る圧電振動子容器10では、垂直応力が小さくなりがちな短径部分125について圧入代を大きく設定したので、全周にわたって垂直応力が下限値以上である。また、第4図(B)からわかるように、実線L1で示す本形態に係る圧電振動子容器10では、引っ張り応力が大きくなりがちな長径部分126について圧入代を小さく設定したので、全周にわたって引っ張り応力が上限値以下である。それ故、本形態に係る圧電振動子容器10は、封止不良やケース11の破断に起因する気密不良が発生しない。
〔実施の形態1、2の改良例1〕
第7図および第8図は、実施の形態1、2に係る圧電振動子容器を本例において更に改良した点を説明するための説明図、第9図は本例の圧電振動子容器10の封止部分の説明図である。なお、第7図および第9図では、ステム12の各位置における肩部分と、それに対応するケース11との相対位置関係を比較しやすいように、ケース11を共通のものとして表すとともに、ステム12の各位置における肩部分を重ねて表してある。
第7図に示すように、実施の形態の1、2に係る圧電振動子容器10において、ケース11の開放端110の側はステム12を圧入しやすいように、内周縁がテーパ面117になっている。また、ステム12の圧入方向(矢印Cで示す。)の側に位置する肩部分127は、ケース11の軸線方向における断面において円弧状になっている。ここで、ケース11の開放端110にステム12を圧入する際の圧入代は、ケース11の長径側から短径側に向かって、寸法Lc、Lb、Laと単調増加している。このため、ケース11の開放端110にステム12を圧入していくと、短径部分125の肩部分127、短径部分125と長径部分126との間の肩部分127、および長径部分126の肩部分127の順にケース11のテーパ面117に接することになる。従って、圧入前のケース11の開放端110においてステム12を位置合わせした際には、ケース11のテーパ面117に対してステム12の短径部分125の肩部分127のみが当接することになる。このような状態では、ケース11のテーパ面117とステム12の長径部分126の肩部分127との間には隙間Ldがある。従って、本来ならば第8図(A)に示すように、ケース11の長径部分116とステム12の長径部分126が同一の角度位置にあって、かつ、ケース11の短径部分115とステム12の短径部分125が同一の角度位置にある状態で位置合わせされるべきケース11とステム12との間に、第8図(B)に矢印Dで示す方向の位置ずれが発生するおそれがある。このような位置ずれが発生すると、圧入代が0の部分が発生し、そこが気密不良となる。
そこで、本形態では、第9図に示すように、肩部分127の円弧の曲率半径がステム12の長径部分126の側で小さく、短径部分125の側で大きくなるように設定されている。従って、ステム12の長径部分126の側では肩部分127が突き出る傾向にある。それ故、ケース11の開放端110においてステム12を位置合わせする際には、ステム12の短径部分125の肩部分127、短径部分125と長径部分126との間の肩部分127、および長径部分126の肩部分127は、略同時にケース11の開放端110のテーパ面117に当接することになる。すなわち、ステム12の全周において肩部分127がテーパ面117に当接することになる。
このような状態では、ケース11とステム12との間に、第8図(B)に示したような位置ずれが発生することがないので、第8図(A)に示すように、ケース11とステム12との間において短径部分115、125同士および長径部分116、126同士が対応するように位置合わせされ、ケース11とステム12との間に位置ずれが発生しない。それ故、ケース11とステム12との間において圧入代が0の部分が発生することがないので、気密不良が発生することがない。
〔実施の形態1、2の改良例2〕
第10図は本例の圧電振動子容器10の封止部分の説明図である。なお、第10図では、ステム12の各位置における肩部分と、それに対応するケース11との相対位置関係を比較しやすいように、ケース11を共通のものとして表すとともに、ステム12の各位置における肩部分を重ねて表してある。
改良例1で説明した問題点(第7図および第8図(B)を参照。)を解消するにあたっては、第10図に示すように、ステム12において圧入方向(矢印Cで示す方向)に位置する肩部分127は、ケース11の軸線Lの方向における断面において円弧状になっているとともに、この円弧の中心位置がステム12の短径部分125より長径部分126の方で圧入方向(矢印Cで示す方向)の側に位置するように構成してもよい。
このように構成すると、ケース11の開放端110においてステム12を位置合わせする際に、短径部分125の肩部分127、短径部分125と長径部分126との間の肩部分127、および長径部分126の肩部分127は、ケース11の開放端110のテーパ面117に略同時に当接することになる。すなわち、ステム12の全周において肩部分127がテーパ面117に当接することになる。従って、ケース11とステム12との間に、第8図(B)に示すような位置ずれが発生することがないので、第8図(A)に示すように、ケース11とステム12との間において短径部分同士115、125および長径部分116、126同士が対応するように位置合わせされる。それ故、ケース11とステム12との間において圧入代が0の部分が発生することはないので、気密不良が発生しない。
〔実施の形態1、2の改良例3〕
第11図は本例の圧電振動子容器10の封止部分の説明図である。なお、第11図では、ステム12の各位置における肩部分と、それに対応するケース11との相対位置関係を比較しやすいように、ケース11の各位置におけるテーパ面、およびステム12の各位置における肩部分をそれぞれ重ねて表してある。
改良例1で説明した問題点(第7図および第8図(B)を参照。)を解消するにあたっては、第11図に示すように、ケース11の開放端110において、ケース11の軸線方向における断面において内周縁をテーパ面117にするとともに、このテーパ面117が軸線方向となす角度がケース11の長径部分116より短径部分115の方で小さくしてもよい。すなわち、ステム12の肩部分127の曲率は全周にわたって等しく、かつ、ケース11の長さ寸法は全周にわたって同一であるが、短径部分115の側ではケース11のテーパ面117の角度が小さい。
従って、ケース11の開放端110においてステム12を位置合わせする際には、ステム12の短径部分125の肩部分127、短径部分125と長径部分126との間の肩部分127、および長径部分126の肩部分127は、ケース11の開放端110のテーパ面117に略同時に当接することになる。すなわち、ステム12の全周において肩部分127がテーパ面117に当接することになる。それ故、ケース11とステム12との間に、第8図(B)に示すような位置ずれが発生することがないので、第8図(A)に示すように、ケース11とステム12との間において短径部分115、125同士および長径部分116、126同士が対応するように位置合わせされる。よって、ケース11とステム12との間において圧入代が0の部分が発生することがないので、気密不良が発生しない。
〔実施の形態1、2の改良例4〕
第12図は本例の圧電振動子容器10の封止部分の説明図である。なお、第12図では、ステム12の各位置における肩部分と、それに対応するケース11との相対位置関係を比較しやすいように、ケース11の各位置におけるテーパ面、およびステム12の各位置における肩部分をそれぞれ重ねて表してある。
改良例1で説明した問題点(第7図および第8図(B)を参照。)を解消するにあたっては、第12図に示すように、ケース11の開放端110において、ケース11の軸線Lの方向における断面において内周縁をテーパ面117にするとともに、このテーパ面117の軸線Lの方向における位置をケース11の長径部分116より短径部分115の方で圧入方向(矢印Cで示す方向)の側に位置するようにしてもよい。すなわち、ステム12の肩部分127の曲率は全周にわたって等しく、かつ、ケース11のテーパ面117の傾きは全周にわたって等しいが、ケース11の長径部分116より短径部分115の方でケース11が短い。
従って、ケース11の開放端110においてステム12を位置合わせする際には、短径部分125の肩部分127、短径部分125と長径部分126との間の肩部分127、および長径部分126の肩部分127は、ケース11の開放端110のテーパ面117に略同時に当接することになる。すなわち、ステム12の全周において肩部分127がテーパ面117に当接することになる。それ故、ケース11とステム12との間に、第8図(B)に示すような位置ずれが発生することがないので、第8図(A)に示すように、ケース11とステム12との間において短径部分115、125同士および長径部分116、126同士が対応するように位置合わせされる。よって、ケース11とステム12との間において圧入代が0の部分が発生することがないので、気密不良が発生しない。
〔実施の形態1、2の改良例5〕
第13図は、本例の圧電振動子容器の封止部分の説明図である。第14図(A)、(B)はそれぞれ、本発明の実施の形態1、2に係る各圧電振動子容器において第13図に示す突起を形成すべき位置を示す説明図である。
改良例1で説明した問題点(第7図および第8図(B)を参照。)を解消するにあたっては、第13図および第14図(A)、(B)に示すように、ケース11の開放端110において、ケース11の軸線Lの方向における断面において内周縁をテーパ面117にするとともに、ステム12の圧入方向(矢印Cで示す方向)の側に位置する肩部分127のうち、長径部分126と短径部分125との間に相当する4箇所(第14図(A)、(B)において斜線を付した領域)に、ケース11の開放端110に形成されたテーパ面117に各々の位置で同時に当接するような突起128をそれぞれ形成してもよい。
このように構成すると、ケース11の開放端110においてステム12を位置合わせした際に、ステム12が回転して位置ずれを起こそうとしても、このような位置ずれの原因となるステム12の回転は、ステム12の肩部分127に形成した4つの突起128で止められる。従って、ケース11とステム12との間に、第8図(B)に示すような位置ずれが発生することがないので、第8図(A)に示すように、ケース11とステム12との間において短径部分115、125同士および長径部分116、126同士が対応するように位置合わせされる。それ故、ケース11とステム12との間において圧入代が0の部分が発生することがないので、気密不良が発生することがない。
ここで、突起128は、ステム12の肩部分127(ステム12を構成する金属外環)に対する絞り加工、ステム12の肩部分127に固着したはんだボール、あるいはステム12の肩部分127に形成した厚膜はんだめっきなどから構成することができる。
また、圧電振動子容器10において、ケース11の開放端110にステム12を位置合わせする際に、超音波振動子(図示せず。)あるいはピエゾ素子(図示せず。)が発生した振動をケース11あるいはステム12に伝えると、ケース11あるいはステム12は振動しながら適正な位置にずれる。それ故、第8図(A)に示すように、ケース11とステム12との間において短径部分115、125同士および長径部分126、126同士が対応するように位置合わせされる。
ここで、突起128を短径部分125と長径部分126との間に相当する位置に形成したのは、第15図(A)、(B)に示す検討結果に基づく。
第15図(A)、(B)はそれぞれ、ステム12の外周上の位置(回転角θ)と外形寸法(半径C)との関係、およびステム12の外周上の位置(回転角θ)に対する外形寸法(半径C)の変化率を示すグラフである。第15図(A)、(B)には、実施の形態1で使用した略楕円形状の断面を有するケース11およびステム12を用いた場合、および実施の形態2で説明した楕円形状の断面を有するケース11およびステム12を用いた場合のそれぞれについて、ステム12の外周上の位置(回転角θ)と外形寸法(半径C)との関係、およびステム12の外周上の位置(回転角θ)と外形寸法(半径C)の変化率との関係をそれぞれL6、L7で表してある。
第15図(A)、(B)に示すように、実施の形態1、2のいずれの形態に係る圧電振動子容器10においても、長径部分126に対して20°±10°の回転角をなす範囲において回転角θに対する外形寸法(半径C)の変化率が著しく大きい。従って、このような位置に対応させて、第14図(A)、(B)に斜線を付した領域に突起128を形成しておけば、4つの突起128によってステム12の回転を防止することができるので、ケース11とステム12との間で位置ずれが発生しない。それ故、この製造方法によれば、ケース11とステム12との間に、第8図(B)に示すような位置ずれが発生することがないので、第8図(A)に示すように、ケース11とステム12との間において短径部分115、125同士および長径部分116、126同士が対応するように位置合わせされる。それ故、ケース11とステム12との間において圧入代が0の部分が発生することがないので、気密不良が発生することがない。
〔実施の形態1、2の改良例6〕
第16図は、本例の圧電振動子容器10におけるケース11およびステム12の断面形状、およびケース11の肉厚を示す説明図である。
第16図に示すように、本例でも、実施の形態1、2で説明したように、略楕円形状の断面を有するケース11およびステム12、あるいは楕円形状の断面を有するケース11およびステム12を用いる。また、圧入代については、ケース11の長径側から短径側に向かって単調増加している。
さらに、本形態において、ケース11は、長径部分116における肉厚が短径部分115における肉厚よりも薄くなっている。たとえば、ケース11の肉厚は、長径部分116に対して20°±10°の回転角をなす位置から長径部分116に向かって肉厚が単調減少している。
このように形成したケース11を用いた圧電振動子容器10について垂直応力および引っ張り応力を計算した結果を、第4図(A)、(B)に□および破線L2で示す。第4図(A)からわかるように、本例の圧電振動子容器10を用いた場合にも、垂直応力が小さくなりがちな短径部分115について圧入代を大きく設定してあるので、全周にわたって垂直応力が下限値以上である。また、本例の圧電振動子容器10を用いた場合には、第4図(B)からわかるように、実施の形態1、2に係る圧電振動子と比較して、引っ張り応力が大きくなりがちな長径部分116において肉厚を薄くしたので、長径部分116に発生する引っ張り応力が低下し、全周にわたって引っ張り応力が上限値以下である。従って、封止不良やケース11の破断に起因する気密不良が発生しない。
また、本例の圧電振動子容器10のように、長径部分116におけるケース11の肉厚を薄くし、短径部分115におけるケース11の肉厚を厚くすると、ケース11の肉厚が一定の場合に比較して、短径部分115に圧力が加わっても変形しにくいという利点がある。第16図(B)に示すように、たとえば、圧電振動子20をICなどと一緒に樹脂モールドした際にモールド圧(矢印Mで示す。)がケース11の短径部分115に加わっても、この短径部分115は厚肉に形成されているので、ケース11の短径部分115が凹んで圧電振動子容器10の気密性が低下するということがない。
〔実施の形態1、2の改良例7〕
第17図(A)、(B)はそれぞれ、本例の圧電振動子容器10を用いたステム12の正面図および平面断面図である。
第17図(A)、(B)に示すように、本例では、ステム12に固着されているリード13、14のうち、ケース11内で圧電振動片21のマウント部23に重ねられるインナーリード部分132、142がアウターリード部分131、141と比較して小径である。従って、第18図(A)に示すように、圧電振動子容器10に用いたケース11を偏平化するとともに、短径部分125の圧入代を大きくしたために、圧電振動片21とケース11の内周111との隙間寸法Gaが狭くなった場合でも、第18図(C)に示すように、インナーリード部分132、142を小径にしたリード13、14を使用しているので、インナーリード部分132、142が細い分、圧電振動片21とケース11の内周111との隙間寸法Gcが広い。従って、本例によれば、圧電振動子容器10に用いたケース11を偏平化し、かつ、短径部分125に圧入代を大きく確保した場合でも、圧電振動片21が落下などにより撓んでもケース11の内周111に触れることがない。それ故、圧電振動片21が落下などにより撓んでケース11の内周111に触れることに起因する圧電振動片21の折れや欠けを防止することができる。
〔実施の形態1、2の改良例8〕
本形態も、改良例7と同様、圧電振動子容器10に用いたケース11を偏平化し、かつ、短径部分125の圧入代を大きくした場合でも、圧電振動片21とケース11の内周111との間に十分な隙間寸法を確保することを目的とする。
第19図(A)、(B)、(C)はそれぞれ、本例の圧電振動子容器を用いたステム12の平面図、平面断面図、および側面断面図である。
第19図(A)、(B)、(C)に示すように、本例では、ステム12に固着されているリード13、14のうち、ケース11内で圧電振動片21のマウント部23に重ねられるインナーリード部分132、142を偏平にしてある。従って、第18図(A)を示すように、圧電振動子容器10に用いたケース11を偏平化するとともに、短径部分125の圧入代を大きくしたために圧電振動片21とケース11の内周111との隙間寸法Gaが狭くなった場合でも、第18図(B)に示すように、インナーリード部分132、142を偏平にしたリード13、14を使用しているので、インナーリード部分132、142が薄い分、圧電振動片21とケース11の内周111との隙間寸法Gbが広い。従って、本例によれば、圧電振動子容器10に用いたケース11を偏平化し、かつ、短径部分125の圧入代を大きく確保した場合でも、圧電振動片21が落下などにより撓んでもケース11の内周111に触れることがない。それ故、圧電振動片21が落下などにより撓んでケース11の内周111に触れることに起因する圧電振動片21の折れや欠けを防止することができる。
本例では、第19図(A)に示すように、インナーリード部分132、142を偏平にするにあたって、丸棒状のインナーリード部分にプレス加工を施したものである。従って、インナーリード部分132、142は、アウターリード部分131、141などに比較して幅広になっているが、第20図(A)、(B)に示すように、インナーリード部分132、142の幅寸法をアウターリード部分131、141の径と等しい形状に加工したものを用いてもよい。
なお、本例および改良例7に示すように、圧電振動子容器10に用いたケース11を偏平化し、かつ、短径部分125の圧入代を大きくした場合でも、圧電振動片21とケース11の内周111との間に十分な隙間を確保するという観点からすれば、第21図に示すように、ケース11の断面を略楕円形状(実施の形態1)にしたときに確保できる圧電振動片21とケース11の内周111との間の隙間寸法G1の方が、ケース11の断面と楕円形状(実施の形態2)にしたときに確保できる圧電振動片21とケース11の内周111との間の隙間寸法G2より広い。それ故、圧電振動片21が、落下などにより撓んでもケース11の内周111に触れることに起因する圧電振動片21の折れや欠けを防止するという点では、実施の形態1のように、ケース11およびステム12の断面を略楕円形状(実施の形態1)にしたときの方が有利である。
〔実施の形態1、2の改良例9〕
本形態は、第22図(A)に示すように、インナーリード部分132、142を偏平にしたときにインナーリード部分132、142が傾いても、インナーリード部分132、142と圧電振動片21のマウント部23との間において導電性接着剤やはんだが偏らないようにすることを目的とする。すなわち、第22図(A)に示すように、インナーリード部分132、142を圧電振動片のマウント部23に導電性接着剤やはんだなどを用いて電気的および機械的に接続する際には、インナーリード部分132、142を押さえ板15で圧電振動片21の方に押圧する。しかし、インナーリード部分132、142が偏平な場合にインナーリード部分132、142が傾くと、インナーリード部分132、142を押さえ板15で均等に押圧することができない。
そこで、本形態では、第22図(B)に示すように、インナーリード部分132、142には、その偏平な端面よりも外側に張り出す突起135、145が形成されている。従って、押さえ板15は、あくまでインナーリード部分132、142の突起135、145を介してインナーリード部分132、142を圧電振動片21に向けて押圧するので、偏平なインナリード部分132、142が傾いていても、インナリード部分132、142を圧電振動片21のマウント部23に向けて確実に押し付けることができる。それ故、インナーリード部分132、142と圧電振動片21のマウント部23との間において導電性接着剤やはんだを広い範囲に行き渡らせることができる。
ここで、インナーリード部分132、142に対して突起135、145を形成する方法としては、たとえば、第23図に示すように、インナーリード部分132、142にはんだボールを固着してそれを突起135、145とした構成、第24図に示すように、インナーリード部分132、142に厚膜はんだめっきを施してそれを突起135、145とした構成、さらには、第25図に示すように、機械加工によってインナーリード部分132、142を変形させ、それによって形成される凸部を突起135、145とした構成を利用することができる。
〔実施の形態1、2の改良例10〕
第26図(A)は本例の圧電振動子20の構成例を示す側面断面図であり、第26図(B)は第26図(A)のA−A矢視図、第26図(C)は第26図(A)のマウント部の部分拡大図である。
第26図(A)、(B)および(C)に示すように、本例では、ステム12に固着されているリード13、14のうち、ケース11内で圧電振動片21のマウント部23に重ねられるインナーリード部分132、142が、圧電振動片21の先端部24が圧電振動子20の厚み方向中央になるように角度ψ分だけ曲げられている。従って、圧電振動子容器10に用いたケース11を偏平化するとともに、短径部分125の圧入代を大きくしても、インナーリード部分132、142が曲げられている分、圧電振動片21とケース11の内周111との隙間寸法Gdが広い。従って、本例によれば、圧電振動子容器10に用いたケース11を偏平化し、かつ、短径部分125の圧入代を大きく確保した場合でも、圧電振動片21が落下などにより撓んでもケース11の内周111に触れることがない。それ故、圧電振動片21が落下などにより撓んでケース11の内周111に触れることに起因する圧電振動片21の折れや欠けを防止することができる。
また、本改良例10の圧電振動子の製造方法においては圧電振動片21の先端部24が圧電振動子20の厚み方向中央になるように予め曲げられたインナーリード132、142に圧電振動片21をマウントする方法と、インナーリード132、142に圧電振動片21をマウントする際に、インナーリード132、142を、圧電振動片21の先端部24が圧電振動子20の厚み方向中央になるように曲げながらマウントする方法とが考えられる。
前者の方法は、インナーリード132、142が曲げにくい形状や材質である場合(例えば、断面が円形で太い場合や、硬い材質である場合)などに有効であり、まず、第27図(A)に示すように、ステム12を単体でインナーリード曲げ治具17にセットし、インナーリード132、142を所定の角度ψに予め曲げておく。次に、圧電振動片21をマウントするための治具に、圧電振動片21と、インナーリード132、142が予め曲げられたステム12(第27図(B))とをセットしマウントを行う。この方法によれば、本改良例10に示すような構成の圧電振動子20を容易に製造することができる。
一方、後者の方法は、インナーリード132、142が曲げやすい形状や材質である場合(例えば、改良例7に示す断面が円形で細い場合や改良例8に示す偏平形状の場合、あるいは比較的柔らかい材質である場合)などに有効であり、第28図に示すように、圧電振動片21をセットする部分と、ステム12をセットする部分とが、所定の角度ψに設定されているマウント治具18に、圧電振動片21とステム12とをセットし、インナーリード132、142を押さえ板16で圧電振動片21に押圧してマウントを行う。このようにすると、インナーリード132、142は押さえ板16により所定の角度ψ分だけ曲げられて、圧電振動片21のマウント部23の面に密着し、マウントが完成する。従って、この方法によれば、本改良例10に示すような構成の圧電振動子20を容易に、かつ、工程を増加することなしに製造することかできる。
〔各実施の形態の応用例〕
第29図は、本発明の実施の形態に係わる各圧電振動子のいずれかを基板に実装した場合の応用例を示す斜視図である。
第30図(A)、(B)は、それぞれ第29図の圧電振動子2を基板にはんだ付けした場合の構成例を示す斜視図及び部分断面図であり、第31図(A)、(B)は、それぞれ図29図の圧電振動子2を基板にはんだ付けした場合の別の構成例を示す斜視図及び部分断面図である。
上述の各実施の形態に係わる圧電振動子2は、例えば第29図のように基板100に実装される。基板100の表面には、例えばその他にも電子部品が実装されており、これらを接続するための所定の配線が形成されている。この配線における圧電振動子2が実装される位置には、リード13、14が貫通する穴またはリードを載置するパターンが設けられている。圧電振動子2は、リード13、14がそれぞれ第30図(A)や第31図(A)に示すようにこれらの穴に差し込まれ、またはこれらのパターンに載置され、第30図(B)や第31(B)に示すようにはんだ付けされることで実装される。
以上説明したように本発明によれば、ステムおよびケースが略楕円形状あるいは楕円形状の断面を有しているので、偏平な圧電振動片を効率よく収納でき、圧電振動子を薄型化できる。従って、圧電振動子を基板に実装させた場合には、実装面垂直方向における高さを低くし、圧電振動子を実装する基板の薄型化を図ることができる、また、垂直応力が小さくなりがちな短径部分について圧入代を大きく設定したので、全周にわたって垂直応力が下限値以上である。さらに、引っ張り応力が大きくなりがちな長径部分について圧入代を小さく設定したので、全周にわたって引っ張り応力が上限値以下である。従って、封止不良やケースの破断に起因する気密不良が発生しないので、信頼性の高い圧電振動子を構成することができる。
産業上の利用可能性
このように、本発明は、水晶振動子などの圧電振動片を内部に収納する圧電振動子容器、この圧電振動子容器を用いた圧電振動子及びこの圧電振動子を実装した回路基板並びに圧電振動子の製造方法として用いるのに適している。さらに詳しくは、圧電振動子容器に用いた楕円あるいは略楕円の筒状ケースの開放端に対する封止技術として用いるのに適している。

Claims (20)

  1. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の曲率半径が前記ステムの長径部分より短径部分の方で大きく、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  2. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の曲率半径が前記ステムの長径部分より短径部分の方で大きく、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  3. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の中心位置が前記ステムの短径部分より長径部分の方で前記圧入方向側に位置し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  4. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の中心位置が前記ステムの短径部分より長径部分の方で前記圧入方向側に位置し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  5. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面が前記軸線方向となす角度が前記ケースの長径部分より短径部分の方で小さく、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  6. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面が前記軸線方向となす角度が前記ケースの長径部分より短径部分の方で小さく、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  7. 一方が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面の前記軸線方向における位置が前記ケースの長径部分より短径部分の方で前記圧入方向側にあり、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  8. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面の前記軸線方向における位置が前記ケースの長径部分より短径部分の方で前記圧入方向側にあり、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  9. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記長径部分と前記短径部分との間に相当する4箇所には、突起がそれぞれ形成され、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において、内周縁が前記ステムの前記肩部分の前記4箇所の突起に当接するテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  10. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記長径部分と前記短径部分との間に相当する4箇所には、突起がそれぞれ形成され、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において、内周縁が前記ステムの前記肩部分の前記4箇所の突起に当接するテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子。
  11. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の曲率半径が前記ステムの長径部分より短径部分の方で大きく、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
  12. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の曲率半径が前記ステムの長径部分より短径部分の方で大きく、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
  13. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の中心位置が前記ステムの短径部分より長径部分の方で前記圧入方向側に位置し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動片を実装した回路基板。
  14. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動子を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記円弧の中心位置が前記ステムの短径部分より長径部分の方で前記圧入方向側に位置し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
  15. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面が前記軸線方向となす角度が前記ケースの長径部分より短径部分の方で小さく、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
  16. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面が前記軸線方向となす角度が前記ケースの長径部分より短径部分の方で小さく、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
  17. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面の前記軸線方向における位置が前記ケースの長径部分より短径部分の方で前記圧入方向側にあり、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
  18. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状の断面形状を有し、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において内周縁がテーパ面になっており、前記テーパ面の前記軸線方向における位置が前記ケースの長径部分より短径部分の方で前記圧入方向側にあり、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
  19. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ステム外周が第1の曲率半径を備える短径部分と前記第1の曲率半径よりも小さな第2の曲率半径の長径部分とを有し、前記第1の曲率半径と前記第2の曲率半径との接続部分で前記第1の曲率半径の接線と前記第2の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記長径部分と前記短径部分との間に相当する4箇所には、突起がそれぞれ形成され、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面において、ケース内周が第3の曲率半径を備える短径部分と前記第3の曲率半径よりも小さな第4の曲率半径の長径部分とを有し、前記第3の曲率半径と前記第4の曲率半径との接続部分で前記第3の曲率半径の接線と前記第4の曲率半径の接線とが一致し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において、内周縁が前記ステムの前記肩部分の前記4箇所の突起に当接するテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、
    前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
  20. 一方端が開放端になっている筒状のケースと、前記ケースの前記開放端を封止するステムとを有する圧電振動子容器内に圧電振動片を収納した圧電振動子を実装した回路基板において、
    前記ステムは、前記ケースと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてステム外周が楕円形状を有し、
    前記ステムの圧入方向側に位置する肩部分は、前記ケースの軸線方向における断面において円弧状になっているとともに、前記長径部分と前記短径部分との間に相当する4箇所には、突起がそれぞれ形成され、
    前記ケースは、前記ステムと接触する部分における前記ケースの軸線方向と直交する方向の断面においてケース内周が楕円形状を有し、
    前記ケースの開放端側は、前記ケースの軸線方向における断面において、内周縁が前記ステムの前記肩部分の前記4箇所の突起に当接するテーパ面になっており、
    前記ケースの開放端に前記ステムを圧入する際の圧入代は、前記ケースの長径側から短径側に向かって単調増加し、前記ケースに発生する垂直応力および引っ張り応力を前記ケースの全周にわたって許容範囲内におさめていることを特徴とする圧電振動子を実装した回路基板。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006262443A (ja) * 2005-02-10 2006-09-28 Seiko Instruments Inc 圧電振動子、表面実装型圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
JP4845478B2 (ja) * 2005-10-24 2011-12-28 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器及び電波時計
US20100033268A1 (en) * 2007-02-13 2010-02-11 Daishinku Corporation Piezoelectric resonator device
EP3090427B1 (en) * 2013-12-30 2022-11-02 Photosonix Medical, Inc. Flextensional transducer and related method

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPH03220910A (ja) 1990-01-26 1991-09-30 Seiko Epson Corp 圧電振動子
JP3421747B2 (ja) * 1995-02-15 2003-06-30 セイコーエプソン株式会社 圧電発振器及び電圧制御発振器
US6005329A (en) * 1995-05-11 1999-12-21 Seiko Epson Corporation Method and apparatus for sealing piezoelectric resonator via laser welding
JPH0964679A (ja) 1995-08-19 1997-03-07 Miyota Kk 水晶振動子の支持構造
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