JP3722155B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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で示される繰り返し単位;並びに
一般式(I′)
で示される繰り返し単位
を有するポリアミド酸;
並びに
(B)アミノ基を有するアクリル化合物
を含む感光性樹脂組成物に関する。
で示される繰り返し単位;並びに
一般式(I′)
で示される繰り返し単位
を有するポリアミド酸;
並びに
(B)アミノ基を有するアクリル化合物
を含む感光性樹脂組成物に関する。
撹拌機、温度計及び窒素導入管を備えた100mlのフラスコに3,4′−ジアミノジフェニルエーテル9.8917g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン0.6462g、水2.2484g、キシレン14.60g及びN−メチル−2−ピロリドン58.38gを加え、窒素流通下、室温で撹拌溶解した後、この溶液にオキシジフタル酸無水物16.4534gを添加し、5時間撹拌し粘稠なポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液を得た。さらに、この溶液を70℃で加熱し粘度を800Pa・s{80ポイズ}に調節した。このポリマ溶液をP−1と呼ぶ。
撹拌機、温度計及び窒素導入管を備えた500mlのフラスコに2,4′−ジアミノジフェニルエーテル49.4583g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン3.2308g、キシレン72.10g及びN−メチル−2−ピロリドン288.42gを加え、窒素流通下、室温で撹拌溶解した後、この溶液にオキシジフタル酸無水物80.6541gを添加し、5時間撹拌し粘稠なポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液を得た。さらに、この溶液を70℃で加熱し粘度を800Pa・s{80ポイズ}に調節した。このポリマ溶液をP−2と呼ぶ。
撹拌機、温度計及び窒素導入管を備えた500mlのフラスコに3,3′−ジアミノジフェニルスルフォン57.0855g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン3.0071g、キシレン73.09g及びN−メチル−2−ピロリドン292.35gを加え、窒素流通下、室温で撹拌溶解した後、この溶液にオキシジフタル酸無水物75.0703gを添加し、5時間撹拌し粘稠なポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液を得た。さらに、この溶液を70℃で加熱し粘度を800Pa・s{80ポイズ}に調節した。このポリマ溶液をP−3と呼ぶ。
撹拌機、温度計及び窒素導入管を備えた500mlのフラスコに4,4′−ジアミノジフェニルスルフォン57.0855g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン3.0071g、キシレン73.09g及びN−メチル−2−ピロリドン292.35gを加え、窒素流通下、室温で撹拌溶解した後、この溶液にオキシジフタル酸無水物75.0703gを添加し、5時間撹拌し粘稠なポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液を得た。さらに、この溶液を70℃で加熱し粘度を800Pa・s{80ポイズ}に調節した。このポリマ溶液をP−4と呼ぶ。
撹拌機、温度計及び窒素導入管を備えた100mlのフラスコにメタフェニレンジアミン6.3697g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン0.7704g、水2.6808g、キシレン14.47g及びN−メチル−2−ピロリドン57.88gを加え、窒素流通下、室温で撹拌溶解した後、この溶液にオキシジフタル酸無水物19.6176gを添加し、5時間撹拌し粘稠なポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液を得た。さらに、この溶液を70℃で加熱し粘度を800Pa・s{80ポイズ}に調節した。このポリマ溶液をP−5と呼ぶ。
撹拌機、温度計及び窒素導入管を備えた200mlのフラスコに4,4′−ジアミノジフェニルエーテル19.5931g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン1.2799g、水4.4536g、γ−ブチロラクトン29.26g及びN−メチル−2−ピロリドン117.02gを加え、窒素流通下、室温で撹拌溶解した後、この溶液にオキシジフタル酸無水物33.2295gを添加し、5時間撹拌し粘稠なポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液を得た。さらに、この溶液を70℃で加熱し粘度を800Pa・s{80ポイズ}に調節した。このポリマ溶液をP−6と呼ぶ。
撹拌機、温度計及び窒素導入管を備えた100mlのフラスコに4,4′−ジアミノジフェニルエーテル11.9841g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン0.7829g、水2.7240g、キシレン14.48g及びN−メチル−2−ピロリドン57.93gを加え、窒素流通下、室温で撹拌溶解した後、この溶液にピロメリット酸二無水物14.0161gを添加し、5時間撹拌し粘稠なポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液を得た。さらに、この溶液を70℃で加熱し粘度を800Pa・s{80ポイズ}に調節した。このポリマ溶液をP−7と呼ぶ。
撹拌機、温度計及び窒素導入管を備えた100mlのフラスコに4,4′−ジアミノジフェニルエーテル10.0819g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン0.6586g、水2.2916g、キシレン14.41g及びN−メチル−2−ピロリドン90.05gを加え、窒素流通下、室温で撹拌溶解した後、この溶液にビフェニルテトラカルボン酸二無水物15.9049gを添加し、5時間撹拌し粘稠なポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液を得た。さらに、この溶液を70℃で加熱し粘度を800Pa・s{80ポイズ}に調節した、このポリマ溶液をP−8と呼ぶ。
合成例1〜6で得られたポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液P−1〜P−6の各々10gに対して、表2に示したように、MDAP、CA、EAB及びPDOを所定量ずつ加え、撹拌混合して実施例1〜6に供する均一な感光性樹脂組成物溶液を得た。
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