JP3767253B2 - 電子回路基板配線の断線修正方法及び電子回路基板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示装置や半導体集積回路、或いは大規模電子機器に使用される基板上に形成された配線の断線欠陥を修正する技術に係り、特に配線の断線部に液体材料を微量供給し、レーザを照射して導電膜を形成し、断線欠陥を修正する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置や半導体集積回路に代表される電子回路基板では表示性能や集積度の向上に伴い、基板上に形成される回路配線の微細化、高密度化が進んでいる。これらの回路配線は通常、レジスト塗布・露光・現像・エッチング・レジスト剥離といった一連の工程により形成されるが、電子回路基板の高性能化が進むのにつれて上記工程における良品歩留まりが低下する。特に、レジスト露光時の異物に起因する配線の断線欠陥は致命的であり、基板上に一箇所発生しただけでも製品として出荷できず、不良として廃棄される場合が多い。従って、製造歩留まりの向上、即ち製造コストの低減のためには、配線の断線欠陥を修正する技術、言い換えれば局所的に配線を形成する技術が必要不可欠である。
【0003】
従来、断線欠陥を修正する技術として、特開平7−29982あるいは特開平8−184842に、その方法が開示されている。即ち、断線欠陥部に金、銀、白金、パラジウムのいずれかを含む金属錯体溶液を塗布し、レーザ光を照射して有機溶媒を蒸発させると共に金属錯体溶液を熱分解して金属薄膜を析出させ、修正する方法である。これにより、全ての断線欠陥を修正できるわけではないが、多くを修正により救うことができ、本来不良として廃棄せざるを得なかった欠陥のある基板を良品として次の工程に送ることができ、結果的に製品の歩留まりを向上させ、製造コストの低減を図ることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術で形成した金属薄膜は金属微粒子の集合体で、基板及び電極に対する密着性、及び金属膜自体の機械的強度が不十分であることがわかった。即ち、修正後の工程で、断線部に形成した金属膜が断線したり剥離し、せっかく修正した基板が完成までの間に、再び断線のため不良となる場合があることがわかった。
【0005】
本発明の目的は、上記課題を解決し、製造コストを上昇させることなく、また製品の信頼性を損なうことなく断線欠陥の修正を行い、製造歩留まり向上を図ることのできる断線修正方法を提供することにある。
【0006】
また、本発明の目的は、配線工程までのコストをかけて製造した電子回路基板のうち、断線欠陥が発生して不良品として処理されて、そのままでは製品価値がなくなってしまうものに対して、断線欠陥部分を修正することにより製品価値を復活させることを可能にした電子回路基板を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、修正のために形成した金属薄膜の基板および電極表面に対する密着性を向上させること、さらには修正のため形成した金属薄膜を構成している金属粒同士の結合力を増加することにより機械的強度を向上することで達することができる。即ち、密着性を向上する課題に対しては、使用する金属錯体溶液中に基板表面、電極表面および形成した金属薄膜に対して密着性の良い添加物を加える事で解決することができる。また、機械的強度を向上させる課題に対しては、金属薄膜を構成している金属微粒子同士を強固に結合させる物質を添加する事、あるいは形成した金属薄膜を加熱することで、接触している金属粒子間で原子を相互拡散させて結合力を向上させることで解決することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下図に従い、本発明を詳細に説明する。図1は本発明の修正方法の適用対象の一つであるTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)基板の一部分(TFT部)とその断面を示している。即ち、ガラス基板1上にゲート電極(ゲート配線)2が形成され、その一部(TFT部)がゲート絶縁膜3で被覆され、その上に形成された絶縁膜4上に透明画素電極5が形成される。また、ゲート絶縁膜3上のTFT部に半導体膜6が形成され、半導体膜6と透明画素電極5がソース電極7で接続される。更に、半導体膜6に接続するドレイン配線(データ配線)8がゲート配線2と層間絶縁膜(図示せず)を介して交差するように形成される。このゲート配線2とドレイン配線8はAl、Cr、Mo等の金属の単独あるいは合金の単一あるいは複数層から構成され、膜厚が0.1〜0.3μm、幅がおよそ5μmであり、スパッタリングにより成膜後、ホトリソ及びエッチングにより形成される。ソース電極7とドレイン配線8が形成された後、保護膜(図示せず)が形成され、いわゆるTFT工程を完了する。この後、配向膜形成、カラーフィルタ張り合わせ、液晶注入等の工程を経てTFT表示パネルとして完成する。
【0009】
これらの形成工程、特に電極・配線の形成工程において、異物付着などの原因で図1に示したように、配線に断線10が発生する場合がある。そのため、例えばソース電極7,ドレイン配線8が形成された後で電気的に、あるいは外観検査によりドレイン線8の断線の有無を検査し、断線を発見した場合には必要に応じて修正する。尚、ゲート線2についても同様に断線が発生する場合があるが、以下に述べるようにドレイン線8の断線修正と同様に修正しても良いし、製造工程の初期段階であるため全電極パターンをエッチングにより除去してガラス基板のみとし、再製作しても良い。
【0010】
図2は、本発明である断線欠陥修正方法を実施するのに好適な、修正装置の構成を示す図である。本装置は定盤11、定盤11上に固定された門形フレーム12、被修正物であるTFT基板13を設置しXY方向に駆動するためのステージ15、連続発振レーザ光18を発生させるArレーザ発振器16、パルスレーザ光19を発生させるYAGレーザ発振器17、レーザ光18、19の集光・照射とTFT基板13の観察、位置決めを行うための門形フレーム12に固定された光学系21、液体材料を塗布するためのガラスピペット23とそれを固定するためのホルダ24、ガラスピペット23をXYZ方向に位置決め・駆動するためのマニピュレータ25、ガラスピペット23内に窒素などの圧力を印加するためのインジェクタ26と配管27、液体材料を格納した蓋付き容器(図示せず)、清浄な気体を吹き付けるための配管31とフィルタ32とノズル33とバルブ34、および全体の制御を行うための制御装置35から構成されている。
【0011】
また、光学系21は落射照明装置41、Arレーザ光18とYAGレーザ光19を結合するための結合プリズム42、レーザ光18、19を任意の大きさの矩形に成形するための可変スリット43、レーザ光18、19と落射照明装置41からの照明光を結合するためのミラー44、対物レンズ45、位置決め、観察するためのTVカメラ46、モニタ47、TVカメラ46からの画像信号を処理するための画像処理装置48から構成されている。
【0012】
ここで、主な部分の機能を説明する。定盤11はその上に設置するものを固定するためのもので、実施に当たっては十分な剛性を有するフレーム構造でも良く、床からの振動を遮断するための防振機構(図示せず)を設置することが望ましい。また、門形フレーム12は主に光学系21を固定保持するためのもので、十分な剛性を有する。ステージ15は上に搭載するTFT基板13全面を走査できるストロークを有し、必要に応じてTFT基板13を搬送ロボットなどで自動的に着脱する位置へ搬送できるストロークを有する。
【0013】
Arレーザ発振器16はTFT基板13上に塗布した液体材料を熱分解して導電膜を形成したり、形成した導電膜を再加熱(レーザアニール)するためのレーザ源として使用する。YAGレーザ発振器17はTFT基板13上に残留している異物の除去、修正部形状のトリミング、短絡欠陥の修正等に使用する。それぞれの発振器16、17から発振したレーザ光18、19は光学系21の結合プリズム42で結合され、矩形スリット43で任意の大きさの矩形に成形され、対物レンズ45によりTFT基板13上に対物レンズ45の倍率の逆数の倍率で縮小されてTFT基板13上に投影照射される。
【0014】
マニピュレータ25はガラスピペット23の先端を、修正すべき欠陥位置に位置決めしたり、液体材料のガラスピペット23内への充填・ガラスピペット23先端の乾燥防止のため、ガラスピペット23を液体材料格納容器内の液体材料に浸漬させたりするために用いる。そして、制御装置35はステージ15およびマニピュレータ25の駆動、液体材料格納容器の蓋の開閉、レーザ発振器16、17のon−off、矩形スリット43の駆動、インジェクタ26による窒素ガス圧の印加、ノズル33からの清浄な気体及び不活性ガス吹き付けのためのバルブ開閉34、検査装置からの検査結果データの受け取り或いは記憶媒体からの情報の読み取り、修正結果データの送信などの制御を行う。
【0015】
以下に電子回路基板としてTFT基板の配線の一部が欠落している欠陥、即ち断線欠陥を修正する場合を例に、断線欠陥を修正する手順について詳細に述べる。例えば、図1に示した断線欠陥10を修正する場合について説明する。検査装置(図示せず)により断線欠陥が検出されたTFT基板13を搬送ロボット(図示せず)などにより修正装置に搬送し、ステージ15上に載置する。一方、検査装置で検出された欠陥位置情報を磁気記憶媒体を介して、或いはネットワークを介して受信し、その情報に基づいてステージ15を駆動して光学系21の視野内に欠陥位置を再現する。
【0016】
この検査装置は別置きとして、検査結果のみを通信しても良いし、修正装置に検査部を設置して一つの装置で検査と修正の両方を実施しても良い。また、導通検査装置により断線している配線を検出し、別な検査機構で断線位置を特定し、特定された断線部を修正しても良い。一般的に別置きの場合、高価なクリーンルーム内に広い面積を必要とするが、大量の基板を検査修正する場合には適している。一方、検査機構と修正機構を一つの装置にまとめた場合はスループットの点では劣るが、専有する面積が低減でき、検査と修正を交互に実施するため、基板とデータの不一致が生じる恐れがなく、ハンドリングの回数が少なくなるなどの利点もある。
【0017】
その後、自動焦点機構(図示せず)により光学系21全体をステージ15のTFT基板15を載置する面に垂直なZ方向に移動してTFT基板13表面にピントを合わせる。ステージ15により基板13をZ方向に移動させても良い。光学系21を移動させる場合には、Arレーザ光18を偏向させるミラー50も一体として移動させることで、Arレーザ光18の光軸を一定に保つことが出来る。ここで、TVカメラ46とモニタ47で再現された断線欠陥10を観察して、修正可能な欠陥であるか否かを判断し、修正可能と判断されればドレイン線上の液体材料の塗布を開始する位置を視野中央に合わせる。この位置は通常、断線部10に隣接するドレイン線上である。異物が原因で配線が断線した場合で、断線部に異物が残留している場合は、パルスレーザ発振器17からパルスレーザ光19を発振させ、異物を除去してから断線修正を行う。
【0018】
ガラスピペット23の先端は液体材料格納容器内の液体材料中に浸漬されている。これはピペット23内に液体材料を毛細管現象を利用して充填するためと、先端の乾燥を防止すると共にガラスピペット23の先端状態を常に一定に保つためである。この状態から格納容器の蓋を開き、マニピュレータ25を駆動してガラスピペット23を取り出し、蓋を閉じると共に予め設定されている位置、通常はガラスピペット23の先端を光学系21の視野中央で、例えば基板13表面上50ミクロンの位置に位置決めする。この状態では、落射照明装置41により落射照明されてTVカメラ46で撮影されモニタ47上に表示された映像により、ドレイン線上にガラスピペット23の先端が観察される。対物レンズ45の倍率によっては、ガラスピペット23の像がぼけて見える場合もあるが、それでも良い。
【0019】
この状態から、ガラスピペット23を徐々に降下させると、やがてガラスピペット23の先端はドレイン線8の表面に接触する。更に降下させると、ガラスピペット23の先端が弾性力によりたわみ、観察視野の中で先端方向にシフトする。このシフトを観察することで、ガラスピペット23の先端がドレイン線8に接触したことを確認できる。ここで一定のシフト量で降下を停止することで、常に一定の接触状態を再現することが出来る。シフト量を大きくするとドレイン線に力が加わり、ドレイン線にダメージを与える恐れがあるので、このシフト量を通常は1〜10ミクロン程度に設定される。
【0020】
このガラスピペット23先端の基板13表面への接触の検出、即ちガラスピペット23先端のシフトは、TVカメラ46で撮像した信号を画像処理装置48で処理することで容易に自動的に検出することが出来る。即ち、ガラスピペット23が一定距離、例えば2ミクロン降下する度に画像を取り込んで、一つ前の画像と比較し、差が生じた場合にガラスピペット23が画面内でシフトしたと見なすことが出来る。このシフト量を検出して一定に保つことで、あるいはピペット23の先端がドレイン線8に接触したことを検出してから一定距離の降下を行うことで、ガラスピペット23の基板13への接触状態を一定に保つことができる。
【0021】
接触を確認後、インジェクタ26で予め設定してある圧力の窒素の供給を開始する。この窒素圧により、ガラスピペット23内に充填されている液体材料がピペット23の先端から押し出され、ドレイン線8に接触する。この時点でバルブ34を開き、フィルタ32で粒子状汚染を除去した清浄な乾燥空気あるいは窒素あるいは不活性ガスをノズル33から吹き出させて、ガラスピペット23の先端部および吐出された液体材料膜に吹き付ける。その状態を保ちながら、一定圧力の窒素をガラスピペット23内に印加して液体材料を押し出しながら一定速度でガラスピペット23或いは基板13を移動することにより、または、一定圧力の窒素をガラスピペット23内にパルス的に印加して液体材料を押し出しながら一定速度あるいは間欠的にガラスピペット23或いは基板13を移動することにより、断線部とその両端のドレイン線8上に微細な幅で、十分な厚さの液体材料膜を形成することが出来る。必要な領域への塗布が終了した後、ノズル33からのガス吹き付けを終了する。
【0022】
液体材料を塗布後、大気中でArレーザ光18を照射しながらステージ15を一定速度で移動させ、液体材料膜全面にレーザ光18を照射して、金属薄膜を形成する。これにより、断線部は金属薄膜で接続され、断線欠陥は修正される。その後、更にノズル33から窒素ガスあるいは不活性ガスを吹き出させて、金属薄膜周辺の雰囲気を窒素あるいは不活性ガス雰囲気とし、再度Arレーザ光18を、金属薄膜形成時より高い出力密度で金属薄膜に照射しながらステージ15を一定速度で移動させ、金属薄膜全面に照射する。これにより、断線欠陥の修正は完了する。同一基板内に更に断線欠陥がある場合は、上に述べた修正手順により修正を行う。
【0023】
ここで、本発明の1実施例である修正方法について説明する。上に述べた修正装置により断線欠陥10を修正するのに使用する液体材料として、金属錯体を有機溶媒に溶解した液体を使用する。種々の金属錯体の中でも、Pd(CF3COO)2(トリフロロ酢酸パラジウム)をN−メチル−2−ピロリドンとアセトニトリルに溶解したものが適している。最も望ましくは、トリフロロ酢酸パラジウムとN−メチル−2−ピロリドンとアセトニトリルを重量比で50:25:25のとし、トリフロロ酢酸パラジウムをN−メチル−2−ピロリドンとアセトニトリルに溶解したものを原液とし、N−メチル−2−ピロリドンを添加して粘度を調整した溶液を金属錯体溶液とする。
【0024】
この金属錯体溶液に、密着性を向上させることを目的に、一般式M(OR)nで表される金属アルコキシドを添加する。ここで、Mは金属で、Si,Al,Ti,Zr,Nb,Taが適している。また、Rはアルキル基で、CH3(メチル基)、C2H5(エチル基)、C3H7(プロピル基)、C4H9(ブチル基)が望ましい。C5H11以上では有機成分が多すぎるため、析出した膜中のボイドが多くなり,好ましくない。添加する金属アルコキシドのトリフロロ酢酸パラジウムに対する混合比は、0.5〜10モル%が好ましい。
【0025】
0.5モル%未満では密着性向上の効果が小さく、10モル%を越えるとレーザ照射により析出した金属薄膜の電気抵抗が増加し、断線修正を目的とした金属薄膜としては適さない。
【0026】
添加した金属アルコキシドは水分に対して不安定で、大気中に放置すると、大気中の水分を吸収して加水分解を起こしてしまう。そのため、金属アルコキシドを添加した金属錯体溶液の安定性を向上させるために、一般式R’COCH2COR”で示されるβ−ジケトンを添加する。ここで、R’、R”はアルキル基、またはアルコキシ基である。代表的には、CH3COCH2COCH3(アセチルアセトン)、CH3CH2COCH2COCH3(2,4−ヘキサンジオン)、CH3COCH2COOCH3(アセト酢酸メチル)等を使用することができる。β−ジケトンは添加した金属アルコキシド1モルに対して、1〜5モルの比率で添加するのが好ましい。1モル未満では金属アルコキシドの不安定さを改善する効果が小さく、5モル以上では有機成分が多すぎて、析出膜中のボイドが多くなり好ましくない。
【0027】
金属錯体溶液に金属アルコキシドとβ−ジケトンを添加するにあたり、個別に添加しても良いし、予め金属アルコキシドとβ−ジケトンを混合した混合液を添加しても良い。
【0028】
ここで、上に述べた修正用液体材料として、Pd錯体溶液に対して、金属アルコキシドとしてTi(C4H9O)4(テトラブトキシチタン)をトリフロロ酢酸パラジウムに対して5モル%の割合で、安定化剤としてのβ−ジケトンとしてCH3COCH2COCH3(アセチルアセトン)をトリフロロ酢酸パラジウムに対して10モル%(テトラブトキシチタン1モルに対して、アセチルアセトンを2モルの比率)の割合で混合したものを修正用液体材料とした。
【0029】
上記した修正用液体材料を用いてTFT基板内のドレイン線断線部を修正する手順を、図3に従って説明する。図3(a)は断線部51を有するドレイン線52がガラス基板53上に絶縁膜54を介して形成されている部分の断面を示している。ここで、ドレイン線52はAl,Mo,W,Cr,Ti等の金属の単一層もしくは複数金属の多層、あるいはそれらの合金で形成されており、膜厚は0.1〜0.3ミクロン、配線幅はおよそ3〜10ミクロンである。
【0030】
修正用液体材料は、ガラスピペット55先端を液体材料中に浸漬する事で、ガラスピペット55の先端に形成した細い径の穴から、毛細管現象を利用してガラスピペット55内に充填される。そのガラスピペット55を液体材料格納容器から取りだし、先端をドレイン線52の断線部51に位置決めし、ガラスピペット55後方から空気、あるいは窒素あるいは不活性ガスで圧力を印加して、ガラスピペット55内に充填されている修正用液体材料を押し出し、断線部両端のドレイン線51に重なるように断線部に液体材料膜56を形成する。断線部51が大きい場合は、ガラスピペット55先端を断線部51に隣接したドレイン線52上に位置決めし、液体材料の吐出(ガス圧印加)とガラスピペット55の移動を繰り返し、ドレイン線52に十分重なるように液体材料膜56を塗布・形成する。
【0031】
この塗布・形成は、ガラスピペット55を固定し、TFT基板(ステージ)を移動させても良い。このとき、図1に示したように、ドレイン線8の両側(図3には図示されていない)には透明画素電極5が形成されているため、液体材料膜56が透明画素電極に接触しないように塗布する。万一接触した場合は、以下に述べるレーザ照射が完了した後に、パルスレーザを照射して形状の修正を行えばよい。
【0032】
次に、図3(c)に示すように液体材料膜56に大気中でArレーザ光57を照射し、溶媒を気化させると共にトリフロロ酢酸パラジウムを分解して、パラジウム膜58を析出させる。同時に金属アルコキシドとして添加したテトラブトキシチタンも分解して、チタン酸化物が生成する。チタン酸化物はパラジウム金属粒子同士を結合させると共に、析出したパラジウム膜58のドレイン線52あるいは下地絶縁膜54に対する密着性を向上させる。また、β−ジケトンとして添加したアセチルアセトンはレーザ照射により気化・蒸発する。本実施例において、パラジウム膜58は厳密にはパラジウムとチタン酸化物の混合膜であるが、金属アルコキシドとして他の金属アルコキシド、例えばタンタルアルコキシドを使用すれば、パラジウムとタンタル酸化物の混合膜が形成される。
【0033】
次に、図3(d)に示すように、少なくとも形成されたパラジウム膜58の周辺を窒素、あるいはアルゴンなどの不活性ガス雰囲気とし、再度Arレーザ光59を、図3(C)で析出したパラジウム膜58に照射する。これにより、パラジウム膜58(厳密にはパラジウムとチタン酸化物の混合膜)析出時に一部が酸化したパラジウムから酸素が脱離し、金属パラジウム60に還元される。このため、修正した部分の電気抵抗が低減し、良好な接続が得られる。また、このレーザ照射により加熱されたパラジウム膜58中のパラジウム金属粒子同士が相互拡散により強固に接続し、更にドレイン線を構成する金属との相互拡散が誘起され、密着性が向上する。パラジウム膜58中に残留している有機溶媒を完全に除去する効果もある。
【0034】
このように、一つの断線欠陥の修正が終了した後、同一基板上に他の断線欠陥があれば、同じ要領で修正し、修正工程を完了する。また、液体材料塗布時に液体材料膜がドレイン線に隣接する透明画素電極と接触したり、接触しないまでも広がった場合は、Arレーザ57を照射してパラジウム膜58を形成した後、あるいはArレーザ59の再照射が終了した後、パルスレーザ19を照射して、析出したパラジウム膜の一部を除去することにより、電気的にドレイン線8と透明画素電極5とを切り離すことができる。
【0035】
本発明の修正方法によれば、修正用液体材料を必要かつ十分な部分のみに供給し、供給された液体材料膜にレーザを照射して導電膜を形成するから、修正後に余分な液体材料を除去するための特別な洗浄は必要なく、製造ラインにおける次の工程に流すことができる。
【0036】
上に述べた実施例の中で、金属錯体を分解するためのレーザとして連続発振Arレーザ光を使用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるわけではない。連続発振YAGレーザの基本波及びその高調波、半導体レーザ及びその高調波を使用することができ、寸法的な制限が緩和されるならば連続発振炭酸ガスレーザを使用することもできる。また、金属薄膜形成後の不活性ガス雰囲気中でレーザ光を再照射する場合についても同様に、連続発振Arレーザ光以外に連続発振YAGレーザの基本波及びその高調波、半導体レーザ及びその高調波、炭酸ガスレーザを使用することができる。
【0037】
次に、本発明の別な実施例について説明する。本実施例では、前の実施例で説明した金属錯体溶液に代って、パラジウム、金、銀、白金の超微粒子を有機溶媒中に分散させた溶液を用いる。この溶液に密着性を向上させる金属アルコキシドと金属アルコキシドの安定性を確保するためのβ−ジケトンを添加することで、前の実施例と同様に、ガラスピペットを使用して配線断線部に形成した塗布膜にレーザを照射して密着性の優れた金属薄膜を得ることができる。
【0038】
具体的には金の超微粒子をα−テルピネオールに分散させた溶液を使用する。金の超微粒子が60重量%になるように、α−テルピネオールに分散させた溶液を原液とする。この原液の粘度は3000〜10000cpsである。この原液に、金1モルに対して0.5〜10モル%のTa(C4H9O)5(ペンタブトキシタンタル)を、ペンタブトキシタンタル1モルに対して1〜5モルの割合でCH3COCH2COCH3(アセチルアセトン)を加えた溶液を、修正用液体材料として使用する。超微粒子分散液に、ペンタブトキシタンタルとアセチルアセトンを混合した混合液を加えても良い。
【0039】
塗布の方法、レーザ照射方法は前の実施例で述べたとおりであり、配線断線部とその両端の電極に液体材料膜を形成し、レーザ照射により配線断線部に金薄膜を形成する。金薄膜が形成された後、同様に不活性ガス雰囲気で、再度レーザを照射して修正が完了する。この場合、不活性ガス雰囲気にするのは、金の酸化を防ぐためではなく(金はレーザ照射では酸化しない)、ドレイン線自体の酸化を防ぐためである。レーザ照射により得られた金薄膜(厳密には金とタンタル酸化物の混合膜)は、タンタル酸化物により薄膜中の金粒子同士が強固に結合すると共に、基板に対する密着性も向上する。また、レーザ再照射により、加熱された金薄膜中の金粒子同士が相互拡散でより強固に結合し、更にドレイン線を構成する金属との相互拡散が誘起され、さらに密着性が向上する。
【0040】
以上、説明してきたように、TFT基板上の配線の断線欠陥を修正するために、貴金属の錯体溶液あるいは貴金属超微粒子の分散液に、金属アルコキシドとβ−ジケトン、あるいは金属アルコキシドとβ−ジケトンの混合液を添加することにより、レーザ照射により形成された貴金属薄膜の膜強度向上と基板および電極への密着性向上を図ることができる。
また、上に述べた修正方法はTFT基板上の配線の断線欠陥修正だけでなく、STN等の液晶表示装置、プラズマディスプレイパネル、あるいは半導体集積回路、さらにはプリント基板等の電子回路基板上に形成されている配線の断線欠陥を修正する目的に、同様に適用することができる。
【0041】
【発明の効果】
上記したように、本発明の修正方法によれば、製品の信頼性を損なうことなく断線欠陥の修正を行い、製造歩留まり向上を図ること可能になる。また、本発明の断線修正方法を用いて配線の断線部を修復した電子回路基板は製品としての価値を復活して製品の歩留まりを向上させ、さらには製品の製造コストを低減することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明の修正方法の対象となる電子回路基板の一例であるTFT基板内のTFT部の構造を示す平面図とA−A‘断面図である。
【図2】図2は、本発明の修正方法を実施するのに好適な装置の概略構成を示す正面図である。
【図3】図3は、本発明の修正方法の手順を説明するTFT基板の断面図である。
【符号の説明】
1、53・・・・ガラス基板、
2・・・・・ゲート線、
8、52・・・・・ドレイン線、
10、51・・・・・断線部、
16・・・・・Arレーザ発振器、
17・・・・・YAGレーザ発振器、
23、55・・・・・ガラスピペット、
33・・・・・ノズル、
56・・・・・液体材料膜、
57,59・・・・・Arレーザ光。
Claims (9)
- 配線断線部上の金属錯体を含む溶液または塗布膜にレーザ光を照射し、該レーザ光の照射領域のみに局所的に金属薄膜を析出させて前記配線断線部の修正を行う方法において、上記の溶液または塗布膜がパラジウム、金、銀、白金のうちのいずれか一種類以上の金属を含む錯体の溶液と、金属アルコキシド(M(OR)n、Mは金属、Rはアルキル基)と、β−ジケトン(R’COCH2COR’’、R’、R’’はアルキル基またはアルコキシ基)とを含むことを特徴とする電子回路基板配線の断線修正方法。
- 配線断線部上の金属超微粒子を分散した溶液または塗布膜にレーザ光を照射し、該レーザ光の照射領域のみに局所的に金属薄膜を析出させて前記配線断線部の修正を行う方法において、上記の溶液または塗布膜がパラジウム、金、銀、白金のうちのいずれか一種類以上の金属超微粒子を分散した溶液と、金属アルコキシド(M(OR)n、Mは金属、Rはアルキル基)と、β−ジケトン(R’COCH2COR’’、R’、R’’はアルキル基またはアルコキシ基)とを含むことを特徴とする電子回路基板配線の断線修正方法。
- 前記請求項1または2に記載の配線の断線修正方法において、金属アルコキシドの金属がSi、Al、Ti、Zr、Nb、Taのうちのいずれかであり、アルキル基がCnH(2n + 1)(1≦n≦4)であることを特徴とする電子回路基板配線の断線修正方法。
- 前記請求項1または2に記載の配線の断線修正方法において、β−ジケトンがアセチルアセトンであることを特徴とする電子回路基板配線の断線修正方法。
- 前記レーザ光を照射して金属薄膜を析出させた後に、窒素あるいは不活性ガス雰囲気で前記析出させた金属薄膜にレーザ光を照射することを特徴とする請求項1または2に記載の電子回路基板配線の断線修正方法。
- 基板上に配線が形成された電子回路基板であって、前記配線の断線部にパラジウム、金、銀、白金のうちのいずれか一種類以上の金属を含む錯体の溶液と金属アルコキシドとβ−ジケトンからなる液体材料を上記配線断線部を覆う様に塗布してレーザ光を照射し、該レーザ光の照射領域のみに局所的に金属薄膜を析出させて前記配線断線部の修正が行われてなることを特徴とする電子回路基板。
- 基板上に配線が形成された電子回路基板であって、前記配線の断線部にパラジウム、金、銀、白金のうちのいずれか一種類以上の金属超微粒子を含む分散溶液と金属アルコキシドとβ−ジケトンからなる液体材料を上記配線断線部を覆う様に塗布してレーザ光を照射し、該レーザ光の照射領域のみに局所的に金属薄膜を析出させて前記配線断線部の修正が行われてなることを特徴とする電子回路基板。
- 前記配線の断線部に析出させた前記金属薄膜は、パラジウム、金、銀、白金のうちのいずれか一種類以上の金属と、Si、Al、Ti、Zr、Nb、Taのうちのいずれか一種類以上の金属酸化物とを含む薄膜であることを特徴とする請求項6または7に記載の電子回路基板。
- 前記基板がTFT基板であることを特徴とする請求項6または7に記載の電子回路基板。
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