JP3704424B2 - 誘電体材料 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高周波領域において使用される共振器、フィルター、特に移動体通信の基地局用共振器を構成するのに好適な誘電体材料に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、無負荷品質係数の比較的大きい誘電体材料として、例えば、特公昭59−23048号公報、あるいは特公昭59−48484号公報などに記載されたものが知られている。また、K2 NiF4 型結晶構造を有する誘電体材料として、特開昭61−198505号公報に記載されたものが知られている。
【0003】
これらの誘電体材料は、いずれも無負荷品質係数Qu が比較的大きく、且つ共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値|τf |が比較的小さいため、高周波領域において使用される共振器やフィルターを構成するのに好適であった。また特に、上記誘電体材料は、いずれも誘電率εr が25〜40という比較的大きな値を示すため、共振器やフィルターを小さく構成することができ、通信機器の小型化を図ることができた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、通信基地局用の共振器の場合、一般に、出力が大きければ大きいほど、入力のパワーが大きくなって発熱量が大となるため、如何にして共振器からの放熱を促すかということが重要な問題となっている。そのため、上述の如き誘電率εr の大きい誘電体を用いて共振器の小型化を図ることよりは、むしろ、ある程度誘電率εr が小さい誘電体(例えば、誘電率εr が15〜25程度)を用いて、放熱面として利用できる表面積を十分に確保可能な大きな共振器やフィルターを構成したいという要望があった。
【0005】
しかしながら、誘電率εr が20前後の誘電体材料は、いずれも無負荷品質係数Qu が小さすぎたり、あるいは共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値|τf |が大きすぎるといった欠点があり、通信基地局用の共振器等を構成するための材料として、十分に満足な品質を備えてはいなかった。
【0006】
また、上記各公報に記載されているBa(Zn1/3 Ta2/3 )O3 (いわゆるBZT)や、Ba(Mg1/3 Ta2/3 )O3 (いわゆるBMT)は、優れた品質を有する誘電体材料である反面、難焼結性であるという欠点もあり、誘電特性に優れた緻密体を得るには、高温・長時間焼成や、超高速昇温焼成など特殊で工業的には不利な焼成法が必要であった。
【0007】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、無負荷品質係数Qu が大きく、且つ、共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値が小さい誘電体材料で、特に誘電率εr が20前後を示し、製造に当たって特殊な焼結法を用いなくてもよい誘電体材料を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段、および発明の効果】
上述の目的を達成するために、本発明の誘電体材料は、請求項1記載の通り、
K2 NiF4 型結晶構造を有し、
一般式、a(RE,AE)2 AlO4 ・b(RE,AE)2 GaO4 ・cAE2 (Ti,Zr)O4 [但し、REは希土類元素,AEはアルカリ土類元素]で表され、
上記組成比a,b,cが、0<a<100,0<b<40,0<c<80,a+b+c=100モル%となるように調製されている
ことを特徴とする。
【0009】
ここで、上記一般式中、「(RE,AE)2 」なる表記は、上記各成分「(RE,AE)2 AlO4 」、または「(RE,AE)2 GaO4 」という単位構造内に、REおよびAEから選ばれる2原子が存在していることを意味する。これらRE,AEは、イオン半径が類似した範囲にあり、単位構造中において等価な位置に配位され得る。具体的には、上記単位構造として、RE2原子のもの、AE2原子のもの、RE,AE各1原子ずつのものが考えられ、通常、これら3種のものが誘電体材料中に混在している。結晶構造の安定性を考慮した場合、単位構造中の元素のイオン価の関係から判断すると、理想的には、誘電体材料全体におけるRE/AEの比が1となるものが最も安定であると考えられるが、実際には、RE/AEが0.8〜1.2程度の範囲であれば、大部分は十分に安定した結晶構造として存在し、誘電体材料として使用するに当たって問題となるようなことはない。
【0010】
また、上記一般式中、「(Ti,Zr)」なる表記は、AE2 (Ti,Zr)O4 という単位構造内に、TiまたはZrのいずれかが存在していることを意味する。これらTi,Zrは、いずれも4A族元素であり、単位構造中において等価な位置に配位され得る。発明者らの知見によれば、TiとZrを比較すると、Tiの方が無負荷品質係数Qu を大きくする効果が高いので、通常は、Tiの比率を大きくする方が望ましく、全量をTiとしても構わない。但し、Zrを加えると、共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値がプラス側にシフトする傾向があるので、Tiによって十二分に大きな無負荷品質係数Qu を確保できていて、その場合に、上記温度係数τf の絶対値がマイナス側にシフトしていれば、いくらかZrを加えることにより、無負荷品質係数Qu が小さくなりすぎない範囲内で、上記温度係数τf の絶対値をゼロに近づけることができる。
【0011】
さらに、上記一般式は、本発明の誘電体材料が「(RE,AE)2 AlO4 」、「(RE,AE)2 GaO4 」、「AE2 (Ti,Zr)O4 」の3成分を主要な成分とする固溶体で、誘電体材料中におけるこれら3成分の組成比が、a:b:cになっていることを意味し、上記3成分の組成比a:b:cは、0<a<100,0<b<40,0<c<80(但し、a+b+c=100モル%)とされている。
【0012】
このような条件を満足させることにより、無負荷品質係数Qu と共振周波数f0 の積Qu ×f0 は50000以上の値を示すようになり、高周波領域において使用される共振器、フィルター等を構成するのに適した誘電体材料となる。ここで、誘電損失に関する特性を上記積Qu ×f0 で示す理由は、Qu は測定する際の共振周波数で変化するため、Qu とf0 の積による表現の方が、より正確に誘電損失を表すからである。
【0013】
この3成分の組成比は、さらに厳密に調節することによって上記積Qu ×f0 を大きくすることも可能であり、具体的には、請求項2に記載のように、上記組成比a,b,cが、10≦a≦95,0<b≦35,5≦c≦75,a+b+c=100モル%となるように調製されていると、上記積Qu ×f0 は60000以上にまで高くなる。またさらに、20≦a≦90,0<b≦30,10≦c≦65とすれば上記積Qu ×f0 は65000以上、30≦a≦80,0<b≦20,20≦c≦60とすれば上記積Qu ×f0 は70000以上にまで高められる。
【0014】
これらの数値範囲は、発明者らが多くの実験を重ねる中で得た知見であり、上記3成分の組成比と無負荷品質係数Qu との因果関係を明確に説明することは難しい。しかし、結果としては、組成比として、上記のような数値範囲を選ぶことで、上記積Qu ×f0 を所望の値に調節できる。
【0015】
なお、上記条件をはずれると、所期の誘電体材料を得ることはきわめて難しくなる。具体的には、誘電率εr が15未満と小さくなりすぎたり、無負荷品質係数Qu と共振周波数f0 の積Qu ×f0 が50000未満と小さくなりすぎたり、温度係数τf の絶対値が50以上と大きくなりすぎるなどの弊害を招く。また、焼結しても十分な緻密体が得られなかったり、仮に焼結できてもきわめて不安定で、経時変化により焼結体にクラックが発生して割れてしまうといった問題を招く場合もある。
【0016】
さらに、本発明の誘電体材料の製法については、特に限定されず、出発材料を所定の比率で混合した後、常法にしたがって、仮焼、加圧成形、焼成等の工程を経て製造される。このような工程を経て得られた本発明の誘電体材料は、図1の模式図に示すような、K2 NiF4 型結晶構造を有するものとなる。このK2 NiF4 型結晶構造は、特定のX線回折パタ−ンによって確認することができるものであり、具体的なX線回折パターンを例示すれば、例えば、上記一般式中、RE=La,AE=Sr,RE/AE=1.0,Zr/Ti=0,a=64,b=16,c=20の場合、図2に示すようなパターンが得られる。
【0017】
以上説明した本発明の誘電体材料は、上記3成分を主要な成分とするK2 NiF4 型結晶構造の複合酸化物であって、上記3成分を特定の割合で固溶させたものなので、無負荷品質係数Qu が大きく、且つ共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値が小さい温度安定性に優れた誘電体材料となる。また特に、誘電率εr は15〜25程度の値を示すものとなるので、本発明の誘電体材料を用いることにより、放熱面として利用可能な表面積を十分に確保した大きな共振器、フィルターを構成することができる。したがって、近年、急速に拡大しつつある通信システムの基地局用として信頼性に優れた共振器等を提供することができる。また、本発明の誘電体材料によれば、特殊な焼結法を用いなくても、所期の誘電体磁器を製造できるので、いわゆるBZT等に比べると工業的に有利である。
【0018】
ところで、本発明の誘電体材料において、上記一般式における希土類元素REについては、種々の希土類元素を使い得ると考えられるが、工業的に製造するに当たって重要なものとしては、例えば請求項3に記載の通り、La,Pr,Nd,Smなどを挙げることができる。これらの希土類元素REは、1種だけを単独で使用しても2種以上を混合して使用してもよく、これらの希土類元素を採用することによって、目的とする性能を備えた誘電体材料を得ることができる。
【0019】
また、上記一般式におけるアルカリ土類元素AEについても、種々のアルカリ土類元素を使い得ると考えられるが、工業的に製造するに当たって重要なものとしては、例えば請求項4に記載の通り、Ca,Sr,Baなどを挙げることができる。これらのアルカリ土類元素AEについても、1種だけを単独で使用しても2種以上を混合して使用してもよく、これらのアルカリ土類元素を採用することによって、目的とする性能を備えた誘電体材料を得ることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態について一例を挙げて説明する。
(1)誘電体材料の製造
下記表1に示す試料1〜15の組成になるように、市販のSrCO3 ,La2 O3 ,Al2 O3 ,Ga2 O3 ,TiO2 粉末を秤量した。
【0021】
なお、上記の通り、出発原料には酸化物および炭酸塩を使用したが、表1における混合比率はすべて酸化物換算で示してある。
【0022】
【表1】
【0023】
その後、上記各混合粉末をボールミルに投入し、エタノールを加え湿式混合した。そして、湿式混合より得られたスラリーを乾燥させ、1100℃〜1300℃で2〜6時間仮焼した後、この仮焼粉末にワックス系バインダー、分散剤およびエタノールを加え、再びボールミルにより粉砕し、混合した。次いで、得られたスラリーを乾燥させ、造粒した後、1GPaの圧力下、直径20mm、厚さ12mmの円柱状に成形した。その後、この円柱状の成形体を15GPaの圧力下、等方静圧プレス(CIP)処理し、次いで、このCIP処理後の成形体を大気雰囲気下、1500℃〜1550℃で2〜4時間保持した。
【0024】
(2)密度の測定、および誘電特性の評価
上記(1)の手順で製造された誘電体材料(試料1〜15)について、アルキメデス法によって密度を測定した。
また、各試料1〜15を、粒度#200のレジンボンド砥石を用いて平行研削した後、平行導体板形誘電体共振器法(TE[011]モード)を用いて、εr ,τf を、空洞開放形誘電体共振器法(TE[01δ]モード)を用いて、Qu を測定した。これらの結果を表2に示す。
【0025】
【表2】
【0026】
表2から明らかなように、試料1〜8については、いずれも無負荷品質係数Qu と共振周波数f0 の積Qu ×f0 が61000以上の値を示し、且つ、温度係数τf の絶対値が42以内に収まっている。この種の誘電体材料を用いて高周波領域において使用される共振器、フィルター等を構成する場合、通常、上記積Qu ×f0 は50000以上、温度係数τf の絶対値は50以下になっていることが望まれるが、上記試料1〜8は、これらの条件を十分に満足する品質を備えていることがわかる。また特に、試料1〜7については、上記積Qu ×f0 が65000以上の値を示し、その中でも、試料1,2,5,6は、上記積Qu ×f0 が70000以上の高い値を示すので、誘電体材料としてきわめて優れた品質を備えていることがわかる。また、試料1〜8は、いずれも誘電率εr が15〜25の範囲内となっており、放熱面として利用可能な表面積を十分に確保した大きな共振器やフィルターを構成することができると考えられる。
【0027】
なお、試料9〜14は、いずれも無負荷品質係数Qu と共振周波数f0 の積Qu ×f0 が50000以下の値となるため、共振器やフィルターを構成するための誘電体材料としては、あまり好ましいものではない。試料15,16については、上記積Qu ×f0 が50000以上の値となったが、温度係数τf の絶対値が80,156という大きな値となったため、これらも共振器やフィルターを構成するための誘電体材料としては、あまり好ましいものではない。
【0028】
次に、上記試料1〜16の組成比と誘電体としての性能の関係を調べるため、各試料1〜16を図3の組成図上にプロットした。図3において、誘電体としての性能が良好であった試料1〜8は「●」、残りの試料9〜16は「○」で表した。図3から明らかなように、試料1〜8を示す「●」は、試料9〜16を示す「○」によって囲まれた特定の範囲内に集中して存在しており、上記3成分の組成比と誘電体としての性能には、明らかに強い相関があることがわかる。したが手、所期の物性を備えた誘電体材料を得るには、上記3つの成分を「●」の存在する範囲内に調製すればよいと推察することができる。
【0029】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の実施形態については上記のもの以外にも種々の具体的形態が考えられる。
例えば、上記実施形態では、希土類元素REとしてLa、アルカリ土類元素AEとしてSrを選択したが、希土類元素REとしては、上記の他にPr,Nd,Smなどを採用することができ、また、アルカリ土類元素AEとしては、上記の他にCa,Baなどを採用することができる。
【0030】
また、上記実施形態では、上記一般式の(Ti,Zr)として、Tiだけを用いたが、Tiの他にZrを加えてもよい。Zrを添加すると、その分、いくらかQu が低下するが、τf をプラス側にシフトさせるという作用がある。したがって、例えば上記試料2のように、Qu ×f0 が85000ときわめて高い値を示している試料については、多少Qu ×f0 が小さくなってもまだ十分に満足な性能を確保できるので、Zrを添加することによって、−38とマイナス側にシフトしているτf を、ゼロに近づけて温度安定性をさらに改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 K2 NiF4 型結晶構造を示す模式図である。
【図2】 K2 NiF4 型結晶構造のX線回折パタ−ンを示す図である。
【図3】 実施形態として示した試料の組成比を示す組成図である。
【発明の属する技術分野】
本発明は、高周波領域において使用される共振器、フィルター、特に移動体通信の基地局用共振器を構成するのに好適な誘電体材料に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、無負荷品質係数の比較的大きい誘電体材料として、例えば、特公昭59−23048号公報、あるいは特公昭59−48484号公報などに記載されたものが知られている。また、K2 NiF4 型結晶構造を有する誘電体材料として、特開昭61−198505号公報に記載されたものが知られている。
【0003】
これらの誘電体材料は、いずれも無負荷品質係数Qu が比較的大きく、且つ共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値|τf |が比較的小さいため、高周波領域において使用される共振器やフィルターを構成するのに好適であった。また特に、上記誘電体材料は、いずれも誘電率εr が25〜40という比較的大きな値を示すため、共振器やフィルターを小さく構成することができ、通信機器の小型化を図ることができた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、通信基地局用の共振器の場合、一般に、出力が大きければ大きいほど、入力のパワーが大きくなって発熱量が大となるため、如何にして共振器からの放熱を促すかということが重要な問題となっている。そのため、上述の如き誘電率εr の大きい誘電体を用いて共振器の小型化を図ることよりは、むしろ、ある程度誘電率εr が小さい誘電体(例えば、誘電率εr が15〜25程度)を用いて、放熱面として利用できる表面積を十分に確保可能な大きな共振器やフィルターを構成したいという要望があった。
【0005】
しかしながら、誘電率εr が20前後の誘電体材料は、いずれも無負荷品質係数Qu が小さすぎたり、あるいは共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値|τf |が大きすぎるといった欠点があり、通信基地局用の共振器等を構成するための材料として、十分に満足な品質を備えてはいなかった。
【0006】
また、上記各公報に記載されているBa(Zn1/3 Ta2/3 )O3 (いわゆるBZT)や、Ba(Mg1/3 Ta2/3 )O3 (いわゆるBMT)は、優れた品質を有する誘電体材料である反面、難焼結性であるという欠点もあり、誘電特性に優れた緻密体を得るには、高温・長時間焼成や、超高速昇温焼成など特殊で工業的には不利な焼成法が必要であった。
【0007】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、無負荷品質係数Qu が大きく、且つ、共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値が小さい誘電体材料で、特に誘電率εr が20前後を示し、製造に当たって特殊な焼結法を用いなくてもよい誘電体材料を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段、および発明の効果】
上述の目的を達成するために、本発明の誘電体材料は、請求項1記載の通り、
K2 NiF4 型結晶構造を有し、
一般式、a(RE,AE)2 AlO4 ・b(RE,AE)2 GaO4 ・cAE2 (Ti,Zr)O4 [但し、REは希土類元素,AEはアルカリ土類元素]で表され、
上記組成比a,b,cが、0<a<100,0<b<40,0<c<80,a+b+c=100モル%となるように調製されている
ことを特徴とする。
【0009】
ここで、上記一般式中、「(RE,AE)2 」なる表記は、上記各成分「(RE,AE)2 AlO4 」、または「(RE,AE)2 GaO4 」という単位構造内に、REおよびAEから選ばれる2原子が存在していることを意味する。これらRE,AEは、イオン半径が類似した範囲にあり、単位構造中において等価な位置に配位され得る。具体的には、上記単位構造として、RE2原子のもの、AE2原子のもの、RE,AE各1原子ずつのものが考えられ、通常、これら3種のものが誘電体材料中に混在している。結晶構造の安定性を考慮した場合、単位構造中の元素のイオン価の関係から判断すると、理想的には、誘電体材料全体におけるRE/AEの比が1となるものが最も安定であると考えられるが、実際には、RE/AEが0.8〜1.2程度の範囲であれば、大部分は十分に安定した結晶構造として存在し、誘電体材料として使用するに当たって問題となるようなことはない。
【0010】
また、上記一般式中、「(Ti,Zr)」なる表記は、AE2 (Ti,Zr)O4 という単位構造内に、TiまたはZrのいずれかが存在していることを意味する。これらTi,Zrは、いずれも4A族元素であり、単位構造中において等価な位置に配位され得る。発明者らの知見によれば、TiとZrを比較すると、Tiの方が無負荷品質係数Qu を大きくする効果が高いので、通常は、Tiの比率を大きくする方が望ましく、全量をTiとしても構わない。但し、Zrを加えると、共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値がプラス側にシフトする傾向があるので、Tiによって十二分に大きな無負荷品質係数Qu を確保できていて、その場合に、上記温度係数τf の絶対値がマイナス側にシフトしていれば、いくらかZrを加えることにより、無負荷品質係数Qu が小さくなりすぎない範囲内で、上記温度係数τf の絶対値をゼロに近づけることができる。
【0011】
さらに、上記一般式は、本発明の誘電体材料が「(RE,AE)2 AlO4 」、「(RE,AE)2 GaO4 」、「AE2 (Ti,Zr)O4 」の3成分を主要な成分とする固溶体で、誘電体材料中におけるこれら3成分の組成比が、a:b:cになっていることを意味し、上記3成分の組成比a:b:cは、0<a<100,0<b<40,0<c<80(但し、a+b+c=100モル%)とされている。
【0012】
このような条件を満足させることにより、無負荷品質係数Qu と共振周波数f0 の積Qu ×f0 は50000以上の値を示すようになり、高周波領域において使用される共振器、フィルター等を構成するのに適した誘電体材料となる。ここで、誘電損失に関する特性を上記積Qu ×f0 で示す理由は、Qu は測定する際の共振周波数で変化するため、Qu とf0 の積による表現の方が、より正確に誘電損失を表すからである。
【0013】
この3成分の組成比は、さらに厳密に調節することによって上記積Qu ×f0 を大きくすることも可能であり、具体的には、請求項2に記載のように、上記組成比a,b,cが、10≦a≦95,0<b≦35,5≦c≦75,a+b+c=100モル%となるように調製されていると、上記積Qu ×f0 は60000以上にまで高くなる。またさらに、20≦a≦90,0<b≦30,10≦c≦65とすれば上記積Qu ×f0 は65000以上、30≦a≦80,0<b≦20,20≦c≦60とすれば上記積Qu ×f0 は70000以上にまで高められる。
【0014】
これらの数値範囲は、発明者らが多くの実験を重ねる中で得た知見であり、上記3成分の組成比と無負荷品質係数Qu との因果関係を明確に説明することは難しい。しかし、結果としては、組成比として、上記のような数値範囲を選ぶことで、上記積Qu ×f0 を所望の値に調節できる。
【0015】
なお、上記条件をはずれると、所期の誘電体材料を得ることはきわめて難しくなる。具体的には、誘電率εr が15未満と小さくなりすぎたり、無負荷品質係数Qu と共振周波数f0 の積Qu ×f0 が50000未満と小さくなりすぎたり、温度係数τf の絶対値が50以上と大きくなりすぎるなどの弊害を招く。また、焼結しても十分な緻密体が得られなかったり、仮に焼結できてもきわめて不安定で、経時変化により焼結体にクラックが発生して割れてしまうといった問題を招く場合もある。
【0016】
さらに、本発明の誘電体材料の製法については、特に限定されず、出発材料を所定の比率で混合した後、常法にしたがって、仮焼、加圧成形、焼成等の工程を経て製造される。このような工程を経て得られた本発明の誘電体材料は、図1の模式図に示すような、K2 NiF4 型結晶構造を有するものとなる。このK2 NiF4 型結晶構造は、特定のX線回折パタ−ンによって確認することができるものであり、具体的なX線回折パターンを例示すれば、例えば、上記一般式中、RE=La,AE=Sr,RE/AE=1.0,Zr/Ti=0,a=64,b=16,c=20の場合、図2に示すようなパターンが得られる。
【0017】
以上説明した本発明の誘電体材料は、上記3成分を主要な成分とするK2 NiF4 型結晶構造の複合酸化物であって、上記3成分を特定の割合で固溶させたものなので、無負荷品質係数Qu が大きく、且つ共振周波数f0 の温度係数τf の絶対値が小さい温度安定性に優れた誘電体材料となる。また特に、誘電率εr は15〜25程度の値を示すものとなるので、本発明の誘電体材料を用いることにより、放熱面として利用可能な表面積を十分に確保した大きな共振器、フィルターを構成することができる。したがって、近年、急速に拡大しつつある通信システムの基地局用として信頼性に優れた共振器等を提供することができる。また、本発明の誘電体材料によれば、特殊な焼結法を用いなくても、所期の誘電体磁器を製造できるので、いわゆるBZT等に比べると工業的に有利である。
【0018】
ところで、本発明の誘電体材料において、上記一般式における希土類元素REについては、種々の希土類元素を使い得ると考えられるが、工業的に製造するに当たって重要なものとしては、例えば請求項3に記載の通り、La,Pr,Nd,Smなどを挙げることができる。これらの希土類元素REは、1種だけを単独で使用しても2種以上を混合して使用してもよく、これらの希土類元素を採用することによって、目的とする性能を備えた誘電体材料を得ることができる。
【0019】
また、上記一般式におけるアルカリ土類元素AEについても、種々のアルカリ土類元素を使い得ると考えられるが、工業的に製造するに当たって重要なものとしては、例えば請求項4に記載の通り、Ca,Sr,Baなどを挙げることができる。これらのアルカリ土類元素AEについても、1種だけを単独で使用しても2種以上を混合して使用してもよく、これらのアルカリ土類元素を採用することによって、目的とする性能を備えた誘電体材料を得ることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態について一例を挙げて説明する。
(1)誘電体材料の製造
下記表1に示す試料1〜15の組成になるように、市販のSrCO3 ,La2 O3 ,Al2 O3 ,Ga2 O3 ,TiO2 粉末を秤量した。
【0021】
なお、上記の通り、出発原料には酸化物および炭酸塩を使用したが、表1における混合比率はすべて酸化物換算で示してある。
【0022】
【表1】
【0023】
その後、上記各混合粉末をボールミルに投入し、エタノールを加え湿式混合した。そして、湿式混合より得られたスラリーを乾燥させ、1100℃〜1300℃で2〜6時間仮焼した後、この仮焼粉末にワックス系バインダー、分散剤およびエタノールを加え、再びボールミルにより粉砕し、混合した。次いで、得られたスラリーを乾燥させ、造粒した後、1GPaの圧力下、直径20mm、厚さ12mmの円柱状に成形した。その後、この円柱状の成形体を15GPaの圧力下、等方静圧プレス(CIP)処理し、次いで、このCIP処理後の成形体を大気雰囲気下、1500℃〜1550℃で2〜4時間保持した。
【0024】
(2)密度の測定、および誘電特性の評価
上記(1)の手順で製造された誘電体材料(試料1〜15)について、アルキメデス法によって密度を測定した。
また、各試料1〜15を、粒度#200のレジンボンド砥石を用いて平行研削した後、平行導体板形誘電体共振器法(TE[011]モード)を用いて、εr ,τf を、空洞開放形誘電体共振器法(TE[01δ]モード)を用いて、Qu を測定した。これらの結果を表2に示す。
【0025】
【表2】
【0026】
表2から明らかなように、試料1〜8については、いずれも無負荷品質係数Qu と共振周波数f0 の積Qu ×f0 が61000以上の値を示し、且つ、温度係数τf の絶対値が42以内に収まっている。この種の誘電体材料を用いて高周波領域において使用される共振器、フィルター等を構成する場合、通常、上記積Qu ×f0 は50000以上、温度係数τf の絶対値は50以下になっていることが望まれるが、上記試料1〜8は、これらの条件を十分に満足する品質を備えていることがわかる。また特に、試料1〜7については、上記積Qu ×f0 が65000以上の値を示し、その中でも、試料1,2,5,6は、上記積Qu ×f0 が70000以上の高い値を示すので、誘電体材料としてきわめて優れた品質を備えていることがわかる。また、試料1〜8は、いずれも誘電率εr が15〜25の範囲内となっており、放熱面として利用可能な表面積を十分に確保した大きな共振器やフィルターを構成することができると考えられる。
【0027】
なお、試料9〜14は、いずれも無負荷品質係数Qu と共振周波数f0 の積Qu ×f0 が50000以下の値となるため、共振器やフィルターを構成するための誘電体材料としては、あまり好ましいものではない。試料15,16については、上記積Qu ×f0 が50000以上の値となったが、温度係数τf の絶対値が80,156という大きな値となったため、これらも共振器やフィルターを構成するための誘電体材料としては、あまり好ましいものではない。
【0028】
次に、上記試料1〜16の組成比と誘電体としての性能の関係を調べるため、各試料1〜16を図3の組成図上にプロットした。図3において、誘電体としての性能が良好であった試料1〜8は「●」、残りの試料9〜16は「○」で表した。図3から明らかなように、試料1〜8を示す「●」は、試料9〜16を示す「○」によって囲まれた特定の範囲内に集中して存在しており、上記3成分の組成比と誘電体としての性能には、明らかに強い相関があることがわかる。したが手、所期の物性を備えた誘電体材料を得るには、上記3つの成分を「●」の存在する範囲内に調製すればよいと推察することができる。
【0029】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の実施形態については上記のもの以外にも種々の具体的形態が考えられる。
例えば、上記実施形態では、希土類元素REとしてLa、アルカリ土類元素AEとしてSrを選択したが、希土類元素REとしては、上記の他にPr,Nd,Smなどを採用することができ、また、アルカリ土類元素AEとしては、上記の他にCa,Baなどを採用することができる。
【0030】
また、上記実施形態では、上記一般式の(Ti,Zr)として、Tiだけを用いたが、Tiの他にZrを加えてもよい。Zrを添加すると、その分、いくらかQu が低下するが、τf をプラス側にシフトさせるという作用がある。したがって、例えば上記試料2のように、Qu ×f0 が85000ときわめて高い値を示している試料については、多少Qu ×f0 が小さくなってもまだ十分に満足な性能を確保できるので、Zrを添加することによって、−38とマイナス側にシフトしているτf を、ゼロに近づけて温度安定性をさらに改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 K2 NiF4 型結晶構造を示す模式図である。
【図2】 K2 NiF4 型結晶構造のX線回折パタ−ンを示す図である。
【図3】 実施形態として示した試料の組成比を示す組成図である。
Claims (4)
- K2 NiF4 型結晶構造を有し、
一般式、a(RE,AE)2 AlO4 ・b(RE,AE)2 GaO4 ・cAE2 (Ti,Zr)O4 [但し、REは希土類元素,AEはアルカリ土類元素]で表され、
上記組成比a,b,cが、0<a<100,0<b<40,0<c<80,a+b+c=100モル%となるように調製されている
ことを特徴とする誘電体材料。 - 請求項1記載の誘電体材料において、
上記組成比a,b,cが、10≦a≦95,0<b≦35,5≦c≦75,a+b+c=100モル%となるように調製されている
ことを特徴とする誘電体材料。 - 請求項1または請求項2記載の誘電体材料において、
上記一般式における希土類元素REが、La,Pr,Nd,Smの中から選択された1種または2種以上の元素である
ことを特徴とする誘電体材料。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の誘電体材料において、
上記一般式におけるアルカリ土類元素AEが、Ca,Sr,Baの中から選択された1種または2種以上の元素である
ことを特徴とする誘電体材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25685597A JP3704424B2 (ja) | 1997-09-22 | 1997-09-22 | 誘電体材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25685597A JP3704424B2 (ja) | 1997-09-22 | 1997-09-22 | 誘電体材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1192224A JPH1192224A (ja) | 1999-04-06 |
JP3704424B2 true JP3704424B2 (ja) | 2005-10-12 |
Family
ID=17298360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25685597A Expired - Fee Related JP3704424B2 (ja) | 1997-09-22 | 1997-09-22 | 誘電体材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3704424B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4006755B2 (ja) * | 2000-10-30 | 2007-11-14 | 日立金属株式会社 | マイクロ波用誘電体磁器組成物 |
KR100408022B1 (ko) * | 2001-02-02 | 2003-12-01 | 엘지전자 주식회사 | 유전체 칼라필터 및 그 조성물 |
-
1997
- 1997-09-22 JP JP25685597A patent/JP3704424B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1192224A (ja) | 1999-04-06 |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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