JP3686984B2 - セラミックス製大型ローラ - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワイヤソー、ロールクラッシャ等の加工装置等の一部を構成し、外周部がセラミックスで形成されるセラミックス製大型ローラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【従来の技術１】
図１３に示す様にロールクラッシャは、２本の粉砕用ローラ１を近接して平行に配置し、該２本のローラ１を相反する方向に回転させ、ローラの回転の巻き込み側Uから被粉砕物Mを挿入すると、吐き出し側Dから被粉砕物Mが２本の粉砕用ローラ１により粉砕されて排出される。図１４に示す様に粉砕用ローラ１は、セラミックス製である外周部２及びシャフト３とで構成され、通常外周部２とシャフト３は接合部４において接着剤等Ｓにより接着され、金属製のシャフト３によりクラッシャ本体に取り付けられている。
【０００３】
【従来の技術２】
図１５に示す様にワイヤソーは、ワイヤ５を張設した複数の多溝ローラ６を備えており、該ローラ６を回転させることにより、ワイヤ５を矢印Ａ5方向に直線運動させ、砥粒をワイヤで被加工物７に押さえ付けることにより磁性体、水晶、セラミックス、シリコン等の被加工物７を切断する。
該多溝ローラ６において直径７０ｍｍ以上、長さ１５０ｍｍを越える大型ローラの場合、該ローラ６は、図１６に示すように、外周部２を、例えば６６ナイロンで形成し、金属製のシャフト３と接合部４を介して接着剤Ｓ等により接合され、図示しない加工装置本体に取り付けられている。
【０００４】
近年被加工物の大型化が進み、例えばシリコンは、ウエハーの大径化に伴いシリコンのインゴットも８インチから１２インチ化されてきている。これによりワイヤソーも大型化が進み、例えば該多溝ローラも直径２００ｍｍ、長さ６００ｍｍ、重量で６０ｋｇの様な所謂大型ローラが用いられる様になってきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
加工装置等に取り付けられる直径７０ｍｍ以上、長さ１５０ｍｍを越える大型ローラ、例えば、ロールクラッシャ用ローラ、ワイヤソー用多溝ローラなどにおいて、外周部及び該外周部の支持部材であるシャフト等に異種の材料を使用、例えば、外周部にセラミックスを使用し、シャフトに鉄、アルミなどの金属を使用した場合、次の様な問題がある。
（１）ローラが重いので、剛性の大きな取り付け装置が必要となるとともに、ローラ交換の際等において、加工装置等に脱着するのに多くの時間と費用がかかる。
【０００６】
（２）外周部は、接合部において接着剤等によりシャフトに固定されているが、セラミックス製外周部と金属製シャフトとでは、その線膨張率に大きな差異がある。そのため、運転時の発熱等で温度変化が生じることにより伸縮すると、両者の軸方向の位置関係がずれてしまい、加工物を精確に加工できないことがあるばかりでなく、接着剤等が剥がれてしまう。そうすると、外周部とシャフトの固定能力がなくなり、加工機械そのものが機能しなくなってしまう。
また、ローラの長さが長くなり、前記接合部が長くなればなる程その影響は著しい。そのため、複数の多溝ローラに伸張させたワイヤ間のピッチ精度が重要なワイヤソーなどでは、外周部とシャフトの位置ずれ等により加工精度の低下が発生する。
【０００７】
（３）該ローラは、大きな慣性力を有しているので、ローラの起動、反転、停止及び高速回転時には、大きな駆動源が必要となり、経済的に不利である。
また、加工装置も全体として大型化し、重量が増加するとともに、大きな設置用スペースが必要となる。
【０００８】
この発明は、上記事情に鑑み、セラミックス製大型ローラの剛性を確保しながら軽量化することを目的とする。他の目的は、セラミックス製外周部と支持部材とが互いに位置ずれ、剥離をおこさない様にすることである。
【０００９】
この発明は、セラミック製外周部を備え、かつ、加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成されるとともに、補強手段を備えており、前記補強手段が、該セラミックス製外周部の内側に挿着接合された中空インサートであり、該中空インサートが、その中空部に円盤形状体を備えていることを特徴とするセラミックス製ローラ、である。
【００１０】
この発明は、セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、該支持部材が、該セラミックス製外周部を貫通し、かつ、該外周部と接合するシャフトであり、該シャフトが、チタン又はチタン合金で形成されていることを特徴とするセラミックス製ローラ、である。
【００１１】
この発明は、セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、該支持部材が、セラミックス製外周部の両端に接合される端部支持部材であることを特徴とするセラミックス製ローラ、である。
【００１２】
この発明は、セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、かつ、補強手段を具備しており、該支持部材が、該セラミックス製外周部を貫通し、かつ、該外周部と接合するシャフトであり、該シャフトが、チタン又はチタン合金で形成されていることを特徴とするセラミックス製ローラ、である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
加工装置等、例えば、ワイヤソーやロールクラッシャ等の大型ローラの外周部をセラミックス製中空円筒状に形成するとともに、該外周部の強度を大きくするための補強手段を設ける。このローラは、例えば、直径２００ｍｍ、長さ６００ｍｍの大型ローラである。
【００１４】
この補強手段として、例えば、補強部材や強化肉厚部が採用される。補強部材材は、例えば、セラミックス製外周部の中空部に同芯状に形成された円盤形状体であり、該セラミックスと一体構造に形成される。強化肉厚部は、セラミックス製外周部の肉厚を十分な強度を持つ程度に厚く形成されており、その厚さは、均一に形成されるが、必ずしもその様に形成する必要はなく、例えば、外周部内面に網状の突出部を形成してもよい。また、該外周部の内側に中空インサートを挿入接合しセラミックス製外周部の強化を図ってもよい。この様に補強手段を設けることにより剛性があり、かつ、軽量のセラミックス製大型ローラを得ることができる。
【００１５】
このセラミックス製ローラは、支持部材により加工装置などに装着されるが、この支持部材として、例えばシャフトや端部支持材が用いられる。このシャフトはセラミックス製外周部に挿着接合されるが、該シャフトの材料は、チタン、又は、チタン合金などのようなセラミックス製外周部の膨張率と略等しい膨張率のものが用いられる。この様な金属製支持部材を用いることにより、セラミックスと該支持部材は、温度変化による互いの位置ずれが発生せず、強力に固定される。
【００１６】
また、支持部材として、端部支持材を用いた場合は、両者間の接合部の長さがローラの長さに比べ極めて短くなるので、膨張率に差異があって接合部における変位はほとんど無視できる程度となり、温度変化による接合部の位置ずれは生じない。そのため、この端部支持部材では、その材料として必ずしもセラミックス製外周部の膨張率と略等しい膨張率のものを使用する必要はない。
【００１７】
【実施例１】
本発明の第１実施例を図１、図２により説明する。セラミックス製大型ローラＬＲにおいて、セラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、例えばアルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００１８】
セラミックス製外周部２の内側に補強部材８が設けられている。この補強部材８は、セラミックス製外周部の剛性を強化するための補強手段であり、該セラミックス製外周部２と一体構造に形成された同芯状の円盤形状体である。補強部材８の数量、間隔、厚み、材質等はローラの長さやローラにかかる荷重によって適宣決定される。
【００１９】
なお、補強手段として、前記円盤状体８を用いる代わりに、中空状のセラミックス製外周部２の肉厚を厚くして必要な強度を保持する強化肉厚部としてもよい。この強化肉厚部は種々なタイプがあるが、例えば、肉厚を均一に形成したもの、該外周部内面をハニカム構造するもの、などがある。
【００２０】
補強部材８には、軽量化の為に１個ないし複数個の軽量化用穴９が空けられる。軽量化用穴９は、空けられない場合もあり、又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００２１】
尚、セラミックス製外周部２と補強部材８は、一体の焼結体でもよいし、接着されたものでもよい。従って、セラミックス製外周部２と補強部材８が必ずしも同一の材質である必要はないが、互に異なる材質のものを用いて接着する場合には、補強部材８の材料は該外周部２と略等しい熱膨張率のもの、例えば、チタン、又は、チタン材料、を用いる。それは、両者２、８が温度変化により伸縮した場合に変位量の差異により接着部の位置ずれが発生しないようにするためである。
【００２２】
補強部材８には、セラミックス製外周部２の支持部材であるシャフト３が通る貫通穴１０が設けられる。通常は、この部分がセラミックス製外周部２とシャフト３の接合部４となり接着剤等により接合される。但し、これは、固定方法を限定するものではない。
【００２３】
シャフト３は、セラミックス製外周部２と膨張率が略等しいチタン、又は、チタン合金で製作されている。したがって、加工装置の運転等によってセラミックス製大型ローラLRが温度変化した時、セラミックス製外周部２とシャフト３は略同一割合で同時に伸縮するので、接合部４の剥がれ、ずれが発生しない。
【００２４】
この様に温度変化に伴う接合部の位置ずれを防止する手段として、シャフトにセラミックス製外周部の熱膨張率と略等しい熱膨張率を有する材料を用いることにより加工装置本来の性能が出せ、セラミックスの機能を十分に発揮することが出来る。尚、各素材の線膨張率（×１０-6℃、２０℃）は、例えば、次の通りである。
鉄＝１１.８ アルミニウム＝２３.１ チタン＝８.６
チタン合金（Ti-6Ａl-4V）＝８.８ アルミナ＝７.１
ジルコニア＝９.０ ６６ナイロン＝９０
【００２５】
シャフト３の一端側には外周部に一体成形された位置決め部１３である段が付いており、補強部材８と接触させることによりセラミックス製外周部２とシャフト３との長さ方向の位置決めを行う。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２の位置関係を容易に、かつ、正確に取り付けることが出来る。但し、これは、位置決め方法を限定するものではない。
【００２６】
【実施例２】
本発明の第２実施例を図３、４により説明する。セラミックス製大型ローラＬＲのセラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、例えば、アルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００２７】
セラミックス製外周部２の内側に補強部材２８が設けられている。この補強部材２８は、セラミックス製外周部２の剛性を強化するための補強手段であり、該セラミックス製外周部２と一体構造に形成された同芯状の円盤形状である。補強部材２８の数量、間隔、厚み、材質等はローラの長さＬやローラにかかる荷重によって適宣決定される。
【００２８】
尚、セラミックス製外周部２と補強部材２８は、一体の焼結体でもよいし、接着されたものでもよい。従ってセラミックス製外周部２と補強部材２８が必ずしも同一の材質である必要はないが、互に異なる材質のものを用いて接着する場合には、補強部材２８の材料は該外周部２と略等しい熱膨張率のもの、例えば、チタン、又は、チタン材料、を用いる。それは、両者２、２８が温度変化により伸縮した場合に変位量の差異により接着部の位置ずれが発生しないようにするためである。
【００２９】
補強部材８には、軽量化の為の１個ないし複数個の軽量化用穴９が空けられる。穴は、空けられない場合もあり、又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００３０】
セラミックス製外周部２の両端２ａに外周部２の支持部材である端部支持部材１１が設けられる。両端部支持部材１１は同径に形成され、その内面外周部には長さＬ2の段部１１Ａがある。この段部１１Ａに前記外周部２の端部２ａがはめ込まれ接合部２４が形成される。この段部１１Ａの長さＬ2は必要に応じて適宜選択される。
なお、端部支持材１１の外面中央には軸部１１Ｂが突設されている。この端部支持部材１１も補強部材２８と同様に軽量化の為の穴９が設けられることがある。
【００３１】
該端部支持部材１１はセラミックス製外周部２とその端部２ａでのみ接しその接合部２４の長さＬ2がローラＬＲの長さLに比べて非常に短い為、加工装置の運転によって発生する温度変化によりセラミックス製外周部２が伸縮してもその影響を受けることが無い。この様に位置ずれ防止手段として両者２、１１の接合部の長さを短くすることによって、膨張率の違う多種の素材に対応できる。むろん該端支持部材１１をセラミックス製外周部２と熱膨張率が略等しいチタン、又は、チタン合金で形成される場合もある。
【００３２】
該端支持部材１１の位置決め部２３をセラミックス製外周部２の端面2ａにはめ込むと、自動的にセラミックス製外周部２とシャフト３との長さ方向の位置決めを行うことができる。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２の位置関係を容易に、かつ、正確に取り付けることが出来る。
但し、これは、位置決め方法を限定するものではない。
【００３３】
【実施例３】
本発明の第３実施例を図５、図６により説明する。セラミックス製大型ローラＬＲにおいて、セラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、例えば、アルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００３４】
セラミックス製外周部２の内側には同心状の中空インサート３２が設けられている。該中空インサート３２は、セラミックス製外周部２の剛性を強化するための補強手段であり、中空円筒形状に形成されており、その外側接合部３５を介してセラミックス製外周部２に接着剤等により接合されている。
【００３５】
該中空インサート３２の中空部３２ａには、該中空インサート３２と一体構造の補強部材、例えば、円盤形状体３８が設けられている。この補強部材３８は前記中空インサート３２とともに補強手段をなすものである。
この補強部材３８の数量、間隔、厚み、材質等はローラの長さやローラにかかる荷重によって適宣決定される。
尚、中空インサート３２と補強部材３８は、同一部材から切り出されたものでも良いし、溶接、接着、ねじ込みなどの手段により一体構造化されても良い。
又、中空インサート３２と補強部材３８が必ずしも同一の材質である必要はない。
【００３６】
補強部材３８には、軽量化の為の１個ないし複数個の軽量化用穴９が空けられる。軽量化用穴９は、空けられない場合もあり又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００３７】
中空インサート３２は、セラミックス製外周部２と膨張率が略等しいチタン、又は、チタン合金で製作されている。したがって、加工装置の運転等によってセラミックス製大型ローラLRは、温度変化するが、セラミックス製外周部２と中空インサート３２は略同一割合で同時に伸縮するので接合部の剥がれ、ずれが発生しない。
【００３８】
補強部材３８には、シャフト３が通る貫通穴１０が設けられ、通常は、この部分がシャフト３との接合部３４となり接着材，ねじ等により接合される。
但し、これは、固定方法を限定するものではない。
【００３９】
シャフト３は、セラミックス製外周部２及び中空インサート３２との接合部３４長さＬ4がローラLRの長さLに比べ非常に短い為、加工装置の運転によって発生する温度変化によりセラミックス製外周部２が伸縮してもその影響を受けることが少ない。よって、膨張率の違う多種の素材をシャフト３に用いることが可能である。
又、セラミックス製大型ローラを取り付ける装置の取り付け部分の熱変化による伸縮は、該シャフト３に適当な素材を選択することにより、シャフト３が熱膨張の干渉材となり装置取り付け部の伸縮を吸収することも可能である。
【００４０】
シャフト３には一体構造に形成された位置決め部３３である段が付いており、補強部材３８と接触させることによりセラミックス製外周部２とシャフト３との長さ方向の位置決めを行う。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２の位置関係を容易に正確に取り付けることが出来る。但し、これは、位置決め方法を限定するものではない。
【００４１】
【実施例４】
本発明の第４実施例を図７、図８により説明する。セラミックス製大型ローラLRにおいて、セラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、アルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００４２】
セラミックス製外周部２の内側には、中空円筒状に形成された長さＬ4の中空インサート４２が設けられている。中空インサート４２は、該外周部２の剛性を強化するための補強手段であり、外側接合部４４を介してセラミックス製外周部２に接着剤等により接合されている。
【００４３】
該中空インサート４２の中空部４２ａには、中空インサート４２と一体構造に形成された補強部材、例えば、円盤形状体４８が設けられている。この補強部材４８は前記中空インサート４２とともに補強手段をなすものである。
円盤形状体４８の数量、間隔、厚み等はローラの長さやローラにかかる荷重によって適宣決定される。
尚、中空インサート４２と補強部材４８は、同一部材から切り出されたものでも良いし、溶接、接着、ねじ込みなどの手段により一体構造化されても良い。又、中空インサート４２と補強部材４８が必ず同一の材質である必要はない。
【００４４】
円盤形状体４８には、円周状に軽量化の為の複数個の軽量化用穴９が空けられる。軽量化用穴９は、空けられない場合もあり又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００４５】
なお、中空インサート４２の剛性が大きい場合には、補強手段として十分な機能を果たすことになるので、図９、図１０に示すように、中空インサート４２の補強部材４８を省略することができる。この場合、中空インサート４２は密度４.４〜４.５ｇ／ｃｍ3のチタン、又は、チタン合金により肉厚に形成される。
この様に、通常より肉厚を厚くして剛性を高めるとともに、軽量化を図ることができる。
【００４６】
中空インサート４２は、セラミックス製外周部２と膨張率が略等しいチタン、又は、チタン合金で製作されているので、加工装置の運転等によってセラミックス製大型ローラは、温度変化するが、セラミックス製外周部２と中空インサート４２は略同一割合で同時に伸縮するので外側接合部４４ａの剥がれ、ずれが発生しない。
【００４７】
セラミックス製外周部２、中空インサート４２の両端に該セラミックス製外周部２及び該中空インサート４２の支持部材である端部支持部材４１が設けられる。この端部支持部材４１は厚さＬ5に形成され、両端部支持材の直径は互いに異なる。該直径の大きな端部支持部材４１は中空インサート４２及びセラミックス製外周部２の一方の端面４２ｎ、２ａに接着され、直径の小さな他の端部支持材４１は、該外周部２の他方の端部に挿入され、中空インサート４２の他方の端面４２ｍに接合される。該端部支持部材４１も円盤形状体（補強部材）４８と同様に軽量化の為の穴が設けられることがある。勿論両側共、同一形状の支持材を使用することもある。
【００４８】
該端部支持部材４１はセラミックス製外周部２及び中空インサート４２に接する接合部４４の長さが非常に短い為、加工装置の運転によって発生する温度変化によりセラミックス製外周部２及び中空インサート４２が伸縮してもその影響を受けることが無い。よって、膨張率の違う多種の素材に対応できる。むろん該端部支持部材４１にチタン又はチタン合金を使用する場合もある。
【００４９】
端部支持部材４１の位置決め部４３とセラミックス製外周部２及び中空インサート４２の端部を接合させ、セラミックス製外周部２及び中空インサート４２と軸部１１Ｂとの長さ方向の位置決めを行う。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２及び中空インサートの位置関係を容易に正確に取り付けることが出来る。但し、これは、位置決め方法を限定するものではない。
【００５０】
【実施例５】
本発明の第５実施例を図１１、図１２により説明する。セラミックス製大型ローラＬＲにおいて、セラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、アルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００５１】
セラミックス製外周部２の内側に補強部材５８が設けられている。この補強部材５８は、シャフト５３と一体構造に形成された同芯状の円盤形状体である。補強部材５８の数量、間隔、厚み等はローラの長さやローラにかかる荷重によって適宣決定される。尚、シャフト５３と補強部材５８は、同一部材から切り出されたものでも良いし、溶接、接着、ねじ込みなどの手段により一体構造化されても良い。
又、シャフト５３と補強部材５８が必ず同一の材質である必要はない。
【００５２】
補強部材５８には、軽量化の為の１個ないしは、複数個の軽量化用穴９が空けられる。軽量化用穴９は、空けられない場合もあり又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００５３】
シャフト３は、セラミックス製外周部２と膨張率が略等しいチタン、チタン合金で製作されている。したがって、加工装置の運転等によってセラミックス製大型ローラは、温度変化するが、セラミックス製外周部２とシャフト５３は略同一割合で同時に伸縮するので接合部の剥がれ、ずれが発生しない。このことにより加工装置本来の性能が出せ、セラミックスの機能を十分に発揮することが出来る。
【００５４】
シャフト５３と一体構造に成形された補強部材５８の外周部に位置決め部５３Ｂである段が付いており、セラミックス製外周部２と接触させることによりセラミックス製外周部２とシャフト５３との長さ方向の位置決めを行う。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２の位置関係を容易に正確に取り付けることが出来る。但しこれは、位置決め方法を限定するものではない。
【００５５】
【発明の効果】
この発明は、以上のように構成したので、次のような顕著な効果を奏する。
（１）セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、かつ、補強手段を具備しているので、軽量化及び剛性の強化を図ることができる。
そのため、ローラの着脱作業が容易となるとともに、高速回転用のローラとしても利用することができる。また、従来例に比べ、ローラは軽くなるので、慣性力も小さく、駆動源の消費エネルギも大幅に減少する。
【００５６】
（２）セラミックス製外周部と接合するローラの支持部材が、該外周部の膨張率と略等しい膨張率の材料で形成されているので、温度変化により両者が伸縮しても略同じ割合で同時に伸縮する。そのため、接合部は常に強力に接合された状態を維することができるので、接合部の剥離、位置ずれなどの問題は発生しない。
【００５７】
（３）端部支持部材が、セラミックス製外周部の端部と接合するので、両者の軸方向の接合部の長さは極めて短い。そのため、温度変化により両者が伸縮しても接合部はほとんどその影響を受けることなく、常に強力に接合された状態を維持することができる。そのため、接合部の剥離、位置ずれなどの問題は発生しない。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】第２実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図４】図３の右側面図である。
【図５】第３実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図６】図５の右側面図である。
【図７】第４実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図８】図７の右側面図である。
【図９】円盤形状体を省略した場合の状態をを示す断面図である。
【図１０】図９の右側面図である。
【図１１】第５実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図１２】図１１の右側面図である。
【図１３】従来例を示す図で、ロールクラッシャのローラの配置の斜視図である。
【図１４】図１３のXIV−XIV線断面図である。
【図１５】従来例を示す図で、ワイヤソーの概念図である。
【図１６】図１５のXVI−XVI線断面図である。
【符号の説明】
２ セラミックス製外周部
３ シャフト
４ 接合部
８ 補強部材
９ 軽量化用穴
１０ 貫通穴
１１ 端部支持部材
１２ 中空インサート
１３ 位置決め部
【発明の属する技術分野】
この発明は、ワイヤソー、ロールクラッシャ等の加工装置等の一部を構成し、外周部がセラミックスで形成されるセラミックス製大型ローラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【従来の技術１】
図１３に示す様にロールクラッシャは、２本の粉砕用ローラ１を近接して平行に配置し、該２本のローラ１を相反する方向に回転させ、ローラの回転の巻き込み側Uから被粉砕物Mを挿入すると、吐き出し側Dから被粉砕物Mが２本の粉砕用ローラ１により粉砕されて排出される。図１４に示す様に粉砕用ローラ１は、セラミックス製である外周部２及びシャフト３とで構成され、通常外周部２とシャフト３は接合部４において接着剤等Ｓにより接着され、金属製のシャフト３によりクラッシャ本体に取り付けられている。
【０００３】
【従来の技術２】
図１５に示す様にワイヤソーは、ワイヤ５を張設した複数の多溝ローラ６を備えており、該ローラ６を回転させることにより、ワイヤ５を矢印Ａ5方向に直線運動させ、砥粒をワイヤで被加工物７に押さえ付けることにより磁性体、水晶、セラミックス、シリコン等の被加工物７を切断する。
該多溝ローラ６において直径７０ｍｍ以上、長さ１５０ｍｍを越える大型ローラの場合、該ローラ６は、図１６に示すように、外周部２を、例えば６６ナイロンで形成し、金属製のシャフト３と接合部４を介して接着剤Ｓ等により接合され、図示しない加工装置本体に取り付けられている。
【０００４】
近年被加工物の大型化が進み、例えばシリコンは、ウエハーの大径化に伴いシリコンのインゴットも８インチから１２インチ化されてきている。これによりワイヤソーも大型化が進み、例えば該多溝ローラも直径２００ｍｍ、長さ６００ｍｍ、重量で６０ｋｇの様な所謂大型ローラが用いられる様になってきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
加工装置等に取り付けられる直径７０ｍｍ以上、長さ１５０ｍｍを越える大型ローラ、例えば、ロールクラッシャ用ローラ、ワイヤソー用多溝ローラなどにおいて、外周部及び該外周部の支持部材であるシャフト等に異種の材料を使用、例えば、外周部にセラミックスを使用し、シャフトに鉄、アルミなどの金属を使用した場合、次の様な問題がある。
（１）ローラが重いので、剛性の大きな取り付け装置が必要となるとともに、ローラ交換の際等において、加工装置等に脱着するのに多くの時間と費用がかかる。
【０００６】
（２）外周部は、接合部において接着剤等によりシャフトに固定されているが、セラミックス製外周部と金属製シャフトとでは、その線膨張率に大きな差異がある。そのため、運転時の発熱等で温度変化が生じることにより伸縮すると、両者の軸方向の位置関係がずれてしまい、加工物を精確に加工できないことがあるばかりでなく、接着剤等が剥がれてしまう。そうすると、外周部とシャフトの固定能力がなくなり、加工機械そのものが機能しなくなってしまう。
また、ローラの長さが長くなり、前記接合部が長くなればなる程その影響は著しい。そのため、複数の多溝ローラに伸張させたワイヤ間のピッチ精度が重要なワイヤソーなどでは、外周部とシャフトの位置ずれ等により加工精度の低下が発生する。
【０００７】
（３）該ローラは、大きな慣性力を有しているので、ローラの起動、反転、停止及び高速回転時には、大きな駆動源が必要となり、経済的に不利である。
また、加工装置も全体として大型化し、重量が増加するとともに、大きな設置用スペースが必要となる。
【０００８】
この発明は、上記事情に鑑み、セラミックス製大型ローラの剛性を確保しながら軽量化することを目的とする。他の目的は、セラミックス製外周部と支持部材とが互いに位置ずれ、剥離をおこさない様にすることである。
【０００９】
この発明は、セラミック製外周部を備え、かつ、加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成されるとともに、補強手段を備えており、前記補強手段が、該セラミックス製外周部の内側に挿着接合された中空インサートであり、該中空インサートが、その中空部に円盤形状体を備えていることを特徴とするセラミックス製ローラ、である。
【００１０】
この発明は、セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、該支持部材が、該セラミックス製外周部を貫通し、かつ、該外周部と接合するシャフトであり、該シャフトが、チタン又はチタン合金で形成されていることを特徴とするセラミックス製ローラ、である。
【００１１】
この発明は、セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、該支持部材が、セラミックス製外周部の両端に接合される端部支持部材であることを特徴とするセラミックス製ローラ、である。
【００１２】
この発明は、セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、かつ、補強手段を具備しており、該支持部材が、該セラミックス製外周部を貫通し、かつ、該外周部と接合するシャフトであり、該シャフトが、チタン又はチタン合金で形成されていることを特徴とするセラミックス製ローラ、である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
加工装置等、例えば、ワイヤソーやロールクラッシャ等の大型ローラの外周部をセラミックス製中空円筒状に形成するとともに、該外周部の強度を大きくするための補強手段を設ける。このローラは、例えば、直径２００ｍｍ、長さ６００ｍｍの大型ローラである。
【００１４】
この補強手段として、例えば、補強部材や強化肉厚部が採用される。補強部材材は、例えば、セラミックス製外周部の中空部に同芯状に形成された円盤形状体であり、該セラミックスと一体構造に形成される。強化肉厚部は、セラミックス製外周部の肉厚を十分な強度を持つ程度に厚く形成されており、その厚さは、均一に形成されるが、必ずしもその様に形成する必要はなく、例えば、外周部内面に網状の突出部を形成してもよい。また、該外周部の内側に中空インサートを挿入接合しセラミックス製外周部の強化を図ってもよい。この様に補強手段を設けることにより剛性があり、かつ、軽量のセラミックス製大型ローラを得ることができる。
【００１５】
このセラミックス製ローラは、支持部材により加工装置などに装着されるが、この支持部材として、例えばシャフトや端部支持材が用いられる。このシャフトはセラミックス製外周部に挿着接合されるが、該シャフトの材料は、チタン、又は、チタン合金などのようなセラミックス製外周部の膨張率と略等しい膨張率のものが用いられる。この様な金属製支持部材を用いることにより、セラミックスと該支持部材は、温度変化による互いの位置ずれが発生せず、強力に固定される。
【００１６】
また、支持部材として、端部支持材を用いた場合は、両者間の接合部の長さがローラの長さに比べ極めて短くなるので、膨張率に差異があって接合部における変位はほとんど無視できる程度となり、温度変化による接合部の位置ずれは生じない。そのため、この端部支持部材では、その材料として必ずしもセラミックス製外周部の膨張率と略等しい膨張率のものを使用する必要はない。
【００１７】
【実施例１】
本発明の第１実施例を図１、図２により説明する。セラミックス製大型ローラＬＲにおいて、セラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、例えばアルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００１８】
セラミックス製外周部２の内側に補強部材８が設けられている。この補強部材８は、セラミックス製外周部の剛性を強化するための補強手段であり、該セラミックス製外周部２と一体構造に形成された同芯状の円盤形状体である。補強部材８の数量、間隔、厚み、材質等はローラの長さやローラにかかる荷重によって適宣決定される。
【００１９】
なお、補強手段として、前記円盤状体８を用いる代わりに、中空状のセラミックス製外周部２の肉厚を厚くして必要な強度を保持する強化肉厚部としてもよい。この強化肉厚部は種々なタイプがあるが、例えば、肉厚を均一に形成したもの、該外周部内面をハニカム構造するもの、などがある。
【００２０】
補強部材８には、軽量化の為に１個ないし複数個の軽量化用穴９が空けられる。軽量化用穴９は、空けられない場合もあり、又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００２１】
尚、セラミックス製外周部２と補強部材８は、一体の焼結体でもよいし、接着されたものでもよい。従って、セラミックス製外周部２と補強部材８が必ずしも同一の材質である必要はないが、互に異なる材質のものを用いて接着する場合には、補強部材８の材料は該外周部２と略等しい熱膨張率のもの、例えば、チタン、又は、チタン材料、を用いる。それは、両者２、８が温度変化により伸縮した場合に変位量の差異により接着部の位置ずれが発生しないようにするためである。
【００２２】
補強部材８には、セラミックス製外周部２の支持部材であるシャフト３が通る貫通穴１０が設けられる。通常は、この部分がセラミックス製外周部２とシャフト３の接合部４となり接着剤等により接合される。但し、これは、固定方法を限定するものではない。
【００２３】
シャフト３は、セラミックス製外周部２と膨張率が略等しいチタン、又は、チタン合金で製作されている。したがって、加工装置の運転等によってセラミックス製大型ローラLRが温度変化した時、セラミックス製外周部２とシャフト３は略同一割合で同時に伸縮するので、接合部４の剥がれ、ずれが発生しない。
【００２４】
この様に温度変化に伴う接合部の位置ずれを防止する手段として、シャフトにセラミックス製外周部の熱膨張率と略等しい熱膨張率を有する材料を用いることにより加工装置本来の性能が出せ、セラミックスの機能を十分に発揮することが出来る。尚、各素材の線膨張率（×１０-6℃、２０℃）は、例えば、次の通りである。
鉄＝１１.８ アルミニウム＝２３.１ チタン＝８.６
チタン合金（Ti-6Ａl-4V）＝８.８ アルミナ＝７.１
ジルコニア＝９.０ ６６ナイロン＝９０
【００２５】
シャフト３の一端側には外周部に一体成形された位置決め部１３である段が付いており、補強部材８と接触させることによりセラミックス製外周部２とシャフト３との長さ方向の位置決めを行う。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２の位置関係を容易に、かつ、正確に取り付けることが出来る。但し、これは、位置決め方法を限定するものではない。
【００２６】
【実施例２】
本発明の第２実施例を図３、４により説明する。セラミックス製大型ローラＬＲのセラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、例えば、アルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００２７】
セラミックス製外周部２の内側に補強部材２８が設けられている。この補強部材２８は、セラミックス製外周部２の剛性を強化するための補強手段であり、該セラミックス製外周部２と一体構造に形成された同芯状の円盤形状である。補強部材２８の数量、間隔、厚み、材質等はローラの長さＬやローラにかかる荷重によって適宣決定される。
【００２８】
尚、セラミックス製外周部２と補強部材２８は、一体の焼結体でもよいし、接着されたものでもよい。従ってセラミックス製外周部２と補強部材２８が必ずしも同一の材質である必要はないが、互に異なる材質のものを用いて接着する場合には、補強部材２８の材料は該外周部２と略等しい熱膨張率のもの、例えば、チタン、又は、チタン材料、を用いる。それは、両者２、２８が温度変化により伸縮した場合に変位量の差異により接着部の位置ずれが発生しないようにするためである。
【００２９】
補強部材８には、軽量化の為の１個ないし複数個の軽量化用穴９が空けられる。穴は、空けられない場合もあり、又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００３０】
セラミックス製外周部２の両端２ａに外周部２の支持部材である端部支持部材１１が設けられる。両端部支持部材１１は同径に形成され、その内面外周部には長さＬ2の段部１１Ａがある。この段部１１Ａに前記外周部２の端部２ａがはめ込まれ接合部２４が形成される。この段部１１Ａの長さＬ2は必要に応じて適宜選択される。
なお、端部支持材１１の外面中央には軸部１１Ｂが突設されている。この端部支持部材１１も補強部材２８と同様に軽量化の為の穴９が設けられることがある。
【００３１】
該端部支持部材１１はセラミックス製外周部２とその端部２ａでのみ接しその接合部２４の長さＬ2がローラＬＲの長さLに比べて非常に短い為、加工装置の運転によって発生する温度変化によりセラミックス製外周部２が伸縮してもその影響を受けることが無い。この様に位置ずれ防止手段として両者２、１１の接合部の長さを短くすることによって、膨張率の違う多種の素材に対応できる。むろん該端支持部材１１をセラミックス製外周部２と熱膨張率が略等しいチタン、又は、チタン合金で形成される場合もある。
【００３２】
該端支持部材１１の位置決め部２３をセラミックス製外周部２の端面2ａにはめ込むと、自動的にセラミックス製外周部２とシャフト３との長さ方向の位置決めを行うことができる。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２の位置関係を容易に、かつ、正確に取り付けることが出来る。
但し、これは、位置決め方法を限定するものではない。
【００３３】
【実施例３】
本発明の第３実施例を図５、図６により説明する。セラミックス製大型ローラＬＲにおいて、セラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、例えば、アルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００３４】
セラミックス製外周部２の内側には同心状の中空インサート３２が設けられている。該中空インサート３２は、セラミックス製外周部２の剛性を強化するための補強手段であり、中空円筒形状に形成されており、その外側接合部３５を介してセラミックス製外周部２に接着剤等により接合されている。
【００３５】
該中空インサート３２の中空部３２ａには、該中空インサート３２と一体構造の補強部材、例えば、円盤形状体３８が設けられている。この補強部材３８は前記中空インサート３２とともに補強手段をなすものである。
この補強部材３８の数量、間隔、厚み、材質等はローラの長さやローラにかかる荷重によって適宣決定される。
尚、中空インサート３２と補強部材３８は、同一部材から切り出されたものでも良いし、溶接、接着、ねじ込みなどの手段により一体構造化されても良い。
又、中空インサート３２と補強部材３８が必ずしも同一の材質である必要はない。
【００３６】
補強部材３８には、軽量化の為の１個ないし複数個の軽量化用穴９が空けられる。軽量化用穴９は、空けられない場合もあり又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００３７】
中空インサート３２は、セラミックス製外周部２と膨張率が略等しいチタン、又は、チタン合金で製作されている。したがって、加工装置の運転等によってセラミックス製大型ローラLRは、温度変化するが、セラミックス製外周部２と中空インサート３２は略同一割合で同時に伸縮するので接合部の剥がれ、ずれが発生しない。
【００３８】
補強部材３８には、シャフト３が通る貫通穴１０が設けられ、通常は、この部分がシャフト３との接合部３４となり接着材，ねじ等により接合される。
但し、これは、固定方法を限定するものではない。
【００３９】
シャフト３は、セラミックス製外周部２及び中空インサート３２との接合部３４長さＬ4がローラLRの長さLに比べ非常に短い為、加工装置の運転によって発生する温度変化によりセラミックス製外周部２が伸縮してもその影響を受けることが少ない。よって、膨張率の違う多種の素材をシャフト３に用いることが可能である。
又、セラミックス製大型ローラを取り付ける装置の取り付け部分の熱変化による伸縮は、該シャフト３に適当な素材を選択することにより、シャフト３が熱膨張の干渉材となり装置取り付け部の伸縮を吸収することも可能である。
【００４０】
シャフト３には一体構造に形成された位置決め部３３である段が付いており、補強部材３８と接触させることによりセラミックス製外周部２とシャフト３との長さ方向の位置決めを行う。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２の位置関係を容易に正確に取り付けることが出来る。但し、これは、位置決め方法を限定するものではない。
【００４１】
【実施例４】
本発明の第４実施例を図７、図８により説明する。セラミックス製大型ローラLRにおいて、セラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、アルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００４２】
セラミックス製外周部２の内側には、中空円筒状に形成された長さＬ4の中空インサート４２が設けられている。中空インサート４２は、該外周部２の剛性を強化するための補強手段であり、外側接合部４４を介してセラミックス製外周部２に接着剤等により接合されている。
【００４３】
該中空インサート４２の中空部４２ａには、中空インサート４２と一体構造に形成された補強部材、例えば、円盤形状体４８が設けられている。この補強部材４８は前記中空インサート４２とともに補強手段をなすものである。
円盤形状体４８の数量、間隔、厚み等はローラの長さやローラにかかる荷重によって適宣決定される。
尚、中空インサート４２と補強部材４８は、同一部材から切り出されたものでも良いし、溶接、接着、ねじ込みなどの手段により一体構造化されても良い。又、中空インサート４２と補強部材４８が必ず同一の材質である必要はない。
【００４４】
円盤形状体４８には、円周状に軽量化の為の複数個の軽量化用穴９が空けられる。軽量化用穴９は、空けられない場合もあり又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００４５】
なお、中空インサート４２の剛性が大きい場合には、補強手段として十分な機能を果たすことになるので、図９、図１０に示すように、中空インサート４２の補強部材４８を省略することができる。この場合、中空インサート４２は密度４.４〜４.５ｇ／ｃｍ3のチタン、又は、チタン合金により肉厚に形成される。
この様に、通常より肉厚を厚くして剛性を高めるとともに、軽量化を図ることができる。
【００４６】
中空インサート４２は、セラミックス製外周部２と膨張率が略等しいチタン、又は、チタン合金で製作されているので、加工装置の運転等によってセラミックス製大型ローラは、温度変化するが、セラミックス製外周部２と中空インサート４２は略同一割合で同時に伸縮するので外側接合部４４ａの剥がれ、ずれが発生しない。
【００４７】
セラミックス製外周部２、中空インサート４２の両端に該セラミックス製外周部２及び該中空インサート４２の支持部材である端部支持部材４１が設けられる。この端部支持部材４１は厚さＬ5に形成され、両端部支持材の直径は互いに異なる。該直径の大きな端部支持部材４１は中空インサート４２及びセラミックス製外周部２の一方の端面４２ｎ、２ａに接着され、直径の小さな他の端部支持材４１は、該外周部２の他方の端部に挿入され、中空インサート４２の他方の端面４２ｍに接合される。該端部支持部材４１も円盤形状体（補強部材）４８と同様に軽量化の為の穴が設けられることがある。勿論両側共、同一形状の支持材を使用することもある。
【００４８】
該端部支持部材４１はセラミックス製外周部２及び中空インサート４２に接する接合部４４の長さが非常に短い為、加工装置の運転によって発生する温度変化によりセラミックス製外周部２及び中空インサート４２が伸縮してもその影響を受けることが無い。よって、膨張率の違う多種の素材に対応できる。むろん該端部支持部材４１にチタン又はチタン合金を使用する場合もある。
【００４９】
端部支持部材４１の位置決め部４３とセラミックス製外周部２及び中空インサート４２の端部を接合させ、セラミックス製外周部２及び中空インサート４２と軸部１１Ｂとの長さ方向の位置決めを行う。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２及び中空インサートの位置関係を容易に正確に取り付けることが出来る。但し、これは、位置決め方法を限定するものではない。
【００５０】
【実施例５】
本発明の第５実施例を図１１、図１２により説明する。セラミックス製大型ローラＬＲにおいて、セラミックス製外周部２は中空円筒状に形成されている。このセラミックスとして、アルミナ、ジルコニア等が用いられる。
【００５１】
セラミックス製外周部２の内側に補強部材５８が設けられている。この補強部材５８は、シャフト５３と一体構造に形成された同芯状の円盤形状体である。補強部材５８の数量、間隔、厚み等はローラの長さやローラにかかる荷重によって適宣決定される。尚、シャフト５３と補強部材５８は、同一部材から切り出されたものでも良いし、溶接、接着、ねじ込みなどの手段により一体構造化されても良い。
又、シャフト５３と補強部材５８が必ず同一の材質である必要はない。
【００５２】
補強部材５８には、軽量化の為の１個ないしは、複数個の軽量化用穴９が空けられる。軽量化用穴９は、空けられない場合もあり又、その形状、個数、貫通穴若しくは止め穴にするかは、適宣決定する。
【００５３】
シャフト３は、セラミックス製外周部２と膨張率が略等しいチタン、チタン合金で製作されている。したがって、加工装置の運転等によってセラミックス製大型ローラは、温度変化するが、セラミックス製外周部２とシャフト５３は略同一割合で同時に伸縮するので接合部の剥がれ、ずれが発生しない。このことにより加工装置本来の性能が出せ、セラミックスの機能を十分に発揮することが出来る。
【００５４】
シャフト５３と一体構造に成形された補強部材５８の外周部に位置決め部５３Ｂである段が付いており、セラミックス製外周部２と接触させることによりセラミックス製外周部２とシャフト５３との長さ方向の位置決めを行う。これによりセラミックス製大型ローラを取り付ける装置とセラミックス製外周部２の位置関係を容易に正確に取り付けることが出来る。但しこれは、位置決め方法を限定するものではない。
【００５５】
【発明の効果】
この発明は、以上のように構成したので、次のような顕著な効果を奏する。
（１）セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、かつ、補強手段を具備しているので、軽量化及び剛性の強化を図ることができる。
そのため、ローラの着脱作業が容易となるとともに、高速回転用のローラとしても利用することができる。また、従来例に比べ、ローラは軽くなるので、慣性力も小さく、駆動源の消費エネルギも大幅に減少する。
【００５６】
（２）セラミックス製外周部と接合するローラの支持部材が、該外周部の膨張率と略等しい膨張率の材料で形成されているので、温度変化により両者が伸縮しても略同じ割合で同時に伸縮する。そのため、接合部は常に強力に接合された状態を維することができるので、接合部の剥離、位置ずれなどの問題は発生しない。
【００５７】
（３）端部支持部材が、セラミックス製外周部の端部と接合するので、両者の軸方向の接合部の長さは極めて短い。そのため、温度変化により両者が伸縮しても接合部はほとんどその影響を受けることなく、常に強力に接合された状態を維持することができる。そのため、接合部の剥離、位置ずれなどの問題は発生しない。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】第２実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図４】図３の右側面図である。
【図５】第３実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図６】図５の右側面図である。
【図７】第４実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図８】図７の右側面図である。
【図９】円盤形状体を省略した場合の状態をを示す断面図である。
【図１０】図９の右側面図である。
【図１１】第５実施例を示すセラミックス製大型ローラの断面図である。
【図１２】図１１の右側面図である。
【図１３】従来例を示す図で、ロールクラッシャのローラの配置の斜視図である。
【図１４】図１３のXIV−XIV線断面図である。
【図１５】従来例を示す図で、ワイヤソーの概念図である。
【図１６】図１５のXVI−XVI線断面図である。
【符号の説明】
２ セラミックス製外周部
３ シャフト
４ 接合部
８ 補強部材
９ 軽量化用穴
１０ 貫通穴
１１ 端部支持部材
１２ 中空インサート
１３ 位置決め部
Claims (13)
- セラミック製外周部を備え、かつ、加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；
該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成されるとともに、補強手段を備えており、
前記補強手段が、該セラミックス製外周部の内側に挿着接合された中空インサートであり、
該中空インサートが、その中空部に円盤形状体を備えていることを特徴とするセラミックス製ローラ。 - 該円盤形状体が、複数の軽量化用穴を備えていることを特徴とする請求項１記載のセラミックス製ローラ。
- 該円盤形状体が、シャフトと接合する貫通穴を備えていることを特徴とする請求項１記載のセラミックス製ローラ。
- セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；
該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、
該支持部材が、該セラミックス製外周部を貫通し、かつ、該外周部と接合するシャフトであり、
該シャフトが、チタン又はチタン合金で形成されていることを特徴とするセラミックス製ローラ。 - セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；
該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、
該支持部材が、セラミックス製外周部の両端に接合される端部支持部材であることを特徴とするセラミックス製ローラ。 - 端部支持部材が、同径の一対の円盤状体から構成されていることを特徴とする請求項５記載のセラミックス製ローラ。
- 端部支持部材が、セラミックス製外周部の端部と係合する段状の位置決め部を備えていることを特徴とする請求項５記載のセラミックス製ローラ。
- 端部支持部材が、互いに径の異なる一対の円盤状体から構成されていることを特徴とする請求項５記載のセラミックス製ローラ。
- 一方の端部支持部材が、セラミックス製外周部の一方の端面に接合され、前記端部支持部材より径の小さい他方の端部支持部材が、セラミックス製外周部の他方の端部内側に挿着接合されていることを特徴とする請求項８記載のセラミックス製ローラ。
- 端部支持部材が、軽量化用穴を備えていることを特徴とする請求項５，６，７，８，又は、９記載のセラミックス製ローラ。
- 端部支持部材が、チタン又はチタン合金で形成されていることを特徴とする請求項５，６，７，８，９，又は、１０記載のセラミックス製ローラ。
- セラミックス製外周部を備え、かつ、支持部材を介して加工装置に装着されるセラミックス製ローラにおいて；
該セラミックス製外周部が、中空円筒状に形成され、かつ、補強手段を具備しており、
該支持部材が、該セラミックス製外周部を貫通し、かつ、該外周部と接合するシャフトであり、
該シャフトが、チタン又はチタン合金で形成されていることを特徴とするセラミックス製ローラ。 - 中空インサートが、チタン又はチタン合金で形成されていることを特徴とする請求項１記載のセラミックス製ローラ。
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