JP3752929B2 - 半導体モジュール - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体デバイスチップが組み込まれたモジュールの内部電極構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5に三相インバータの一般的な回路図を示す。図示の三相インバータは、6つのトランジスタT1〜T6と6つのダイオードD1〜D6とから構成され、直流電源である電解コンデンサCdと並列に接続される。また、図5のように、トランジスタのスイッチング時に発生するサージエネルギーを吸収させるためのスナバコンデンサCsが三相インバータと並列に接続されることが多い。
【0003】
ここで、図5の三相インバータにおける電力用半導体モジュールの断面図(従来例)を図3、4に示す。ただし図3、4は三相インバータの一相分(U相分)についてのみ示したものであり、本来は図3、4に図示していないV相分、W相分がU相分に並列に備えられる。ここで図3は側面図、図4は正面図である。
基板6および基板7上にそれぞれ図5のトランジスタT1およびT2に対応するデバイスチップ1およびデバイスチップ2が形成されるが、ここで2つのデバイスチップの上面をエミッタ、下面をコレクタとする。
【0004】
電極3は図5の電極Aに対応し、デバイスチップ1のコレクタに接続される。電極4は図5の電極Bに対応し、デバイスチップ2のエミッタとワイヤボンディング9で接続される。なお、電極3、4には他の相のデバイスチップのコレクタ、エミッタも接続される。電極5は図5の電極Uに対応し、デバイスチップ2のコレクタに接続される。また、デバイスチップ2のコレクタとデバイスチップ1のエミッタとはワイヤボンディング8で接続される。スナバコンデンサ30は電極3および電極4に接続される。なお、図3、4において図5のダイオードD1〜D6に対応するデバイスチップは省略してある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図6に、図5に示した三相インバータの一相分(U相分)の回路図を示す。図6において、トランジスタT1がオン、トランジスタT2がオフした状態から、トランジスタT1がオフ、トランジスタT2がオンした状態に移行する場合、図6に示すように、スナバコンデンサCs→電極A→トランジスタT1の出力容量C1→トランジスタT2→電極Bの経路でトランジスタT1の出力容量の充電電流が流れ、このデバイスチップのスイッチング時に発生する充電電流がノイズの原因となることが知られている。この充電電流により発生するノイズは一般的に放射性ノイズと呼ばれるものであり、
放射性ノイズ「電界強度E(V/m)」=K(f2SI/r)
と表せられ、ここで、
K:定数
f:ループ電流の周波数
S:電流経路がなすループ面積
I:ループ電流
r:測定地点からの距離
である。
【0006】
放射性ノイズについては、「電磁妨害波の基本と対策:コロナ社」などに詳しく書かれているので参照されたい。
この電流経路を図3の電力用半導体モジュール断面図に示すと、スナバコンデンサ30→電極3→デバイスチップ1の出力容量→デバイスチップ2→電極4→スナバコンデンサ30の経路となる。
【0007】
なお、トランジスタT2がオン、トランジスタT1がオフした状態から、トランジスタT2がオフ、トランジスタT1がオンした状態に移行する場合においても同様にトランジスタT2の出力容量の充電電流が流れることになる。
このように従来の電力用半導体モジュールでは、デバイスチップの出力容量の充電電流による放射性ノイズが発生する。この放射性ノイズが大きくなると、周辺機器への電気的トラブルを招く等という問題があった。
【0008】
このため、本発明はトランジスタのオン、オフに伴って発生する放射性ノイズを低減することを目的とし、特にこの放射性ノイズはトランジスタの充電電流の経路がなすループ面積の大きさに比例することに着目したものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための第1の発明は、
入力電源に対し、第1、第2の電力用半導体デバイスの直列接続回路がn相分並列接続され、該第1、第2の電力用半導体デバイスの各接続点間から負荷に電力を供給する電力変換装置の半導体モジュールにおいて、
前記接続点より上側のアームに備えられた第1の半導体デバイスチップのコレクタを外部機器に接続するための第1の電極と、
前記接続点より下側のアームに備えられた第2の半導体デバイスチップのエミッタを外部機器に接続するための第2の電極とを互いにパッケージ内部において近接させ、かつ第1の電極と第2の電極との近接部間に誘電体を挿入したことを特徴とする電力用半導体モジュールとする。
【0010】
また、第2の発明は、
第1の発明において、前記第1の電極と第2の電極とを互いにパッケージ内部においてデバイスチップに対してより近い位置で近接させ、かつ第1の電極と第2の電極との近接部間に誘電体を挿入したことを特徴とする電力用半導体モジュールとする。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1、2は第1の発明の実施例を示す電力用半導体モジュールの断面図であり、ここでは三相インバータの一相分(U相分)について示しており、図1は側面図、図2は正面図である。図1、2において、基板6および基板7の上にそれぞれ図5のトランジスタT1およびT2に対応するデバイスチップ1およびデバイスチップ2が形成されている。電極3は図5の電極Aに対応し、デバイスチップ1のコレクタに接続される。電極4は図5の電極Bに対応し、デバイスチップ2のエミッタとワイヤボンディング9で接続される。電極5は図5の電極Uに対応し、デバイスチップ2のコレクタに接続される。また、デバイスチップ2のコレクタとデバイスチップ1のエミッタとはワイヤボンディング8で接続される。さらにここで電極3と電極4を近接させ、前記電極3と電極4との間に誘電体10を挿入する。スナバコンデンサ30は電極3および電極4に接続される。
【0012】
ここで図1において、トランジスタT1がオン、トランジスタT2がオフした状態から、トランジスタT1がオフ、トランジスタT2がオンした状態に移行する場合、トランジスタT1の出力容量の充電電流の経路は、電極3(誘電体が挟まれた、電極4との近接部)→デバイスチップ1の出力容量→デバイスチップ2→電極4(誘電体が挟まれた、電極3との近接部)→誘電体10となる。このように従来の図3に比べて、充電電流の経路は電極3→スナバコンデンサ30→電極4までの経路分が従来例に比べて短くでき、前述のようにトランジスタの充電電流による放射性ノイズは電流経路のなすループ面積の大きさに比例することから、本実施例においては、ループ面積を小さくすることにより、放射性ノイズを低減することができる。
【0013】
また、誘電体10の容量がスイッチング時のサージエネルギーを吸収できる程度に充分なものを用いる場合は図1、2のスナバコンデンサ30を省略することも可能である。
本発明は電力用半導体デバイスチップを直列接続したモジュールであれば同様の効果を得られるものであり、図5の三相インバータのみに限られるものではなく、さらに電力用半導体デバイスは自己消弧能力があるものであればよい。
【0014】
【発明の効果】
以上のように、本発明では半導体デバイスの出力容量の充電電流の電流経路のなすループ面積を小さくしたことにより、半導体デバイスのオン、オフ駆動で半導体デバイス容量の充電電流が流れることにより生じる放射性ノイズを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すモジュール内部構成図(側面図)である。
【図2】本発明の実施例を示すモジュール内部構成図(正面図)である。
【図3】従来例を示すモジュール内部構成図(側面図)である。
【図4】従来例を示すモジュール内部構成図(正面図)である。
【図5】三相インバータの一般的な回路構成図である。
【図6】三相インバータ(一相分)における充電電流経路を示した図である。
【符号の説明】
1、2…デバイスチップ、3、4、5…電極、6、7…基板、8、9…ワイヤボンディング、10…誘電体、11…パッケージ、30…スナバコンデンサ、Cd…電解コンデンサ、Cs…スナバコンデンサ、T1〜T6…トランジスタ、D1〜D6…ダイオード、A、B…電源接続用電極、U、V、W…負荷接続用電極、C1、C2…トランジスタ出力容量

Claims (2)

  1. 入力電源に対し、第1、第2の電力用半導体デバイスの直列接続回路がn相分並列に接続され、該第1、第2の電力用半導体デバイスの各接続点間から負荷に電力を供給する電力変換装置の半導体モジュールにおいて、
    前記接続点より上側のアームに備えられた第1の半導体デバイスチップのコレクタを外部機器に接続するための第1の電極と、
    前記接続点より下側のアームに備えられた第2の半導体デバイスチップのエミッタを外部機器に接続するための第2の電極とを互いにパッケージ内部において近接させ、かつ第1の電極と第2の電極との近接部間に誘電体を挿入したことを特徴とする電力用半導体モジュール。
  2. 前記第1の電極と第2の電極とを互いにパッケージ内部においてデバイスチップに対してより近い位置で近接させ、かつ第1の電極と第2の電極との近接部間に誘電体を挿入したことを特徴とする請求項1記載の電力用半導体モジュール。
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