JP3719985B2 - ヘテロ接合バイポーラトランジスタ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベース層寄りのエミッタ層としてベースよりもバンドギャップエネルギーが大きい半導体材料を用いたヘテロ接合バイポーラトランジスタ(以下、HBTと記す)の信頼性を向上させるための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
化合物半導体を用いた旧来のHBTでは、高温通電試験を行なうと、短時間のうちにベース電流が増大して、電流増幅率が低下してしまい、信頼性が低いという問題があった。
【0003】
これを解決するために、近年では、バンドギャップエネルギーの大きいエミッタ層の周縁部分を、エミッタ層と、エミッタ層の上のエミッタコンタクト層と、エミッタコンタクト層の上のエミッタ電極とで階層化された部分(エミッタメサという)の周辺に空乏化したエミッタ層、即ちリッジ(ガードリングとも言う)として残し、エミッタメサ近傍でのキャリアの再結合によるリーク電流の増大を防いでいる。
【0004】
特に、GaAs(ガリウム砒素)の基板上に形成したHBTでは、リッジを含むエミッタ層をInGaP(インジウムガリウムリン)で形成することにより、実用上十分に長い寿命を得ることができ、移動体通信用の高周波増幅器等のデバイスに使用されている。
【0005】
また、超高速光通信用集積回路等で用いられるHBTにおいては、高周波特性をより向上させることが必要であり、このために、リッジを含むエミッタ層をエッチングして露出させたベース層の上にベース電極を形成して、ベース電極の接触抵抗を下げている。
【0006】
次に、上記のことを考慮した従来のHBTの製造工程を図6〜図13に基づいて説明する。
【0007】
始めに、図6に示しているように、半絶縁性のGaAs基板1を最下層とし、その上にn+−GaAsからなる抵抗率が低いコレクタコンタクト層2が設けられ、コレクタコンタクト層2の上にn−−GaAsからなるコレクタ層3が設けられ、コレクタ層3の上にp+−GaAsからなるベース層4が設けられ、ベース層4の上にベース層4よりバンドギャップエネルギーの大きいn−InGaPからなる第1のエミッタ層5が設けられ、第1のエミッタ層5の上にn−GaAsからなる第2のエミッタ層6が設けられ、第2のエミッタ層6の上にn+−InGaAsからなる抵抗率が低いエミッタコンタクト層7が設けられて7層構造となる積層基板10をエピタキシャル形成する。
【0008】
この積層基板10は、多数のトランジスタ素子を形成することができる大きさを有しており、以下に説明する工程も積層基板10の異なる位置で同時に行なわれて、同一特性のトランジスタ素子が複数同時に製造されるが、ここでは、その一つの箇所における工程のみを説明する。
【0009】
上記のように形成された積層基板10のエミッタコンタクト層7の上にWSi(珪化タングステン)からなるエミッタ電極11をパターン形成する。
【0010】
次に、図7に示しているように、エミッタコンタクト層7および第2のエミッタ層6のうち、エミッタ電極11と重なり合う部分以外を、塩素系ガスドライエッチングやウエットエッチングによって除去する。
【0011】
次に、図8に示しているように、積層基板10の表面全体をSiN(チッ化珪素)からなる絶縁膜12で覆い、GaAs基板1、コレクタコンタクト層2およびコレクタ層3の素子境界部(ハッチングで示す)に酸素(もしくはボロン、フッ素、プロトン、ヘリウム等)のイオンを注入して素子間分離を行なう。
【0012】
次に、図9に示しているように、フォトリソグラフィーにより、エミッタ電極11の表面と外周面、エミッタコンタクト層7、第2のエミッタ層6の外周面および第1のエミッタ層5の周縁部の表面を残して、絶縁膜12を除去する。なお、残った絶縁膜12のうち、第1のエミッタ層5の周縁部の表面の絶縁膜は、リッジ形成用マスク13となる。
【0013】
次に、図10に示しているように、第1のエミッタ層5に対して、残った絶縁膜12をマスクとしてエッチングを行い、第2のエミッタ層6と重なり合う部分とこの部分を囲むリッジ14を形成する。
【0014】
次に、図11に示しているように、ベース層4の上にWSiからなるベース電極15をパターン形成し、続いて、フォトリソグラフィにより、図12に示しているように、ベース層4およびコレクタ層3の縁側の不要部分を除去し、さらに、図13に示しているように、コレクタコンタクト層2の上に、AuGeとNiの2層からなるコレクタ電極16をパターン形成する。
【0015】
このようにして製造されたHBTは、リッジ14を含む第1のエミッタ層5をエッチングしてベース層4を露出させ、その上に直接ベース電極15をパターン形成しているのでベース電極の接触抵抗が下がり、高周波特性が向上する。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記工程で製造されたHBTでは、各工程で行なう水洗処理によって不動作品が発生したり、図14に示すように高温通電試験で短時間のうちにベース電流が増大する素子が発生する場合がある。
【0017】
なお、高温通電試験は、エミッタ電流密度50kA/cm2、接合部温度275°Cで、通電時間20時間という条件で行なったものであり、図14で特性Aは試験前のベースエミッタ間電圧Vbeに対するベース電流Ibの変化を表し、特性A′は試験後のベースエミッタ間電圧Vbeに対するベース電流Ibの変化を表している。
【0018】
この不動作品やベース電流が増大する素子を調べると、図15に示すように、のリッジ14とベース電極15の間に露出しているベース層4の消失や劣化によるものであることが判り、このベース層4の消失や劣化は、リッジ14の幅が小さく且つベース電極15との隙間の長さLgが小さいときに発生し易いことが判った。
【0019】
したがって、リッジ14とベース電極15との隙間を十分広くしておけば上記のような問題は発生しないが、リッジ14とベース電極15の隙間を大きくすると、ベース層4およびコレクタ層3を大きくしなければならず、ベース層4およびコレクタ層3を大きくすると、ベース抵抗が増大したり、ベースコレクタ接合容量が大きくなり、素子の性能が劣化してしまう。
【0020】
本発明は、この課題を解決して、高性能で信頼性が高いヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供することを目的としている。
【0021】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、
半導体基板の上にコレクタコンタクト層が形成され、該コレクタコンタクト層の上にコクレタ層が形成され、該コクレタ層の上にコレクタ電極とベース層が形成され、該ベース層の上に前記ベース層よりバンドギャップエネルギーが大きい材料からなるエミッタ層が形成され、該エミッタ層の上にエミッタコンタクト層が形成され、該エミッタコンタクト層の上にエミッタ電極が形成され、前記ベース層上で且つ前記エミッタ電極の側面の直下位置から離れた位置にベース電極が形成され、前記エミッタ層の前記ベース層に接している部分のうちの前記エミッタ電極と重なり合う領域より外側の部分がリッジとして延設されたヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記リッジの長さが0.2〜0.5μmの範囲で、且つ前記ベース電極が、前記リッジに対してその外側から前記リッジの長さの1/2の範囲内でオーバラップするように形成されていることを特徴としている。
【0022】
また、本発明の請求項2のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、請求項1記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記リッジの表面に絶縁膜が形成され、
前記ベース電極は、前記絶縁膜を挟んで前記リッジにオーバラップしていることを特徴としている。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本発明の実施形態のHBT20の構造を示している。
【0024】
図1において、HBT20は、前記した従来のHBTと同様に、最下層の厚さ約625μmのGaAs基板1の上に、n+−GaAsからなる抵抗率が低いコレクタコンタクト層2が例えば厚さ約0.5μmで形成され、コレクタコンタクト層2の上の中央に、n−−GaAsからなるコクレタ層3が例えば厚さ約0.3μmで形成され、その両側にAuGe/Niからなるコレクタ電極16、16が例えば厚さ約0.45μmで形成されている。コレクタ電極16、16は、コレクタコンタクト層2にオーミック接続されている。
【0025】
また、コクレタ層3の上にp+−GaAsからなるベース層4が例えば厚さ約0.05μmで形成され、このベース層4の上の中央にベース層4よりバンドギャップエネルギーが大きいn−InGaPからなる第1のエミッタ層5が、例えば厚さ約0.06μmで形成されている。
【0026】
第1のエミッタ層5の上の中央には、第1のエミッタ層5より外形が小さいn−GaAsからなる第2のエミッタ層6が、例えば厚さ約0.1μm、幅約1.4μmで形成され、第2のエミッタ層6の上にn+−InGaAsからなる抵抗率が低いエミッタコンタクト層7が、例えば厚さ約0.1μm、幅約1.4μmで形成され、エミッタコンタクト層7の上にWSiからなるエミッタ電極11が例えば厚さ約0.2μm、幅約1.4μmで形成されている。エミッタ電極11は、エミッタコンタクト層7にオーミック接続されている。
【0027】
また、エミッタ電極11の表面と外周面、エミッタコンタクト層7と第2のエミッタ層6の外周面および第2のエミッタ層5の外縁のリッジ14の表面は、SiNからなる厚さ約0.1μmの絶縁膜12で覆われている。
【0028】
また、ベース層4の上の両側に設けられているベース電極25、25の第1のエミッタ層5寄りの端部は、図2に示しているように、第1のエミッタ層5の周縁部に長さLa(例えば0.3μm)で形成されたリッジ14に対して、絶縁膜12を挟んで長さLb(例えば0.1μm)の範囲でオーバラップしている。
【0029】
このように、ベース電極25がリッジ14にオーバラップしているので、このベース電極25とリッジ14との間でベース層4は露出されないため、ベース電極25を形成した後の水洗工程等でベース層4の消失や劣化は発生せず、信頼性が格段に向上する。
【0030】
また、ベース電極25をリッジ14とオーバーラップさせているので、素子の外形が大きくならずに済み、前記したベース抵抗やベースコレクタ接合容量の増大による性能低下が生じない。
【0031】
なお、上記構成のHBT20は、前記した図6〜図13の工程のうち、図11のベース電極形成工程の代わりに、図3に示しているようにベース電極25をリッジ14にオーバーラップさせるように設けることで製造できる。
【0032】
なお、このHBT20ではリッジ14の長さLa=0.3μmに対して、ベース電極25のオーバラップ長Lbを0.1μmにしているが、これは本発明を限定するものではなく、リッジ14の長さLaを0.3μmより長くしてもよく、また、オーバラップ長Lbは、0.05〜0.2μmの範囲で変えてもよい。
【0033】
ただし、ベース電極25をエミッタメサ側に近づけてオーバラップ長Lbを大きくすると、ベース抵抗が増加して高周波特性が悪化する恐れがある。また、リッジ14の長さLaを大きくしてオーバラップ長Lbを0.05μm未満にすると工程間のアライメントずれによりオーバラップされない部分が発生して前記した従来の問題が発生したり、ベース抵抗やベースコレクタ接合容量が増えて性能が低下する恐れがある。
【0034】
したがって、上記した各層、各電極の寸法例では、リッジ長Laを0.2〜0.5μmの範囲、オーバラップ長Lbを0.05〜La/2の範囲に設定すればよい。
【0035】
なお、上記構成のHBT20について、前記した条件と同一条件で高温通電試験を行なった結果、図4に示す特性が得られた。
【0036】
図4で特性Bは試験前のベースエミッタ間電圧Vbeに対するベース電流Ibの変化を表し、特性B′は試験後のベースエミッタ間電圧Vbeに対するベース電流Ibの変化を表している。
【0037】
この図4から明らかなように、上記構成のHBT20の高温通電試験後のベース電流は、試験前のベース電流に対してほとんど変化しておらず(むしろ若干減少している)、図14に示した従来のHBTの特性と比較すると、格段に信頼性が向上したことが判る。
【0038】
また、前記したHBT20では、ベース電極25が絶縁膜12を挟んでリッジ14にオーバラップしていたが、図5に示すのように、ベース電極25を、リッジ14の表面に直接接触するようにオーバラップさせてもよい。
【0039】
また、前記したHBT20では、エミッタ層が2層化されていたがエミッタ層が単層のHBTの場合にも本発明を適用できる。この場合、ベース層よりバンドキャップエネルギーが大きい材料からなる単層構造のエミッタ層の周縁部のリッジにベース電極をオーバラップさせればよい。
【0040】
また、前記したHBT20は、GaAs基板1上に形成されたものについて説明したが、他の半導体基板(例えばInpP基板)上に形成されるHBTについても本発明を適用できる。
【0041】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のヘテロ接合バイポーラトランジスタは、ベース電極がリッジにオーバラップする構造であるので、製造過程の中の水洗工程でベース層の消失や劣化が起こらず、高性能で高い信頼性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す図
【図2】実施形態の要部の拡大図
【図3】実施形態の製造工程の一部を示す図
【図4】実施形態の特性を示す図
【図5】他の実施形態を示す図
【図6】従来のHBTの製造工程の一部を示す図
【図7】従来のHBTの製造工程の一部を示す図
【図8】従来のHBTの製造工程の一部を示す図
【図9】従来のHBTの製造工程の一部を示す図
【図10】従来のHBTの製造工程の一部を示す図
【図11】従来のHBTの製造工程の一部を示す図
【図12】従来のHBTの製造工程の一部を示す図
【図13】従来のHBTの製造工程の一部を示す図
【図14】従来のHBTの特性を示す図
【図15】劣化したHBTの要部の拡大図
【符号の説明】
1……GaAs基板、2……コレクタコンタクト層、3……コレクタ層、4……ベース層、5……第1のエミッタ層、6……第2のエミッタ層、7……エミッタコンタクト層、10……積層基板、11……エミッタ電極、12……絶縁膜、13……リッジ形成用マスク、14……リッジ、16……コレクタ電極、20……HBT、25……ベース電極
Claims (2)
- 半導体基板の上にコレクタコンタクト層が形成され、該コレクタコンタクト層の上にコクレタ層が形成され、該コクレタ層の上にコレクタ電極とベース層が形成され、該ベース層の上に前記ベース層よりバンドギャップエネルギーが大きい材料からなるエミッタ層が形成され、該エミッタ層の上にエミッタコンタクト層が形成され、該エミッタコンタクト層の上にエミッタ電極が形成され、前記ベース層上で且つ前記エミッタ電極の側面の直下位置から離れた位置にベース電極が形成され、前記エミッタ層の前記ベース層に接している部分のうちの前記エミッタ電極と重なり合う領域より外側の部分がリッジとして延設されたヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、
前記リッジの長さが0.2〜0.5μmの範囲で、且つ前記ベース電極が、前記リッジに対してその外側から前記リッジの長さの1/2の範囲内でオーバラップするように形成されていることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタ。 - 前記リッジの表面に絶縁膜が形成され、
前記ベース電極は、前記絶縁膜を挟んで前記リッジにオーバラップしていることを特徴とする請求項1記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002006401A JP3719985B2 (ja) | 2002-01-15 | 2002-01-15 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002006401A JP3719985B2 (ja) | 2002-01-15 | 2002-01-15 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003209117A JP2003209117A (ja) | 2003-07-25 |
JP3719985B2 true JP3719985B2 (ja) | 2005-11-24 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002006401A Expired - Lifetime JP3719985B2 (ja) | 2002-01-15 | 2002-01-15 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3719985B2 (ja) |
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2002
- 2002-01-15 JP JP2002006401A patent/JP3719985B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003209117A (ja) | 2003-07-25 |
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