JP3741862B2 - 樹脂封止型半導体装置用金型 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂封止型半導体装置の樹脂封止工程において使用される樹脂封止型半導体装置用金型に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、上型と下型のキャビティ内に半導体を挿入して支持し、キャビティ内に樹脂を注入して樹脂封止型半導体装置を製造するための金型に関しては、特開平2−222551号公報、特開平5−82573号公報に記載された技術等が存在する。
【0003】
そして、例えば、特開平5−82573号公報に記載の樹脂封止型半導体装置用金型においては、図8に示すように、上型24に上キャビティ27が設けられ、下型21には、リードフレームのアイランド29を載置する支持台22と下キャビティ28が設けられ、支持台22にはアイランド29を吸着して固定するための吸引孔23が設けられている。
【0004】
また、この金型によって製造される樹脂封止型半導体装置は、アイランド29にAgペースト30により固着される半導体素子26と、半導体素子26と内部リード31とを電気的に接続する金属細線25を設け、アイランド29が支持台22に吸引されて、かつ内部リード31が上型24と下型21に支持された状態で、金型内に注入される樹脂により封止されることにより製造される。
【0005】
そして、この樹脂封止型半導体装置が金型から取り出されたときにはアイランド29の支持台22との接触面のみが露出し、この露出部分に熱放散用部品や半導体素子が接合される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の樹脂封止型半導体装置用金型においては、樹脂を封止する際にアイランド29が支持台22に吸引され、密着しているため、この密着面に樹脂がもぐり込み難くなるという利点はあるが、アイランド29が樹脂バリで汚れていると半導体素子を接合できないという問題が生じたり、金型からリードフレームを取り出したときに、または、吸引孔内をクリーニングするときに発生する樹脂バリ、樹脂屑等により吸引孔23が詰まってしまうおそれがあった。
【0007】
また、樹脂封止型半導体装置が小さくなるに従って、アイランド29を支持台22に密着させるための吸引孔23の直径が加工可能な限界よりも小さくなるという問題があった。
【0008】
そこで、本発明は上記従来の樹脂封止型半導体装置用金型における問題点に鑑みてなされたものであって、吸引孔内をクリーニングするときに発生する樹脂バリ、樹脂屑等により吸引孔が詰まるおそれがなく、また、樹脂封止型半導体装置の大きさが吸引孔の加工限界を超えるほど小さい場合にも樹脂封止型半導体装置を吸引して密着できる樹脂封止型半導体装置用金型を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、上キャビティを有する上型と、下キャビティを有しその中央部に半導体素子が固着されたリードフレームのアイランドを支持する支持台が設けられる下型とにより構成される樹脂封止型半導体装置用金型において、前記支持台に、真空源に連通し前記アイランドの支持面に開口する吸引孔を設け、該吸引孔内を往復移動する清掃用ロッドを備え、該清掃用ロッドの外面と前記吸引孔の内面の間に隙間を有することを特徴とする。
【0011】
そして、請求項1記載の発明によれば、支持台に、真空源に連通しアイランドの支持面に開口する吸引孔を設け、該吸引孔内を往復移動する清掃用ロッドを備えるので、樹脂成形した樹脂封止型半導体装置を取り出した後に、清掃用ロッドを作動させて吸引孔が詰まらないように清掃することができる。
【0012】
請求項2記載の発明によれば、支持台の上面には、真空源に連通する多数の微小の孔が開口しているので、アイランドの吸着面が小さくて吸引孔をドリル加工できない場合にも不具合なく樹脂封止型半導体装置を製造できる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、本発明にかかる樹脂封止型半導体装置用金型の実施の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
図1及び図2に示すように、樹脂封止型半導体装置用金型1(以下「金型1」という。)は、下キャビティ5を有する下型3と、上キャビティ4を有し下型3に重ね合わされる上型2とを有し、下型3には、下キャビティ5の中間部に支持台6が設けられる。この点については上記従来例の場合と同様である。
【0014】
そして、金型1によって製造される樹脂封止型半導体装置8は、下型3と上型2に挟持されるリードフレーム9と、半導体素子10(図5)が固着されるアイランド19(図4)を有し、アイランド19は支持台6に載置されることも従来例と同様である。
【0015】
また、図2に示すように、リードフレーム9には位置決めピン13が突設され、この位置決めピン13が上型2に設けられた位置決め孔12に挿入されたときに、リードフレーム9が正確に位置決めされるように構成される。
【0016】
図3に示すように、下型3の支持台6には、支持台6の上面(支持面)に開口する吸引孔14が設けられ、図示しない真空源に電磁切換弁を介して連通する連結孔15が吸引孔14に連通する。
【0017】
また、下型3の下方には、空圧駆動により昇降するピストン17を有するアクチュエータ16が配設され、ピストン17の上面に設けられる清掃用ロッド18が吸引孔14に挿入される。
【0018】
そして、清掃用ロッド18が加工位置にあるときには、清掃用ロッド18の先端が支持台6の上面に没入しているが、上昇位置では清掃用ロッド18の先端が支持台6の上面から突出する。尚、清掃用ロッド18の外面と吸引孔14の内面の間には隙間があるので、清掃用ロッド18は支持台6の上面に負圧が供給されるのを妨げることはない。
【0019】
次に、上記構成を有する金型1の第1実施例を使用して樹脂封止型半導体装置を製造する工程を、上記図面及び図6のフローチャートを参照しながら説明する。
【0020】
まず、ステップS1において、下型3の上方にリードフレーム9を搬送し、ステップS2において、位置決め停止し、下型3の上方に上型2を重ね合わせると、リードフレーム9の位置決めピン13が金型1の位置決め孔12に嵌入して、リードフレーム9が正確に位置決めされる。
このとき、リードフレーム9の中央部アイランド19が支持台6に載置されている(図4参照)。
【0021】
そして、ステップS3において、下型3に上型2を固定して型締めする。このとき、下型3と上型2によってリードフレーム9が挟持される。
【0022】
次に、ステップS4において、吸引孔14に負圧を供給してアイランド19を支持台6に吸着し、アイランド19と支持台6の重合面に樹脂が侵入しないようにする。
【0023】
さらに、ステップS5において、リードフレーム9を加熱し、事前に予備加熱されたタブレット(封入樹脂の粉末を圧縮成型したもの)を金型1内に投入し、アクチュエータ16により加圧する。
【0024】
このとき、樹脂は加圧されるとともに加熱されるため、金型1内の上キャビティ4、5に流れ込み、ステップS6において、一定時間加熱保持することにより封入された樹脂が硬化してリードフレーム9が封止される。
【0025】
ステップS7において、金型1内の樹脂が硬化した後に、ステップS8において、金型1を開いて、吸引孔14に供給する負圧を遮断して、ステップS9において、リードフレーム9を吸着より開放し、ステップS10において、上型2を除去してリードフレーム9の位置決めピン13を開放する。
【0026】
次に、ステップS11において、リードフレーム9に樹脂が封止された樹脂封止型半導体装置8を金型1より取り出して次工程に搬送する。
【0027】
さらに、樹脂封止型半導体装置8を取り出した後に、ステップS12において、アクチュエータ16を作動させ、清掃用ロッド18を上下動させ、吸引孔14に侵入した樹脂屑や汚れを除去する。尚、このとき、清掃用ロッド18の上下動と同時に吸引孔14をエアーブローすると効果的である。
以上で、金型1を使用した樹脂封止型半導体装置8の製造工程の1サイクルが完了する。
【0028】
上記本発明にかかる樹脂封止型半導体装置用金型の第1実施例においては、アイランド19が支持台6に当接して吸引される範囲が図4のハッチングで示すように広いので、吸引孔14をドリル加工することが容易であったが、アイランド19が支持台6に当接して吸引される面積が図7のハッチングで示すように狭い場合には、吸引孔14が小さくなりドリル加工できなくなる問題が生じる。この問題を解決するのが本発明にかかる樹脂封止型半導体装置用金型の第2実施例である。
【0029】
本発明にかかる第2実施例では、金型1の下型3をセラミック、石材等の通気性のある材料で構成し、支持台6の上面(アイランド19支持面)及び真空源に連通する面を除く通気性材料の内面を密閉する図示しない被覆層を設ける。この被覆層は、メッキ等により容易に施工することができる。その他の構成は第1実施例の場合と同様である。
【0030】
以上のように構成された金型1は、第1実施例の場合と同様に使用され、支持台6上に載置されたアイランド19は、支持台6の上面に供給される真空源の負圧によって支持台6に吸着される。尚、真空源から支持台6の上面までは微細な孔で連通するが、その他の下型の内面は通気性が失われているので、樹脂が下型3に浸透することはない。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1記載の発明によれば、樹脂成形した樹脂封止型半導体装置を取り出した後に、清掃用ロッドを作動させて吸引孔が詰まらないように清掃することができるので、円滑に樹脂封止型半導体装置を製造することが可能な樹脂封止型半導体装置用金型を提供することができる。
【0032】
請求項2記載の発明によれば、支持台の上面には、真空源に連通する多数の微小の孔が開口しているので、アイランドの吸着面が小さくて吸引孔をドリル加工できない場合にも不具合なく樹脂封止型半導体装置を製造することが可能な樹脂封止型半導体装置用金型を提供することができる。
【0033】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる樹脂封止型半導体装置用金型の第1実施例を示す長手方向の断面図である。
【図2】図1の樹脂封止型半導体装置用金型の長手方向に対して垂直な方向の断面図である。
【図3】図1の樹脂封止型半導体装置用金型の要部を示す断面図である。
【図4】図1の樹脂封止型半導体装置用金型の支持台に載置されるアイランド及びその近傍を示す平面図である。
【図5】図1の樹脂封止型半導体装置用金型によって製造される樹脂封止型半導体装置の斜視図である。
【図6】図1の樹脂封止型半導体装置用金型を使用した樹脂封止型半導体装置の製造工程のフローチャートである。
【図7】図1の樹脂封止型半導体装置用金型の支持台に対して狭い接触面積で接触するアイランド及びその近傍を示す平面図である。
【図8】従来の樹脂封止型半導体装置用金型の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 樹脂封止型半導体装置用金型
2 上型
3 下型
4 上キャビティ
5 下キャビティ
6 支持台
8 樹脂封止型半導体装置
9 リードフレーム
10 半導体素子
12 位置決め孔
13 位置決めピン
14 吸引孔
15 連結孔
16 アクチュエータ
17 ピストン
18 清掃用ロッド
19 アイランド
Claims (1)
- 上キャビティを有する上型と、下キャビティを有しその中央部に半導体素子が固着されたリードフレームのアイランドを支持する支持台が設けられる下型とにより構成される樹脂封止型半導体装置用金型において、
前記支持台に、真空源に連通し前記アイランドの支持面に開口する吸引孔を設け、該吸引孔内を往復移動する清掃用ロッドを備え、該清掃用ロッドの外面と前記吸引孔の内面の間に隙間を有することを特徴とする樹脂封止型半導体装置用金型。
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