JP3737778B2 - 磁気メモリ・デバイス及び磁気メモリ・デバイスの書込方法 - Google Patents

磁気メモリ・デバイス及び磁気メモリ・デバイスの書込方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、全般的にはランダム・アクセス・メモリ・システムに関し、具体的には、磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイス内の書込マージンを改良するアーキテクチャに関する。
【0002】
【従来の技術】
薄膜磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)は、1950年代初期から研究されてきた。しかし、参照によって本明細書に組み込まれる、マティック(Richard E. Matick)著、「Computer Storage Systems and Technology」、John Wiley & Sons刊、1977年に記載されているように、これらのメモリは、デバイス寸法をスケーリングするにつれて減退した狭い書込マージンおよび読取マージンに起因して、非実用的とみなされてきた。1970年代初期に、ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(DRAM)などの半導体ベースのメモリが、当時使用可能な最も普及したランダム・アクセス・メモリ(RAM)であった磁気コア・メモリより単純でコンパクトなメモリ解決策を約束した。1970年代末期に、MRAMに関するほとんどすべての開発および生産の活動が放棄された。
【0003】
最近、不揮発性メモリ市場への応用によって、MRAMに対する関心が再燃した。磁気抵抗を示す磁気トンネル接合(MTJ)デバイスなどの新しいメモリ・デバイスが、誘導感知の以前の障害を克服した。ショイアライン(Scheuerlein)他著、「A 10ns Read and Write Non-Volatile Memory Array Using a Magnetic Tunnel Junction and FET Switch in Each Cell」、ISSCC 2000、pp. 128-129に要約されているように、MTJベース・メモリの望ましい特性には、高い集積密度、高い速度、低い読取電力、およびソフト・エラー・レート(SER)免疫が含まれる。
【0004】
図1に、前述のショイアライン他の論文に記載されている、従来のMTJベースのMRAMアーキテクチャを示す。従来の薄膜RAMに似て、MTJベースのMRAMでは、メモリ・セル100が、交差する書込ワード線104とビット線106の交差点に配置されるアーキテクチャが使用される。メモリ・セル100の読取は、分離を改善するために各メモリ・セルに接続される電界効果トランジスタ(FET)102を含めることによって単純化される。具体的に言うと、所与のFET102のドレイン端子が、メモリ・セル100に結合され、所与のFET102のゲート端子が、対応する読取ワード線108に結合され、ソース端子が、グラウンドに結合される。しかし、従来の磁気メモリ・アーキテクチャでは、隣接するまたは他の意図されないセルに書き込まずに個々のメモリ・セルに書き込むことに、問題が残されている。
【0005】
通常、メモリ・セルの書込には、所期のMTJセルが存在する交差点のビット線とワード線に同時に電流を通すことが含まれる。選択されたMTJセルは、磁界を受け、この磁界は、ワード線の電流とビット線の電流によって作られる磁界のベクトル和である。選択されたMTJセルと同一のビット線またはワード線を共用する他のすべてのMTJセルが、半選択され、したがって、それぞれビット線磁界またはワード線磁界のいずれかを受ける。ワード線磁界とビット線磁界のベクトル和の大きさは、個々のワード線磁界またはビット線磁界より約41%大きいので、半選択されたMTJセルに対する選択されたMTJセルの選択性は、特にMTJセルの不均一なスイッチング特性を考慮する時に、劣悪である。
【0006】
MTJセルの形状またはサイズの変動が、MTJセルの磁気閾値の変動を起こし、この変動が、非常に大きく、半選択されたセルの一部を任意にスイッチングさせずに選択されたセルに書き込むことが事実上不可能になり、したがって、保管されたデータの信頼性および有効性に疑問が生じる可能性がある。書込選択マージンに悪影響を及ぼす、温度の変動およびプロセス変動などの環境または他の要因も存在する可能性がある。さらに、MTJセルの公称スイッチング磁界よりはるかに低い磁界偏位に繰り返しさらされた時のMTJセルの瞬間的スイッチング(「クリープ」と称する効果)によって、許容可能な書込選択マージンがさらに狭くなり、これによって、個々のMTJセルのより大きい選択性の必要がさらに不可避になる。
【0007】
図2に、たとえば、参照によって本明細書に組み込まれるストーナ(E.C. Stoner)およびウォールハース(E.P. Wohlfarth)共著、「A Mechanism of Magnetic Hysteresis in Heterogeneous Alloys」、Royal Society of London Philosophical Transactions, Ser. A240(1948年)に記載の、磁化困難方向(たとえば、ワード線磁界を表す)と磁化容易方向(たとえばビット線磁界を表す)に沿った理想的な薄膜磁気メモリ・セルの磁気選択性を示す。ワード線電流が、磁気メモリ・セルの磁化困難方向に沿って点210で磁界を生成し、ビット線電流が、磁気メモリ・セルの磁化容易方向に沿って点230で磁界を生成すると仮定すると、このセルの磁気状態をスイッチングするのに必要な磁界(Hx、Hy)は、実線の曲線または境界200と等しいかこれを超えなければならない。この境界200の曲線を、当業者はスイッチング・アステロイドと称するが、境界200は、関係Hx 2/3+Hy 2/3=Hk 2/3を満足しなければならず、ここで、Hxは磁化困難方向の磁界、Hyは磁化容易方向の磁界、Hkは異方性磁界である。選択されるセルは、スイッチング・アステロイドの境界200の外の磁界(たとえば点220に対応する)を経験するが、これは、磁気セルを、磁化容易方向の磁界の向きに整列するように書き込むのに十分に大きい。半選択されたセルの状態は、それに作用する磁界(たとえば、点210および230に対応する)が、スイッチング・アステロイドの境界200の中にとどまるので、変化しない。
【0008】
スイッチング・アステロイドの境界200が、細い固定された境界線として図示されているが、実際には、環境条件(たとえば温度)または他の要因(たとえばデバイス処理の変動)に起因して、その形状が大幅に変化する場合があることを考慮することが重要である。個々のMTJセルの間の変動によって、メモリ構造全体での書込選択マージンがかなり低下する可能性がある。理想的でない物理的特性によって、半選択されたメモリ・セルと選択されたメモリ・セルの間の区別が曖昧になることがしばしばであり、この場合に、半選択されたセルが、選択されたセルだけに関して意図された書込動作で書き込まれる可能性がある。
【0009】
したがって、実用的なサブミクロンMRAMアーキテクチャの実現に対する主要な障害は、書込選択性の問題である。したがって、磁気メモリ・デバイスおよび磁気メモリ・システムの分野に、上に記載された従来のMRAMアーキテクチャならびに他の代替のメモリ・アーキテクチャに簡単に適合できる改良された書込選択技法の必要がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、アレイ内の隣接セルを害のある形で擾乱せず、したがって、そこに保管されたデータの保全性を高める、アレイ内の個々のメモリ・セルの選択を可能にする、磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイス内で使用される書込アーキテクチャを提供することである。
【0011】
本発明のもう1つの目的は、従来のMRAMデバイスとの互換性を有する、MRAM用の改良された書込選択のアーキテクチャおよび方法を提供することである。
【0012】
本発明のもう1つの目的は、かなり減らされたビット線電流を使用し、より低い総システム電力消費をもたらす、MRAMのための書込選択アーキテクチャを提供することである。
【0013】
本発明のもう1つの目的は、かなり増やされた許容可能書込擾乱マージンを有し、したがって、磁気セル不一致、プロセス変動、およびMRAMアレイ内の他の環境要因に対してより鈍感である、MRAM用の書込選択アーキテクチャを提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
有利なことに、本発明は、アレイ内の隣接セルを害のある形で擾乱せずにアレイ内の個々のメモリ・セルの選択を可能にするだけではなく、書込動作の電力消費を減らし、デバイス不一致、プロセス変動、および他の環境要因に対する回路の総合的感度を減らす、磁気メモリ・デバイスと共に使用される改良された書込選択のアーキテクチャおよび方法を提供する。
【0015】
本発明の一態様によれば、磁気メモリ・デバイス内の1つまたは複数の磁気メモリ・セルに選択的に書き込む改良されたアーキテクチャに、複数のグローバル・ワード線が含まれ、各グローバル・ワード線に、それに接続された複数の分割された書込線が含まれる。分割された書込線は、グローバル書込線を通る電流が、意図されないまたは選択されていないメモリ・セルを実質的に擾乱しないように、メモリ・セルから配置される。メモリ・デバイスには、さらに、メモリ・セルの複数の分割されたグループが含まれ、各分割されたグループに、対応する分割された書込線に機能的に結合された複数のメモリ・セルが含まれる。各分割された書込線は、分割された書込線を通る電流が、書込のために対応するメモリ・セルを機能的に不安定化するように、メモリ・セルに関して配置される。
【0016】
本発明のメモリ・デバイスには、さらに、分割されたグループに対応する分割された書込線とグローバル書込線の間に接続された少なくとも1つの分割されたグループ選択スイッチが含まれ、グループ選択スイッチに、グループ選択信号を受け取るグループ選択入力が含まれる。グループ選択スイッチによって、グループ選択信号に応答して、分割された書込線とグローバル書込線の間の電気回路が完成される。機能的に磁気メモリ・セルに結合されたビット線が、メモリ・セルの状態を選択的に書き込むのに使用される。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の説明にあたって、本願の所有者が所有する米国特許出願第09/703963号が参照される。
【0018】
本発明を、例示的磁気ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)デバイスに関して本明細書で説明する。しかし、本発明が、これまたはすべての特定の磁気メモリ・デバイスに制限されないことを諒解されたい。そうではなく、本発明は、改善された書込選択技法を提供することが望まれるすべての磁気メモリ・デバイスにより一般的に適用可能である。さらに、本発明の実施形態を、本明細書では相補型金属酸化膜半導体(CMOS)デバイスおよび磁気トンネル接合(MTJ)デバイスを使用して説明するが、本発明がそのようなデバイスに制限されないことと、当業者によって理解されるように、たとえばバイポーラ接合トランジスタ(BJT)デバイスおよび他の磁気抵抗メモリ要素などの他の適当なデバイスを、発明的メモリ・アーキテクチャに対する修正の有無を問わずに、同様に使用することができることを諒解されたい。
【0019】
図4に、本発明の一態様に従って形成された、改善された書込マージンを有する、選択線磁気メモリ・アレイ300の少なくとも一部を示す。例示的な選択線磁気メモリ・アレイ300には、メモリ・アレイ内の選択されたメモリ・セルに不安定化電流を供給するために電流ソース/シンク301に結合された複数の共通書込線302および304が含まれる。共通書込線302および304は、ポリシリコン・ゲート材料またはその適当な代替物から製造することができるが、複数のビット線306、308、310、および312に対して実質的に直交して配置されることが好ましい。ビット線306、308、310、および312は、やはりたとえばポリシリコン・ゲート材料から製造することができ、メモリ・セルへの論理状態の書込に使用される。単純にするために、2つの共通書込線だけが図示されているが、任意の数の共通書込線が、本発明によって企図されている。さらに、共通書込線の複数の異なるグループのそれぞれを、対応する電流ソース/シンクに機能的に接続することができる。さらに、本発明では、グラウンドを電流帰還路として使用できることが企図されており、その場合には、1つの共通書込線だけを使用することができる。
【0020】
共通書込線302および304のそれぞれが、少なくとも1つのグローバル書込線314、316、318、および320に、間接的に(たとえば、それぞれ共通書込線302とグローバル書込線314および318との間に機能的に接続された電界効果トランジスタ(FET)によって実施されることが好ましい、分割されたビット・スライス・スイッチ322および324を介して)、または直接に(たとえば、共通書込線304とグローバル書込線316および320の間で)のいずれかで接続されることが好ましい。各グローバル書込線は、ビット線(たとえば306、308、310、および312)と実質的に平行に、または実質的にカラム次元で配置されることが好ましく、各グローバル書込線には、機能的にそれに結合された複数の分割された書込線326、328、330、および332が含まれる。分割された書込線326、328、330、および332は、実質的にビット線306、308、310、および312に直交して配置されることが好ましい。各分割された書込線は、それに関連する複数のメモリ・セルに相対的に非常に近接して配置され、分割された書込線を流れる電流が、書込のためにメモリ・セルを機能的に不安定化するか選択する磁界を作る。さらに、メモリ・セルは、共通書込線302および304に関して(たとえば、2から3個のメモリ・セルの幅程度で)、共通書込線から発する磁界が、意図されていないメモリ・セルを擾乱または不安定化しないように配置される。
【0021】
本発明の例示的選択線アーキテクチャには、さらに、複数の分割されたグループ334、336、338、および340が含まれ、各分割されたグループは、複数のメモリ・セルをそれに関連づけられている。各メモリ・セルには、図4に示されているように、たとえばMTJデバイスとして実施することができる単一の磁気抵抗メモリ要素、たとえばメモリ要素342、344、346、348、350、352、354、および356と、FETデバイス(たとえばn型FETまたはp型FET)またはその適当な代替物として実施することができる、各メモリ・セルに結合された対応するスイッチ、たとえばFET358、360、362、364、366、368、370、および372が含まれる。具体的に言うと、所与のFET358のドレイン端子が、メモリ要素342に結合され、所与のFET358のゲート端子が、対応する読取ワード線382に結合され、ソース端子が、グラウンドに結合される。説明を簡単にするために、各分割されたグループ内に2つのメモリ・セルだけが図示されているが、本発明によれば、分割されたグループに、任意の個数のメモリ・セルを含めることができることを諒解されたい。
【0022】
特定の分割されたグループを構成するメモリ・セルは、その分割されたグループに、図4に示されているように間接的に(たとえば磁気的に結合されて)または直接にのいずれかで関連する対応する分割された書込線に結合される。どちらの場合でも、対応する分割された書込線を通る電流が、従来の電磁気の原理に従って、分割された書込線から発する磁界を確立し、これによって、分割された書込線に沿ったすべてのメモリ・セルが、書込のために不安定化される。
【0023】
複数の分割された書込線を介する電流の通過を選択的に制御するために、例示的な選択線磁気メモリ・アレイ300には、複数の分割されたグループ選択スイッチ374、376、378、および380が含まれ、各グループ選択スイッチは、FETデバイスとして実施されることが好ましい。グループ選択スイッチ374、376、378、および380のそれぞれは、それぞれ対応する分割された書込線326、328、330、および332と、電流帰還路または導体との間に接続され、この電流帰還路または導体は、図4に示されているように、グローバル書込線316および320とすることができる。
【0024】
グループ選択スイッチは、特定の分割されたグループ(たとえば334、336、338、および340)を通る電流を選択的に制御するために、1つまたは複数のグループ選択信号に応答し、機能的にそれに結合される。グループ選択スイッチを制御する1つまたは複数のグループ選択信号は、たとえばワード線ドライバまたはワード線デコーダなどの周辺アレイ回路(図示せず)によって、書込ワード線386および388を介して生成することができる。共通書込線302および304と、グローバル書込線314、316、318、および320と、分割された書込線326、328、330、および332の組合せによって、不安定化書込電流を所望の分割されたグループ(たとえば334、336、338、または340)を介して選択的にルーティングできる導体のネットワークがもたらされる。
【0025】
図4からわかるように、例示的な選択線磁気メモリ・アレイ300は、ビット線またはカラム次元に沿った1つまたは複数の分割されたグループに対応する複数の分割されたビット・スライス(たとえば、分割されたビット・スライスNまたは分割されたビット・スライスN+1)として編成される。特定の分割されたビット・スライス内の電流は、所期の分割されたビット・スライスに対応する分割されたビット・スライス・スイッチ(たとえば322または324)を介して選択的に制御される。前に述べたように、分割されたビット・スライス・スイッチ(たとえば322または324)のそれぞれが、分割されたビット・スライス・スイッチの入力(たとえば、それぞれビット・スライス選択入力390および392)に結合されたビット・スライス選択信号に応答して、共通書込線(たとえば302)を対応するグローバル書込線(たとえば、それぞれ314または318)に選択的に結合する。この形で、分割されたビット・スライス・スイッチが、どの特定の分割されたビット・スライスが不安定化書込電流を受け取るかを機能的に制御する。どの時点でも、単一の分割されたビット・スライス・スイッチだけがイネーブルされることが好ましい。しかし、本発明では、複数の分割されたビット・スライスをイネーブルして同時にアクティブにするように、ビット・スライス選択信号を生成するデコード回路(図示せず)を構成できることが、同様に企図されている。これは、たとえば、異なる分割されたビット・スライスに存在するメモリ・セルに同時に書き込むことが望ましい応用例に、特に有利である可能性がある。
【0026】
当業者が諒解するであろうように、一致するビット線電流およびワード線電流によって、それぞれ磁化容易方向の磁界と磁化困難方向の磁界が生成される。図2を参照すると、所望の磁気メモリ・セルに所与の状態を書き込むために、磁化容易方向の磁界と磁化困難方向の磁界のベクトル和が、まず、スイッチング・アステロイドの境界200の外にある点220によって示されるように、メモリ・セルのスイッチング閾値を超えなければならない。理論上、半選択磁界を示す点210および230は、スイッチング・アステロイドの境界200の中にあり、したがって、半選択されたメモリ・セルは、そのセルの前の状態にとどまる。しかし、前に述べたように、プロセス変動および他の環境要因が、理想的なスイッチング・アステロイドの境界200の低下(したがって書込マージンの減少)につながることがしばしばであり、従来の書込選択方法を使用する半選択されたセルの少なくとも一部が、故意でなく任意に状態を切り替える可能性が生じる。
【0027】
図4に示された本発明の例示的メモリ・アーキテクチャによって、従来の書込選択方式の制限を克服する技法が提供される。たとえば、特定の分割されたグループ、たとえば分割されたグループ334に向けられた書込動作を、これから説明する。例示的な選択線磁気メモリ・アレイ300では、不安定化磁化困難方向磁界の印加が、メモリ・セルのサブセットすなわち、分割されたグループ334に関連するメモリ・セルに向けられる。所期の分割されたグループ334内のすべてのメモリ要素342および344が、同時に書き込まれる。本発明のアーキテクチャを使用すると、従来のメモリ・アーキテクチャとは異なって、分割されたグループ334と共通の書込ワード線386を共用する選択されていない分割されたグループ(たとえば336)は、選択されていない分割されたグループ336に対応するグループ選択スイッチ(たとえば376)がイネーブルされている時であっても、その磁化困難方向に沿って半選択磁界を受け取らない。これは、主に、隣接する分割されたビット・スライス、たとえば分割されたビット・スライスNおよびN+1の間で1つの分割されたビット・スライスだけが、所与の時点で不安定化書込電流を受け取ることができるという事実に起因する。その結果、選択されていないメモリ・セルを擾乱する恐れなしに、磁化困難方向磁界の大きさを増やすことができる。定義によって、磁化困難方向の磁界を経験するすべてのメモリ・セルが、同時に書き込まれるので、本発明の選択線アーキテクチャを使用すると、ワード次元に沿った半選択されたメモリ・セルがなくなる。
【0028】
図3に示された例示的スイッチング・アステロイド曲線を参照すると、磁界点240が、選択されたメモリ・セルを表す。本発明の選択線アーキテクチャを用いると、磁化容易方向磁界の大きさ(メモリ・セルの状態を書き込むのに使用される)を、かなり減らすことができ、これによって、磁界点250によって表される半選択されたメモリ・セルが、従来のメモリ書込方式に関連する半選択されたメモリ・セル(たとえば図2の点210および230によって表されるもの)と比較して、スイッチング・アステロイドの境界200’のかなり内側になる。したがって、本発明によれば、選択されたセルと半選択されたセルの間の書込マージンが、かなり増える。さらに、本発明の選択線アーキテクチャでは、磁化容易方向の強い磁界が不要なので、メモリ・セルの書込に必要なビット線電流をかなり減らすことができ、したがって、選択線磁気メモリ・アレイ300に必要な総書込電流が減る。
【0029】
図4の例示的選択線アーキテクチャをもう一度参照すると、分割されたグループ334は、分割されたグループ選択スイッチ374に沿ったビット・スライス・スイッチ322をイネーブルすることによって、書込動作のために選択されることが好ましく、このイネーブルは、選択スイッチがn型FETデバイスまたはその適当な代替物を使用して実施されると仮定すると、ビット・スライス選択入力390に提示される論理ハイのビット・スライス選択信号と書込ワード線386に印加される論理ハイの信号を用いて行われることが好ましい。選択された分割されたグループ334に関連しないすべての他の書込スイッチ、ビット・スライス・スイッチ、および分割されたグループ選択スイッチは、たとえば、やはりn型FETデバイスが選択スイッチに使用されると仮定して、めいめいのビット・スライス・スイッチ(たとえばビット・スライス・スイッチ324)および書込ワード線388に論理ロウの信号を印加することによってディスエーブルされることが好ましい。その代わりに、本発明では、たとえばp型FETを使用して、選択スイッチを実施する時に、反対の極性(たとえばイネーブルするためにアクティブ・ロウ)を有する選択信号を使用できることが、同様に企図されている。どちらの場合でも、選択線磁気メモリ・アレイ300内の適当な選択スイッチを選択的にイネーブル/ディスエーブルする信号は、当業者によって理解されるように、従来のビットおよびワード・デコード回路(図示せず)によって生成することができる。
【0030】
共通書込線302および304は、前に述べたように機能的に電流ソース/シンク301に結合されることが好ましく、本質的に、不安定化書込線電流を搬送するバスとして使用される。共通書込線が、メモリ・セルから離れて配置されることが好ましいので、共通書込線を、たとえばグローバル書込線および分割された書込線と比較して幅広にすることができる。さらに、導体の抵抗は、その幅に反比例するので、幅広い共通書込線は、グローバル書込線および分割された書込線と比較して、はるかに低い抵抗を示し、したがって、より小さい電圧低下を示す。
【0031】
不安定化電流は、電流ソース/シンク301によって生成されることが好ましく、電流ソース/シンク301は、選択線磁気メモリ・アレイ300内に存在する(たとえばローカル)か、メモリ・アレイの外部(たとえばグローバル)のいずれかとすることができる。電流ソース/シンク301が、それに結合されたイネーブル信号303に応答して活動化されることが好ましい。電流ソース/シンク301を、たとえばグラウンドまたは負電圧供給とすることができ、その場合に、1つまたは複数の所定の帰還グローバル書込線接続(たとえば316、320)に沿った共通書込線(たとえば304)を省略できることを諒解されたい。本発明では、分割されたビット・スライスのそれぞれに、不安定化書込線電流をローカルに生成するために、それ自体の電流ソース/シンク回路(図示せず)を含められることも企図されている。このローカライズされた電流ソース/シンク手法を使用すると、共通書込線302および304ならびにビット・スライス選択スイッチ、たとえば322および324を省略でき、グローバル書込線、たとえば314、316、318、および320を、対応するローカル電流ソース/シンクに直接に結合することができる。対応するローカル電流ソース/シンクを活動化するイネーブル信号は、別のデコード回路(図示せず)によって生成することができ、これによって、2つの隣接する分割されたビット・スライスが、同時に不安定化電流を受け取らなくなる。
【0032】
たとえば、電流ソース/シンク301に印加されるアクティブなイネーブル信号303を介して電流ソース/シンク301をイネーブルした後に、不安定化電流が、共通書込線302を介して流れ、ビット・スライス選択入力390に印加されるアクティブのビット・スライス選択信号に応答して、機能的に共通書込線302に結合されたビット・スライス・スイッチ322を介して流れる。所期の分割されたグループ334に対応するグループ選択スイッチ374が、イネーブルされる(たとえば、書込ワード線386上の論理ハイの信号によって)時に、不安定化電流が、グローバル書込線314を介し、分割された書込線326を介し、その後グループ選択スイッチ374を介し、グローバル書込線316を介し、最後に共通書込線304を介してトラバースすることが好ましく、この共通書込線304で、不安定化電流が電流ソース/シンク301に返される。上で注記したように、図4では単一の電流ソース/シンク301を含むものとして図示されているが、本発明では、別々の電流ソース回路および電流シンク回路を似た形で使用できることが企図されている。メモリ要素342および344を不安定化するために、磁化困難方向磁界を作るのに単一方向の電流だけが必要であることを諒解されたい。不安定化されたメモリ要素342および344が、その後、メモリ要素の磁気モーメントを駆動するめいめいの一致する磁化容易方向磁界によって論理1または論理0に個別に書き込まれ、したがってセルの2進状態が確立されることが好ましい。
【0033】
前に説明したように、ワードおよびビットのデコード・ロジックによって、書き込まれる特定の分割されたグループが選択されることが好ましい。本発明と共に使用するのに適するデコード回路は、たとえば、上に記載の、本願の所有者が所有する関連特許出願である米国特許出願第09/703963号に記載されている。個々のデコード・ビット・スライス制御線(図示せず)を、それぞれ特定の分割されたビット・スライスNまたはN+1を選択的にイネーブルするために、それぞれビット・スライス・スイッチ322または324のビット・スライス選択入力390または392に接続することができる。
【0034】
選択された分割されたグループ334に関連するビット線306および308は、それぞれ、メモリ要素342および344に2つの有効な状態のうちの1つを書き込むために、両方向の電流を導通することが好ましい。書込動作中に、個々のビット線内の電流の向きによって、各メモリ要素内に保管されるデータ状態が決定される。他のメモリ要素、たとえば350および352も、それぞれビット線306および308から発する磁化容易方向磁界を受け取り、したがって、半選択されたと見なすことができるが、これらのメモリ要素は、磁化困難方向磁界によって不安定化されていないので、状態を切り替えない。さらに、磁化困難方向磁界を、本発明の選択線アーキテクチャを使用してかなり増やすことができるので、磁化容易方向磁界をかなり減らすことができ、したがって、同一のビット線に沿ったメモリ要素は、半選択されるのに十分に強い磁界さえ受け取らない。
【0035】
磁気メモリ要素に関連するスイッチング・アステロイド(たとえば、図3の境界200’によって画定される)が、その磁化容易方向の向きに関して本質的に対称なので、不安定化電流の向き、したがってそれから生じる磁化困難方向磁界の向きは、重要でない。そうではなく、磁気メモリ要素の不安定化にとってクリティカルなのは、不安定化電流の大きさである。実質的に等しいが反対の磁化困難方向磁界によって、同一の書込選択機能が達成される。したがって、本明細書では不安定化電流の1つの向きだけを説明したが、本発明によって、不安定化電流の向きを反転できることが、同様に企図されている。
【0036】
図5に、本発明のもう1つの態様に従って形成された、選択線メモリ・アレイ400の少なくとも一部を示す。図5の選択線メモリ・アレイ400は、図4の選択線磁気メモリ・アレイ300との一貫性を有するが、書込ワード線(たとえば386および388)と、対応する読取ワード線(たとえば、それぞれ382および384)が、単一の読取/書込ワード線402および404に組み合わされる点が異なる。この読取/書込ワード線402および404は、ポリシリコン・ゲート材料またはその適当な代替物から製造することができる。選択線メモリ・アレイ400は、たとえば、少なくとも部分的に配線の混雑を減らし、そのような独自のアーキテクチャを組み込まれたメモリ・アレイのよりコンパクトな物理的実施形態をもたらすことが望まれる場合に、重要な利益を提供する。図5の組み合わされた読取/書込ワード線アーキテクチャが正しく機能するために、各メモリ・セルに、スイッチが含まれ、スイッチが、メモリ・セルに組み込まれたFETデバイス(たとえば358、360、362、364、366、368、370、および372)として実施されることが好ましく、このFETデバイスが、MTJデバイスとして実施されることが好ましい対応する磁気抵抗メモリ要素(たとえば342、344、346、348、350、352、354、および356)に機能的に結合されることを諒解されたい。例示的な選択線メモリ・アレイ400には、さらに、複数の適応電圧ソース406が含まれる。各メモリ・セルに、対応する磁気メモリ要素に機能的に直列に結合されたそれ自体の適応電圧ソース406が含まれることが好ましい。具体的に言うと、適応電圧ソース406が、FET、たとえば358のソース端子とグラウンドの間に直列に接続されることが好ましい。適応電圧ソース406は、下で述べるように、少なくとも部分的に、磁気メモリ要素の総合信頼性を高めることが好ましい。
【0037】
たとえば、例示的な選択線メモリ・アレイ400全体のスイッチが、n型FETデバイスを使用して実施されると仮定すると、読取/書込ワード線402または404(ポリシリコン・ゲート材料から製造することができる)に沿って進む論理ハイ信号が、たとえば電流ソース/シンク301から共通書込線302を介し、共通書込線304を介して電流ソース/シンク301に戻る電気回路を完了することによって、それぞれ分割されたグループ334および336または338および340を含むメモリ・アレイ内のメモリ・セルのアクティブ・ロウを定義する。アクティブ・ロウ内の特定の分割されたグループ、たとえば334または336を、読取/書込ワード線402にアクティブ・ハイの信号を印加することによって、読取動作および書込動作のために選択することができるが、所与の時点で、1つの分割されたグループ内では読取動作または書込動作の一方だけを実行することができる。分割されたグループ334および336に関して、それぞれ、FET358および360、または362および364が、読取動作に関連し、それぞれ、グループ選択スイッチ374または376が、書込動作に関連する。同様に、特定のビット・スライス・スイッチ、たとえば322または324に印加される論理ハイの信号は、選択線メモリ・アレイ400内のメモリ・セルのアクティブ・カラムを定義し、したがって、機能的に、書込選択を単一の分割されたビット・スライス(たとえば、分割されたグループ334および338に対応する分割されたビット・スライスN、または分割されたグループ336および340に対応する分割されたビット・スライスN+1)に向ける。
【0038】
分割されたビット・スライスのそれぞれに、上で述べたようにそれ自体のローカル電流ソース/シンクが含まれる場合に、本発明では、同一の読取/書込ワード線、たとえば402に沿った複数の分割されたグループ(たとえば334および336)に同時に書き込めることが企図されている。同様に、同一の読取/書込ワード線に沿った異なる分割されたビット・スライスに存在する分割されたグループに対する複数の読取動作または読取動作と書込動作の組合せを、所与の読取/書込ワード線に沿って同時に実行することができる。
【0039】
図5の参照を続けると、特定の分割されたグループ、たとえば340に書き込むために、読取/書込ワード線404およびビット・スライス・スイッチ324のビット・スライス選択入力392が、論理ハイに駆動され(イネーブルされ)、読取/書込ワード線402およびビット・スライス・スイッチ322のビット・スライス選択入力390が、同時に論理ロウに駆動される(ディスエーブルされる)。これによって、電流が電流ソース/シンク301から共通書込線302に沿って供給され、その後、共通書込線304に沿って電流ソース/シンク301に返される、完全な電気回路が確立される。したがって、この例の導通経路には、共通書込線302、ビット・スライス・スイッチ324、グローバル書込線318、分割された書込線332、分割されたグループ選択スイッチ380、グローバル書込線320、および、最後に、共通書込線304が含まれる。
【0040】
上で注記したように、図5に示された例示的な選択線メモリ・アレイ400の各メモリ・セルには、対応する適応電圧ソース406が含まれる。代替案では、適応電圧ソース406を、各メモリ・セル内に組み込むのではなく、メモリ・セルの外部に置くことができる。さらに、適応電圧ソース406は、複数のメモリ・セルによって共用される単一のソースとすることができる。適応電圧ソース406は、書込動作中に所定の電圧低下をもたらし、対応するメモリ・セルでの読取動作中に実質的に0の電圧低下(すなわち分流)をもたらすことが好ましい。適応電圧ソース406は、たとえば、読取/書込デコード回路(図示せず)によって機能的に制御される、分流デバイスに並列に接続されたダイオードまたはその適当な代替物として実施することができる。例示的な選択線メモリ・アレイ400に適応電圧ソース406を含めることによって、少なくとも1つの重要な利益すなわち、メモリ・セル構造に固有の潜在的な信頼性の問題の解決がもたらされる。
【0041】
具体的に言うと、読取動作または書込動作のいずれかの間に、各磁気抵抗メモリ要素、たとえば342、344、346、348、350、352、354、および356が、それぞれFETデバイス、たとえば358、360、362、364、366、368、370、および372として実施されることが好ましいスイッチを介して、グラウンドではなく適応電圧ソース406またはその適当な代替物に結合される。適応電圧ソース406がないと、書込動作中にメモリ要素の両端に過剰な電圧が潜在的に蓄積される可能性がある。これを避けるために、各適応電圧ソース406を、好ましくは平均ビット線電圧と共に、所定の電圧VWにセットして、メモリ要素にまたがる電圧低下を最小にし、これによって、高い電場または電流から生じる損傷を防ぐ。読取動作中に、適応電圧ソース406の電圧が、セルの状態を判定するために機能的にメモリ・セルに結合されるセンス増幅器(図示せず)の要件に応じて、0または別の指定された電圧にセットされる。
【0042】
図6を参照すると、本発明のもう1つの態様に従って形成された、選択線メモリ・アレイ500の少なくとも一部が示されている。選択線メモリ・アレイ500は、図5に示されたメモリ・アーキテクチャと比較して、修正されている。具体的に言うと、それぞれ隣接する分割されたビット・スライスNおよびN+1に存在する選択されたメモリ・セルから不安定化電流を返すグローバル書込線(たとえば図5の316および320)が、組み合わされて、単一の共用グローバル書込線504を形成する。複数の分割されたビット・スライス配置内で、対応する分割されたグループに不安定化電流を供給する各グローバル書込線、たとえば508および510が、共用グローバル書込線504との一貫性を有する形で、隣接する分割されたビット・スライス内のグローバル書込線と組み合わされることが好ましいことを諒解されたい。共用グローバル書込線504は、機能的に、共通書込線、たとえば304に、ビット・スライス・スイッチ502のビット・スライス選択入力506に印加される対応するビット・スライス選択信号に応答するビット・スライス・スイッチ502を介して、結合される。ビット・スライス選択信号を、デコード回路(図示せず)によって生成することができ、これによって、どの特定の時点でも、ビット・スライス選択スイッチの隣接する対(たとえば、322および502または324および502)が同時に活動化されて、対応する分割されたビット・スライスが選択されることを諒解されたい。この形で、例示的な選択線メモリ・アレイ500が、電流ソース/シンク301から不安定化電流を供給するグローバル書込線と不安定化電流を返すグローバル書込線の両方の制御を提供することが好ましい。
【0043】
不安定化電流は、メモリ要素346および348と、354および356によって、図5と比較して反対の方向に渡されるが、前に述べたように、磁化困難方向磁界の向きがメモリ・セルの不安定化に重要でないので、メモリ・セルの書込選択動作に対する影響は、事実上ない。さらに、選択線メモリ・アレイ500内で、制限なしに、個々のメモリ・セル内のメモリ要素(たとえば、342、344、346、348、350、352、354、および356)が、メモリ要素に対する持続的な損傷なしに書込動作中にその両端に誘導される電圧低下を許容できると仮定される。その結果、図5に示された適応電圧ソース(たとえば406)が、図6の実施形態では省略されている。
【0044】
選択線メモリ・アレイ500は、図5のメモリ・アレイと共に前に説明したものとの一貫性を有する形で動作する。具体的に言うと、たとえば、特定の分割されたグループ、たとえば334に向けられる書込選択動作を、図6に関して説明する。前に注記したように、本発明の例示的選択線メモリ・アーキテクチャは、磁化困難方向磁界の適用を、メモリ・セルのサブセット、すなわち、この例では、分割されたグループ334に関連するメモリ・セルに機能的に向ける。分割されたグループ334内のすべてのメモリ要素342および344は、それぞれ分割された書込線326とビット線306および308を流れる電流によって生成される磁化困難方向磁界および磁化容易方向磁界の一致によって同時に書き込まれる。従来の磁気メモリ・アーキテクチャとは異なって、選択された分割されたグループ(たとえば334)と同一の読取/書込ワード線(たとえば402)を共用する選択されないメモリ・セル(たとえば、分割されたグループ336内の)は、隣接するビット・スライスのうちの1つの分割されたビット・スライスだけが、たとえばビット・スライス・スイッチ322および324を介してアクティブになるので、その磁化困難方向に沿った半選択磁界を受けない。共用される分割されたビット・スライス・スイッチ502は、分割されたビット・スライスNまたは分割されたビット・スライスN+1のいずれかが選択される場合に、共用グローバル書込線504に沿って搬送される不安定化書込電流を共通書込線304に返すために、アクティブのままになる。この形で、書込動作が、ワード線に沿った意図されない半選択されたセルの発生を防止する。
【0045】
図6の参照を続けて、制限なしに、選択線メモリ・アレイ500内のすべてのスイッチが、n型FETデバイスを使用して実施されると仮定すると、分割されたグループ334が、めいめいのビット・スライス選択入力390および506に論理ハイの信号を印加してビット・スライス・スイッチ322および502をイネーブルすることと、読取/書込ワード線402に論理ハイの信号を印加することによってグループ選択スイッチ374をイネーブルすることによって、書込動作のために選択される。ビット・スライス・スイッチ324とグループ選択スイッチ378および380を含む他のすべてのスイッチが、ビット・スライス選択入力392および読取/書込ワード線404に論理ロウ信号を印加することによってディスエーブルされる。分割されたグループ選択スイッチ376は、グループ選択スイッチ374と同一の読取/書込ワード線402を共用するので、やはりイネーブルされるが、ビット・スライス・スイッチ324がディスエーブルされているので、分割されたグループ336は、不安定化電流を受け取らない。前に述べたように、選択のハイ信号およびロウ信号は、標準的なビットおよびワード・デコード・ロジック(図示せず)を介して生成されることが好ましい。
【0046】
電流ソース/シンク301にアクティブなイネーブル信号303を印加することによって電流ソース/シンク301をイネーブルした後に、不安定化電流が、共通書込線302、ビット・スライス・スイッチ322、グローバル書込線508、分割された書込線326、グループ選択スイッチ374、共用グローバル書込線504、ビット・スライス・スイッチ502、および最後に共通書込線304を含む導通経路のネットワークを介して機能的に流れ、共通書込線304で、不安定化電流が電流ソース/シンク301に戻る。上で説明したように、メモリ要素342および34を不安定化する磁化困難方向磁界を作るために、導通ネットワークを介して流れる単一方向の電流だけが必要である。これらの不安定化されたメモリは、一致する磁化容易方向磁界によって1状態または0状態を独立に書き込まれ、磁力線は、磁化容易方向(水平軸)に沿って、右または左のいずれかを指す。ビット線306および308は、両方向の電流を導通する。各ビット線に沿う電流の方向によって、対応するメモリ要素に保管されるデータ状態が決定される。
【0047】
本発明の選択線メモリ・アーキテクチャを実施する時に、共通書込線またはグローバル書込線もしくはその両方が、メモリ・セルから所定の距離だけ離隔され、一部がそれ以外より大きく離隔されることを諒解されたい。前に述べたように、この分離は、共通書込線またはグローバル書込線もしくはその両方から発する、メモリ・セルへの結合からの望ましくない漂遊電磁場をなくすか、少なくともかなり減らすために必須である。これらの漂遊磁場は、磁気メモリ・セルに保管されたデータの保全性に望ましくない影響を及ぼす可能性がある。当業者によって理解されるように、ワイヤ導体の磁界強度は、導体から離れる半径距離の逆数として減衰する。したがって、電磁絶縁は、メモリ・セルの1グループを、メモリ・セルの別のグループに書き込むのに使用される導体から適当に離すことによって達成される。もちろん、この分離は、主に、前に上で述べたように、少なくとも部分的に特定の要素のスイッチング・アステロイドによって定義される、磁気メモリ要素自体の特性に依存する。所望の間隔は、メモリ・セルの間の適度な絶縁と、メモリ・デバイスのコンパクトな物理的構造との間のバランスを反映したものになる。
【0048】
電磁絶縁のもう1つの態様は、印加される磁界の向き、たとえば、印加される磁界が平面内と平面外のどちらであるかに関係する。図6を参照すると、ビット線306、308、310、および312と分割された書込線326、328、330、および332が、メモリ要素342、344、346、348、350、352、354、および356に関して主に平面内に向けられる放射磁界を発する。グローバル書込線508、共用グローバル書込線504、およびグローバル書込線510は、主に平面外に向けられる放射磁界を交互に生成するが、この磁界の小さい成分が、隣接するメモリ・セルの磁化容易方向に沿って向けられる。平面内磁界によって、図2および図3に示されたスイッチング曲線に関して前に説明した形に従って、磁気要素がスイッチングされる。この場合に、総合異方性スイッチング磁界Hkは、約100エルステッドであることだけが必要であるが、メモリ要素の磁区が平面外をポイントするようにするには、1テスラを超える磁界強度が必要である。したがって、グローバル書込線を、2から3個のメモリ・セルの幅程度の距離だけ所与のメモリ要素から離すことによって、比較的よい絶縁を達成することができる。
【0049】
メモリ・デバイスに、たとえば本発明による1つまたは複数の電流デバイス、ビット線デコーダまたはワード線デコーダ、およびインターフェース回路を含む周辺回路と共に、上で説明した選択線アーキテクチャを、機能的に組み込むことができることを諒解されたい。さらに、本発明に従って、複数のそのようなメモリ・デバイスを含み、メモリ・デバイスのそれぞれが本明細書に記載の選択線アーキテクチャを使用する、メモリ・システムを製造することができる。このメモリ・システムに、さらに、前に説明した本発明の目的、特徴、および長所の少なくとも一部を提供するために機能的に接続された、従来のメモリ・デバイス、周辺回路、またはインターフェース回路を含めることができる。
【0050】
本発明の例示的実施形態を、添付図面を参照して説明してきたが、本発明が、これらの正確な実施形態に制限されないことと、本発明の範囲または趣旨から逸脱せずに、当業者がさまざまな他の変更および修正を行うことができることを理解されたい。
【0051】
まとめとして、本発明の構成に関して以下の事項を開示する。
【0052】
(1)その中の1つまたは複数のメモリ・セルに選択的に書き込む磁気メモリ・デバイスであって、
不安定化電流を選択的に伝える複数のグローバル書込線であって、前記グローバル書込線が、前記グローバル書込線を通る前記不安定化電流が前記磁気メモリ・デバイス内の選択されていないメモリ・セルを実質的に擾乱しないように、前記メモリ・セルから配置され、各グローバル書込線が、機能的にそれに接続された複数の分割された書込線を含む、複数のグローバル書込線と、
メモリ・セルの複数の分割されたグループであって、各分割されたグループが、対応する分割された書込線に機能的に結合された複数のメモリ・セルを含み、各分割された書込線が、前記分割された書込線を通る前記不安定化電流が書込のために対応するメモリ・セルを不安定化するように、前記複数の前記対応するメモリ・セルに関して配置される、メモリ・セルの複数の分割されたグループと、
複数の分割されたグループ選択スイッチであって、各グループ選択スイッチが、対応する分割された書込線とグローバル書込線との間に機能的に接続され、前記グループ選択スイッチが、グループ選択信号を受け取るグループ選択入力を含み、前記グループ選択スイッチが、前記グループ選択信号に応答して、前記対応する分割された書込線と前記グローバル書込線との間の電気回路を完成させる、複数の分割されたグループ選択スイッチと、
前記メモリ・セルの状態を選択的に書き込む、前記メモリ・セルのそれぞれに機能的に結合された複数のビット線と
を含む、磁気メモリ・デバイス。
(2)前記磁気メモリ・デバイス内の1つまたは複数のメモリ・セルに前記不安定化電流を供給する、少なくとも1つの共通書込線をさらに含み、前記共通書込線が、前記共通書込線を通る前記不安定化電流が前記磁気メモリ・デバイス内の選択されていないメモリ・セルを実質的に擾乱しないように、前記メモリ・セルから配置される、上記(1)に記載のデバイス。
(3)前記共通書込線と、分割されたビット・スライスに対応する少なくとも1つのグローバル書込線との間に機能的に接続された複数の分割されたビット・スライス・スイッチをさらに含み、各分割されたビット・スライス・スイッチが、ビット・スライス選択信号を受け取るビット・スライス選択入力を含み、前記ビット・スライス選択信号に応答して、前記共通書込線と前記少なくとも1つのグローバル書込線との間の電気回路を完成させる、上記(2)に記載のデバイス。
(4)前記少なくとも1つの共通書込線が、前記複数の分割された書込線と実質的に平行に配置される、上記(2)に記載のデバイス。
(5)前記複数のグローバル書込線が、前記分割された書込線に対して実質的に直交して配置される、上記(1)に記載のデバイス。
(6)少なくとも1つの読取ワード線であって、前記読取ワード線が、実質的にワード次元で複数のメモリ・セルに機能的に結合され、前記読取ワード線が、1つまたは複数の対応するメモリ・セルを選択的に読み取る読取信号を受け取る、少なくとも1つの読取ワード線と、
少なくとも1つの書込ワード線であって、前記書込ワード線が、実質的にワード次元で1つまたは複数の分割されたグループ選択スイッチに機能的に結合され、前記書込ワード線が、書込のために前記1つまたは複数の対応するメモリ・セルを選択する前記グループ選択信号を受け取る、少なくとも1つの書込ワード線と
をさらに含む、上記(1)に記載のデバイス。
(7)前記少なくとも1つの読取ワード線および前記少なくとも1つの書込ワード線が、少なくとも1つの読取/書込ワード線を形成するために組み合わされ、前記読取/書込ワード線が、実質的にワード次元で前記複数の分割されたグループ選択スイッチおよび対応するメモリ・セルに機能的に結合される、上記(6)に記載のデバイス。
(8)前記メモリ・セルの少なくとも一部が、磁気抵抗メモリ要素に機能的に結合された電界効果トランジスタ(FET)デバイスを含む、上記(1)に記載のデバイス。
(9)前記磁気抵抗メモリ要素が、磁気トンネル接合(MTJ)デバイスである、上記(8)に記載のデバイス。
(10)前記メモリ・セルのそれぞれが、少なくとも1つの適応電圧ソースに機能的に結合され、前記適応電圧ソースが、前記メモリ・セルの書込動作中に第1の所定の電圧低下をもたらし、前記メモリ・セルの読取動作中に第2の所定の電圧低下をもたらす、上記(8)に記載のデバイス。
(11)前記第2の所定の電圧低下が、実質的に0である、上記(10)に記載のデバイス。
(12)メモリ・セルの複数の分割されたグループの読取および書込の少なくとも1つを同時に実行するように機能的に構成された少なくとも1つのデコーダであって、前記分割されたグループのそれぞれが、同一の書込ワード線に対応し、前記磁気メモリ・デバイス内の異なる分割されたビット・スライス内に存在する、少なくとも1つのデコーダ
をさらに含む、上記(1)に記載のデバイス。
(13)前記グローバル書込線に機能的に結合された少なくとも1つの電流ソースであって、前記電流ソースが、前記磁気メモリ・デバイス内の選択されたメモリ・セルに前記不安定化電流を供給する、少なくとも1つの電流ソース
をさらに含む、上記(1)に記載のデバイス。
(14)メモリ・システムであって、
複数の磁気メモリ・デバイスであって、前記磁気メモリ・デバイスの少なくとも1つが、
不安定化電流を選択的に伝える複数のグローバル書込線であって、前記グローバル書込線が、前記グローバル書込線を通る前記不安定化電流が前記磁気メモリ・デバイス内の選択されていないメモリ・セルを実質的に擾乱しないように、前記メモリ・セルから配置され、各グローバル書込線が、機能的にそれに接続された複数の分割された書込線を含む、複数のグローバル書込線と、
メモリ・セルの複数の分割されたグループであって、各分割されたグループが、対応する分割された書込線に機能的に結合された複数のメモリ・セルを含み、各分割された書込線が、前記分割された書込線を通る前記不安定化電流が書込のために対応するメモリ・セルを不安定化するように、前記複数の前記対応するメモリ・セルに関して配置される、メモリ・セルの複数の分割されたグループと、
複数の分割されたグループ選択スイッチであって、各グループ選択スイッチが、対応する分割された書込線とグローバル書込線との間に機能的に接続され、前記グループ選択スイッチが、グループ選択信号を受け取るグループ選択入力を含み、前記グループ選択スイッチが、前記グループ選択信号に応答して、前記対応する分割された書込線と前記グローバル書込線との間の電気回路を完成させる、複数の分割されたグループ選択スイッチと、
前記メモリ・セルの状態を選択的に書き込む、前記メモリ・セルのそれぞれに機能的に結合された複数のビット線と
を含む、複数の磁気メモリ・デバイスと、
前記メモリ・システム内の1つまたは複数のメモリ・セルの読取および書込の少なくとも1つを選択的に実行する、前記磁気メモリ・デバイスに機能的に結合されたデコーダと
を含む、メモリ・システム。
(15)前記少なくとも1つの磁気メモリ・デバイス内の1つまたは複数のメモリ・セルに前記不安定化電流を供給する少なくとも1つの共通書込線をさらに含み、前記共通書込線が、前記共通書込線を通る前記不安定化電流が前記磁気メモリ・デバイス内の選択されていないメモリ・セルを実質的に擾乱しないように、前記メモリ・セルから配置される、上記(14)に記載のシステム。
(16)前記少なくとも1つの磁気メモリ・デバイスが、さらに、前記共通書込線と、分割されたビット・スライスに対応する少なくとも1つのグローバル書込線との間に機能的に接続された複数の分割されたビット・スライス・スイッチをさらに含み、各分割されたビット・スライス・スイッチが、ビット・スライス選択信号を受け取るビット・スライス選択入力を含み、前記ビット・スライス選択信号に応答して、前記共通書込線と前記少なくとも1つのグローバル書込線との間の電気回路を完成させる、上記(15)に記載のシステム。
(17)前記少なくとも1つの共通書込線が、前記複数の分割された書込線と実質的に平行に配置される、上記(15)に記載のシステム。
(18)前記少なくとも1つの磁気メモリ・デバイス内の前記複数のグローバル書込線が、前記分割された書込線に対して実質的に直交して配置される、上記(14)に記載のシステム。
(19)少なくとも1つの読取ワード線であって、前記読取ワード線が、実質的にワード次元で複数のメモリ・セルに機能的に結合され、前記読取ワード線が、1つまたは複数の対応するメモリ・セルを選択的に読み取る読取信号を受け取る、少なくとも1つの読取ワード線と、
少なくとも1つの書込ワード線であって、前記書込ワード線が、実質的にワード次元で1つまたは複数の分割されたグループ選択スイッチに機能的に結合され、前記書込ワード線が、書込のために前記1つまたは複数の対応するメモリ・セルを選択する前記グループ選択信号を受け取る、少なくとも1つの書込ワード線と
をさらに含む、上記(14)に記載のシステム。
(20)前記少なくとも1つの読取ワード線および前記少なくとも1つの書込ワード線が、少なくとも1つの読取/書込ワード線を形成するために組み合わされ、前記読取/書込ワード線が、実質的にワード次元で前記少なくとも1つの磁気メモリ・デバイス内の前記複数の分割されたグループ選択スイッチおよび対応するメモリ・セルに機能的に結合される、上記(19)に記載のシステム。
(21)前記メモリ・セルの少なくとも一部が、磁気抵抗メモリ要素に機能的に結合された電界効果トランジスタ(FET)デバイスを含む、上記(14)に記載のシステム。
(22)前記磁気抵抗メモリ要素が、磁気トンネル接合(MTJ)デバイスである、上記(21)に記載のシステム。
(23)前記メモリ・セルのそれぞれが、少なくとも1つの適応電圧ソースに機能的に結合され、前記適応電圧ソースが、前記メモリ・セルの書込動作中に第1の所定の電圧低下をもたらし、前記メモリ・セルの読取動作中に第2の所定の電圧低下をもたらす、上記(21)に記載のシステム。
(24)前記デコーダが、前記少なくとも1つの磁気メモリ・デバイス内のメモリ・セルの複数の分割されたグループの読取および書込の少なくとも1つを同時に実行するように機能的に構成され、前記分割されたグループのそれぞれが、同一の書込ワード線に対応し、前記少なくとも1つの磁気メモリ・デバイス内の異なる分割されたビット・スライス内に存在する、上記(14)に記載のシステム。
(25)磁気メモリ・デバイス内の1つまたは複数の磁気メモリ・セルに選択的に書き込む方法であって、
不安定化電流を生成するステップであって、前記不安定化電流が、複数のグローバル書込線を介して前記磁気メモリ・デバイス内の選択された磁気メモリ・セルに伝えられ、前記グローバル書込線が、前記グローバル書込線を通る前記不安定化電流が前記磁気メモリ・デバイス内の選択されていない磁気メモリ・セルを実質的に擾乱しないように、前記磁気メモリ・セルから配置され、各グローバル書込線が、それに機能的に接続された複数の分割された書込線を含む、ステップと、
前記選択された磁気メモリ・セルの状態を書き込む書込電流を生成するステップであって、前記書込電流が、前記磁気メモリ・セルに機能的に結合された複数のビット線を介して伝えられる、ステップと、
書込のために磁気メモリ・セルの分割されたグループを選択するステップであって、前記分割されたグループが、対応する分割された書込線に機能的に結合された複数の磁気メモリ・セルを含む、ステップと、
前記ビット線を介して前記書込電流を向けるステップであって、これによって、前記選択された磁気メモリ・セルのそれぞれが、前記書込電流の第1方向に対応する第1論理状態および前記書込電流の第2方法に対応する第2論理状態の1つを保管する、ステップと
を含む方法。
(26)磁気メモリ・セルの前記分割されたグループを選択する前記ステップが、
前記不安定化電流を、磁気メモリ・セルの前記選択された分割されたグループに対応する前記分割された書込線を介して向けるステップであって、前記分割された書込線が、前記分割された書込線を通る前記不安定化電流が書込のために前記対応する磁気メモリ・セルを不安定化させるように、前記対応する磁気メモリ・セルに関して配置される、ステップ
を含む、上記(25)に記載の方法。
(27)前記磁気メモリ・デバイス内の磁気メモリ・セルの複数の分割されたグループの読取および書込の少なくとも1つを同時に実行するステップであって、前記分割されたグループのそれぞれが、同一の書込ワード線に対応し、前記磁気メモリ・デバイス内の異なる分割されたビット・スライス内に存在する、ステップ
をさらに含む、上記(25)に記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【図1】電界効果トランジスタ(FET)が対応するMTJメモリ・セルに接続される、従来のMTJメモリ・アレイを示す概略図である。
【図2】従来の磁気メモリ・アーキテクチャの書込動作に関係するスイッチング・アステロイドに重畳された磁界点を示す絵図である。
【図3】本発明の一態様に従って形成された選択線アーキテクチャの書込動作に関するスイッチング・アステロイドに重畳された磁界点を示す絵図である。
【図4】本発明の一態様に従って形成された選択線アーキテクチャの少なくとも一部を示す概略図である。
【図5】本発明による、単一読取/書込ワード線を提供するために変更された、図4の選択線アーキテクチャを示す概略図である。
【図6】本発明に従って形成された、図5の選択線アーキテクチャの例示的実施形態を示す概略図である。
【符号の説明】
300 選択線磁気メモリ・アレイ
301 電流ソース/シンク
302 共通書込線
303 イネーブル信号
304 共通書込線
306 ビット線
314 グローバル書込線
322 ビット・スライス・スイッチ
326 分割された書込線
334 分割されたグループ
342 メモリ要素
358 FET
374 グループ選択スイッチ
382 読取ワード線
386 書込ワード線
390 ビット・スライス選択入力
政府の権利の陳述
本発明は、米国国防総省の国防高等研究計画局(DARPA)によって資金供給された助成金契約番号第MDA972−99−C−0009号の下で政府の支援を受けてなされた。政府は、本発明にある権利を有する。

Claims (14)

  1. 磁化困難方向及び磁化容易方向をそれぞれ有する複数のメモリ・セルを有する磁気メモリ・デバイスであって、
    (イ)前記磁気メモリ・デバイス上で第1方向に沿って設けられ、前記メモリ・セルを磁化困難方向の最大点までバイアスした不安定化状態にする磁化困難方向の磁界を生じる大きさの不安定化電流を供給する第1共通書込線と、前記不安定化電流の帰還路として働く第2共通書込線と、
    (ロ)前記第1方向と直交する第2方向に沿って設けられた複数の第1グローバル書込線であって、該複数の第1グローバル書込線のそれぞれは該第1グローバル書込線毎に設けられたビット・スライス・スイッチを介して前記第1共通書込線に接続されている、前記複数の第1グローバル書込線と、
    (ハ)前記第2方向に沿って設けられた複数の第2グローバル書込線であって、該複数の第2グローバル書込線のそれぞれは前記第2共通書込線に接続されている、前記複数の第2グローバル書込線と、
    (ニ)前記第1方向に沿って設けられた複数の分割書込線であって、該複数の分割書込線のそれぞれは、一端が前記第1グローバル書込線に接続され、他端が該分割書込線毎に設けられたグループ選択スイッチを介して前記第2グローバル書込線に接続されている、前記複数の分割書込線と、
    (ホ)前記第2方向に沿って設けられ、前記複数の分割書込線と直交するように設けられた複数のビット線と、
    (へ)複数のメモリ・セル・グループであって、該複数のメモリ・セル・グループのそれぞれは、1つの分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有する、前記複数のメモリ・セル・グループと、
    (ト)書込み時に、前記複数のメモリ・セル・グループのうちの1つのメモリ・セル・グループを選択するために、該1つのメモリ・セル・グループが設けられている分割書込線が接続されている第1グローバル書込線のビット・スライス・スイッチと、前記1つのメモリ・セル・グループが設けられている分割書込線に接続されているグループ選択スイッチの両方をイネーブルする手段と、
    (チ)前記書込み時に、前記選択された1つのメモリ・セル・グループの複数のビット線に、前記磁化困難方向の最大点までバイアスされた不安定状態にある前記メモリ・セルに書込を行うに必要なだけの前記磁化容易方向の磁界を生じる大きさの電流を供給する手段とを備える、磁気メモリ・デバイス。
  2. 前記第1共通書込線及び前記第2共通書込線は、不安定化電流源に接続され、該不安定電流源が、書込み時に前記不安定化電流を前記第1共通書込線に供給することを特徴とする請求項1に記載の磁気メモリ・デバイス。
  3. 前記ビット・スライス・スイッチが、FETスイッチであり、前記選択された1つのメモリ・セル・グループの書込み時に、該選択された1つのメモリ・セル・グループの分割書込線が接続されている第1グローバル書込線のFETスイッチのゲートにビット・スライス選択信号が印加されて導通することを特徴とする請求項1に記載の磁気メモリ・デバイス。
  4. 前記グループ選択スイッチが、FETスイッチであり、前記選択された1つのメモリ・セル・グループの書込み時に、該選択された1つのメモリ・セル・グループの分割書込線に接続されているFETスイッチのゲートにグループ選択信号が印加されて導通することを特徴とする請求項1に記載の磁気メモリ・デバイス。
  5. 前記複数のメモリ・セルのそれぞれが、磁気抵抗メモリ要素と、該磁気抵抗メモリ要素及びグラウンドの間に接続されたスイッチとを有することを特徴とする請求項1に記載の磁気メモリ・デバイス。
  6. 前記複数のメモリ・セルのそれぞれのスイッチの附勢端子に読取りワード線が接続されていることを特徴とする請求項に記載の磁気メモリ・デバイス。
  7. 磁化困難方向及び磁化容易方向をそれぞれ有する複数のメモリ・セルを有する磁気メモリ・デバイスであって、
    (イ)前記磁気メモリ・デバイス上で第1方向に沿って設けられ、前記メモリ・セルを磁化困難方向の最大点までバイアスした不安定化状態にする磁化困難方向の磁界を生じる大きさの不安定化電流を供給する第1共通書込線と、前記不安定化電流の帰還路として働く第2共通書込線と、
    (ロ)前記第1方向と直交する第2方向に沿って設けられた第1及び第2の第1グローバル書込線であって、前記第1の第1グローバル書込線は第1のビット・スライス・スイッチを介して前記第1共通書込線に接続されており、前記第2の第1グローバル書込線は第2のビット・スライス・スイッチを介して前記第1共通書込線に接続されている、前記第1及び第2の第1グローバル書込線と、
    (ハ)前記第2方向に沿って設けられた第1及び第2の第2グローバル書込線であって、前記第1及び第2の第2グローバル書込線は前記第2共通書込線に接続されている、前記第1及び第2の第2グローバル書込線と、
    (ニ)前記第1方向に沿って設けられた第1,第2,第3及び第4の分割書込線であって、前記第1の分割書込線は、一端が前記第1の第1グローバル書込線に接続され、他端が第1のグループ選択スイッチを介して前記第1の第2グローバル書込線に接続されており、前記第2の分割書込線は、一端が前記第1の第1グローバル書込線に接続され、他端が第2のグループ選択スイッチを介して前記第1の第2グローバル書込線に接続されており、前記第3の分割書込線は、一端が前記第2の第1グローバル書込線に接続され、他端が第3のグループ選択スイッチを介して前記第2の第2グローバル書込線に接続されており、前記第4の分割書込線は、一端が前記第2の第1グローバル書込線に接続され、他端が第4のグループ選択スイッチを介して前記第2の第2グローバル書込線に接続されている、前記第1,第2,第3及び第4の分割書込線と、
    (ホ)前記第2方向に沿って設けられ、前記第1,第2,第3及び第4の分割書込線と直交するように設けられた複数のビット線と、
    (へ)第1,第2,第3及び第4のメモリ・セル・グループであって、
    前記第1のメモリ・セル・グループは、前記第1の分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有し、前記第2のメモリ・セル・グループは、前記第2の分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有し、前記第3のメモリ・セル・グループは、前記第3の分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有し、前記第4のメモリ・セル・グループは、前記第4の分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有する、前記第1,第2,第3及び第4のメモリ・セル・グループと、
    (ト)前記第1方向に沿って設けられた第1及び第2の書込ワード線であって、
    前記第1の書込ワード線が、前記第1のグループ選択スイッチの附勢端子及び前記第3のグループ選択スイッチの附勢端子に接続され、前記第2の書込ワード線が、前記第2のグループ選択スイッチの附勢端子及び前記第4のグループ選択スイッチの附勢端子に接続されている、前記第1及び第2の書込ワード線と、
    (チ)書込み時に、前記第1,第2,第3及び第4のメモリ・セル・グループのうちの1つのメモリ・セル・グループを選択するために、該選択された1つのメモリ・セル・グループが設けられている分割書込線が接続されている第1グローバル書込線のビット・スライス・スイッチと、前記1つのメモリ・セル・グループが設けられている分割書込線に接続されているグループ選択スイッチの両方をイネーブルする手段と、
    (リ)前記書込み時に、前記選択された1つのメモリ・セル・グループの複数のビット線に、前記磁化困難方向の最大点までバイアスされた不安定状態にある前記メモリ・セルに書込を行うに必要なだけの前記磁化容易方向の磁界を生じる大きさの電流を供給する手段とを備える、磁気メモリ・デバイス。
  8. 前記第1共通書込線及び前記第2共通書込線は、不安定化電流源に接続され、該不安定電流源が、書込み時に前記不安定化電流を前記第1共通書込線に供給することを特徴とする請求項7に記載の磁気メモリ・デバイス。
  9. 前記第1及び第2のビット・スライス・スイッチが、FETスイッチであり、前記選択された1つのメモリ・セル・グループの書込み時に、該選択された1つのメモリ・セル・グループの分割書込線が接続されている第1グローバル書込線のFETスイッチのゲートにビット・スライス選択信号が印加されて導通することを特徴とする請求項に記載の磁気メモリ・デバイス。
  10. 前記第1,第2,第3及び第4のグループ選択スイッチが、FETスイッチであり、前記選択された1つのメモリ・セル・グループの書込み時に、該選択された1つのメモリ・セル・グループの分割書込線に接続されているFETスイッチのゲートに前記書込ワード線を介してグループ選択信号が印加されて導通することを特徴とする請求項に記載の磁気メモリ・デバイス。
  11. 前記複数のメモリ・セルのそれぞれが、磁気抵抗メモリ要素と、該磁気抵抗メモリ要素及びグラウンドの間に接続されたスイッチとを有することを特徴とする請求項に記載の磁気メモリ・デバイス。
  12. 前記複数のメモリ・セルのそれぞれのスイッチの附勢端子に読取りワード線が接続されていることを特徴とする請求項11に記載の磁気メモリ・デバイス。
  13. (イ)前記磁気メモリ・デバイス上で第1方向に沿って設けられ、前記メモリ・セルを磁化困難方向の最大点までバイアスした不安定化状態にする磁化困難方向の磁界を生じる大きさの不安定化電流を供給する第1共通書込線と、前記不安定化電流の帰還路として働く第2共通書込線と、
    (ロ)前記第1方向と直交する第2方向に沿って設けられた複数の第1グローバル書込線であって、該複数の第1グローバル書込線のそれぞれは該第1グローバル書込線毎に設けられたビット・スライス・スイッチを介して前記第1共通書込線に接続されている、前記複数の第1グローバル書込線と、
    (ハ)前記第2方向に沿って設けられた複数の第2グローバル書込線であって、該複数の第2グローバル書込線のそれぞれは前記第2共通書込線に接続されている、前記複数の第2グローバル書込線と、
    (ニ)前記第1方向に沿って設けられた複数の分割書込線であって、該複数の分割書込線のそれぞれは、一端が前記第1グローバル書込線に接続され、他端が該分割書込線毎に設けられたグループ選択スイッチを介して前記第2グローバル書込線に接続されている、前記複数の分割書込線と、
    (ホ)前記第2方向に沿って設けられ、前記複数の分割書込線と直交するように設けられた複数のビット線と、
    (へ)複数のメモリ・セル・グループであって、該複数のメモリ・セル・グループのそれぞれは、1つの分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有する、前記複数のメモリ・セル・グループとを備える磁気メモリ・デバイスの書込方法であって、
    書込み時に、前記複数のメモリ・セル・グループのうちの1つのメモリ・セル・グループを選択するために、該1つのメモリ・セル・グループが設けられている分割書込線が接続されている第1グローバル書込線のビット・スライス・スイッチと、前記1つのメモリ・セル・グループが設けられている分割書込線に接続されているグループ選択スイッチの両方をイネーブルすると共に、前記選択された1つのメモリ・セル・グループの複数のビット線に、前記磁化困難方向の最大点までバイアスされた不安定状態にある前記メモリ・セルに書込を行うに必要なだけの前記磁化容易方向の磁界を生じる大きさの電流を供給するステップを含む、磁気メモリ・デバイスの書込方法。
  14. (イ)前記磁気メモリ・デバイス上で第1方向に沿って設けられ、前記メモリ・セルを磁化困難方向の最大点までバイアスした不安定化状態にする磁化困難方向の磁界を生じる大きさの不安定化電流を供給する第1共通書込線と、前記不安定化電流の帰還路として働く第2共通書込線と、
    (ロ)前記第1方向と直交する第2方向に沿って設けられた第1及び第2の第1グローバル書込線であって、前記第1の第1グローバル書込線は第1のビット・スライス・スイッチを介して前記第1共通書込線に接続されており、前記第2の第1グローバル書込線は第2のビット・スライス・スイッチを介して前記第1共通書込線に接続されている、前記第1及び第2の第1グローバル書込線と、
    (ハ)前記第2方向に沿って設けられた第1及び第2の第2グローバル書込線であって、前記第1及び第2の第2グローバル書込線は前記第2共通書込線に接続されている、前記第1及び第2の第2グローバル書込線と、
    (ニ)前記第1方向に沿って設けられた第1,第2,第3及び第4の分割書込線であって、前記第1の分割書込線は、一端が前記第1の第1グローバル書込線に接続され、他端が第1のグループ選択スイッチを介して前記第1の第2グローバル書込線に接続されており、前記第2の分割書込線は、一端が前記第1の第1グローバル書込線に接続され、他端が第2のグループ選択スイッチを介して前記第1の第2グローバル書込線に接続されており、前記第3の分割書込線は、一端が前記第2の第1グローバル書込線に接続され、他端が第3のグループ選択スイッチを介して前記第2の第2グローバル書込線に接続されており、前記第4の分割書込線は、一端が前記第2の第1グローバル書込線に接続され、他端が第4のグループ選択スイッチを介して前記第2の第2グローバル書込線に接続されている、前記第1,第2,第3及び第4の分割書込線と、
    (ホ)前記第2方向に沿って設けられ、前記第1,第2,第3及び第4の分割書込線と直交するように設けられた複数のビット線と、
    (へ)第1,第2,第3及び第4のメモリ・セル・グループであって、前記第1のメモリ・セル・グループは、前記第1の分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有し、前記第2のメモリ・セル・グループは、前記第2の分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有し、前記第3のメモリ・セル・グループは、前記第3の分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有し、前記第4のメモリ・セル・グループは、前記第4の分割書込線と前記複数のビット線との交点にそれぞれ設けられた複数のメモリ・セルからなり、該複数のメモリ・セルのそれぞれは前記磁化困難方向及び磁化容易方向を有する、前記第1,第2,第3及び第4のメモリ・セル・グループと、
    (ト)前記第1方向に沿って設けられた第1及び第2の書込ワード線であって、前記第1の書込ワード線が、前記第1のグループ選択スイッチの附勢端子及び前記第3のグループ選択スイッチの附勢端子に接続され、前記第2の書込ワード線が、前記第2のグループ選択スイッチの附勢端子及び前記第4のグループ選択スイッチの附勢端子に接続されている、前記第1及び第2の書込ワード線とを備える磁気メモリ・デバイスの書込方法であって、
    書込み時に、前記第1,第2,第3及び第4のメモリ・セル・グループのうちの1つのメモリ・セル・グループを選択するために、該選択された1つのメモリ・セル・グループが設けられている分割書込線が接続されている第1グローバル書込線のビット・スライス・スイッチと、前記1つのメモリ・セル・グループが設けられている分割書込線に接続されているグループ選択スイッチの両方をイネーブルすると共に、前記選択された1つのメモリ・セル・グループの複数のビット線に、前記磁化困難方向の最大点までバイアスされた不安定状態にある前記メモリ・セルに書込を行うに必要なだけの前記磁化容易方向の磁界を生じる大きさの電流を供給するステップを含む、磁気メモリ・デバイスの書込方法。
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