JP3697973B2 - 回路板製造用基材処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属箔張積層板等の基材に、回路板の製造のための種々の処理を行うための回路板製造用基材処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
プリント配線板の内層材等に用いられる回路板は、例えば両面金属箔張積層板等の基材にサブトラクティブ法等を施して製造されるものである。このとき例えば基材上に感光性樹脂を設け、露光処理、現像処理を経て基板上にレジスト層を形成し、エッチング処理を経て基板上に回路を形成し、剥離処理を経て基板上のレジスト層を除去するものである。
【0003】
このように複数の工程を経て回路板を製造するにあたり、従来は製品サイズに形成された短尺の基材一枚ずつに対して各種処理を行っていたものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のように基材一枚ずつに処理を行う場合は、処理工程における基材の搬送及び各種処理工程における基材の位置合わせの工程が煩雑となって処理効率が悪いものであり、また処理後の基材を次工程に移載するには処理後の基材を積み上げて移動しなければならず、この移載工程も面倒なものであった。
【0005】
一方、近年、基材の製造にあたっては、長尺の金属箔と樹脂シートとを連続的に積層一体化することにより長尺の基材を製造する連続工法が採用されるようになってきている。
【0006】
そこで、この長尺の基材を切断せずに、搬送しながら各種処理を行うことが考えられる。この場合、長尺の基材を搬送しながら順次各種処理を行うことにより、基材を連続的に効率よく処理することができ、しかも処理後の長尺の基材をロール状に巻回すことにより容易に移載することができるものである。
【0007】
しかし、このような連続的な処理工程において、複数の処理を順次行う場合は、基材の配路が長くなり、配路における基材の滑りや基材の搬送速度の誤差が累積して、基材が弛んだり基材に過剰な張力がかかることとなり、基材を円滑に搬送することが困難となるものであった。またこのとき配路上の基材が搬送方向とは直交する方向にずれた場合は、配路の下流側において巻き取られたロール状の基材の側端が不揃いとなって、基材の側方に突出した部分が移載工程において何らかの障害物にぶつかった場合に破損するおそれがあった。
【0008】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、長尺な基材を円滑に搬送しながら基材に複数の処理を順次施すことができ、しかも搬送中における基材の配置位置の精度を向上することができる、回路板製造用基材処理装置を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係る回路板製造用基材処理装置は、長尺の基材1がその長手方向に搬送される配路と、配路に沿って直列に設けられた、配路上の基材1に各種の処理を施す二以上の基材処理部2と、二つの基材処理部2間の配路に設けられた、上下昇降自在な中間段差ロール3と、中間段差ロール3の所定位置からの上下の変位に基づいて出力信号を出力する変位検出器4と、中間段差ロール3の上流側における基材1の搬送速度を制御する上流側制御部5と、中間段差ロール3の下流側における基材の搬送速度を制御する下流側制御部6と、上流側制御部5及び下流側制御部6に制御信号を送ることにより上流側制御部5及び下流側制御部6における速度制御を設定する主速度設定部7と、変位検出器4から出力された出力信号に基づいて主速度設定部7からの制御信号を補正して下流側制御部6に送る従速度設定部8とを具備して成ることを特徴とするものである。
【0010】
また請求項2の発明は、請求項1の構成に加えて、配路における基材1の搬送に応じてロール状に巻回された基材1を搬送方向とは反対向きの一定の制動力をかけながら配路に繰り出す基材繰出部9を具備して成ることを特徴とするものである。
【0011】
また請求項3の発明は、請求項1又は2の構成に加えて、配路における基材1の搬送に応じて配路上の基材1を搬送方向へ一定の張力をかけながらロール状に巻取る基材巻取部10を具備して成ることを特徴とするものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【0013】
基材1としては、従来からプリント配線板の製造に利用されている積層板等を用いることができる。具体的には、紙やガラス織布、ガラス不織布等のシート状の繊維材にエポキシ樹脂等を含む樹脂組成物を含浸させて樹脂を半硬化状態にすることによってプリプレグを形成し、一枚あるいは複数枚のプリプレグの両面に銅箔等の金属箔を重ね、これを加熱し加圧又は無圧下で積層一体化することによって、プリプレグが絶縁層となった金属箔張積層板を用いることができる。ここで基材1は長尺のシート状に形成されるものであり、製造装置に設けられる処理装置の種類に応じて、種々の処理が施されたものを用いることができる。
【0014】
図1に本発明の実施の形態の一例を示す。
【0015】
基材1としては、金属箔張積層板に紫外線硬化性樹脂等からなるドライフィル等の感光性材料が設けられ、更にこの感光性材料にエッチングレジスト形成用の露光処理が施されたものが用いられる。
【0016】
回路板製造用基材処理装置には、基材1の配路が設定されており、基材1の配路の上流側から順に、基材繰出部9、繰出側アキュームレータ15、現像部2a、エッチング部2b、中間アキュームレータ30、剥離部2c、乾燥部2d、巻取側アキュームレータ38、基材巻取部10が配設されている。ここで現像部2a、エッチング部2b、剥離部2c及び乾燥部2dは、基材1に処理を施す処理部2として配設されている。
【0017】
基材繰出部9は、基材1が巻回された基材繰出リール11が軸回転可能に取り付けられるものであり、基材繰出リール11の一対の支軸12を平行に配設して構成される。この支軸12は、内部にエアーが注入されることにより外周面に設けられたラグ等が外方に突出して基材繰出リール11の軸芯の内周面に弾接するように形成されたエアーシャフトにて構成することができ、基材繰出リール11をその回転軸がぶれないように安定して保持するものである。この一対の支軸12のうちの一方に取り付けられた基材繰出リール11から基材1を配路に繰出し、この基材繰出リール11に巻回された基材1がすべて配路に繰出されたら、他方の基材繰出リール11に巻回された基材1を配路に繰出すようにして、基材1を途切れなく配路に繰出すことができる。また基材繰出部9には、基材1を配路に繰出していない基材繰出リール11に巻回された基材1の先端部が載置される仮置台13が配置されている。
【0018】
また支軸12への回転駆動力の伝達と支軸12の回転阻止とを行うことができるモータ等の駆動源が設けられている。この駆動源としてはACサーボモータを用いることができ、この場合はこのACサーボモータのサーボロック力により支軸12の回転を阻止することができる。
【0019】
またこの駆動源には、駆動源にて支軸12が回転駆動しているときに支軸12に一定の範囲で任意の制動力を与えながら回転させる、パウダーブレーキ等の制動手段が接続されている。パウダーブレーキを用いる場合は、所望の制動力に比例した電圧をパウダーブレーキに出力することにより、所望の制動力を支軸12に伝達することができるものである。そして、例えば図3に概念的に示すように、駆動源46aに接続されたコントロールアンプ45aに所望の制動力を入力すると、コントロールアンプ45aにてこの入力した制動力に比例した出力電圧が発生し、この出力電圧が駆動源46aのパウダーブレーキに出力されて、所望の制動力が支軸12に伝達されるようにするものである。
【0020】
接着台14は、配路上の基材1の下方に基材1と近接させて配置されており、その上面が配路上の基材1に沿った略水平面に形成されている。
【0021】
また繰出側アキュームレータ15は、基材1の配路に沿って平行並列に配設された3本の固定ロール16と、この固定ロール16間の各隙間の下方に配設され、上下に昇降可能な二本の段差ロール17とから構成されている。各段差ロール17は、図5に示すように、段差ロール17の両端を軸支する一対の軸支部18にて接続されており、この軸支部18間には昇降プレート19が架設されている。この昇降プレート19は上下方向の昇降ロッド21に沿って摺動自在に配設されており、これにより、二本の段差ロール17が連動して昇降自在に配設されている。またこの昇降プレート19には、任意の重量の錘20が着脱自在に取付けられる。
【0022】
基材1の配路はこの固定ロール16及び段差ロール17に沿ってW字状に設定される。すなわち、露光部4から送られてくる基材1は、基材1の配路の上流側に配設された固定ロール16の上方、一方の段差ロール17の下方、中間の固定ロール16の上方、他方の段差ロール17の下方、配路の上流側に配設された固定ロール16の上方の順に掛架されるものである。ここで段差ロール17は、その自重による荷重を基材1にかけることによって、この段差ロール17の上流側及び下流側の基材1に一定の張力をかけるものである。この基材1の張力は、段差ロール17に錘20をつけることによって調節できる。
【0023】
現像部2aには、複数本の現像液噴射ノズル22と、複数本の洗浄水噴射ノズル23と、エアーナイフ24とが、配路に沿って配路上の基材1の搬送方向に向けて順に配設されている。現像液噴射ノズル22は、配路を介して上下に対向して設けられている。この現像液噴射ノズル22は感光性材料の未硬化部分を除去する現像液25を噴射するものであって、現像液25としては、例えば、炭酸ナトリウム水溶液を用いることができる。また複数本の洗浄水噴射ノズル23は、配路を介して上下に対向して設けられている。この洗浄水噴射ノズル23は、現像後の基材1を洗浄するための洗浄水26を噴射するものである。またエアーナイフ24は配路を介して上下に対向して設けられている。このエアーナイフ24は、洗浄後の基材1表面にエアーを噴出して基材1を乾燥させるものである。
【0024】
エッチング部2bには、複数本のエッチング液噴射ノズル27と、複数本の洗浄水噴射ノズル23と、エアーナイフ24とが、配路に沿って配路上の基材1の搬送方向に向けて順に配設されている。複数本のエッチング液噴射ノズル27は、配路を介して上下に対向して設けられている。このエッチング液噴射ノズル27は感光性材料で覆われていない部分の金属箔を除去するエッチング液28を噴射するものであって、エッチング液28としては、例えば、塩酸及び銅イオンを含む水溶液を用いることができる。また複数本の洗浄水噴射ノズル23は、配路を介して上下に対向して設けられている。この洗浄水噴射ノズル23は、エッチング後の基材1を洗浄するための洗浄水26を噴射するものである。またエアーナイフ24は配路を介して上下に対向して設けられている。このエアーナイフ24は、洗浄後の基材1表面にエアーを噴出して基材1を乾燥させるものである。
【0025】
また現像部2a及びエッチング部2bには、回転駆動することにより配路上の基材1を搬送する複数本の搬送ロール29が、配路の上下に配設されており、この各搬送ロール29は、サーボモータ等からなる速度制御型モータ43aに接続され、この速度制御型モータ43aの駆動力が伝達されて連動して回転駆動するものである。またこの速度制御型モータ43aには、この速度制御型モータ43aに駆動電圧を供給することにより、速度制御型モータ43aを駆動すると共に中間段差ロール3よりも上流側における基材1の搬送速度を制御する上流側制御部5に接続されている。
【0026】
中間アキュームレータ30は、基材1の配路に沿って平行並列に配設された2本の固定ロール16と、この固定ロール16間の隙間の下方に配設され、上下に昇降可能な中間段差ロール3とから構成されている。中間段差ロール3は図6に示すように、中間段差ロール3の両端を軸支する軸支部18を、上下方向の昇降レール48に摺動自在に取付けることにより配設されており、またこの軸支部18には、任意の重量の錘20が着脱自在に取付けられる。
【0027】
基材1の配路はこの固定ロール16及び中間段差ロール3に沿ってV字状に設定される。すなわち、露光部4から送られてくる基材1は、基材1の配路の上流側に配設された固定ロール16の上方、中間段差ロール3の下方、基材1の配路の下流側に配設された固定ロール16の上方の順に掛架されるものである。ここで中間段差ロール3は、その自重による荷重を基材1にかけることによって、この中間段差ロール3の上流側及び下流側の基材1に一定の張力をかけるものである。この基材1の張力は、中間段差ロール3に錘20をつけることによって調節できる。
【0028】
またこの中間アキュームレータ30には、中間段差ロール3の所定位置からの上下方向の変位に基づいた出力信号を出力する変位検出器4が設けられている。この変位検出器4としては、中間段差ロール3の上下昇降運動を軸回転運動に変換して、中間段差ロール3の上下の変位を回転運動の角度変位として検出し、この角度変位に基づいた出力信号を出力するものを用いることができる。
【0029】
具体的には、例えば図6に示すように、中間段差ロール3の軸支部18には鎖31の一端が取付けられている。この鎖31は軸支部18から上方に引き出されており、鎖31の他端側は巻取リール32に接続されている。この巻取リール32には鎖31を巻取る方向のトルク力が付勢されており、中間段差ロール3の上下昇降に従って、弛みが発生しないように鎖31を巻取り、あるいは繰出しながら、軸回転するものである。この巻取リール32には、巻取リール32の軸回転に応じて回転する歯車33が取付けられている。この歯車33は、他の歯車34と噛合しながら回転するように設けられており、この他の歯車34は、変位検出器4の入力軸35に接続されている。変位検出器4には、入力軸35の所定状態からの変位角に応じて、この変位角に略比例する出力電圧を発生させるシンクロ発振器が内蔵されており、変位検出器4はこの出力電圧を出力信号として出力するものである。この入力軸35の変位角と出力電圧との関係の例を、図8に示す。ここで、中間段差ロール3の所定位置から下降する方向の変位を正方向の変位、中間段差ロール3の所定位置から上昇する方向の変位を負方向の変位、中間段差ロール3が正方向に変位した際の入力軸35の変位を正方向の変位、中間段差ロール3が負方向に変位した際の入力軸35の変位を負方向の変位と定義すると、変位検出器4は、中間段差ロール3が所定の位置から正方向に変位して入力軸35が正方向に変位したら、この変位量に略比例する正電圧を出力信号として出力し、中間段差ロール3が所定の位置から負方向に変位して入力軸35が負方向に変位したら、この変位量に略比例する負電圧を出力電圧として出力するように調整するものである。
【0030】
また剥離部2cには複数本の剥離液噴射ノズル36と複数本の洗浄水噴射ノズル23とエアーナイフ24とが、配路に沿って配路上の基材1の搬送方向に向けて順に配設されている。複数本の剥離液噴射ノズル36は、配路を介して上下に対向して設けられている。この剥離液噴射ノズル36はエッチング後に金属箔張り積層板1の表面に残る感光性材料を除去する剥離液37を噴射するものであって、剥離液37としては、例えば、水酸化ナトリウム水溶液を用いることができる。また複数本の洗浄水噴射ノズル23は、配路を介して上下に対向して設けられている。この洗浄水噴射ノズル23は、感光性材料を除去した後の基材1を洗浄するための洗浄水26を噴射するものである。またエアーナイフ24は配路を介して上下に対向して設けられている。このエアーナイフ24は、洗浄後の基材1表面にエアーを噴出して基材1を乾燥させるものである。
【0031】
また乾燥部2dにはエアーナイフ24が配設されており、洗浄・乾燥後の基材1表面に更にエアーを噴出して基材1を完全に乾燥させるものである。
【0032】
また剥離部2c及び乾燥部2dには、回転駆動することにより配路上の基材1を搬送する複数本の搬送ロール29が、配路の上下に配設されており、この各搬送ロール29は、サーボモータ等からなる速度制御型モータ43bに接続され、この速度制御型モータ43bから駆動力が伝達されて連動して回転駆動するものである。またこの速度制御型モータ43bには、この速度制御型モータ43bに駆動電圧を供給することにより、速度制御型モータ43bを駆動すると共に中間段差ロール3よりも上流側における基材1の搬送速度を制御する下流側制御部6に接続されている。
【0033】
また巻取側アキュームレータ38は、基材1の配路に沿って平行並列に配設された2本の固定ロール16と、この固定ロール16間の隙間の下方に配設され、上下に昇降可能な段差ロール17とから構成されている。段差ロール17は図7に示すように、段差ロール17の両端を軸支する軸支部18を、上下方向の昇降レール48に摺動自在に取付けることにより配設されており、またこの軸支部18には、任意の重量の錘20が着脱自在に取付けられる。
【0034】
基材1の配路はこの固定ロール16及び段差ロール17に沿ってV字状に設定される。すなわち、露光部4から送られてくる基材1は、基材1の配路の上流側に配設された固定ロール16の上方、段差ロール17の下方、基材1の配路の下流側に配設された固定ロール16の上方の順に掛架されるものである。ここで段差ロール17は、その自重による荷重を基材1にかけることによって、この段差ロール17の上流側及び下流側の基材1に一定の張力をかけるものである。この基材1の張力は、段差ロール17に錘20をつけることによって調節できる。
【0035】
分離台39は、配路上の基材1の下方に基材1と近接させて配置されており、その上面が配路上の基材1に沿った略水平面に形成されている。
【0036】
基材巻取部10は、基材1が巻回される基材巻取リール40が軸回転可能に取り付けられるものであり、基材巻取リール40の一対の支軸12を配設して構成される。この各支軸12は、内部にエアーが注入されることにより外周面に設けられたラグ等が外方に突出して基材巻取リール40の軸芯の内周面に弾接するように形成されたエアーシャフトにて構成することができ、基材巻取リール40をその回転軸がぶれないように安定して保持するものである。この一対の支軸12のうちの一方に取り付けられた基材巻取リール40にて基材1を配路から巻取り、次いで他方の基材巻取リール40にて配路から基材1を巻取るようにして、基材1を途切れなく配路から巻取ることができる。
【0037】
また基材巻取部10には、支軸12に軸回転運動を伝達すると共にこの支軸12の軸回転運動に一定範囲で任意のトルクを与える駆動源を設けるものであり、この駆動源として、パウダークラッチ等の無段階クラッチを備えたモータ等を設けることができる。ここで支軸12にかける回転運動のトルクは、基材巻取リール40に巻回されている基材1の巻径に応じて制御されるものであり、支軸12が回転して巻径が大きくなるに従って無段階クラッチを制御してこのトルクを大きくすることにより、基材1を巻き取る際にかかる基材1への張力を一定に保つようにするものである。パウダークラッチを用いる場合は、所望のトルクに比例した電圧をパウダークラッチに出力することにより、所望のトルクを支軸12に伝達することができるものである。そして、例えば図4に概念的に示すように、支軸12に支軸12の回転に従って回転する突出針43を設けると共に、突出針43の回転時の軌跡付近に近接スイッチ44を配設し、支軸12が一回転するごとに近接スイッチ44にて突出針43が検出されるようにする。この検知結果は巻径検知装置47に出力し、この巻径検知装置47にて、近接スイッチ44による検知回数から巻径を導出する。ここで巻径は、支軸12の回転数に基材1の板厚を乗じた値ずつ増大するものである。そして巻径検知装置47から巻径を、巻径検知装置47に接続されたコントロールアンプ45bに出力すると、コントロールアンプ45bにてこの巻径に比例した出力電圧が発生し、この出力電圧が駆動源46bのパウダークラッチに出力されて、所望のトルクが支軸12に伝達されるようにするものである。
【0038】
また、図1及び図2に示すように、上流側制御部5及び下流側制御部6には、上流側制御部5及び下流側制御部6に制御信号を送ることにより上流側制御部5及び下流側制御部6を制御して基材1の搬送速度を設定する主速度設定部7が接続されている。ここで上流側制御部5は主速度設定部7に直接接続され、下流側制御部6は主速度設定部7に、従速度設定部8を介して接続されている。この従速度設定部8は、主速度設定部7からの制御信号と共に変位検出器4からの出力信号が入力されるものであり、主速度設定部7からの制御信号を出力信号に基づいて補正した後、下流側制御部6に出力するものである。この従速度設定部8は、中間段差ロール3が所定の位置から上方に変位した場合は、下流側制御部6により制御される基材1の搬送速度が主速度設定部7により設定された速度よりも、遅くなるように制御信号を補正し、中間段差ロール3が所定位置よりも下降した場合は、下流側制御部6により制御される基材1の搬送速度が主速度設定部7により設定された速度よりも速くなるように制御信号を補正するものである。
【0039】
例えば主速度設定部7として、設定された基材1の搬送速度に比例する制御電圧(例えば±10Vの範囲)を制御信号として出力し、上流側制御部5及び下流側制御部6として、入力された制御信号の電圧に比例する駆動電圧を速度制御型モータ43a、43bに出力するものを用い、変位検出器4として既述のような変位角に比例した電圧(例えば±90Vの範囲)を出力信号として出力するものを用いる場合は、従速度設定部8として、制御信号である制御電圧に、変位検出器4から出力された出力信号である出力電圧に比例した電圧(例えば±10Vの範囲)を加算することにより駆動電圧を補正するものを用いるものである。このようにすると、中間段差ロール3が所定位置よりも上昇している場合は、下流側制御部6により制御される基材1の搬送速度を、上流側制御部5により制御される基材1の搬送速度よりも、中間段差ロール3の変位量に比例する速度だけ遅い速度に制御して、中間段差ロール3を下降させて所定の配置位置まで復帰させ、また中間段差ロール3が所定位置よりも下降している場合は、下流側制御部6により制御される基材1の搬送速度を、上流側制御部5により制御される基材1の搬送速度よりも、中間段差ロール3の変位量に比例する速度だけ速い速度に制御して、中間段差ロール3を上昇させて所定の配置位置まで復帰させることができるものである。
【0040】
そして、上記のような回路板製造用基材処理装置を用いて基材1に回路板製造用の処理を施すにあたっては、化学研磨による粗面化等が施され、表面に紫外線硬化性樹脂からなるドライフィルム等の感光性材料が設けられ、更にこの感光性材料にレジスト形成用の露光硬化処理が施された長尺な基材1を基材繰出リール11に巻回し、基材繰出部9を駆動して基材1の基材繰出リール11から配路に繰出すと共に、基材巻取部10を駆動して配路から基材巻取リール40に基材1を巻き取るものであり、またこのとき上流側制御部5と下流側制御部6による基材1の搬送速度をとを既述のように設定して、配路上で基材1を連続的に搬送しながら、各処理部にて基材1に順次各種の処理を施すものである。すなわち基材繰出部9から配路に繰出された基材1は、まず繰出側アキュームレータ15を通過して現像部2aに導入される。ここで基材1の感光性材料に現像液25を噴射され感光性材料の未硬化部分が現像されて除去された後、洗浄水26が噴射噴射されて洗浄される。次に、基材1は現像部2aから導出される共にエッチング部2bに導入され、ここで感光性材料の硬化部分で覆われていない金属箔にエッチング液28が噴射されて不要な金属箔がエッチングにより除去された後、洗浄水26が噴射噴射されて洗浄される。次に、基材1はエッチング部2bから導出され、中間アキュームレータ30を通過して剥離部2cに導入される。ここで、基材1の表面に残る感光性材料の硬化物に剥離液37が噴射されて基材1から感光性材料が除去された後、洗浄水26が噴射噴射されて洗浄される。次に、基材1は剥離部2cから導出されると共に乾燥部2dに導入される。ここで基材1は充分に乾燥されて水分が除去される。この後、基材1が乾燥部2dから導出され、巻取側アキュームレータ38を通過して基材巻取部10の基材巻取リール40にロール状に巻取られる。この、基材巻取リール40に巻き取られた基材1は、次工程に移載され、切断加工が施されることによって、複数枚の回路板が切り出される。
【0041】
このようにして基材1の処理を連続的に行っていくうちに、基材繰出リール11に巻回されている基材1がすべて配路に繰出されたら、基材繰出部9における基材1の搬送を停止し、基材1を接着台14上にクランプ等で固定すると共にこの接着台14上で切断する。このとき繰出側アキュームレータ15の段差ロール17が上動することにより、繰出側アキュームレータ15よりも下流側の配路における基材1の搬送が確保される。この状態で、基材繰出部9の、基材1の繰出しがなさていない側の基材繰出リール11から引き出されている基材1の先端部を、仮置台13から接着台14上に引き出し、接着台14上で配路上の基材1の後端部と、新たな基材1の先端部とを接着する。この接着方法は特に制限されず、接着剤の使用、熱圧着、固着具の使用等により行うことができる。基材1同士の接着がなされたら、接着台14上の基材1の固定を解除し、基材繰出部9からの基材1の繰出しを再開する。このとき繰出側アキュームレータ15の段差ロール17を徐々に下降させる。
【0042】
また、この基材1同士の接着部分が分離台39の上方まで搬送されたら、この接着部分を分離台39上にクランプ等で固定すると共に、基材巻取部10における基材1の巻取りを停止する。このとき巻取側アキュームレータ38の段差ロール17が下降することにより、巻取側アキュームレータ38よりも上流側における基材1の搬送が確保され。この状態で、分離台39上において基材1を接着部分で分離する。基材1同士を分離したら、分離台39上における基材1の固定を解除し、上流側の基材1を巻取側アキュームレータ38を上動させながら、基材1の巻取りがなされていない側の基材巻取リール40に接続する。そして、基材巻取部10における基材1の巻取りを再開する。
【0043】
このようにして基材繰出リール11及び基材巻取リール40を交換しながら、基材1を連続的に処理することができるものである。
【0044】
以上のように示される回路板製造用基材処理装置を用いて基材1に連続的に複数の処理を順次施すようにすると、多数枚の短尺の基材1に回路形成のための処理を行う場合のように各処理工程への投入間隔(タクトタイム)があかないようにすることができ、生産性を高くすることができるものであり、また、短尺の基材1を形成する際に生じる切断ロス等を少なくすることができ、大量の生産ロスが生じないようにすることができるものである。さらに、極薄の基材1を用いても曲がったり撓んだりすることが無くて搬送する際など破損しにくくなり、歩留まりを向上させることができるものである。
【0045】
また基材1の配路を長く構成することにより、基材1と搬送ロール29との間の滑りや、搬送ロール29の回転速度の部分的な誤差等によって、基材1の搬送速度にむらが生じるような場合であっても、この搬送速度のむらを中間段差ロール3の上下方向の変位によって吸収すると共に、変位した中間段差ロール3を所定の配置位置に復帰させるように下流側制御部6に伝達される制御信号を補正することにより、基材1に過大な張力が発生したり基材1が弛んだりすることを防ぎ、基材1を円滑に搬送すると共に、配路上における基材1の配置位置のずれを防止することができるものである。
【0046】
更に、配路に繰出される基材1は、基材繰出部9によって一定の制動力がかけられれた状態で繰出されるため、基材1の繰出し時に基材1に過度の張力がかかったり、基材1が配路に過剰に繰出されて配路上の基材1に弛みが生じることを防ぐことができ、一方、配路から巻取られる基材1は、基材巻取部10によって一定の張力がかけられた状態で巻取られるため、基材1の巻取り時に基材1に過度の張力がかかったり、配路から送られてくる基材1を巻取りきれずに基材1に弛みが生じることを防ぐことができるものであり、従って、基材1に一定の張力をかけながら基材1を配路に円滑に繰出すと共に基材1を配路から円滑に巻取ることができるものであり、配路上の基材1の位置ずれや弛みの発生を防止することができるものである。しかも繰出側アキュームレータ15及び巻取側アキュームレータ38の段差ロール17、並びに中間アキュームレータ30の中間段差ロール3は、その上流側及び下流側の基材1に一定の張力をかけているので、段差ロール17や中間段差ロール3によって基材1の配路が湾曲されていても、基材1に弛みが発生することを防ぐことができるものである。
【0047】
そしてこのようにして配路上の基材1の配置位置の位置精度が一定に保たれるため、基材巻取リール40における基材1の巻取り時に、基材1の側端部がずれることがなく、基材巻取リール40に基材1を側端部が揃った状態で巻き取ることができるものである。ここで、基材1の繰出時に基材繰出部9にて基材1にかける制動力、段差ロール17及び中間段差ロール3にて基材1の上流側にかける張力並びに基材巻取部10にて支軸12に所定のトルクをかけることによる基材1にかける張力は、基材1に板厚に比例する最適な張力がかかるように調整することが好ましい。この基材1にかける最適な張力は、図11に示す通りであり、板厚が0.1mmのときは162N/m、板厚が0.2mmのときは240N/mとなる。
【0048】
【発明の効果】
上記のように、本発明の請求項1に係る回路板製造用基材処理装置は、長尺の基材がその長手方向に搬送される配路と、配路に沿って直列に設けられた、配路上の基材に各種の処理を施す二以上の基材処理部と、二つの基材処理部間の配路に設けられた、上下昇降自在な中間段差ロールと、中間段差ロールの所定位置からの上下の変位に基づいて出力信号を出力する変位検出器と、中間段差ロールの上流側における基材の搬送速度を制御する上流側制御部と、中間段差ロールの下流側における基材の搬送速度を制御する下流側制御部と、上流側制御部及び下流側制御部に制御信号を送ることにより上流側制御部及び下流側制御部における速度制御を設定する主速度設定部と、変位検出器から出力された出力信号に基づいて主速度設定部からの制御信号を補正して下流側制御部に送る従速度設定部とを具備するため、このような回路板製造用基材処理装置を用いて基材に連続的に複数の処理を順次施すようにすると、多数枚の短尺の基材に回路形成のための処理を行う場合のように各処理工程への投入間隔があかないようにすることができ、生産性を高くすることができるものであり、また、短尺の基材を形成する際に生じる切断ロス等を少なくすることができ、大量の生産ロスが生じないようにすることができるものである。また、極薄の基材を用いても曲がったり撓んだりすることが無くて搬送する際など破損しにくくなり、歩留まりを向上させることができるものである。更に、基材の配路を長く構成することにより、搬送速度の部分的な誤差等が累積して、基材の搬送速度にむらが生じるような場合であっても、この搬送速度のむらを中間段差ロールの上下方向の変位によって吸収すると共に、変位検出器から出力された出力信号に基づいて、従速度設定部にて主速度設定部からの制御信号を、下流側制御部により制御される基材の搬送速度を上流側制御部により制御される基材の搬送速度よりも速くし、又は遅くすることによって変位した中間段差ロールを所定の配置位置に復帰させるように補正して下流側制御部に伝達することができ、基材に過大な張力が発生したり基材が弛んだりすることを防ぎ、基材を円滑に搬送すると共に、配路上における基材の配置位置のずれを防止することができるものである。
【0049】
また請求項2の発明は、請求項1の構成に加えて、配路における基材の搬送に応じてロール状に巻回された基材を搬送方向とは反対向きの一定の制動力をかけながら配路に繰り出す基材繰出部を具備するため、基材の繰出し時に基材に過度の張力がかかったり、基材が配路に過剰に繰出されて配路上の基材に弛みが生じることを防ぐことができ、基材に一定の張力をかけながら配路に円滑に繰出すことができるものである。
【0050】
また請求項3の発明は、請求項1又は2の構成に加えて、配路における基材の搬送に応じて配路上の基材を搬送方向へ一定の張力をかけながらロール状に巻取る基材巻取部を具備するため、基材の巻取り時に基材に過度の張力がかかったり、配路から送られてくる基材を巻取りきれずに基材に弛みが生じることを防ぐことができるものであり、基材に一定の張力をかけながら配路から円滑に巻取ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示す全体の概略図である。
【図2】同上の実施の形態における搬送速度の制御機構を示すフロー図である。
【図3】同上の実施の形態における基材繰出部での制動力の制御機構を示す概念図である。
【図4】同上の実施の形態における基材巻取部でのトルクの制御機構を示す概念図である。
【図5】同上の実施の形態における繰出側アキュームレータにおける段差ロールの構成を示す一部の斜視図である。
【図6】同上の実施の形態における中間段差ロールの構成を示す一部の斜視図である。
【図7】同上の実施の形態における巻取側アキュームレータにおける段差ロールの構成を示す一部の斜視図である。
【図8】変位検知器における変位角と出力電圧の関係の一例を示すグラフである。
【図9】基材の板厚と基材にかける最適な張力との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1 基材
2 処理部
3 中間段差ロール
4 変位検出器
5 上流側制御部
6 下流側制御部
7 主速度制御部
8 従速度制御部
9 基材繰出部
10 基材巻取部
Claims (3)
- 長尺の基材がその長手方向に搬送される配路と、配路に沿って直列に設けられた、配路上の基材に各種の処理を施す二以上の基材処理部と、二つの基材処理部間の配路に設けられた、上下昇降自在な中間段差ロールと、中間段差ロールの所定位置からの上下の変位に基づいて出力信号を出力する変位検出器と、中間段差ロールの上流側における基材の搬送速度を制御する上流側制御部と、中間段差ロールの下流側における基材の搬送速度を制御する下流側制御部と、上流側制御部及び下流側制御部に制御信号を送ることにより上流側制御部及び下流側制御部における速度制御を設定する主速度設定部と、変位検出器から出力された出力信号に基づいて主速度設定部からの制御信号を補正して下流側制御部に送る従速度設定部とを具備して成ることを特徴とする回路板製造用基材処理装置。
- 配路における基材の搬送に応じてロール状に巻回された基材を搬送方向とは反対向きの一定の制動力をかけながら配路に繰り出す基材繰出部を具備して成ることを特徴とする請求項1に記載の回路板製造用基材処理装置。
- 配路における基材1の搬送に応じて配路上の基材を搬送方向へ一定の張力をかけながらロール状に巻取る基材巻取部を具備して成ることを特徴とする請求項1又は2に記載の回路板製造用基材処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30472599A JP3697973B2 (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | 回路板製造用基材処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30472599A JP3697973B2 (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | 回路板製造用基材処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001127404A JP2001127404A (ja) | 2001-05-11 |
JP3697973B2 true JP3697973B2 (ja) | 2005-09-21 |
Family
ID=17936472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30472599A Expired - Lifetime JP3697973B2 (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | 回路板製造用基材処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3697973B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5165354B2 (ja) * | 2007-12-12 | 2013-03-21 | 新光電気工業株式会社 | スプレー処理用搬送装置 |
JP2010179987A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 表面処理システムおよび表面処理方法 |
CN107718599A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-02-23 | 茂名市腾龙工业皮带有限公司 | 一种工业皮带玻璃纤维线绕线器 |
CN115558928A (zh) * | 2022-08-31 | 2023-01-03 | 浙江众凌科技有限公司 | 一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法 |
-
1999
- 1999-10-26 JP JP30472599A patent/JP3697973B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001127404A (ja) | 2001-05-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050603 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090715 Year of fee payment: 4 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090715 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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