JP3751539B2

JP3751539B2 - 薄膜太陽電池およびその製造方法

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Publication number: JP3751539B2
Application number: JP2001117884A
Authority: JP
Inventors: 伸介立花; 裕介福岡
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2001-04-17
Filing date: 2001-04-17
Publication date: 2006-03-01
Anticipated expiration: 2021-04-17
Also published as: JP2002314104A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜太陽電池およびその製造方法に関し、特に、裏面電極層の厚みを必要最小限にすることができる薄膜太陽電池およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
太陽光エネルギーを有効利用するため、図５に示すような集積型薄膜太陽電池が従来技術として存在する。この薄膜太陽電池では、ガラス等の光透過性絶縁基板１上にＺｎＯ、ＩＴＯあるいはＳｎＯ₂等の透明導電膜２が形成され、その上にアモルファスシリコン等の薄膜半導体からなるｐ層、ｉ層およびｎ層が順次積層された光電変換層３が形成され、その上に裏面電極層４（たとえばＺｎＯ／Ａｇ）が形成される。透明導電膜２、光電変換層３および裏面電極層４からなる積層体が、直列、並列あるいは直並列に接続されて集積型薄膜太陽電池が構成される。
【０００３】
この薄膜太陽電池の出力は、左右両端に分かれた正および負の電極部分から取り出される。図５に向かって右端には、取り出し電極として透明導電膜２が延長された領域が設けられており、当該領域は裏面電極層４と電気的に接続されている。一方、図５に向かって左端には、取り出し電極として、単位セルの透明導電膜２が延長された領域が設けられている。各取り出し電極には、はんだメッキ７が施された銅箔等の金属箔からなる導電体６が、バスバー８として設けられる。バスバー８は、はんだ９により、超音波を発振するはんだごて等を用いて取り付けられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図５に示す薄膜太陽電池を製造する際、取り出し電極を形成する一般的な方法として次の２種類がある。１つは、透明導電膜２を基板１上に形成した後、取り出し電極となる左右両端の領域をマスクで被って、光電変換層３および裏面電極層４を形成する方法である。もう１つは、全面に光電変換層３および裏面電極層４を形成し、必要な部分を化学的エッチングで除去する方法である。
【０００５】
通常、薄膜太陽電池は、結晶系の太陽電池と比較して、エネルギー変換効率が劣る。そのため、薄膜太陽電池では、基板一枚あたりの発電面積をなるべく増加させる必要がある。しかし、上述したマスクで被う方法では、マスクで被って、プラズマＣＶＤ等で光電変換層３を形成すると、マスク近傍で膜厚が薄くなり、その結果、透明導電膜２と裏面電極層４との間が短絡して、その単位セルの電圧が十分得られなくなったり、あるいは、光の吸収量が少なくなり、電流値が他の単位セルの電流値より低くくなり得る。これらのことは、薄膜太陽電池の出力を落とす原因になる。また、マスクで被う方法の場合、マスクがずれることを想定して、光電変換層３を成膜する時点で余裕がある設計をする必要があり、さらに、光電変換層３上に裏面電極層４を成膜する際にも、それを見越した余裕がある設計をする必要がある。これらの結果、発電に寄与しない非発電領域の面積が増加し、基板一枚あたりの発電面積が減少し、出力が低下し得る。一方、光電変換層３および裏面電極層４を化学的エッチングで部分的に除去する方法では、裏面電極層４のエッチングしたい領域以外の部分に、選択したエッチング液ではエッチングされないレジスト膜等を精度良くマスク等を用いて塗布する工程がさらに必要になる。この工程の増加は、設備等のコストを押し上げ、したがって太陽電池の製造コストを上昇させ得る。
【０００６】
上述したような問題を解決するために、図６に示すような太陽電池の構造を採用することができる。図６に示す薄膜太陽電池においても、ガラス等の光透過性絶縁基板１上にＺｎＯ、ＩＴＯあるいはＳｎＯ₂等の透明導電膜２が形成され、その上にアモルファスシリコン等の薄膜半導体からなるｐ層、ｉ層およびｎ層が順次積層された光電変換層３が形成され、その上に裏面電極層４（たとえばＺｎＯ／Ａｇ）が形成される。図５に示す構造と異なる点は、取り出し電極として裏面電極層４が使用されていることである。図６に向かって右端には、取り出し電極として、裏面電極層４が延長された領域が設けられている。一方、図６に向かって左端にも、取り出し電極として裏面電極層４が延長された領域が設けられ、当該領域は透明導電膜２と電気的に接続されている。はんだメッキ７が施された銅箔等の導電体６からなるバスバー８は、延長された裏面電極層４に取り付けられている。
【０００７】
図６に示すような太陽電池の構造において、裏面電極層４を構成する金属膜の厚みは２００ｎｍ程度あれば、太陽電池の特性は十分なものになるはずである。しかし、図６に示すような薄膜太陽電池を製造する場合、裏面電極層４の金属膜とバスバー８との密着性およびそれらの結合の信頼性がはんだ食われによって低下するを防ぐために、裏面電極層４の金属膜をかなり厚くする必要がある。たとえば、５００ｎｍ以上の厚みを有する金属膜を、裏面電極層４のためにスッパタリング等によって全面的に形成する必要がある。この場合、バスバーが接着される領域以外の厚い金属膜は、無駄であり、コストアップの一因となる。より大きなサイズの基板を使用して単位面積あたりの製造コストを減らそうとしている現状からみれば、このことは、なおさら問題である。
【０００８】
裏面電極層４を成膜するのに、一般的にスパッタ法が用いられる。厚い金属膜をスパッタ法によって形成する場合、ターゲットの交換頻度はあがり、生産能力にも影響を与える。さらに、厚い裏面電極層４の形成には時間がかかり、スループットが悪くなるという問題も生じる。
【０００９】
本発明の目的は、上記のような問題点を解決し、製造コストが抑えられた、信頼性の高い薄膜太陽電池を提供することにある。
【００１０】
本発明のさらなる目的は、発電領域の広い薄膜太陽電池を提供するのに有用な技術を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、図６に示す薄膜太陽電池の裏面電極層にバスバーを接着させる際、導電性ペーストを使用することにより、裏面電極層をそれほど厚くしなくとも確実な接着を行うことができることを見出し、本発明に至った。
【００１２】
かくして、本発明による薄膜太陽電池は、光透過性絶縁基板と、透明導電膜、光電変換層および裏面電極層を有する該基板上に設けられた積層構造物と、該積層構造物の該裏面電極層上に設けられたバスバーとを備え、該バスバーが、導電性ペーストを介して該裏面電極層に結合されていることを特徴とする。
【００１３】
典型的に、本発明において、裏面電極層は、金属からなる層を有し、金属からなる層にバスバーが導電性ペーストを介して結合される。金属からなる層の厚みは、２００ｎｍ以上であることが好ましい。たとえば、金属からなる層の厚みは、２００ｎｍ〜５００ｎｍとすることが好ましい。また、バスバーが結合されている部分において、金属からなる層の厚みと導電性ペーストの厚みの合計は、５００ｎｍ以上であることが好ましい。
【００１４】
本発明の好ましい態様において、当該金属は銀である。裏面電極層は、厚みが２００ｎｍ以上の銀からなる層を有することが好ましい。バスバーは、銀からなる層に導電性ペーストを介して結合することができる。また、好ましい態様において、裏面電極層は、銀からなる層を有し、バスバーが結合されている部分において、銀からなる層の厚みと導電性ペーストの厚みの合計が５００ｎｍ以上である。
【００１５】
本発明において、バスバーは、ＳｎおよびＰｂを含むはんだで被覆された金属箔からなってもよい。一方、バスバーは、Ｓｎを含みかつＰｂを含まない合金で被覆された金属箔からなってもよい。該はんだまたは該合金の被覆の厚さは、たとえば１０μｍ〜３０μｍであることが好ましい。
【００１６】
さらに、本発明により上述した薄膜太陽電池の製造方法が提供される。当該製造方法は、裏面電極層上に導電性ペーストを付与する工程と、該導電性ペースト上にバスバーを配置し、加熱することにより該バスバーを該導電性ペーストを介して該裏面電極層に接着させる工程とを備える。具体的には、光透過性絶縁基板上に設けられた、透明導電膜、光電変換層および裏面電極層を有する積層構造物上に、上記工程によりバスバーが接着される。すなわち、該積層構造物の裏面電極層上に導電性ペーストを付与し、該導電性ペースト上にバスバーを配置し、加熱することにより、該バスバーを導電性ペーストを介して裏面電極層に接着させる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明による薄膜太陽電池は、典型的に図１に示すような構造を有し、そこにおいて、透光性で電気絶縁性の基板１上には、透明導電膜２、光電変換層３および裏面電極層４が積層されている。基板１の材料には、典型的にガラスが使用される。透明導電膜２には、ＺｎＯ、ＩＴＯあるいはＳｎＯ₂等の光透過性を有する導電性酸化物が典型的に使用される。光電変換層３は、典型的に、半導体薄膜からなるｐ層、ｉ層およびｎ層が順次積層された構造を有する。半導体薄膜には、典型的に、アモルファスシリコン薄膜、結晶性シリコン薄膜、あるいはそれらの組合わせを使用することができる。裏面電極層４は、典型的に、ＺｎＯ等の導電性酸化物からなる層と、金属からなる層とを有する。当該金属には、典型的に銀あるいは銀合金が使用される。裏面電極層４の好ましい構造の一つは、ＺｎＯ層／Ａｇ層である。銀等の金属からなる層の厚みは２００ｎｍ以上であることが、薄膜太陽電池の特性の点から好ましい。透明導電膜、光電変換層および裏面電極層からなる積層体を、直列、並列あるいは直並列に接続して集積型薄膜太陽電池を構成することができる。
【００１８】
本発明の特に重要な特徴は、上記構造において、裏面電極層４に導電性ペースト５を介してバスバー８が結合されていることである。典型的には、裏面電極層４を構成する金属からなる層に、導電性ペースト５を介してバスバー８が結合されている。導電性ペーストには、典型的に、金属（たとえば、銀、銀合金、銅、銅合金、ニッケル、ニッケル合金、金、金合金、モリブデン等）、固体炭素（たとえば黒鉛）などの導電性材料の粉末に結合剤を添加してペースト状にしたものを使用することができる。結合剤には、樹脂、粘着剤、有機溶媒などが含まれ得る。導電性材料の粉末（導電粒子）の粒径は、用途、結合すべきバスバーのサイズなどに応じて適宜設定することができる。典型的に、バスバー８は、はんだメッキ７が施された導電体６からなる。
【００１９】
導電性ペーストを介して裏面電極層にバスバーを結合させることにより、裏面電極層の厚み、特に裏面電極層を構成する銀等の金属からなる層の厚みを必要最小限にとどめることができる。たとえば、本発明によれば、裏面電極層を構成する金属からなる層の厚みを５００ｎｍ以下にすることができ、典型的に２００ｎｍ〜５００ｎｍ、好ましくは２５０ｎｍ〜３５０ｎｍとすることができる。このように金属からなる層の厚みを必要最小限に抑えれば、裏面電極層に必要な材料コストおよび製造時間を必要最小限にすることができる。本発明による薄膜太陽電池の構造は、発電領域の面積の減少を抑えることができ、しかも、製品コストを低く抑えることができるものである。
【００２０】
本発明において、導電性ペーストは、バスバーの接着時において、はんだ食われによる裏面電極層の溶食（特に、裏面電極層を構成する金属層の溶食）を食い止め、バスバーの接着を確実なものにすることができる。特に、裏面電極層を構成する銀等の金属層の厚みと導電性ペーストの厚みの合計を５００ｎｍ以上にすることにより、はんだ食われの影響をより確実に抑えることができ、信頼性の高い薄膜太陽電池を提供できる。
【００２１】
本発明による製造方法では、裏面電極層（典型的には裏面電極層を構成する金属層）に導電性ペーストを塗布し、その上にバスバーを配置して加熱による接着を行う。導電性ペーストの塗布は、必要に応じて、印刷、機械的塗布、手塗り等によって行うことができる。上述したように、銀等の金属層の厚みと導電性ペーストの厚みの合計が５００ｎｍ以上となるよう、塗布を行うことが好ましい。取りつけるバスバーには、一般に、はんだメッキされた（はんだ合金で被覆された）金属箔を使用することができる。はんだメッキされたバスバーを導電性ペースト上に配置し、パルスヒーター等のヒーターにより加熱し、はんだを溶融させ、接着を行うことができる。パルスヒーターを用いて接着させることにより、材料の融点の違いを考慮して、ヒーターの設定温度を変えるのみで、バスバー材料に関係なく、接着工程を完了させ、信頼性の高い薄膜太陽電池を提供できる。なお、加熱には、熱風、レーザ等のヒーター以外の手段を使用してもよい。以上の工程によって形成されるバスバーと裏面電極層との接合部は、はんだと導電性ペースト材料（特に上述した金属、炭素などの導電性材料）とから構成される。
【００２２】
典型的にバスバーに付与されるはんだには、Ｓｎ−Ｐｂ合金はんだを使用することができる。Ｓｎ−Ｐｂ合金はんだは、製造コストを抑える点で有利である。一方、バスバーに付与されるはんだとして、鉛フリーはんだを使用してもよい。一般に、鉛フリーはんだは、Ｓｎを含みかつＰｂを含まない合金である。そのような合金には、Ｓｎ−Ａｇ合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｂｉ合金、Ｓｎ−Ｂｉ合金、Ｓｎ−Ｚｎ合金、Ｓｎ−Ｃｕ合金が含まれる。鉛フリーはんだの使用により、自然環境に優しい薄膜太陽電池を提供できる。
【００２３】
本発明において、厚さが１０ｎｍ〜３０ｎｍのはんだあるいは合金でメッキされた金属箔からなる導電体をバスバーとして用いることにより、上述した接着工程において、はんだのリフローを目視で容易に確認でき、さらに、金属膜とバスバーの接着点での引っ張り強度のバラツキを抑えることができる。
【００２４】
以下、図面を用いて、本発明をより詳細に説明するが、本発明はかかる実施例にのみ限定されるものではない。
【００２５】
【実施例】
実施例１
図１に示す構造の薄膜太陽電池を作製した。光透過性絶縁基板１として厚さ４．０ｍｍ程度のガラス基板を使用し、ガラス基板上に、透明導電膜２として、熱ＣＶＤ法でＳｎＯ₂（酸化錫）を成膜した。
【００２６】
次に、ＩＲレーザーを用いて短冊状に分離するように透明導電膜２のパターニングを行った。この後、基板を純水で洗浄し、プラズマＣＶＤ法により、光電変換層３である水素化非晶質シリコン膜を形成した。光電変換層３は、ｐ型アモルファスシリコン、ｉ型アモルファスシリコンおよびｎ型アモルファスシリコンからなり、それらの厚みの合計は１００ｎｍ〜６００ｎｍ程度である。次に、光電変換層３をレーザーによりパターニングした。この際、レーザーによる透明導電膜２へのダメージを避けるため、レーザーには、透明導電膜２の透過性の良いＳＨＧＹＡＧレーザー等を使用する。
【００２７】
次に、マグネトロンスパッタ法により、裏面電極層４であるＺｎＯ（酸化亜鉛）／Ａｇ（銀）を成膜した。この時、金属膜である銀の厚みを、１００ｎｍ、１５０ｎｍ、２００ｎｍ、３００ｎｍ、５００ｎｍ、１０００ｎｍとした。その後、裏面電極層４をレーザーを用いてパターニングした。この際、光電変換層３のパターニングと同様に、レーザーによる透明導電膜２へのダメージを避けるため、レーザーには、透明導電膜２の透過性の良いＳＨＧＹＡＧレーザー等を使用する。
【００２８】
次に、導電性ペースト５として、銀ペーストを１０μｍの厚みで塗布した。この時、導電性ペースト５として、銀ペーストの代わりに、モリブデンペーストあるいはカーボンペースト等を使用してもよい。導電性ペースト５は、必要な厚さや精度に応じて、スクリーン印刷、オフセット印刷、マスクを用いた機械的塗布あるいは手塗り等によって塗布することができる。
【００２９】
次に、バスバー８として、Ｓｎ−Ｐｂ共晶はんだメッキ７を施した銅箔を用いた。バスバー８を、導電性ペースト５を塗布した部分に配置し、パルスヒーターにより、裏面電極層４に接着させた。導電体６として、銅箔を用いたが、銀箔あるいは金箔等でも良い。コストを考慮すると、安価な銅箔が好ましい。
【００３０】
図２は、図１に示す構造の薄膜太陽電池を薄膜側（ガラス面の反対側）からみた様子を示している。薄膜太陽電池１０の両サイドに、細長いバスバー８がそれぞれ配置されている。本実施例において、基板１のサイズは、６５０ｍｍ×４５０ｍｍであり、その長辺に沿ってバスバー８が導電性ペーストを介して裏面電極層の表面に接着されている。塗布された導電性ペーストの部分は、バスバー８に沿って、約８ｃｍのピッチで複数形成される。塗布された各導電性ペーストの長さは約１ｃｍである。塗布された導電性ペーストの様子を図３に拡大して示す。塗布された導電性ペースト５が、所定の間隔で、バスバー８に沿って、裏面電極層４上に配置されているのがわかる。配置をわかりやすくするため、導電性ペースト５がバスバー８からはみだすように描いたが、導電性ペースト５はバスバー８からはみだしていなくともよい。導電性ペースト５は、裏面電極層４上において、等間隔に配置された複数の箇所に付与することができる。図３に示すように、ガラスからなる基板１上には、透明導電膜２、光電変換層４および裏面電極層４が順に積層され、集積化されている。バスバー８は、集積方向に平行に配置される。
【００３１】
このようにして得られた薄膜太陽電池について、ＡＭ１．５ソーラーシミュレーターを用いて電流−電圧特性を測定し、太陽電池としての性能を評価した。銀の膜厚が５００ｎｍ時のエネルギー変換効率を１（基準）とし、銀の膜厚に対してエネルギー変換効率の相対値をプロットしたものを図４に示す。
【００３２】
図４より、銀の膜厚が２００ｎｍ以上であれば、太陽電池のエネルギー変換効率に影響を与えないことがわかる。コスト面およびプロセスの安定性を考慮すると、銀の膜厚を２５０ｎｍから３５０ｎｍ程度にするのが好ましい。
【００３３】
実施例２
銀の膜厚を２００ｎｍとし、銀の膜厚と銀ペーストの膜厚の合計が２００ｎｍ（銀ペーストなし）、４００ｎｍ、５００ｎｍ、１０００ｎｍ、１０μｍとなるようにした。その他の条件は、実施例１と同じである。
【００３４】
各々の条件で１０個の太陽電池を作製し、バスバーと裏面電極層の銀膜とが剥離している場所の個数を調べた。その結果を表１に示す。一個の太陽電池につき、バスバーと銀膜との接着点は１６点であるので、１０個の太陽電池では１６０点ある。
【００３５】
【表１】

【００３６】
銀ペーストを使用しない場合、銀膜の厚みが５００ｎｍ以上でなければ、バスバー接着時にはんだ食われが生じ、剥離しやすい。しかし、導電性ペーストを銀膜とバスバーとの間に挿入することにより、銀膜をそれほど厚くしなくとも、剥離を抑えることができる。表１より、銀膜と銀ペーストの厚みの合計が５００ｎｍ以上有れば、バスバーの銀膜からの剥離の問題がなくなることがわかる。また、銀と銀ペーストの厚みの合計が５００ｎｍ以上の薄膜太陽電池について特性を測定したが、銀ペーストを使用せずに５００ｎｍ以上の銀膜のみで作製した太陽電池と比較して出力に違いはなかった。
【００３７】
実施例３
バスバーのメッキの材料として、Ｓｎ−Ｐｂからなるはんだ、Ｓｎ−Ｐｂ−Ａｇからなるはんだ、Ｓｎのみ、Ｓｎ−Ｃｕからなる合金、Ｓｎ−Ａｇからなる合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕからなる合金およびＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ−Ｂｉからなる合金を選択し、実施例１と同様にして薄膜太陽電池を作製した。この際、メッキ材料の成分比は、一般的な用途に使用されている材料組成の範囲内であれば構わない。Ｓｎ−Ｐｂからなるはんだと、Ｓｎ−Ｐｂ−Ａｇからなるはんだでは、リフローを目視で確認できるパルスヒーターの設定温度は、１８０℃〜２３０℃とすることができ、好ましくは、２１０℃近辺である。Ｓｎのみ、Ｓｎ−Ｃｕからなる合金、Ｓｎ−Ａｇからなる合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕからなる合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ−Ｂｉ合金では、パルスヒーターの設定温度は、リフローを目視で確認できる２１０℃〜２６０℃にすることができ、好ましくは、２４０℃近辺である。パルスヒーターの設定温度をより高温側にすると、リフローはするが、はんだによって、金属膜が引っ張られたり、金属膜が破れて穴ができるため、好ましくない。なお、パルスヒーターの設定温度は、ヒーターのＯＮ時間により、数℃程度上下させることができる。
【００３８】
上記はんだでそれぞれメッキされたバスバーを使用して薄膜太陽電池を作製した。得られた太陽電池について、バスバーが裏面電極層の金属膜から剥離している箇所の個数およびバスバーの引張り強度を調べたが、全て問題の無いレベルであった。
【００３９】
製造コストを考慮すると、バスバーのメッキ材料には、Ｓｎ−Ｐｂ合金はんだを用いるのが好ましい。一方、太陽電池が環境に優しいものであるという利点を損なわないようにするには、環境への影響が少ない合金はんだ、すなわち、鉛を含まないＳｎ−Ｃｕ合金、Ｓｎ−Ａｇ合金あるいはＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ合金を用いるのが好ましい。
【００４０】
実施例４
実施例１と同様に薄膜太陽電池を作製した。バスバーとして、Ｓｎ−Ｐｂはんだメッキを施した銅箔、およびＳｎ−Ｃｕ合金でメッキを施した銅箔をそれぞれ用いた。そして、メッキの厚みを５μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍと変えて、はんだのリフローの確認が目視でできるか否か、バスバーの引張り強度、引張り強度のバラツキ、バスバーの金属膜からの剥離、および太陽電池の出力を評価した。その結果を表２および表３に示す。
【００４１】
【表２】

【００４２】
【表３】

【００４３】
表２および表３より、メッキの厚みを１０μｍ〜３０μｍにすれば、メッキ材料に関係なく、バスバーと裏面電極層との密着性を高くすることができ、リフローを容易に確認でき、信頼性の高い薄膜太陽電池を提供できることがわかる。
【００４４】
【発明の効果】
薄膜太陽電池の製造において、バスバーを裏面電極層に接着する際、導電性ペーストを使用すれば、裏面電極層のはんだ溶食を食い止めることができ、裏面電極層を構成する金属膜の厚みを必要最小限にすることができる。これにより、スループットの短縮およびコストの低減を図ることが可能になる。また、本発明では、バスバーのメッキ材料を目的に合わせて選択することができる。さらに、本発明においてバスバーのメッキ厚みを調節することによって、より信頼性の高い薄膜太陽電池を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による薄膜太陽電池の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】図１に示す構造の太陽電池を薄膜側からみた様子を示す平面図である。
【図３】図１に示す構造の太陽電池を拡大して模式的に示す斜視図である。
【図４】裏面電極層を構成する銀膜の厚みとエネルギー変換効率との関係を示す図である。
【図５】従来の薄膜太陽電池の一例を模式的に示す断面図である。
【図６】薄膜太陽電池のさらなる例を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
１透光性絶縁基板、２透明導電膜、３光電変換層、４裏面電極層、５導電性ペースト、６導電体、７メッキ部分、８バスバー。

Claims

光透過性絶縁基板と、
透明導電膜、光電変換層および裏面電極層を有する、前記基板上に設けられた積層構造物と、
前記積層構造物の前記裏面電極層上に設けられたバスバーとを備え、
前記バスバーが、導電性ペーストを介して前記裏面電極層に結合されていることにより、前記裏面電極層が取り出し電極として使用されることを特徴とする、薄膜太陽電池であって、
前記裏面電極層は、厚みが２００ｎｍ〜５００ｎｍの金属からなる層を有し、
前記金属からなる層に前記バスバーが前記導電性ペーストを介して結合されていることを特徴とする、薄膜太陽電池。
前記金属からなる層は、銀からなる層であることを特徴とする、請求項１に記載の薄膜太陽電池。
前記バスバーが結合されている部分において、前記銀からなる層の厚みと前記導電性ペーストの厚みの合計が５００ｎｍ以上であることを特徴とする、請求項２に記載の薄膜太陽電池。
前記バスバーが、ＳｎおよびＰｂを含むはんだで被覆された金属箔からなることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜太陽電池。
前記バスバーが、Ｓｎを含みかつＰｂを含まない合金で被覆された金属箔からなることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜太陽電池。
前記はんだまたは前記合金の被覆の厚さが、１０μｍ〜３０μｍであることを特徴とする、請求項４または５に記載の薄膜太陽電池。
請求項１〜６のいずれか１項に記載の薄膜太陽電池の製造方法であって、
前記裏面電極層上に導電性ペーストを付与する工程と、
前記導電性ペースト上にバスバーを配置し、加熱することにより前記バスバーを前記導電性ペーストを介して前記裏面電極層に接着させる工程とを備える、薄膜太陽電池の製造方法。