JP2703838B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JP2703838B2 JP2703838B2 JP14215391A JP14215391A JP2703838B2 JP 2703838 B2 JP2703838 B2 JP 2703838B2 JP 14215391 A JP14215391 A JP 14215391A JP 14215391 A JP14215391 A JP 14215391A JP 2703838 B2 JP2703838 B2 JP 2703838B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜磁気ヘッドに関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録密度の向上に伴い、磁気ヘッド
のトラック幅を小さくするために、あるいは多トラック
構成とするため薄膜構造を採用した磁気ヘッドの実用化
が進んでいる。
のトラック幅を小さくするために、あるいは多トラック
構成とするため薄膜構造を採用した磁気ヘッドの実用化
が進んでいる。
【０００３】従来の薄膜磁気ヘッドの構成例を以下に説
明する。図４は、従来の薄膜磁気ヘッドの斜視図であ
る。図５は、従来の薄膜磁気ヘッドの断面構造を示す図
である。図５に示す薄膜磁気ヘッドは基板（スライダ）
１の上に、下部絶縁層２を介して、下部磁性層３が形成
され、その上にギャップ層７が形成されている。そし
て、ギャップ層７の上に、層間絶縁層５が形成され、層
間絶縁層５の内部に信号巻線４が形成されている。信号
巻線は４は、ＣｕやＡｌの導電膜からなり、巻線抵抗を
下げるようにされている。さらに、この上に、上部コア
となる上部磁性層６が形成されている。また、上部磁性
層６の上にＡｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2等からなる厚さ、20〜30
μmの保護層９が被着されている。なお、下部絶縁層２
とギャップ層７と層間絶縁層７と信号巻線４と上部磁性
層６とからヘッドエレメント８が形成されている。
明する。図４は、従来の薄膜磁気ヘッドの斜視図であ
る。図５は、従来の薄膜磁気ヘッドの断面構造を示す図
である。図５に示す薄膜磁気ヘッドは基板（スライダ）
１の上に、下部絶縁層２を介して、下部磁性層３が形成
され、その上にギャップ層７が形成されている。そし
て、ギャップ層７の上に、層間絶縁層５が形成され、層
間絶縁層５の内部に信号巻線４が形成されている。信号
巻線は４は、ＣｕやＡｌの導電膜からなり、巻線抵抗を
下げるようにされている。さらに、この上に、上部コア
となる上部磁性層６が形成されている。また、上部磁性
層６の上にＡｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2等からなる厚さ、20〜30
μmの保護層９が被着されている。なお、下部絶縁層２
とギャップ層７と層間絶縁層７と信号巻線４と上部磁性
層６とからヘッドエレメント８が形成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図５で説明した薄膜磁
気ヘッドにおいて記録のための磁界の強さは、信号巻線
４の巻数と、流れる電流の積に比例するが、薄膜磁気ヘ
ッドにおいては、巻数を多くとることが困難であり、電
流値を大きくせざるを得ない。電流値が大きくなると、
巻線の電気抵抗にもとずくジュール熱が発生することに
なり、薄膜磁気ヘッドの寿命、読み出し時の熱雑音発生
などへの悪影響が考えられる。また、下部磁性層３や上
部磁性層６の磁気特性も温度上昇によって劣化するおそ
れがある。従って、この発生する熱を放散させ磁気ヘッ
ドの温度上昇を防止することが必要である。
気ヘッドにおいて記録のための磁界の強さは、信号巻線
４の巻数と、流れる電流の積に比例するが、薄膜磁気ヘ
ッドにおいては、巻数を多くとることが困難であり、電
流値を大きくせざるを得ない。電流値が大きくなると、
巻線の電気抵抗にもとずくジュール熱が発生することに
なり、薄膜磁気ヘッドの寿命、読み出し時の熱雑音発生
などへの悪影響が考えられる。また、下部磁性層３や上
部磁性層６の磁気特性も温度上昇によって劣化するおそ
れがある。従って、この発生する熱を放散させ磁気ヘッ
ドの温度上昇を防止することが必要である。
【０００５】しかも、保護層９としては、一般に真空蒸
着やスパッタによるＳｉＯ2あるいは、Ａｌ2Ｏ3層等が
用いられ、その熱伝導率は、0.003cal/cm・sec・℃程度で
あって、熱の不良導体であり、保護層９は厚みも大き
く、これによる熱絶縁のために磁気ヘッドの温度上昇が
回避されない問題があった。
着やスパッタによるＳｉＯ2あるいは、Ａｌ2Ｏ3層等が
用いられ、その熱伝導率は、0.003cal/cm・sec・℃程度で
あって、熱の不良導体であり、保護層９は厚みも大き
く、これによる熱絶縁のために磁気ヘッドの温度上昇が
回避されない問題があった。
【０００６】以上のことから、薄膜磁気ヘッドの問題点
として、保護層９の熱伝導率が悪いことがあり、熱の放
散性に優れ、かつ膜形成が容易な保護層９が望まれてい
た。
として、保護層９の熱伝導率が悪いことがあり、熱の放
散性に優れ、かつ膜形成が容易な保護層９が望まれてい
た。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上に述べたＳｉＯ2、
Ａｌ2Ｏ3等からなる、従来の保護層の問題点を解決する
手段として本発明は、基板（スライダ）上に下部絶縁
層、下部磁性層、ギャップ層、層間絶縁層、信号巻線、
上部磁性層等を積層したヘッドエレメントを備え、その
上面に保護層が形成されてなる薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記保護層の表面にヘッドエレメントを覆うよう
に、金属パターンを形成したものである。金属パターン
の形状は、ヘッドエレメント表面からの熱放射に対する
反射をできるだけ少なくするように形成し、その厚さを
4〜10μmとすることが好ましい。又、金属パターンを保
護層の表面に形成する方法としては、スパッタまたはメ
ッキ等を用いる。ベタづけでは、ヘッドエレメント表面
からの熱放射に対し反射を起こし、蓄熱してしてまい放
熱効率を悪くし充分な効果が得られない。より効率良く
ヘッドエレメントからの熱を放散させる方法として金属
パターンを黒色に着色する方法がある。
Ａｌ2Ｏ3等からなる、従来の保護層の問題点を解決する
手段として本発明は、基板（スライダ）上に下部絶縁
層、下部磁性層、ギャップ層、層間絶縁層、信号巻線、
上部磁性層等を積層したヘッドエレメントを備え、その
上面に保護層が形成されてなる薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記保護層の表面にヘッドエレメントを覆うよう
に、金属パターンを形成したものである。金属パターン
の形状は、ヘッドエレメント表面からの熱放射に対する
反射をできるだけ少なくするように形成し、その厚さを
4〜10μmとすることが好ましい。又、金属パターンを保
護層の表面に形成する方法としては、スパッタまたはメ
ッキ等を用いる。ベタづけでは、ヘッドエレメント表面
からの熱放射に対し反射を起こし、蓄熱してしてまい放
熱効率を悪くし充分な効果が得られない。より効率良く
ヘッドエレメントからの熱を放散させる方法として金属
パターンを黒色に着色する方法がある。
【０００８】
【作用】本発明の薄膜磁気ヘッドを用いるならば、保護
層に熱伝導率の良い金属材料を用いた、金属パターンを
形成することで、通電によって発生するジュール熱をす
みやかに放熱することが可能となり、この熱放散により
熱雑音を少なくし、ヘツドエレメントの寿命を改善する
ことができる。
層に熱伝導率の良い金属材料を用いた、金属パターンを
形成することで、通電によって発生するジュール熱をす
みやかに放熱することが可能となり、この熱放散により
熱雑音を少なくし、ヘツドエレメントの寿命を改善する
ことができる。
【０００９】
【実施例】図１〜図３に、本発明の実施例を示す。本発
明は、薄膜磁気ヘッドはもちろんのこと、薄膜構造でヘ
ッドエレメントを構成する磁気ヘッド全般に適用される
ものである。尚、以下の実施例における薄膜磁気ヘッド
において、前記従来例の薄膜磁気ヘッドと同一構成要素
については、同一符号を付している。
明は、薄膜磁気ヘッドはもちろんのこと、薄膜構造でヘ
ッドエレメントを構成する磁気ヘッド全般に適用される
ものである。尚、以下の実施例における薄膜磁気ヘッド
において、前記従来例の薄膜磁気ヘッドと同一構成要素
については、同一符号を付している。
【００１０】本実施例の薄膜磁気ヘッドは、基板（スラ
イダ）１の後部にヘッドエレメント８が形成されてい
る。ヘッドエレメント８は、図２に示すように基板（ス
ライダ）１上に下部絶縁層２、下部磁性層３、ギャップ
層７、層間絶縁層５、信号巻線４上部磁性層６等を積層
した構造である。信号巻線４の材質としてはＣｕ，Ａｌ
等が用いられる。下部絶縁層２としては、Ａｌ2Ｏ3，Ｓ
ｉＯ2等が、層間絶縁層５としては、ポリイミド、レジ
スト、ＳｉＯ2，Ａｌ2Ｏ3等が用いられる。下部磁性層
２と上部磁性層６としては、パーマロイ等のＮｉ−Ｆｅ
系合金等が使用される。従って、ヘッドエレメント８上
面は、通常の構成では、上部磁性層６が現われる。この
上部磁性層６の上面に保護層９が形成されている。
イダ）１の後部にヘッドエレメント８が形成されてい
る。ヘッドエレメント８は、図２に示すように基板（ス
ライダ）１上に下部絶縁層２、下部磁性層３、ギャップ
層７、層間絶縁層５、信号巻線４上部磁性層６等を積層
した構造である。信号巻線４の材質としてはＣｕ，Ａｌ
等が用いられる。下部絶縁層２としては、Ａｌ2Ｏ3，Ｓ
ｉＯ2等が、層間絶縁層５としては、ポリイミド、レジ
スト、ＳｉＯ2，Ａｌ2Ｏ3等が用いられる。下部磁性層
２と上部磁性層６としては、パーマロイ等のＮｉ−Ｆｅ
系合金等が使用される。従って、ヘッドエレメント８上
面は、通常の構成では、上部磁性層６が現われる。この
上部磁性層６の上面に保護層９が形成されている。
【００１１】保護層９の表面には、熱伝導率の高い金属
材料からなる、金属パターンＲが、形成されている。金
属パターンＲの形状はヘッドエレメント８の表面からの
熱放射に対する反射をできるだけ少なくするように形成
する。例えば、図３に示すような中心部１２と複数の腕
部１３と先端部１４とからなるヒトデ型形状に形成し、
その中心部１２をヘッドエレメント８の最も蓄熱しやす
い中央部分に対応するようにする。そして、ヘッドエレ
メント８の中央蓄熱部分から中心部１２に、この熱をす
みやかに伝熱させる。伝熱された熱は、中心部１２から
放射状に伸びる腕１３によって各方向に放散し、さらに
その腕部１３の先端についている先端部１４によって効
率良く放熱させるようにする。また、この金属パターン
Ｒの厚さは熱の放散効率上、4〜10μmとすることが好ま
しい。金属パターンＲを形成する方法としては、スパッ
タまたはメッキなどを用いる。
材料からなる、金属パターンＲが、形成されている。金
属パターンＲの形状はヘッドエレメント８の表面からの
熱放射に対する反射をできるだけ少なくするように形成
する。例えば、図３に示すような中心部１２と複数の腕
部１３と先端部１４とからなるヒトデ型形状に形成し、
その中心部１２をヘッドエレメント８の最も蓄熱しやす
い中央部分に対応するようにする。そして、ヘッドエレ
メント８の中央蓄熱部分から中心部１２に、この熱をす
みやかに伝熱させる。伝熱された熱は、中心部１２から
放射状に伸びる腕１３によって各方向に放散し、さらに
その腕部１３の先端についている先端部１４によって効
率良く放熱させるようにする。また、この金属パターン
Ｒの厚さは熱の放散効率上、4〜10μmとすることが好ま
しい。金属パターンＲを形成する方法としては、スパッ
タまたはメッキなどを用いる。
【００１２】このように形成された金属パターンＲをグ
ランド端子１０に、導伝層１１によって電気的に接続す
る。金属パターンＲとグランド端子１０を接続すること
により、アースされた金属パターンＲがヘッドエレメン
ト８を覆うので高周波のシールド効果が得られ、ヘッド
エレメント８に対する外部誘導ノイズを遮蔽し、このノ
イズによる悪影響を防止することができる。
ランド端子１０に、導伝層１１によって電気的に接続す
る。金属パターンＲとグランド端子１０を接続すること
により、アースされた金属パターンＲがヘッドエレメン
ト８を覆うので高周波のシールド効果が得られ、ヘッド
エレメント８に対する外部誘導ノイズを遮蔽し、このノ
イズによる悪影響を防止することができる。
【００１３】こうして、保護層９の表面に熱伝導率の高
い金属材料を用いた金属パターンＲを形成することで、
通電によりヘッドエレメント８から発生するジュール熱
を保護層９から、すみやかに放熱することが可能とな
り、ヘッドエレメント８の寿命を改善することができ
る。さらに、放熱効率が上がれば、薄膜磁気ヘッドの記
録特性を上げるためにヘッドエレメント８に電流を多く
流すことが可能となり、再生時に起こる熱雑音の改善を
することができる。ところで、金属パターンＲを形成す
る場合、金属パターンＲを金属箔から形成してこれを保
護層９上に張り付けるような即ち、ベタ付けする手段を
とることは好ましくない。このようにすると、金属パタ
ーンＲと保護層９との接着部分で畜熱されて放熱効率が
低下することになる。また、保護層９の内側のヘッドエ
レメント８で生じた熱を金属パターンＲで効率良く吸収
するために、金属パターンＲを黒色に着色しても良い。
これにより、金属パターンＲでもってより効率良くヘッ
ドエレメント８の熱を発散させることができる。
い金属材料を用いた金属パターンＲを形成することで、
通電によりヘッドエレメント８から発生するジュール熱
を保護層９から、すみやかに放熱することが可能とな
り、ヘッドエレメント８の寿命を改善することができ
る。さらに、放熱効率が上がれば、薄膜磁気ヘッドの記
録特性を上げるためにヘッドエレメント８に電流を多く
流すことが可能となり、再生時に起こる熱雑音の改善を
することができる。ところで、金属パターンＲを形成す
る場合、金属パターンＲを金属箔から形成してこれを保
護層９上に張り付けるような即ち、ベタ付けする手段を
とることは好ましくない。このようにすると、金属パタ
ーンＲと保護層９との接着部分で畜熱されて放熱効率が
低下することになる。また、保護層９の内側のヘッドエ
レメント８で生じた熱を金属パターンＲで効率良く吸収
するために、金属パターンＲを黒色に着色しても良い。
これにより、金属パターンＲでもってより効率良くヘッ
ドエレメント８の熱を発散させることができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、ヘッドエレメント上面
の保護層に熱伝導性の高い金属を材料とする金属パター
ンを形成することで、ヘッドエレメントで発生した熱を
すみやかに放散させることができる。ゆえに、ヘッドエ
レメントの寿命を改善することができる。さらに、こう
して放熱効率が上がればヘッドエレメントに電流を多く
流すことが可能となり、再生時に起こる熱雑音の改善を
することができる。よって、高密度磁気記録用磁気ヘッ
ドにとって極めて有用な効果が得られる。
の保護層に熱伝導性の高い金属を材料とする金属パター
ンを形成することで、ヘッドエレメントで発生した熱を
すみやかに放散させることができる。ゆえに、ヘッドエ
レメントの寿命を改善することができる。さらに、こう
して放熱効率が上がればヘッドエレメントに電流を多く
流すことが可能となり、再生時に起こる熱雑音の改善を
することができる。よって、高密度磁気記録用磁気ヘッ
ドにとって極めて有用な効果が得られる。
【図１】本発明の実施例で保護層上面に金属パターンを
付着した薄膜磁気ヘッドの斜視図である。
付着した薄膜磁気ヘッドの斜視図である。
【図２】図１における薄膜磁気ヘッドの断面図である。
【図３】図１における金属パターンＲ部分の拡大図であ
る。
る。
【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図５】図４に示す従来の薄膜磁気ヘッドの断面図であ
る。
る。
１ 基板 ２ 下部絶縁層 ３ 下部磁性層 ４ 信号巻線 ５ 層間絶縁層 ６ 上部磁性層 ７ ギャップ層 ８ ヘッドエレメント ９ 保護層 １０ グランド端子 １１ 導電層 １２ 中心部 １３ 腕部 １４ 先端部
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−11517（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−114307（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−73846（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−101308（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 基板上に下部絶縁層、下部磁性層、ギャ
ップ層、層間絶縁層、信号巻線、上部磁性層等を積層し
たヘッドエレメントを備え、その上面に保護層が形成さ
れてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記保護層の表面に
ヘッドエレメントを覆うように、金属パターンを形成し
たことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14215391A JP2703838B2 (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14215391A JP2703838B2 (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05266428A JPH05266428A (ja) | 1993-10-15 |
| JP2703838B2 true JP2703838B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=15308596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14215391A Expired - Fee Related JP2703838B2 (ja) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2703838B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3687650B2 (ja) | 2002-12-19 | 2005-08-24 | Ｔｄｋ株式会社 | 浮上型薄膜磁気ヘッド |
| WO2009066362A1 (ja) * | 2007-11-19 | 2009-05-28 | Fujitsu Limited | ヘッドスライダおよび記憶媒体駆動装置 |
-
1991
- 1991-06-13 JP JP14215391A patent/JP2703838B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05266428A (ja) | 1993-10-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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