JP3733861B2 - 積層圧電体の分極方法 - Google Patents
積層圧電体の分極方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3733861B2 JP3733861B2 JP2001025160A JP2001025160A JP3733861B2 JP 3733861 B2 JP3733861 B2 JP 3733861B2 JP 2001025160 A JP2001025160 A JP 2001025160A JP 2001025160 A JP2001025160 A JP 2001025160A JP 3733861 B2 JP3733861 B2 JP 3733861B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarization
- piezoelectric
- degree
- primary
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
- H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば携帯電話のフィルタなどに使用される積層圧電体の分極方法、特に複数の圧電体層と複数の内部電極とを交互に積層し、隣合う圧電体層を厚み方向に互いに逆方向に分極する積層圧電体の分極方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、特性の設計自由度が大きく、スプリアスが小さく、共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを大きくできる長さモード圧電共振子が提供されている（特開平１０−４３３０号公報）。
図１はこの長さモード圧電共振子１０の一例を示す。圧電共振子１０は、複数の圧電体層１２と複数の内部電極１３とが交互に積層された基体１１を持ち、内部電極１３の両側の圧電体層１２が互いに逆向きに分極されている。基体１１の対向面には、１つおきに内部電極１３を被覆する絶縁膜１４，１５が形成され、さらにその上に外部電極１６，１７が形成されている。そのため、外部電極１６，１７は内部電極１３に対して１つおきに交互に接続される。
このような構造の圧電共振子１０の場合、圧電体層１２の分極度が特性に大きく影響するので、各素子内での分極度バラツキおよび素子間での分極度バラツキをできるだけ小さくすることが求められる。
【０００３】
この種の圧電共振子は、ブロック状の積層圧電体を形成し、これを分極した後、細分することで製作する。積層圧電体の分極処理は、図２に示す方法で行なっている。１はブロック状の圧電セラミックスよりなる積層圧電体であり、ここでは説明を簡単にするため４層の圧電体層１ａ〜１ｄで構成されたものを示すが、実際には多層に積層されたものである。圧電体層１ａ〜１ｄの間には内部電極２ａ〜２ｃが設けられ、内部電極２ａ〜２ｃは圧電体１の外側面に交互に引き出され、側面電極３，４と接続されている。そして、側面電極３，４間に直流電界を印加することにより、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃを矢印Ｐで示すように互いに逆向きに分極し、所定の分極度を得ている。
【０００４】
ところが、図２のような方法では、内部電極２ａ〜２ｃの端部に電界が集中するため、分極度分布が均一にならないという問題があった。図３は１つの圧電体層における分極度分布の一例を示し、斜線は分極度を表す。図から分かるように、圧電体１に対し厚み方向に電界を印加すると、圧電体１の四隅部の分極度が著しく高くなり（凹状分布）、均一な分極度分布が得られない。その結果、このような分極度分布が不均一な圧電体層を積層したもの（ブロック）を短冊状に切り出し、さらに短冊をカットして素子として使用する場合、ブロックの周辺部の圧電体は使用できなくなり、圧電体の使用範囲（収率）が大きく制限されてしまうという問題があった。
【０００５】
例えばラダー型フィルタに用いられる直列共振子（ｆｒ＝４５０ｋＨｚ，ｄｆ＝５５ｋＨｚ）用の積層圧電体を図２のような方法で分極すると、ブロック内の分極度ｄｆのばらつきは約１０ｋＨｚにも及ぶ大きな分布を示す。そのため、良品として使用できる素子はブロック中央付近から切り出された素子のみで、ブロック周辺の素子は殆ど分極不良となっていた。
【０００６】
そこで、本願出願人は、積層圧電体の対向する主面の外部電極に電界を印加して、積層圧電体の厚み方向に一方向の分極（初期分極）を行った後、内部電極を交互に外部に引き出す側面電極を形成し、側面電極間に電界を印加して内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させ（分極反転）、所望の分極度を得る方法を提案した（特願２０００−５２７４３号）。この方法は、図４に示すように、初期分極の段階では周辺部と中央部とでΔＰ1 の分極度ばらつきがある場合でも、逆方向の電界をかけて分極軸を反転させると、ΔＰ2 まで分極度ばらつきを小さくでき、初期分極時の分極度分布の不均一が是正されるという知見に基づいている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、分極軸が反転した圧電体層の飽和分極度Ｐmax を、初期分極時の飽和分極度Ｐmax とほぼ等しくなるまで分極すると、分極度ばらつきが小さくなったとは言え、分極反転させた圧電体層の分極度分布は反転前と同様に凹状になってしまう。そのため、上記の方法で分極軸が逆向きの圧電体層が交互に積層された積層圧電体を構成した場合、凹状分布を持つ分極反転した圧電体層と凹状分布を持つ分極反転しない圧電体層とが交互に積層されることになり、積層圧電体全体としてみると、必ずしも均一な分極度分布が得られない可能性があった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、積層圧電体全体の分極度分布をできるだけ均一にし、収率の向上を図る積層圧電体の分極方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、請求項１または３に記載の発明により達成される。
すなわち、請求項１に記載の発明は、複数の圧電体層と複数の内部電極とを交互に積層し、隣合う圧電体層を厚み方向に互いに逆方向に分極する長さモード圧電共振子用積層圧電体の分極方法において、上記積層圧電体に対し厚み方向に一方向の電界を印加し、厚み方向に一様に分極する一次分極工程であって、分極度分布を積層圧電体の端部の分極度が中央部の分極度より大きい凹状とする工程と、上記内部電極の両側の圧電体層に互いに逆向きの電界を印加し、内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させる二次分極工程であって、上記内部電極の片側の圧電体層の分極軸が反転した後、この圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 がこの圧電体層の中央部における一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で停止する二次分極工程と、を備えたことを特徴とする積層圧電体の分極方法を提供する。
また、請求項３に記載の発明は、複数の圧電体層と複数の内部電極とを交互に積層し、隣合う圧電体層を厚み方向に互いに逆方向に分極する長さモード圧電共振子用積層圧電体の分極方法において、上記内部電極の両側の圧電体層に互いに逆向きの電界を印加し、内部電極の両側の圧電体層を互いに逆向きに分極する一次分極工程であって、分極度分布を圧電体層の端部の分極度が中央部の分極度より大きい凹状とする工程と、上記内部電極の両側の圧電体層に、一次分極工程における電界と反対方向の電界を互いに逆向きに印加し、内部電極の両側の圧電体層の分極軸を反転させる二次分極工程であって、上記内部電極の両側の圧電体層の分極軸が反転した後、この圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 がこの圧電体層の中央部における一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で停止する二次分極工程と、を備えたことを特徴とする積層圧電体の分極方法を提供する。
【００１０】
請求項１では、積層圧電体に対し厚み方向に一方向の電界を印加し、厚み方向に一様に分極する一次分極を行う。次に、内部電極の両側の圧電体層に逆向きの電界を印加し、内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させる二次分極を行う。
図５は請求項１にかかる分極方法の一例を示す。まず、積層圧電体１の表裏面に表裏電極５，６を形成し、積層圧電体１に対し厚み方向の直流電界を印加して厚み方向に一方向に分極（一次分極）する。その後、内部電極２ａ〜２ｃを積層圧電体１の外側面に交互に引き出し、側面電極３，４と接続する。そして、側面電極３，４間に直流電界を印加することにより、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃに互いに逆向きの電界を印加し、内部電極２ｂの片側の圧電体層１ｂの分極軸のみを反転させる（二次分極）。なお、内部電極２ｂの他側の圧電体層１ｃは再分極されるだけで、分極軸は反転しない。
【００１１】
本発明者は、二次分極時の分極条件を変えて種々実験を行ったところ、二次分極の進行度（残留分極度）によって、分極軸が反転した圧電体層１ｂの分極度分布が変化することを発見した。
図６は二次分極の進行に伴う２つの圧電体層１ｂ，１ｃにおける分極度分布の変化の一例をモデル化して示したものである。矢印は分極方向を示す。
（ａ）は一次分極後の分極度分布であり、共に凹状分布を有する。（ｂ）〜（ｄ）は二次分極の進行に伴う分極度分布の変化を示す。なお、Ｐｒ1 は圧電体層の中央部における一次分極による残留分極度、Ｐｒ2 は圧電体層の中央部における二次分極による残留分極度を示す。
図６から明らかなように、圧電体層１ｂの分極度分布は、分極軸が反転した当初は（ｂ），（ｃ）のように凸状あるいはフラットな分布を示すが、やがて（ｄ）のように凹状に変化する。なお、図６では（ｂ），（ｃ）における圧電体層１ｂの分極度分布が凸状の例を示すが、材料によってはほぼフラットな分布を示すものもある。このように二次分極が進み過ぎると、圧電体層１ｂの分極度分布は一次分極時と同様な凹状の分布（ただし分極方向は逆）になってしまう。なお、再分極された圧電体層１ｃの分極度分布は依然として凹状のままである。
したがって、（ｄ）のように逆分極が進み過ぎた状態では、分極反転した圧電体層１ｂの分極度分布と分極反転しない圧電体層１ｃの分極度分布とが共に凹状となり、圧電体全体としてみると均一な分極度分布にならない。
【００１２】
そこで、請求項１では、分極軸が反転した圧電体層１ｂの分極度分布が凸状あるいはフラットとなる範囲で二次分極を停止するものである。つまり、二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 が一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で二次分極している。
Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2
このようにすれば、分極軸が反転した圧電体層１ｂの分極度分布が凸状あるいはフラットで、分極軸が反転しない圧電体層１ｃの分極度分布が凹状であるから、両層の総和として凸状の分極度分布と凹状の分極度分布とが相殺し合うか、あるいは凹状分布の不均一度が相対的に低減され、積層圧電体１全体としてみると、ほぼ均一な分極度分布が得られる。その結果、圧電体の使用範囲が拡がり、収率が向上する。
なお、Ｐｒ1 ＞Ｐｒ2 の場合には、２つの層１ｂ，１ｃの分極度の大きさがアンバランスになるが、分極度分布がほぼ均一であれば、長さ振動モード素子としての共振特性には悪影響がない。
特に、Ｐｒ2 ≒Ｐｒ1 とすれば、図６の（ｃ）のように２つの層１ｂ，１ｃの分極度の大きさがほぼ等しく、均一な分布の積層圧電体と等価になり、最も良好な特性となる。
【００１３】
請求項２では、一次分極工程が、積層圧電体の厚み方向に第１の方向の電界を印加する第１の工程と、積層圧電体の厚み方向に第１の方向と逆方向の電界を印加する第２の工程とを含み、第２の工程によって第１の工程で形成された積層圧電体の分極軸を一様に反転させることを特徴としている。
すなわち、一次分極、つまり積層圧電体に対し厚み方向に一様に分極する工程を１回だけ実施してもよいが、図４の初期分極と同様に、分極度分布が凹状になり、中央部と端部との差ΔＰ1 が大きい。そこで、一次分極を複数回実施し、積層圧電体全体にわたって分極軸を反転させれば、図４の分極反転と同様に、中央部と端部との差ΔＰ2 が小さくなり、分極度分布の不均一を是正することができる。このように一次分極における分極度分布の不均一を是正することで、二次分極後の圧電体層の分極度分布の不均一も是正される。
なお、第２の工程の回数は１回に限らず、複数回実施してもよい。
【００１４】
請求項３では、まず内部電極の両側の圧電体層に互いに逆向きの電界を印加し、内部電極の両側の圧電体層を互いに逆向きに分極する一次分極を行う。一次分極の後、内部電極の両側の圧電体層に、上記電界と反対方向の電界を互いに逆向きに印加し、内部電極の両側の圧電体層の分極軸を反転させる二次分極を行う。つまり、内部電極の両側の圧電体層が最初の分極軸方向と反転する。
図７は請求項３にかかる分極方法の一例を示す。まず、内部電極２ａ〜２ｃを積層圧電体１の外側面に交互に引き出し、これら内部電極２ａ〜２ｃと導通する側面電極３，４を形成する。そして、側面電極３，４間に直流電界を印加することにより、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃを互いに逆向きに分極する（一次分極）。この分極工程は、従来（図２参照）における分極工程と同じである。次に、側面電極３，４間に逆方向の直流電界を印加し、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃの分極軸を同時に反転させる（二次分極）。
この場合も、分極軸が反転した圧電体層１ｂ，１ｃにおける二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 が一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で、二次分極を行う。
この場合には、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃの分極軸が反転し、再分極層が存在しないので、２つの層１ｂ，１ｃの分極条件が同じになり、分極度分布の均一化を図るとともに、２つの層１ｂ，１ｃの分極度の大きさを同じにできる。
【００１５】
図８は図７に示す方法で２次分極を行った場合の圧電体層１ｂ，１ｃにおける分極度分布の変化を示す。矢印は分極方向を示す。
（ａ）は一次分極後の分極度分布であり、共に凹状分布を有する。（ｂ）〜（ｄ）は二次分極の進行に伴う分極度分布の変化を示す。二次分極によって分極軸が反転した後、２つの層１ｂ，１ｃの分極度がほぼ等しく、その分極度分布が共にフラットあるいはやや凸状の分布となり、両層１ｂ，１ｃの分極度分布の不均一度が低減される。そして、残留分極度Ｐｒ2 を一次分極による残留分極度Ｐｒ1 とほぼ一致するまで二次分極を行うと、（ｃ）のように２つの層１ｂ，１ｃが共にフラットあるいはやや凸状の分布で、かつ分極度も高くなり、理想的な分布となる。二次分極がさらに進行すると、（ｄ）のように凹状の分布となる。
したがって、Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2 となるように二次分極条件を設定することで、全体として均一な分極度分布を持つ積層圧電体１を得ることができる。
【００１６】
請求項４のように、一次分極工程をブロック状の積層圧電体に対して行ない、二次分極工程を短冊状の積層圧電体に対して行うのが望ましい。
すなわち、生産性を高めるためには、一次分極および二次分極を共にブロック状の積層圧電体に対して行なうのがよいが、一次分極時における分極度分布の不均一は図３に示すように３次元的に現れるので、ブロック状態のまま二次分極を行うと、分極度分布の不均一を解消しにくい。
そこで、短冊状に切り出した後で二次分極を行なえば、各短冊の分極度分布に応じて電界強度や時間を設定できるので、短冊間および短冊内の分極度バラツキを小さくすることが可能となる。
【００１７】
請求項１の場合には、一次分極を行った積層圧電体は、厚み方向に一様に分極されているので、長さ振動が励振されない。そこで、拡がり振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ＤＦを求め、これを分極度としている。一方、二次分極を行った積層圧電体は分極方向が相反する層を有するので、長さ振動が励振され、この長さ振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを求めて分極度としている。このように振動モードの異なる２種類の分極度をそのまま比較できないので、一次分極後の積層圧電体の拡がり振動のＤＦを電気機械結合係数Ｋに換算して残留分極度Ｐｒ1 とし、二次分極後の積層圧電体の長さ振動のｄｆを電気機械結合係数Ｋに換算して残留分極度Ｐｒ2 とし、この残留分極度Ｐｒ1 ，Ｐｒ2 を比較することで、二次分極の範囲を決定している。
また、請求項３の場合には、一次分極を行った積層圧電体の段階で、分極方向が相反する層を有するので、長さ振動が励振される。そのため、一次分極の残留分極度Ｐｒ1 も二次分極の残留分極度Ｐｒ2 も共に、長さ振動の共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを電気機械結合係数Ｋに換算した値から求めることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図９は所定のＰＺＴ系圧電セラミックスについて、一次分極の残留分極度Ｐｒ1 ＝５０ｋＨｚとした場合に、二次分極の印加電圧を変化させた時の短冊での分極軸が反転する層（分極反転層と呼ぶ）の分極度Ｐｒ2 の変化を示し、図１０は図９のＡ〜Ｆの各点における分極度分布を示している。なお、参考までに、図９には印加電圧を変化させた時の圧電体層（正分極層と呼ぶ）の分極度の変化も図示してある。圧電体層の厚みは０．５６ｍｍとした。
【００１９】
図９，図１０から明らかなように、分極反転層では二次分極の電圧上昇に伴って減極し、約９００ｖで分極軸が反転し、それ以後は分極度が上昇する。分極反転後、二次分極の電圧が約１０００ｖ付近になると、分極反転層の残留分極度Ｐｒ2 が約５０ｋＨｚとなり、一次分極の残留分極度Ｐｒ1 とほぼ等しくなる。二次分極の電圧が９００ｖ〜約１０００ｖ付近になるまでの間（Ｄ点，Ｅ点参照）、分極度分布がほぼフラットあるいはやや凸状であり、約１０００ｖ付近以上になると（Ｆ点参照）、分極度分布が凹状になることがわかる。
よって、この場合の二次分極の電圧は、Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2 の範囲、つまり９００ｖ〜１０００ｖの範囲とすればよい。
【００２０】
なお、正分極層では５００ｖを越えるまでは分極度が０のままであるが、それ以後、分極度が上昇する。その間、短冊内での分極度分布は凹状のままで変化しない。
図９，図１０には、再分極を行った圧電体層については図示していないが、再分極層の場合には、二次分極における電界が一次分極における分極度を越えるまで変化せず、一次分極の分極度を越えて初めて、二次分極における分極度が優勢となる。その間、正分極層と同様に短冊内での分極度分布は凹状のままで変化しない。
【００２１】
以下に、本発明に係る積層圧電体の分極方法の実施例と比較例とを説明する。本実施例では、長さモード圧電共振子（ｄｆ＝５５ｋＨｚ）の材料としてＰＺＴ系の積層圧電体を用いた。
【００２２】
〔第１実施例〕
図１１は第１実施例の長さモード圧電共振子の製造工程を示す。
まず、圧電セラミックスよりなるグリーンシートの片面に銀，パラジウム，有機バインダなどを含む内部電極用の導電ペーストを塗布し、これを交互に積層し、約１２００℃で一体的に焼成して２０ｍｍ×３０ｍｍ×３．９ｍｍのブロック状の積層圧電体１を形成した。そして、このブロック１の表裏面に表裏電極５，６を形成し、恒温槽において表裏電極５，６間に直流電界を印加し、一次分極を行った（図１１の（ａ）参照）。
一次分極の条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、分極時間：１０ｍｉｎ、保持温度：７０℃で一定とした。その後、１５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行った。
【００２３】
次に、一次分極後のブロック状積層圧電体１の側面に、内部電極を交互に引き出すための側面電極３，４を形成した。そして、この積層圧電体１をダイサーを用いて、内部電極２ａ〜２ｃに対して垂直な方向に１素子分の幅で短冊状に切り出した。切り出された短冊１Ａに対し、側面電極３，４により直流電界を印加し、二次分極を行った（図１１の（ｂ）参照）。この時、個々の短冊１Ａの分極度を分極時間の制御により所定値に揃えた。
二次分極の条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、分極温度：７０℃で一定とした。分極時間を制御して、所定の分極度（長さモード素子の分極度ｄｆ＝５５ｋＨｚに対応した短冊の分極度）に調整した。その後、２５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行った。
【００２４】
二次分極の範囲は、二次分極後の短冊１Ａの長さ振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを電気機械結合係数Ｋに換算した値（残留分極度Ｐｒ2 ）が、一次分極後のブロック１の拡がり振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ＤＦを電気機械結合係数Ｋに換算した値（残留分極度Ｐｒ1 ）を越えない範囲としている。すなわち、
Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2
二次分極後の短冊１Ａに対し、側面に露出した電極を１つおきに絶縁材で被覆し、その上に銀電極を形成した。これをダイサーで切断して、１．５ｍｍ×１．５ｍｍ×３．８ｍｍの長さモード圧電共振子１Ｂを得た（図１１の（ｃ）参照）。この圧電共振子１Ｂの具体的構造は、図１と同様であるから、ここでは説明を省略する。
【００２５】
〔比較例〕
第１実施例と同様な方法でブロック状の積層圧電体を形成し、その側面に内部電極を交互に引き出すための側面電極を形成し、恒温槽において積層圧電体の側面電極に直流電界を印加し、分極を行った（図２参照）。
分極条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、保持温度：７０℃で一定とした。分極時間を制御して、所定の分極度ＤＦ＝２．０±０．２ｋＨｚに調整した。この場合の分極度ＤＦは、ブロックの拡がり振動モードの共振周波数と反共振周波数との差から求めた。
その後、２５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行い、所定寸法にカットして長さモード圧電共振子を得た。
【００２６】
上記のようにして得られた２種類の素子のインピーダンスの周波数特性を測定し、共振周波数と反共振周波数との差として、ｄｆ＝５５ｋＨｚの値を得た。
表１，表２は、特性分類工程での第１実施例と比較例の分極度ｄｆおよび共振周波数ｆｒのロット変動における比較を示す。σn-1 は標準偏差、ｒは最大値と最小値との差である。
【００２７】
【表１】
【００２８】
【表２】
【００２９】
表１，表２から明らかなように、ｄｆの標準偏差σn-1 の平均値で比較すると、第１実施例では０．９１ｋＨｚ、比較例では２．０４ｋＨｚであり、第１実施例は比較例に比べて、分極度ｄｆのばらつきを約１／２に改善できた。また、共振周波数ｆｒの標準偏差σn-1 の平均値で比較すると、第１実施例では１．０１ｋＨｚ、比較例では１．２８ｋＨｚであり、共振周波数ｆｒで約３０％のばらつきを改善できた。
【００３０】
〔第２実施例〕
図１２は第２実施例の長さモード圧電共振子の製造工程を示す。
この実施例では、ブロック１の段階で一次分極を複数回実施し（図１２の（ａ）および（ｂ）参照）、ブロック１全体に亘って分極軸を反転させたものである。この場合には、図４の分極反転と同様に、中央部と端部との差ΔＰ2 が小さくなるので、（ｃ）で短冊１Ａにカットした段階で、短冊１Ａ間および短冊１Ａ内での分極度ばらつき（凹状分布）が小さくなる。そのため、（ｃ）で二次分極を行うと、二次分極後の再分極された圧電体層１ｃの凹状の分極度分布が均一化される。
なお、（ｂ）の工程の回数は１回に限らず、複数回実施してもよい。
【００３１】
表３は、第２実施例における分極度ｄｆおよび共振周波数ｆｒのロット変動を示す。
表３から明らかなように、分極度ｄｆの標準偏差σn-1 の平均値は０．８５ｋＨｚ、共振周波数ｆｒの標準偏差σn-1 の平均値は０．９６ｋＨｚであり、第１実施例に比べてさらにばらつきを改善できた。
【００３２】
【表３】
【００３３】
〔第３実施例〕
図１３は第３実施例の長さモード圧電共振子の製造工程を示す。
圧電セラミックスよりなるグリーンシートの片面に銀，パラジウム，有機バインダなどを含む内部電極用の導電ペーストを塗布し、これを交互に積層し、約１２００℃で一体的に焼成して２０ｍｍ×３０ｍｍ×３．９ｍｍのブロック状の積層圧電体１を形成した。そして、積層圧電体１の側面に内部電極を交互に引き出すための側面電極３，４を形成し、恒温槽において側面電極間に直流電界を印加し、一次分極を行った（図１３の（ａ）参照）。
一次分極の条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、分極時間：１０ｍｉｎ、保持温度：７０℃で一定とした。その後、１５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行った。
【００３４】
次に、エージング後のブロック状積層圧電体１をダイサーを用いて、内部電極に対して垂直な方向に１素子分の幅で短冊状に切り出した。切り出された短冊１Ａに対し、側面電極３，４により直流電界を印加し、二次分極を行った（図１３の（ｂ）参照）。この時、短冊１Ａへの電圧印加の方向は、一次分極と逆方向に行った。個々の短冊１Ａの分極度を分極時間の制御により所定値に一定に揃えた。二次分極の条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、分極温度：７０℃で一定とした。分極時間を制御して、所定の分極度（長さモード素子の分極度ｄｆ＝５５ｋＨｚに対応した短冊の分極度）に調整した。その後、２５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行った。
【００３５】
ここでも、二次分極の範囲は、二次分極後の短冊の長さ振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを電気機械結合係数Ｋに換算した残留分極度Ｐｒ2 が、一次分極後のブロックの長さ振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ＤＦを電気機械結合係数Ｋに換算した残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲としている。すなわち、
Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2
二次分極後の短冊１Ａに対し、側面に露出した電極を１つおきに絶縁材で被覆し、その上に銀電極を形成した。これをダイサーで切断して、１．５ｍｍ×１．５ｍｍ×３．８ｍｍの長さモード圧電共振子１Ｂを得た。この圧電共振子１Ｂの構造も第１実施例の圧電共振子と同じである。
【００３６】
第３実施例における圧電共振子と、比較例における圧電共振子について、そのインピーダンスの周波数特性を測定し、共振周波数と反共振周波数との差としてｄｆ＝５５ｋＨｚの値を得た。
表４は、第３実施例における分極度ｄｆおよび共振周波数ｆｒのロット変動を示す。
表４から明らかなように、分極度ｄｆの標準偏差σn-1 の平均値は１．０３ｋＨｚ、共振周波数ｆｒの標準偏差σn-1 の平均値は０．９２ｋＨｚであり、分極度ｄｆのばらつきは第１実施例に比べてやや大きいが、共振周波数ｆｒのばらつきは３つの実施例の中で最も小さい。
【００３７】
【表４】
【００３８】
本発明の分極方法は、上記実施例に限定されるものではない。
例えば、図１１〜図１３では、短冊状の圧電体１Ａに対して１回だけ二次分極を行なったが、二次分極を複数回繰り返してもよい。つまり、電界方向を逆にして分極軸の反転を複数回繰り返してもよい。
また、量産性および分極度分布を考慮して、ブロック状の積層圧電体に対して一次分極を行い、短冊状の積層圧電体に対して二次分極を行うようにしたが、ブロック状の積層圧電体に対して一次分極および二次分極を行ってもよいし、短冊状の積層圧電体に対して一次分極および二次分極を行ってもよい。
【００３９】
なお、第１実施例および第２実施例（図５，６，１１，１２）において、二次分極後、分極軸が反転した圧電体層の残留分極度を仮にＰｒ2 として説明した。これは理解しやすいようにモデル化したものであって、実際にはこれらの例では二次分極後の短冊全体（再分極層および分極軸が反転した圧電体層を含む）を長さ振動モードで励振させて、その残留分極度をＰｒ2 とした。
【００４０】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項１に記載の方法によれば、積層圧電体を厚み方向に一様に分極する一次分極を行った後、内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させる二次分極を行う場合に、分極軸が反転した圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 が一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で二次分極を行うようにしたので、分極軸が反転した圧電体層の分極度分布が凸状あるいはフラットとなる範囲で二次分極を停止させることができる。そのため、分極軸が反転した圧電体層の分極度分布が凸状あるいはフラットで、分極軸が反転しない圧電体層の分極度分布が凹状であるから、積層圧電体全体としてみると、ほぼ均一な分極度分布が得られる。その結果、積層圧電体を切り出して使用するとき、その使用範囲が拡がり、収率が向上する。
【００４１】
また、請求項３に記載の方法によれば、内部電極の両側の圧電体層を互いに逆向きに分極する一次分極を行った後、内部電極の両側の圧電体層の分極軸を反転させる二次分極を行う場合に、分極軸が反転した圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 が一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で二次分極を行うようにしたので、反転分極しない圧電体層が残らず、分極度分布を一層均一化できるとともに、隣合う圧電体層の分極度がほぼ等しいので、良好な共振特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が対象とする圧電共振子の一例の斜視図である。
【図２】従来の積層圧電体の分極方法を示す図である。
【図３】図２の方法で分極されたブロック状圧電体の分極度分布を示す斜視図である。
【図４】初期分極時と分極反転時の分極度分布を示す図である。
【図５】請求項１にかかる分極方法の一例を示す工程図である。
【図６】図５に示す分極方法を行った時の隣合う二つの圧電体層の分極度分布の変化を示す図である。
【図７】請求項３にかかる分極方法の一例を示す工程図である。
【図８】図７に示す分極方法を行った時の隣合う二つの圧電体層の分極度分布の変化を示す図である。
【図９】二次分極の印加電圧を変化させたとき、分極反転層の分極度の変化を示す図である。
【図１０】図９のＡ〜Ｆの各点における分極度分布図である。
【図１１】本発明の第１実施例における分極方法の一例を示す工程図である。
【図１２】本発明の第２実施例における分極方法の一例を示す工程図である。
【図１３】本発明の第３実施例における分極方法の一例を示す工程図である。
【符号の説明】
１ ブロック状積層圧電体
１Ａ 短冊状積層圧電体
１Ｂ 素子状積層圧電体
１ａ〜１ｄ 圧電体層
２ａ〜２ｃ 内部電極
３，４ 側面電極
５，６ 表裏面電極
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば携帯電話のフィルタなどに使用される積層圧電体の分極方法、特に複数の圧電体層と複数の内部電極とを交互に積層し、隣合う圧電体層を厚み方向に互いに逆方向に分極する積層圧電体の分極方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、特性の設計自由度が大きく、スプリアスが小さく、共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを大きくできる長さモード圧電共振子が提供されている（特開平１０−４３３０号公報）。
図１はこの長さモード圧電共振子１０の一例を示す。圧電共振子１０は、複数の圧電体層１２と複数の内部電極１３とが交互に積層された基体１１を持ち、内部電極１３の両側の圧電体層１２が互いに逆向きに分極されている。基体１１の対向面には、１つおきに内部電極１３を被覆する絶縁膜１４，１５が形成され、さらにその上に外部電極１６，１７が形成されている。そのため、外部電極１６，１７は内部電極１３に対して１つおきに交互に接続される。
このような構造の圧電共振子１０の場合、圧電体層１２の分極度が特性に大きく影響するので、各素子内での分極度バラツキおよび素子間での分極度バラツキをできるだけ小さくすることが求められる。
【０００３】
この種の圧電共振子は、ブロック状の積層圧電体を形成し、これを分極した後、細分することで製作する。積層圧電体の分極処理は、図２に示す方法で行なっている。１はブロック状の圧電セラミックスよりなる積層圧電体であり、ここでは説明を簡単にするため４層の圧電体層１ａ〜１ｄで構成されたものを示すが、実際には多層に積層されたものである。圧電体層１ａ〜１ｄの間には内部電極２ａ〜２ｃが設けられ、内部電極２ａ〜２ｃは圧電体１の外側面に交互に引き出され、側面電極３，４と接続されている。そして、側面電極３，４間に直流電界を印加することにより、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃを矢印Ｐで示すように互いに逆向きに分極し、所定の分極度を得ている。
【０００４】
ところが、図２のような方法では、内部電極２ａ〜２ｃの端部に電界が集中するため、分極度分布が均一にならないという問題があった。図３は１つの圧電体層における分極度分布の一例を示し、斜線は分極度を表す。図から分かるように、圧電体１に対し厚み方向に電界を印加すると、圧電体１の四隅部の分極度が著しく高くなり（凹状分布）、均一な分極度分布が得られない。その結果、このような分極度分布が不均一な圧電体層を積層したもの（ブロック）を短冊状に切り出し、さらに短冊をカットして素子として使用する場合、ブロックの周辺部の圧電体は使用できなくなり、圧電体の使用範囲（収率）が大きく制限されてしまうという問題があった。
【０００５】
例えばラダー型フィルタに用いられる直列共振子（ｆｒ＝４５０ｋＨｚ，ｄｆ＝５５ｋＨｚ）用の積層圧電体を図２のような方法で分極すると、ブロック内の分極度ｄｆのばらつきは約１０ｋＨｚにも及ぶ大きな分布を示す。そのため、良品として使用できる素子はブロック中央付近から切り出された素子のみで、ブロック周辺の素子は殆ど分極不良となっていた。
【０００６】
そこで、本願出願人は、積層圧電体の対向する主面の外部電極に電界を印加して、積層圧電体の厚み方向に一方向の分極（初期分極）を行った後、内部電極を交互に外部に引き出す側面電極を形成し、側面電極間に電界を印加して内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させ（分極反転）、所望の分極度を得る方法を提案した（特願２０００−５２７４３号）。この方法は、図４に示すように、初期分極の段階では周辺部と中央部とでΔＰ1 の分極度ばらつきがある場合でも、逆方向の電界をかけて分極軸を反転させると、ΔＰ2 まで分極度ばらつきを小さくでき、初期分極時の分極度分布の不均一が是正されるという知見に基づいている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、分極軸が反転した圧電体層の飽和分極度Ｐmax を、初期分極時の飽和分極度Ｐmax とほぼ等しくなるまで分極すると、分極度ばらつきが小さくなったとは言え、分極反転させた圧電体層の分極度分布は反転前と同様に凹状になってしまう。そのため、上記の方法で分極軸が逆向きの圧電体層が交互に積層された積層圧電体を構成した場合、凹状分布を持つ分極反転した圧電体層と凹状分布を持つ分極反転しない圧電体層とが交互に積層されることになり、積層圧電体全体としてみると、必ずしも均一な分極度分布が得られない可能性があった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、積層圧電体全体の分極度分布をできるだけ均一にし、収率の向上を図る積層圧電体の分極方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、請求項１または３に記載の発明により達成される。
すなわち、請求項１に記載の発明は、複数の圧電体層と複数の内部電極とを交互に積層し、隣合う圧電体層を厚み方向に互いに逆方向に分極する長さモード圧電共振子用積層圧電体の分極方法において、上記積層圧電体に対し厚み方向に一方向の電界を印加し、厚み方向に一様に分極する一次分極工程であって、分極度分布を積層圧電体の端部の分極度が中央部の分極度より大きい凹状とする工程と、上記内部電極の両側の圧電体層に互いに逆向きの電界を印加し、内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させる二次分極工程であって、上記内部電極の片側の圧電体層の分極軸が反転した後、この圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 がこの圧電体層の中央部における一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で停止する二次分極工程と、を備えたことを特徴とする積層圧電体の分極方法を提供する。
また、請求項３に記載の発明は、複数の圧電体層と複数の内部電極とを交互に積層し、隣合う圧電体層を厚み方向に互いに逆方向に分極する長さモード圧電共振子用積層圧電体の分極方法において、上記内部電極の両側の圧電体層に互いに逆向きの電界を印加し、内部電極の両側の圧電体層を互いに逆向きに分極する一次分極工程であって、分極度分布を圧電体層の端部の分極度が中央部の分極度より大きい凹状とする工程と、上記内部電極の両側の圧電体層に、一次分極工程における電界と反対方向の電界を互いに逆向きに印加し、内部電極の両側の圧電体層の分極軸を反転させる二次分極工程であって、上記内部電極の両側の圧電体層の分極軸が反転した後、この圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 がこの圧電体層の中央部における一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で停止する二次分極工程と、を備えたことを特徴とする積層圧電体の分極方法を提供する。
【００１０】
請求項１では、積層圧電体に対し厚み方向に一方向の電界を印加し、厚み方向に一様に分極する一次分極を行う。次に、内部電極の両側の圧電体層に逆向きの電界を印加し、内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させる二次分極を行う。
図５は請求項１にかかる分極方法の一例を示す。まず、積層圧電体１の表裏面に表裏電極５，６を形成し、積層圧電体１に対し厚み方向の直流電界を印加して厚み方向に一方向に分極（一次分極）する。その後、内部電極２ａ〜２ｃを積層圧電体１の外側面に交互に引き出し、側面電極３，４と接続する。そして、側面電極３，４間に直流電界を印加することにより、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃに互いに逆向きの電界を印加し、内部電極２ｂの片側の圧電体層１ｂの分極軸のみを反転させる（二次分極）。なお、内部電極２ｂの他側の圧電体層１ｃは再分極されるだけで、分極軸は反転しない。
【００１１】
本発明者は、二次分極時の分極条件を変えて種々実験を行ったところ、二次分極の進行度（残留分極度）によって、分極軸が反転した圧電体層１ｂの分極度分布が変化することを発見した。
図６は二次分極の進行に伴う２つの圧電体層１ｂ，１ｃにおける分極度分布の変化の一例をモデル化して示したものである。矢印は分極方向を示す。
（ａ）は一次分極後の分極度分布であり、共に凹状分布を有する。（ｂ）〜（ｄ）は二次分極の進行に伴う分極度分布の変化を示す。なお、Ｐｒ1 は圧電体層の中央部における一次分極による残留分極度、Ｐｒ2 は圧電体層の中央部における二次分極による残留分極度を示す。
図６から明らかなように、圧電体層１ｂの分極度分布は、分極軸が反転した当初は（ｂ），（ｃ）のように凸状あるいはフラットな分布を示すが、やがて（ｄ）のように凹状に変化する。なお、図６では（ｂ），（ｃ）における圧電体層１ｂの分極度分布が凸状の例を示すが、材料によってはほぼフラットな分布を示すものもある。このように二次分極が進み過ぎると、圧電体層１ｂの分極度分布は一次分極時と同様な凹状の分布（ただし分極方向は逆）になってしまう。なお、再分極された圧電体層１ｃの分極度分布は依然として凹状のままである。
したがって、（ｄ）のように逆分極が進み過ぎた状態では、分極反転した圧電体層１ｂの分極度分布と分極反転しない圧電体層１ｃの分極度分布とが共に凹状となり、圧電体全体としてみると均一な分極度分布にならない。
【００１２】
そこで、請求項１では、分極軸が反転した圧電体層１ｂの分極度分布が凸状あるいはフラットとなる範囲で二次分極を停止するものである。つまり、二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 が一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で二次分極している。
Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2
このようにすれば、分極軸が反転した圧電体層１ｂの分極度分布が凸状あるいはフラットで、分極軸が反転しない圧電体層１ｃの分極度分布が凹状であるから、両層の総和として凸状の分極度分布と凹状の分極度分布とが相殺し合うか、あるいは凹状分布の不均一度が相対的に低減され、積層圧電体１全体としてみると、ほぼ均一な分極度分布が得られる。その結果、圧電体の使用範囲が拡がり、収率が向上する。
なお、Ｐｒ1 ＞Ｐｒ2 の場合には、２つの層１ｂ，１ｃの分極度の大きさがアンバランスになるが、分極度分布がほぼ均一であれば、長さ振動モード素子としての共振特性には悪影響がない。
特に、Ｐｒ2 ≒Ｐｒ1 とすれば、図６の（ｃ）のように２つの層１ｂ，１ｃの分極度の大きさがほぼ等しく、均一な分布の積層圧電体と等価になり、最も良好な特性となる。
【００１３】
請求項２では、一次分極工程が、積層圧電体の厚み方向に第１の方向の電界を印加する第１の工程と、積層圧電体の厚み方向に第１の方向と逆方向の電界を印加する第２の工程とを含み、第２の工程によって第１の工程で形成された積層圧電体の分極軸を一様に反転させることを特徴としている。
すなわち、一次分極、つまり積層圧電体に対し厚み方向に一様に分極する工程を１回だけ実施してもよいが、図４の初期分極と同様に、分極度分布が凹状になり、中央部と端部との差ΔＰ1 が大きい。そこで、一次分極を複数回実施し、積層圧電体全体にわたって分極軸を反転させれば、図４の分極反転と同様に、中央部と端部との差ΔＰ2 が小さくなり、分極度分布の不均一を是正することができる。このように一次分極における分極度分布の不均一を是正することで、二次分極後の圧電体層の分極度分布の不均一も是正される。
なお、第２の工程の回数は１回に限らず、複数回実施してもよい。
【００１４】
請求項３では、まず内部電極の両側の圧電体層に互いに逆向きの電界を印加し、内部電極の両側の圧電体層を互いに逆向きに分極する一次分極を行う。一次分極の後、内部電極の両側の圧電体層に、上記電界と反対方向の電界を互いに逆向きに印加し、内部電極の両側の圧電体層の分極軸を反転させる二次分極を行う。つまり、内部電極の両側の圧電体層が最初の分極軸方向と反転する。
図７は請求項３にかかる分極方法の一例を示す。まず、内部電極２ａ〜２ｃを積層圧電体１の外側面に交互に引き出し、これら内部電極２ａ〜２ｃと導通する側面電極３，４を形成する。そして、側面電極３，４間に直流電界を印加することにより、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃを互いに逆向きに分極する（一次分極）。この分極工程は、従来（図２参照）における分極工程と同じである。次に、側面電極３，４間に逆方向の直流電界を印加し、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃの分極軸を同時に反転させる（二次分極）。
この場合も、分極軸が反転した圧電体層１ｂ，１ｃにおける二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 が一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で、二次分極を行う。
この場合には、内部電極２ｂの両側の圧電体層１ｂ，１ｃの分極軸が反転し、再分極層が存在しないので、２つの層１ｂ，１ｃの分極条件が同じになり、分極度分布の均一化を図るとともに、２つの層１ｂ，１ｃの分極度の大きさを同じにできる。
【００１５】
図８は図７に示す方法で２次分極を行った場合の圧電体層１ｂ，１ｃにおける分極度分布の変化を示す。矢印は分極方向を示す。
（ａ）は一次分極後の分極度分布であり、共に凹状分布を有する。（ｂ）〜（ｄ）は二次分極の進行に伴う分極度分布の変化を示す。二次分極によって分極軸が反転した後、２つの層１ｂ，１ｃの分極度がほぼ等しく、その分極度分布が共にフラットあるいはやや凸状の分布となり、両層１ｂ，１ｃの分極度分布の不均一度が低減される。そして、残留分極度Ｐｒ2 を一次分極による残留分極度Ｐｒ1 とほぼ一致するまで二次分極を行うと、（ｃ）のように２つの層１ｂ，１ｃが共にフラットあるいはやや凸状の分布で、かつ分極度も高くなり、理想的な分布となる。二次分極がさらに進行すると、（ｄ）のように凹状の分布となる。
したがって、Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2 となるように二次分極条件を設定することで、全体として均一な分極度分布を持つ積層圧電体１を得ることができる。
【００１６】
請求項４のように、一次分極工程をブロック状の積層圧電体に対して行ない、二次分極工程を短冊状の積層圧電体に対して行うのが望ましい。
すなわち、生産性を高めるためには、一次分極および二次分極を共にブロック状の積層圧電体に対して行なうのがよいが、一次分極時における分極度分布の不均一は図３に示すように３次元的に現れるので、ブロック状態のまま二次分極を行うと、分極度分布の不均一を解消しにくい。
そこで、短冊状に切り出した後で二次分極を行なえば、各短冊の分極度分布に応じて電界強度や時間を設定できるので、短冊間および短冊内の分極度バラツキを小さくすることが可能となる。
【００１７】
請求項１の場合には、一次分極を行った積層圧電体は、厚み方向に一様に分極されているので、長さ振動が励振されない。そこで、拡がり振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ＤＦを求め、これを分極度としている。一方、二次分極を行った積層圧電体は分極方向が相反する層を有するので、長さ振動が励振され、この長さ振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを求めて分極度としている。このように振動モードの異なる２種類の分極度をそのまま比較できないので、一次分極後の積層圧電体の拡がり振動のＤＦを電気機械結合係数Ｋに換算して残留分極度Ｐｒ1 とし、二次分極後の積層圧電体の長さ振動のｄｆを電気機械結合係数Ｋに換算して残留分極度Ｐｒ2 とし、この残留分極度Ｐｒ1 ，Ｐｒ2 を比較することで、二次分極の範囲を決定している。
また、請求項３の場合には、一次分極を行った積層圧電体の段階で、分極方向が相反する層を有するので、長さ振動が励振される。そのため、一次分極の残留分極度Ｐｒ1 も二次分極の残留分極度Ｐｒ2 も共に、長さ振動の共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを電気機械結合係数Ｋに換算した値から求めることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図９は所定のＰＺＴ系圧電セラミックスについて、一次分極の残留分極度Ｐｒ1 ＝５０ｋＨｚとした場合に、二次分極の印加電圧を変化させた時の短冊での分極軸が反転する層（分極反転層と呼ぶ）の分極度Ｐｒ2 の変化を示し、図１０は図９のＡ〜Ｆの各点における分極度分布を示している。なお、参考までに、図９には印加電圧を変化させた時の圧電体層（正分極層と呼ぶ）の分極度の変化も図示してある。圧電体層の厚みは０．５６ｍｍとした。
【００１９】
図９，図１０から明らかなように、分極反転層では二次分極の電圧上昇に伴って減極し、約９００ｖで分極軸が反転し、それ以後は分極度が上昇する。分極反転後、二次分極の電圧が約１０００ｖ付近になると、分極反転層の残留分極度Ｐｒ2 が約５０ｋＨｚとなり、一次分極の残留分極度Ｐｒ1 とほぼ等しくなる。二次分極の電圧が９００ｖ〜約１０００ｖ付近になるまでの間（Ｄ点，Ｅ点参照）、分極度分布がほぼフラットあるいはやや凸状であり、約１０００ｖ付近以上になると（Ｆ点参照）、分極度分布が凹状になることがわかる。
よって、この場合の二次分極の電圧は、Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2 の範囲、つまり９００ｖ〜１０００ｖの範囲とすればよい。
【００２０】
なお、正分極層では５００ｖを越えるまでは分極度が０のままであるが、それ以後、分極度が上昇する。その間、短冊内での分極度分布は凹状のままで変化しない。
図９，図１０には、再分極を行った圧電体層については図示していないが、再分極層の場合には、二次分極における電界が一次分極における分極度を越えるまで変化せず、一次分極の分極度を越えて初めて、二次分極における分極度が優勢となる。その間、正分極層と同様に短冊内での分極度分布は凹状のままで変化しない。
【００２１】
以下に、本発明に係る積層圧電体の分極方法の実施例と比較例とを説明する。本実施例では、長さモード圧電共振子（ｄｆ＝５５ｋＨｚ）の材料としてＰＺＴ系の積層圧電体を用いた。
【００２２】
〔第１実施例〕
図１１は第１実施例の長さモード圧電共振子の製造工程を示す。
まず、圧電セラミックスよりなるグリーンシートの片面に銀，パラジウム，有機バインダなどを含む内部電極用の導電ペーストを塗布し、これを交互に積層し、約１２００℃で一体的に焼成して２０ｍｍ×３０ｍｍ×３．９ｍｍのブロック状の積層圧電体１を形成した。そして、このブロック１の表裏面に表裏電極５，６を形成し、恒温槽において表裏電極５，６間に直流電界を印加し、一次分極を行った（図１１の（ａ）参照）。
一次分極の条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、分極時間：１０ｍｉｎ、保持温度：７０℃で一定とした。その後、１５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行った。
【００２３】
次に、一次分極後のブロック状積層圧電体１の側面に、内部電極を交互に引き出すための側面電極３，４を形成した。そして、この積層圧電体１をダイサーを用いて、内部電極２ａ〜２ｃに対して垂直な方向に１素子分の幅で短冊状に切り出した。切り出された短冊１Ａに対し、側面電極３，４により直流電界を印加し、二次分極を行った（図１１の（ｂ）参照）。この時、個々の短冊１Ａの分極度を分極時間の制御により所定値に揃えた。
二次分極の条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、分極温度：７０℃で一定とした。分極時間を制御して、所定の分極度（長さモード素子の分極度ｄｆ＝５５ｋＨｚに対応した短冊の分極度）に調整した。その後、２５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行った。
【００２４】
二次分極の範囲は、二次分極後の短冊１Ａの長さ振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを電気機械結合係数Ｋに換算した値（残留分極度Ｐｒ2 ）が、一次分極後のブロック１の拡がり振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ＤＦを電気機械結合係数Ｋに換算した値（残留分極度Ｐｒ1 ）を越えない範囲としている。すなわち、
Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2
二次分極後の短冊１Ａに対し、側面に露出した電極を１つおきに絶縁材で被覆し、その上に銀電極を形成した。これをダイサーで切断して、１．５ｍｍ×１．５ｍｍ×３．８ｍｍの長さモード圧電共振子１Ｂを得た（図１１の（ｃ）参照）。この圧電共振子１Ｂの具体的構造は、図１と同様であるから、ここでは説明を省略する。
【００２５】
〔比較例〕
第１実施例と同様な方法でブロック状の積層圧電体を形成し、その側面に内部電極を交互に引き出すための側面電極を形成し、恒温槽において積層圧電体の側面電極に直流電界を印加し、分極を行った（図２参照）。
分極条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、保持温度：７０℃で一定とした。分極時間を制御して、所定の分極度ＤＦ＝２．０±０．２ｋＨｚに調整した。この場合の分極度ＤＦは、ブロックの拡がり振動モードの共振周波数と反共振周波数との差から求めた。
その後、２５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行い、所定寸法にカットして長さモード圧電共振子を得た。
【００２６】
上記のようにして得られた２種類の素子のインピーダンスの周波数特性を測定し、共振周波数と反共振周波数との差として、ｄｆ＝５５ｋＨｚの値を得た。
表１，表２は、特性分類工程での第１実施例と比較例の分極度ｄｆおよび共振周波数ｆｒのロット変動における比較を示す。σn-1 は標準偏差、ｒは最大値と最小値との差である。
【００２７】
【表１】
【表２】
表１，表２から明らかなように、ｄｆの標準偏差σn-1 の平均値で比較すると、第１実施例では０．９１ｋＨｚ、比較例では２．０４ｋＨｚであり、第１実施例は比較例に比べて、分極度ｄｆのばらつきを約１／２に改善できた。また、共振周波数ｆｒの標準偏差σn-1 の平均値で比較すると、第１実施例では１．０１ｋＨｚ、比較例では１．２８ｋＨｚであり、共振周波数ｆｒで約３０％のばらつきを改善できた。
【００３０】
〔第２実施例〕
図１２は第２実施例の長さモード圧電共振子の製造工程を示す。
この実施例では、ブロック１の段階で一次分極を複数回実施し（図１２の（ａ）および（ｂ）参照）、ブロック１全体に亘って分極軸を反転させたものである。この場合には、図４の分極反転と同様に、中央部と端部との差ΔＰ2 が小さくなるので、（ｃ）で短冊１Ａにカットした段階で、短冊１Ａ間および短冊１Ａ内での分極度ばらつき（凹状分布）が小さくなる。そのため、（ｃ）で二次分極を行うと、二次分極後の再分極された圧電体層１ｃの凹状の分極度分布が均一化される。
なお、（ｂ）の工程の回数は１回に限らず、複数回実施してもよい。
【００３１】
表３は、第２実施例における分極度ｄｆおよび共振周波数ｆｒのロット変動を示す。
表３から明らかなように、分極度ｄｆの標準偏差σn-1 の平均値は０．８５ｋＨｚ、共振周波数ｆｒの標準偏差σn-1 の平均値は０．９６ｋＨｚであり、第１実施例に比べてさらにばらつきを改善できた。
【００３２】
【表３】
〔第３実施例〕
図１３は第３実施例の長さモード圧電共振子の製造工程を示す。
圧電セラミックスよりなるグリーンシートの片面に銀，パラジウム，有機バインダなどを含む内部電極用の導電ペーストを塗布し、これを交互に積層し、約１２００℃で一体的に焼成して２０ｍｍ×３０ｍｍ×３．９ｍｍのブロック状の積層圧電体１を形成した。そして、積層圧電体１の側面に内部電極を交互に引き出すための側面電極３，４を形成し、恒温槽において側面電極間に直流電界を印加し、一次分極を行った（図１３の（ａ）参照）。
一次分極の条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、分極時間：１０ｍｉｎ、保持温度：７０℃で一定とした。その後、１５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行った。
【００３４】
次に、エージング後のブロック状積層圧電体１をダイサーを用いて、内部電極に対して垂直な方向に１素子分の幅で短冊状に切り出した。切り出された短冊１Ａに対し、側面電極３，４により直流電界を印加し、二次分極を行った（図１３の（ｂ）参照）。この時、短冊１Ａへの電圧印加の方向は、一次分極と逆方向に行った。個々の短冊１Ａの分極度を分極時間の制御により所定値に一定に揃えた。二次分極の条件は、電界：１．５ｋｖ／ｍｍ、分極温度：７０℃で一定とした。分極時間を制御して、所定の分極度（長さモード素子の分極度ｄｆ＝５５ｋＨｚに対応した短冊の分極度）に調整した。その後、２５０℃×１ｈｒの条件でエージング処理を行った。
【００３５】
ここでも、二次分極の範囲は、二次分極後の短冊の長さ振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ｄｆを電気機械結合係数Ｋに換算した残留分極度Ｐｒ2 が、一次分極後のブロックの長さ振動モードの共振周波数と反共振周波数との差ＤＦを電気機械結合係数Ｋに換算した残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲としている。すなわち、
Ｐｒ1 ≧Ｐｒ2
二次分極後の短冊１Ａに対し、側面に露出した電極を１つおきに絶縁材で被覆し、その上に銀電極を形成した。これをダイサーで切断して、１．５ｍｍ×１．５ｍｍ×３．８ｍｍの長さモード圧電共振子１Ｂを得た。この圧電共振子１Ｂの構造も第１実施例の圧電共振子と同じである。
【００３６】
第３実施例における圧電共振子と、比較例における圧電共振子について、そのインピーダンスの周波数特性を測定し、共振周波数と反共振周波数との差としてｄｆ＝５５ｋＨｚの値を得た。
表４は、第３実施例における分極度ｄｆおよび共振周波数ｆｒのロット変動を示す。
表４から明らかなように、分極度ｄｆの標準偏差σn-1 の平均値は１．０３ｋＨｚ、共振周波数ｆｒの標準偏差σn-1 の平均値は０．９２ｋＨｚであり、分極度ｄｆのばらつきは第１実施例に比べてやや大きいが、共振周波数ｆｒのばらつきは３つの実施例の中で最も小さい。
【００３７】
【表４】
本発明の分極方法は、上記実施例に限定されるものではない。
例えば、図１１〜図１３では、短冊状の圧電体１Ａに対して１回だけ二次分極を行なったが、二次分極を複数回繰り返してもよい。つまり、電界方向を逆にして分極軸の反転を複数回繰り返してもよい。
また、量産性および分極度分布を考慮して、ブロック状の積層圧電体に対して一次分極を行い、短冊状の積層圧電体に対して二次分極を行うようにしたが、ブロック状の積層圧電体に対して一次分極および二次分極を行ってもよいし、短冊状の積層圧電体に対して一次分極および二次分極を行ってもよい。
【００３９】
なお、第１実施例および第２実施例（図５，６，１１，１２）において、二次分極後、分極軸が反転した圧電体層の残留分極度を仮にＰｒ2 として説明した。これは理解しやすいようにモデル化したものであって、実際にはこれらの例では二次分極後の短冊全体（再分極層および分極軸が反転した圧電体層を含む）を長さ振動モードで励振させて、その残留分極度をＰｒ2 とした。
【００４０】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項１に記載の方法によれば、積層圧電体を厚み方向に一様に分極する一次分極を行った後、内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させる二次分極を行う場合に、分極軸が反転した圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 が一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で二次分極を行うようにしたので、分極軸が反転した圧電体層の分極度分布が凸状あるいはフラットとなる範囲で二次分極を停止させることができる。そのため、分極軸が反転した圧電体層の分極度分布が凸状あるいはフラットで、分極軸が反転しない圧電体層の分極度分布が凹状であるから、積層圧電体全体としてみると、ほぼ均一な分極度分布が得られる。その結果、積層圧電体を切り出して使用するとき、その使用範囲が拡がり、収率が向上する。
【００４１】
また、請求項３に記載の方法によれば、内部電極の両側の圧電体層を互いに逆向きに分極する一次分極を行った後、内部電極の両側の圧電体層の分極軸を反転させる二次分極を行う場合に、分極軸が反転した圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 が一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で二次分極を行うようにしたので、反転分極しない圧電体層が残らず、分極度分布を一層均一化できるとともに、隣合う圧電体層の分極度がほぼ等しいので、良好な共振特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が対象とする圧電共振子の一例の斜視図である。
【図２】従来の積層圧電体の分極方法を示す図である。
【図３】図２の方法で分極されたブロック状圧電体の分極度分布を示す斜視図である。
【図４】初期分極時と分極反転時の分極度分布を示す図である。
【図５】請求項１にかかる分極方法の一例を示す工程図である。
【図６】図５に示す分極方法を行った時の隣合う二つの圧電体層の分極度分布の変化を示す図である。
【図７】請求項３にかかる分極方法の一例を示す工程図である。
【図８】図７に示す分極方法を行った時の隣合う二つの圧電体層の分極度分布の変化を示す図である。
【図９】二次分極の印加電圧を変化させたとき、分極反転層の分極度の変化を示す図である。
【図１０】図９のＡ〜Ｆの各点における分極度分布図である。
【図１１】本発明の第１実施例における分極方法の一例を示す工程図である。
【図１２】本発明の第２実施例における分極方法の一例を示す工程図である。
【図１３】本発明の第３実施例における分極方法の一例を示す工程図である。
【符号の説明】
１ ブロック状積層圧電体
１Ａ 短冊状積層圧電体
１Ｂ 素子状積層圧電体
１ａ〜１ｄ 圧電体層
２ａ〜２ｃ 内部電極
３，４ 側面電極
５，６ 表裏面電極
Claims (4)
- 複数の圧電体層と複数の内部電極とを交互に積層し、隣合う圧電体層を厚み方向に互いに逆方向に分極する長さモード圧電共振子用積層圧電体の分極方法において、
上記積層圧電体に対し厚み方向に一方向の電界を印加し、厚み方向に一様に分極する一次分極工程であって、分極度分布を積層圧電体の端部の分極度が中央部の分極度より大きい凹状とする工程と、
上記内部電極の両側の圧電体層に互いに逆向きの電界を印加し、内部電極の片側の圧電体層の分極軸のみを反転させる二次分極工程であって、上記内部電極の片側の圧電体層の分極軸が反転した後、この圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 がこの圧電体層の中央部における一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で停止する二次分極工程と、を備えたことを特徴とする積層圧電体の分極方法。 - 上記一次分極工程は、上記積層圧電体の厚み方向に第１の方向の電界を印加する第１の工程と、上記積層圧電体の厚み方向に第１の方向と逆方向の電界を印加する第２の工程とを含み、
上記第２の工程によって第１の工程で形成された積層圧電体の分極軸を一様に反転させることを特徴とする請求項１に記載の積層圧電体の分極方法。 - 複数の圧電体層と複数の内部電極とを交互に積層し、隣合う圧電体層を厚み方向に互いに逆方向に分極する長さモード圧電共振子用積層圧電体の分極方法において、
上記内部電極の両側の圧電体層に互いに逆向きの電界を印加し、内部電極の両側の圧電体層を互いに逆向きに分極する一次分極工程であって、分極度分布を圧電体層の端部の分極度が中央部の分極度より大きい凹状とする工程と、
上記内部電極の両側の圧電体層に、一次分極工程における電界と反対方向の電界を互いに逆向きに印加し、内部電極の両側の圧電体層の分極軸を反転させる二次分極工程であって、上記内部電極の両側の圧電体層の分極軸が反転した後、この圧電体層の中央部における二次分極後の残留分極度Ｐｒ2 がこの圧電体層の中央部における一次分極後の残留分極度Ｐｒ1 を越えない範囲で停止する二次分極工程と、を備えたことを特徴とする積層圧電体の分極方法。 - 上記一次分極はブロック状の積層圧電体に対して行なわれ、二次分極はブロック状の積層圧電体を内部電極に対して垂直な方向に１素子分の幅で切断してなる短冊状の積層圧電体に対して行われることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の積層圧電体の分極方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001025160A JP3733861B2 (ja) | 2001-02-01 | 2001-02-01 | 積層圧電体の分極方法 |
| US09/996,575 US6759792B2 (en) | 2001-02-01 | 2001-11-30 | Polarization method of a multi-layered piezoelectric body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001025160A JP3733861B2 (ja) | 2001-02-01 | 2001-02-01 | 積層圧電体の分極方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002232032A JP2002232032A (ja) | 2002-08-16 |
| JP3733861B2 true JP3733861B2 (ja) | 2006-01-11 |
Family
ID=18890198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001025160A Expired - Fee Related JP3733861B2 (ja) | 2001-02-01 | 2001-02-01 | 積層圧電体の分極方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6759792B2 (ja) |
| JP (1) | JP3733861B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2390479A (en) | 2002-06-06 | 2004-01-07 | Delphi Tech Inc | Poling method |
| JP4686975B2 (ja) * | 2003-09-26 | 2011-05-25 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電素子とその製造方法 |
| DE102004009140B4 (de) * | 2004-02-25 | 2006-10-05 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Polarisierung eines piezoelektrischen Aktors |
| JP5004797B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2012-08-22 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪膜型素子 |
| JP5024589B2 (ja) * | 2005-12-14 | 2012-09-12 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出特性補正方法及びインクジェット記録装置 |
| JP2010079949A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Fujitsu Ltd | 圧電アクチュエータ、ヘッドスライダ、磁気ディスク装置 |
| GB0900406D0 (en) * | 2009-01-12 | 2009-02-11 | Delphi Tech Inc | Method of poling ferroelectric materials |
| DE102012111972A1 (de) * | 2012-12-07 | 2014-06-12 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6066882A (ja) * | 1983-09-22 | 1985-04-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電変位素子およびその分極方法 |
| US4625137A (en) * | 1983-12-09 | 1986-11-25 | Nippon Telegraph & Telephone Public Corp. | Piezoelectric actuator using bimorph element |
| JP3266031B2 (ja) | 1996-04-18 | 2002-03-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
| JP3478227B2 (ja) * | 1999-08-03 | 2003-12-15 | 株式会社村田製作所 | 圧電体の分極方法 |
| JP4082053B2 (ja) * | 2002-03-25 | 2008-04-30 | 株式会社村田製作所 | 積層圧電体の分極方法 |
-
2001
- 2001-02-01 JP JP2001025160A patent/JP3733861B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-30 US US09/996,575 patent/US6759792B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002232032A (ja) | 2002-08-16 |
| US6759792B2 (en) | 2004-07-06 |
| US20030062912A1 (en) | 2003-04-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1196990B1 (en) | Resonator structure and a filter comprising such a resonator structure | |
| JP3733861B2 (ja) | 積層圧電体の分極方法 | |
| JPH01176110A (ja) | 電歪共振装置 | |
| US7245060B2 (en) | Piezoelectric resonator, method for manufacturing the same, piezoelectric filter, and duplexer | |
| KR100430753B1 (ko) | 압전 소자 및 그의 제조방법 | |
| JP3478227B2 (ja) | 圧電体の分極方法 | |
| JP2001097771A (ja) | 圧電磁器材料およびこれを用いた表面波装置 | |
| JP3928375B2 (ja) | 圧電体の分極方法 | |
| JP2910392B2 (ja) | 厚み振動圧電磁器トランスの製造方法 | |
| JP2001185984A (ja) | 積層型フィルタ | |
| JP4605879B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2000124764A (ja) | 周波数濾波器に用いられる短冊状圧電共振子 | |
| JPS63100807A (ja) | 圧電セラミツク共振子の製造方法 | |
| JPS5885614A (ja) | モノリシツクセラミツクフイルタ | |
| JP2010093598A (ja) | 圧電振動子およびその製造方法 | |
| JP2910095B2 (ja) | 圧電素子及び圧電素子の製造方法 | |
| JPH10335968A (ja) | 積層型圧電共振子およびラダー型フィルタ | |
| JPH0661776A (ja) | 圧電共振子 | |
| JP2881251B2 (ja) | 圧電共振子 | |
| JP2915714B2 (ja) | 圧電セラミックの製造方法 | |
| JPH0677555A (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
| SU1206987A1 (ru) | Способ пол ризации сегнетоэлектрического активного элемента электроакустического преобразовател | |
| JPH1117489A (ja) | 圧電共振子およびラダー型フィルタ | |
| JPH0766655A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| JPH07105686B2 (ja) | 圧電共振装置の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040817 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041015 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050802 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050830 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050927 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051010 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091028 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101028 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101028 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111028 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121028 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131028 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |