JP3687650B2 - 浮上型薄膜磁気ヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、インダクティブ書込みヘッド素子を備えた浮上型薄膜磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の浮上型薄膜磁気ヘッドにおいては、書込み動作時にコイルに書込み電流を流すと、そのジュール熱によって書込みヘッド素子を被覆する保護膜であるオーバーコート層が熱膨張し、磁気ヘッドスライダが部分的に突出する。このため、低浮上量型の最近の薄膜磁気ヘッドにおいては、磁気ヘッドスライダの特に最も突出量の大きい後端(トレーリングエッジ)が、回転する磁気ディスクの表面と接触、クラッシュを起こす可能性がある。
【0003】
このようなヘッドクラッシュを防止するための対策として、(1)コイルの電気抵抗を下げて発熱量を低減化すること、(2)基板上のアンダーコート層を薄くして放熱性を高めること、(3)保護膜上に金属パターンを形成して熱を発散させること(特許文献1)、(4)磁気ヘッドスライダのトレーリングエッジに切り欠きを設けること(特許文献2)、(5)磁気ヘッドスライダの保護膜の浮上面(ABS)側に窪み部を設けること(特許文献3)などが提案されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平5−266428号公報
【特許文献2】
特開平7−307070号公報
【特許文献3】
特開平4−366408号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、今後の一層の低浮上化を考慮すると、提案されている各手法では、突出量の低減化が不十分であり、さらなる改善が望まれる。
【0006】
従って本発明の目的は、熱膨張によるヘッドクラッシュの問題をさらに改善しさらなる低浮上化に対応可能な浮上型薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、書込み電流が流れるコイル導体及びヨークを有する書込みヘッド素子と、書込みヘッド素子上に積層されたオーバーコート層と、コイル導体の上方のオーバーコート層内に形成されておりこのオーバーコート層より低い熱伝導率を有する材料による熱ブロック層とを備えた浮上型薄膜磁気ヘッドが提供される。
【0008】
オーバーコート層内にこのオーバーコート層より低い熱伝導率を有する材料による熱ブロック層を設けることにより、磁気ヘッドスライダのトレーリングエッジ側への熱伝導量を効果的に低減でき、これによってそのトレーリングエッジの突出量を最小限に抑制することができる。
【0009】
積層面方向から見た熱ブロック層の面積がコイル導体の面積より大きいことが好ましい。
【0010】
熱ブロック層と浮上面との距離が15μm未満であることが好ましく、さらに、熱ブロック層とヨークとの距離が7.5μm未満であることがより好ましい。
【0011】
熱ブロック層より下方に形成されており、ヘッド動作時に発熱するヒータコイル導体をさらに備えていることも好ましい。このヒータコイル導体は、ヘッドの書込み及び/又は読出し動作時に発熱して書込みヘッド素子及び/又は読出しヘッド素子を磁気ディスク表面方向に意図的に突出させて浮上量を低くさせるためのものであり、本発明は、このような構造の薄膜磁気ヘッドにおいても、熱伝導を効果的にブロックして磁気ヘッドスライダのトレーリングエッジの不必要な突出を最小限に抑制することができる。
【0012】
熱ブロック層が、レジスト材料によって形成されていることも好ましい。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施形態における構成を概略的に示す断面図であり、図2はその斜視断面図である。本実施形態は、インダクティブ書込みヘッド素子と磁気抵抗効果(MR)読出しヘッド素子とが積層形成されている複合型薄膜磁気ヘッドの場合であるが、書込みヘッド素子のみを有する薄膜磁気ヘッドの場合であっても良いことは明らかである。
【0014】
これらの図において、10はAl−TiCによる基板、11はその上に積層されたアンダーコート層(下地層)、12はアンダーコート層11の上に積層された絶縁層、13は絶縁層12上に形成された下部シールド層、14は下部磁極層兼上部シールド層、15は下部シールド層13及び上部シールド層14間にシールドギャップ層16を介して形成されたMR層、17はMR層15に電気的に接続されているリード導体、18は磁気ギャップ層、19は上部磁極層、20は磁気ギャップ層18を介して下部磁極層兼上部シールド層14の先端部に対向している上部先端磁極、21は2段構造のコイル導体、22はコイル導体21を囲む絶縁層、23は上部磁極層19及び絶縁層22上に積層された例えばAl2O3によるオーバーコート層(保護層)、24はオーバーコート層23内に形成されたこのオーバーコート層より低い熱伝導率を有する材料、例えばレジスト材料による熱ブロック層をそれぞれ示している。
【0015】
オーバーコート層23は、そのABS側に切り欠きが設けられており、その下側段の角がトレーリングエッジ23aとなっている。上部先端磁極20は上部磁極層19に磁気的に接続されており、この上部磁極層19は後方で下部磁極層兼上部シールド層14に磁気的に接続されており、これらが書込み磁気ヘッド素子の磁気ヨークを構成している。
【0016】
書込み磁気ヘッド素子を有する薄膜磁気ヘッドでは、コイル導体を流れる書込み電流によりジュール熱が発生し、これがその上に形成されているオーバーコート層に伝わる。従来技術によると、図3に示すように、オーバーコート層を構成するAl2O3は、熱伝導率が高いので熱せられることによって熱膨張し、これによって磁気ヘッドスライダのABSは通常位置30から膨張位置30´に部分的に突出する。その結果、ABSのトレーリングエッジも31から31´へと突出量Pだけ変化し、磁気ディスク表面32との間隙がSNからSPへとかなり小さくなるので、ヘッドクラッシュが生じ易くなるのである。
【0017】
これに対して、本実施形態においては、コイル導体21及び上部磁極層19の面積より大きい面積を有しておりこれらコイル導体21及び上部磁極層19を覆うようにレジスト材料による熱ブロック層24がこのオーバーコート層23内に形成されている。オーバーコート層23を構成するAl2O3は熱伝導率が1(W/mK)であるが、熱ブロック層24を構成するレジスト材料は熱伝導率が0.35(W/mK)とかなり低いため、この熱ブロック層24により熱伝導がかなり阻止される。その結果、トレーリングエッジにおけるオーバーコート層23の熱膨張が抑制され、ABS方向への突出量が低減される。
【0018】
図4は、ABSにおける各位置での熱膨張による突出量をシミュレーションした結果を表す特性図である。同図において、aは熱ブロック層を備えていない従来の薄膜磁気ヘッドの場合、bは熱ブロック層を備えた本実施形態の薄膜磁気ヘッドの場合をそれぞれ表している。なお、同図の横軸は基板10とアンダーコート層11との境界を基準位置とした場合に、ABSにおけるその基準位置からの距離である。この特性を求めた際の、熱ブロック層24の寸法は、ABSから見たときの高さである厚さが1.0μm、ABSからの奥行きが106μm、ABSから見たときの横幅が113μmの長方形であり、コイル導体21の寸法は、高さが約55μm、幅が約70μmであり、ABSから6μm離れた位置から奥に存在する構造とした。
【0019】
同図のa及びbを比較すれば明確なように、本実施形態によれば、トレーリングエッジ近傍において、突出量が約0.3nm程度低減されており、これにより、低浮上量型の薄膜磁気ヘッドにおいても、トレーリングエッジが磁気ディスの表面と接触、クラッシュする可能性がかなり低くなる。
【0020】
図5は、熱ブロック層24の先端のABSからの離間距離を変えた場合のABSにおける各位置での熱膨張による突出量をシミュレーションした結果を表す特性図である。同図において、Aは熱ブロック層を備えていない従来の薄膜磁気ヘッドの場合、BはこのABSからの離間距離が3μmの場合、Cは5μmの場合、Dは15μmの場合、Eは25μmの場合である。また同図の横軸は基板10とアンダーコート層11との境界を基準位置とした場合に、ABSにおけるその基準位置からの距離である。
【0021】
同図より、熱ブロック層24の先端のABSからの離間距離が15μm未満であれば、トレーリングエッジ近傍において、突出量が従来技術より低減されることとなり、低浮上量型の薄膜磁気ヘッドにおいても、トレーリングエッジが磁気ディスの表面と接触、クラッシュする可能性が低くなる。また、離間距離が5μm未満であれば、より好ましい結果が得られている。
【0022】
図6は、熱ブロック層24の上部磁極層19からの離間距離を変えた場合のABSにおける各位置での熱膨張による突出量をシミュレーションした結果を表す特性図である。同図において、(a)は熱ブロック層を備えていない従来の薄膜磁気ヘッドの場合、(b)はこの上部磁極層19からの離間距離が2μmの場合、(c)は2.5μmの場合、(d)は5.5μmの場合、(e)は7.5μmの場合である。また同図の横軸は基板10とアンダーコート層11との境界を基準位置とした場合に、ABSにおけるその基準位置からの距離である。
【0023】
同図より、熱ブロック層24の上部磁極層19からの離間距離が7.5μm未満であれば、トレーリングエッジ近傍において、突出量が従来技術より低減されることとなり、低浮上量型の薄膜磁気ヘッドにおいても、トレーリングエッジが磁気ディスの表面と接触、クラッシュする可能性が低くなる。また、離間距離が2.5〜5.5μmであれば、より好ましい結果が得られている。
【0024】
図7は本発明の薄膜磁気ヘッドの他の実施形態における構成を概略的に示す断面図である。本実施形態は、インダクティブ書込みヘッド素子とMR読出しヘッド素子とが積層形成されている複合型薄膜磁気ヘッドの場合であるが、書込みヘッド素子のみを有する薄膜磁気ヘッドの場合であっても良いことは明らかである。
【0025】
同図において、70はAl−TiCによる基板、71はその上に積層されたアンダーコート層(下地層)、85はアンダーコート層71内に形成されたヒータコイル導体、72はアンダーコート層71の上に積層された絶縁層、73は絶縁層72上に形成された下部シールド層、74は下部磁極層兼上部シールド層、75は下部シールド層73及び上部シールド層74間にシールドギャップ層76を介して形成されたMR層、77はMR層75に電気的に接続されているリード導体、78は磁気ギャップ層、79は上部磁極層、80は磁気ギャップ層78を介して下部磁極層兼上部シールド層74の先端部に対向している上部先端磁極、81は2段構造のコイル導体、82はコイル導体81を囲む絶縁層、83は上部磁極層79及び絶縁層82上に積層された例えばAl2O3によるオーバーコート層(保護層)、84はオーバーコート層83内に形成されたこのオーバーコート層より低い熱伝導率を有する材料、例えばレジスト材料による熱ブロック層をそれぞれ示している。
【0026】
オーバーコート層83は、そのABS側に切り欠きが設けられており、その下側段の角がトレーリングエッジ83aとなっている。上部先端磁極80は上部磁極層79に磁気的に接続されており、この上部磁極層79は後方で下部磁極層兼上部シールド層74に磁気的に接続されており、これらが書込み磁気ヘッド素子の磁気ヨークを構成している。
【0027】
本実施形態では、特に、熱ブロック層83より下方のアンダーコート層71内にヒータコイル導体85が形成されている。このヒータコイル導体85は、ヘッドの書込み及び/又は読出し動作時に発熱して書込みヘッド素子及び/又は読出しヘッド素子をABS方向からに意図的に突出させて浮上量を積極的に低下させるためのものである。
【0028】
このヒータコイル導体85からの熱に加えて、書込み用のコイル導体81を流れる電流によりジュール熱が発生し、これがその上に形成されているオーバーコート層に伝わるおそれがあるが、本実施形態においては、コイル導体81及び上部磁極層79の面積より大きい面積を有しておりこれらコイル導体81及び上部磁極層79を覆うようにレジスト材料による熱ブロック層84がオーバーコート層83内に形成されている。オーバーコート層83を構成するAl2O3は熱伝導率が1(W/mK)であるが、熱ブロック層84を構成するレジスト材料は熱伝導率が0.35(W/mK)とかなり低いため、この熱ブロック層84により熱伝導がかなり阻止される。その結果、トレーリングエッジ83aにおけるオーバーコート層83の熱膨張が抑制され、ABS方向への突出量が低減される。
【0029】
図8は、ABSにおける各位置での熱膨張による突出量をシミュレーションした結果を表す特性図である。同図において、(A)は熱ブロック層を備えていない従来の薄膜磁気ヘッドの場合、(B)は熱ブロック層を備えた本実施形態の薄膜磁気ヘッドの場合をそれぞれ表している。なお、同図の横軸は基板70とアンダーコート層71との境界を基準位置とした場合に、ABSにおけるその基準位置からの距離である。この特性を求めた際の、熱ブロック層84の寸法は、ABSから見たときの高さである厚さが1.0μm、ABSからの奥行きが106μm、ABSから見たときの横幅が113μmの長方形であり、コイル導体81の寸法は、高さが約55μm、幅が約70μmであり、ABSから6μm離れた位置から奥に存在する構造とした。
【0030】
同図の(A)及び(B)を比較すれば明確なように、本実施形態によれば、トレーリングエッジ近傍において、突出量が約2.0nm程度低減されており、これにより、ヒータコイルを有する低浮上量型の薄膜磁気ヘッドにおいても、トレーリングエッジが磁気ディスの表面と接触、クラッシュする可能性がかなり低くなる。
【0031】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【0032】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、オーバーコート層内にこのオーバーコート層より低い熱伝導率を有する材料による熱ブロック層を設けることにより、磁気ヘッドスライダのトレーリングエッジ側への熱伝導量を効果的に低減でき、これによってそのトレーリングエッジの突出量を最小限に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施形態における構成を概略的に示す断面図である。
【図2】図1の薄膜磁気ヘッドの斜視断面図である。
【図3】磁気ヘッドスライダのABSの熱膨張による突出を説明する図である。
【図4】ABSにおける各位置での熱膨張による突出量をシミュレーションした結果を表す特性図である。
【図5】熱ブロック層の先端のABSからの離間距離を変えた場合のABSにおける各位置での熱膨張による突出量をシミュレーションした結果を表す特性図である。
【図6】熱ブロック層の上部磁極層からの離間距離を変えた場合のABSにおける各位置での熱膨張による突出量をシミュレーションした結果を表す特性図である。
【図7】本発明の薄膜磁気ヘッドの他の実施形態における構成を概略的に示す断面図である。
【図8】ABSにおける各位置での熱膨張による突出量をシミュレーションした結果を表す特性図である。
【符号の説明】
10、70 基板
11、71 アンダーコート層(下地層)
12、22、72、82 絶縁層
13、73 下部シールド層
14、74 下部磁極層兼上部シールド層
15、75 MR層
16、76 シールドギャップ層
17、77 リード導体
18、78 磁気ギャップ層
19、79 上部磁極層
20、80 上部先端磁極
21、81 コイル導体
23、83 オーバーコート層(保護層)
23a、31、31´、83a トレーリングエッジ
24、84 熱ブロック層
32a 磁気ディスク表面
85 ヒータコイル導体
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- 書込み電流が流れるコイル導体及びヨークを有する書込みヘッド素子と、該書込みヘッド素子上に積層されたオーバーコート層と、前記コイル導体の上方の前記オーバーコート層内に形成されており該オーバーコート層より低い熱伝導率を有する材料による熱ブロック層とを備えたことを特徴とする浮上型薄膜磁気ヘッド。
- 積層面方向から見た前記熱ブロック層の面積が前記コイル導体の面積より大きいことを特徴とする請求項1に記載の浮上型薄膜磁気ヘッド。
- 前記熱ブロック層と浮上面との距離が15μm未満であることを特徴とする請求項1又は2に記載の浮上型薄膜磁気ヘッド。
- 前記熱ブロック層と前記ヨークとの距離が7.5μm未満であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の浮上型薄膜磁気ヘッド。
- 前記熱ブロック層より下方に形成されており、ヘッド動作時に発熱するヒータコイル導体をさらに備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の浮上型薄膜磁気ヘッド。
- 前記熱ブロック層が、レジスト材料によって形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の浮上型薄膜磁気ヘッド。
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JP4255869B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2009-04-15 | ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ | 磁気ディスク装置およびそれに用いる磁気ヘッドスライダ |
US7212380B2 (en) * | 2004-04-26 | 2007-05-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic write head with recessed overcoat |
US7660080B1 (en) | 2004-04-30 | 2010-02-09 | Western Digital (Fremont), Llc | Read/write head with dynamic flying height control by magnetostriction |
US7092195B1 (en) | 2004-05-28 | 2006-08-15 | Western Digital (Fremont), Inc. | Method of using a magnetic write head having an internal heater |
US20050264949A1 (en) * | 2004-05-28 | 2005-12-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Recessed SiO2 or Si3N4 overcoat for GMR head in magnetic disk drive |
JP2006114160A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気記録再生装置 |
JP4134003B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2008-08-13 | Tdk株式会社 | 発熱層を備えた薄膜磁気ヘッド、該薄膜磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置、並びにマグネティックスペーシング制御方法 |
CN100373454C (zh) * | 2004-12-13 | 2008-03-05 | Tdk株式会社 | 具有用于调节磁间距的发热装置的薄膜磁头 |
JP2006196141A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-07-27 | Tdk Corp | 発熱手段を備えた薄膜磁気ヘッド、該薄膜磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置 |
US7372665B1 (en) | 2005-01-18 | 2008-05-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording head with resistive heating element located near the write coil |
US7428124B1 (en) | 2005-01-18 | 2008-09-23 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording head with resistive heating element and thermal barrier layer |
US7430098B1 (en) | 2005-01-18 | 2008-09-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Perpendicular magnetic recording head with dynamic flying height heating element |
JP2007280502A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッドスライダ |
JP2007323761A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Tdk Corp | 熱膨張率及びヤング率が規定されたコイル絶縁層を備えた薄膜磁気ヘッド |
JP2008027504A (ja) | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッド |
JP2008041115A (ja) | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Alps Electric Co Ltd | 垂直磁気記録ヘッド |
JP2008077719A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
US7436620B1 (en) | 2007-05-29 | 2008-10-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for selecting an electrical power to be applied to a head-based flying height actuator |
US7440220B1 (en) | 2007-05-29 | 2008-10-21 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for defining a touch-down power for head having a flying height actuator |
US7995425B2 (en) * | 2009-03-11 | 2011-08-09 | Headway Technologies, Inc. | Power control of TAMR element during read/write transition |
US10854224B1 (en) * | 2017-08-28 | 2020-12-01 | Seagate Technology Llc | Differential recessed topography of a media-facing surface |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2703838B2 (ja) | 1991-06-13 | 1998-01-26 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘッド |
JP2897462B2 (ja) | 1991-06-14 | 1999-05-31 | 富士通株式会社 | 薄膜磁気ヘッド組立体とその製造方法 |
JP3585563B2 (ja) | 1994-03-17 | 2004-11-04 | 富士通株式会社 | 磁気ヘッド及びこの製造方法及び磁気ディスク装置 |
US6282061B1 (en) | 1994-03-17 | 2001-08-28 | Fujitsu Limited | Magnetic head with improved floating surface |
US6455174B1 (en) * | 1998-11-05 | 2002-09-24 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, recording and reproducing head, and magnetic recording and reproducing method |
JPWO2002037480A1 (ja) * | 2000-10-26 | 2004-03-11 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
JP3636133B2 (ja) * | 2001-11-29 | 2005-04-06 | Tdk株式会社 | 薄膜磁気ヘッド、該薄膜磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置 |
US6859343B1 (en) * | 2002-03-19 | 2005-02-22 | Western Digital, Inc. | Hybrid diffuser for minimizing thermal pole tip protrusion and reader sensor temperature |
JP4144867B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2008-09-03 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気ディスク装置 |
JP3998590B2 (ja) * | 2003-02-24 | 2007-10-31 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気ディスク装置 |
JP4093250B2 (ja) * | 2004-06-04 | 2008-06-04 | Tdk株式会社 | オーバーコート積層体内に発熱体を備えた薄膜磁気ヘッド、該薄膜磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置 |
JP2006024289A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Tdk Corp | 発熱体を備えた薄膜磁気ヘッド、該薄膜磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置 |
-
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