JP2007276096A - 円盤状ブレード及び切断装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】硬く且つ脆い材料から形成された加工対象物に対して、優れた切断性能を安定して示す円盤状のブレードおよび優れた切断性能を安定して示し、かつ設計が容易な切断装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子および剛性板を接合した切断ブレード1は回転軸3の先端に取り付けられたフランジ2bとスリーブ10に設けられたフランジ2aで挟持されると共に、回転軸3のねじ部に螺着した締め付け用ナット4により固定されている。ケース11には固定側ロータリートランス9aが取り付けられ、図示しない超音波発振器が固定側ロータリートランス9aにリード線により接続されている。フランジ2a側に回転側ロータリートランス9bを図示しないネジにより固定する。
【選択図】図6
【解決手段】 圧電素子および剛性板を接合した切断ブレード1は回転軸3の先端に取り付けられたフランジ2bとスリーブ10に設けられたフランジ2aで挟持されると共に、回転軸3のねじ部に螺着した締め付け用ナット4により固定されている。ケース11には固定側ロータリートランス9aが取り付けられ、図示しない超音波発振器が固定側ロータリートランス9aにリード線により接続されている。フランジ2a側に回転側ロータリートランス9bを図示しないネジにより固定する。
【選択図】図6
Description
本発明は、ガラスやシリコンなどの脆い材料から形成された加工対象物の切断あるいは溝入れに有利に用いることができる円盤状のブレードおよび切断装置に関する。
ガラス、シリコン、シリコンナイトライド、希土類磁石材料もしくは超硬金属などの硬く且つ脆い材料から形成された加工対象物を切断あるいは溝入れするために、円盤状のブレードを備えた切断装置が一般的に用いられている。
図1は、特許文献1に記載の従来の切断装置5の構成例を示す正面図であり、そして図2は、図1の切断装置5の側面図である。図1及び図2に示す切断装置5は、回転駆動装置6の回転軸3に取付けられた第一のフランジ2a、円盤状の切断ブレード1、及び第二のフランジ2b、そしてこれらのフランジ2a、2bにより切断ブレード1を締め付け固定するためのナット4から構成されている。そして切断装置5の回転駆動装置6を作動させて円盤状の切断ブレード1を回転させながら、加工対象物を切断あるいは溝入れを行う。
一方、工作機械のバイトなどの工具に超音波振動を付与しながら加工対象物を切削する方法は知られている。このような切削方法は、超音波切削加工と呼ばれており、非特許文献1に詳しく記載されている。超音波切削加工は、加工対象物と工具との摩擦抵抗が小さくなるために、加工面の熱歪みが低減され、加工精度が高くなり、そして切削工具の寿命が長くなるなどの利点を有している。
特許文献2には、円盤状のブレードを回転させる回転軸に超音波振動子が付設された構成の切断装置が開示されている。この切断装置は、円盤状のブレードを回転させ、かつ超音波振動子にて発生させた超音波振動を、回転軸を介して円盤状のブレードに付与しながら、ブレードの外縁端部にて加工対象物を切断する。この切断装置の円盤状のブレードは、振動伝達方向変換器とナットとにより締め付けられた状態で回転軸の先端に固定される。回転軸に付設された超音波振動子は、回転軸の軸方向に振動する超音波振動を発生させ、この超音波振動は、振動伝達方向変換器によりブレードの径を拡縮させる方向に振動する超音波振動へと変換され、ブレードに付与される。超音波振動の伝達方向を変換するため、回転軸や振動伝達方向変換器は、有限要素法などによる数値計算により所定の形状に設計される。
特開平8−127023公報 特開2000−210928公報 超音波便覧編集委員会、「超音波便覧」、丸善株式会社、平成11年8月、p679−684
上記の特許文献2に記載の切断装置においては、ブレードに付与する超音波振動は、回転軸に付設されたランジュバン型超音波振動子の回転軸方向の振動を振動伝達方向変換器により、所望のブレードの径方向の振動にしている。このため、ブレードの形状によりこのブレードに適合する振動伝達方向変換器を用意しなければならない。
本発明の目的は、優れた切断性能を安定して示し、かつ設計が容易な切断装置を提供することにある。
本発明は、円盤状のブレードを持つ切断装置または研削装置において、円盤状のブレードに円環状の剛性板を接合し、さらにこの剛性板に円環状の圧電素子を接合する。かつ圧電素子の内側を固定することにより回転軸にブレードを固定するフランジを有しているものである。
本発明はまた、前記の圧電素子の内側を固定することにより回転軸にブレードを固定するフランジにおいて、剛性板とほぼ同じ外径を持つものである。
前記の剛性板とほぼ同じ外径のフランジにおいて、剛性板の直径とほぼ同じ直径位置の厚さが剛性板の1倍から4倍までの厚さであるものとする。
本発明の円盤状のブレードを持つ切断装置または研削装置は、ブレードとフランジの先端部だけが主に振動する。このため、本発明の切断装置は、回転軸など振動が不要な部分には振動が伝播しないので装置が長寿命になる。
本発明の円盤状のブレードを持つ切断装置または研削装置は、ブレードの径方向の振動を励起するために最適な三脚音さ型振動モードを利用するので、円盤状のブレードは他の振動モードに比較して径方向の振動だけを励起することができる。したがって、本発明の切断装置は、円盤状のブレードに不要なブレード面に垂直である振動変位はほとんど無視できるほど小さくなるので、切断幅の精度が非常に高い精度を要求された場合、特に有効な装置になる。そして、加工面の粗さも大きく改善される。そして、ブレードの消耗も小さくなる。
本発明の第一の実施の形態に使用されるブレードなどを図3の正面図、そして図3のA−A線で切断した図4の断面図を用いて示す。ここで切断ブレード1は円形基板と電着砥粒層とから構成されている。円形基板は例えば厚さが0.06mm程度で外径が100mm程度の鋼板、アルミなどの金属板からなり、中心部には回転軸に装着するための取り付け穴が形成されている。
また、円形基板に電着砥粒層を形成するには、通常の電気メッキ法を用いることができる。すなわち、メッキ槽に収容された硫酸ニッケル液にダイヤモンド砥粒を混入せしめ、この硫酸ニッケル液にダイヤモンド砥粒が混入したメッキ液中で円形基板にニッケルメッキすることにより、ダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで固定した複合メッキ層からなる電着砥粒層を形成することができる。約100mm、内径が約40mmそして厚さが約0.06mmの切断ブレード1の中心軸と一致させ外径が約95mm、内径が約40mmそして厚さが約2mmのリング形状のアルミ製の剛性板7a、7bをエポキシ樹脂により接合する。そして次に、約85mm、内径が約65mmそして、厚さが2mmのPZT系圧電セラミックからなる圧電素子8a、8bをアルミ製の剛性板7の上にエポキシ樹脂により接合する。圧電素子8は、板厚方向に分極されている。
図5の平面図とそのA−A線での断面図である図6において、前記圧電素子8および剛性板をエポキシ樹脂により接合した切断ブレード1を切断装置の回転軸3に装着した状態を示す。ここで回転駆動機構、軸受け機構などは図示しない。切断ブレード1は回転軸3の先端に取り付けられたフランジ2bとスリーブ10に設けられたフランジ2aで挟持されると共に、回転軸3のねじ部に螺着した締め付け用ナット4により固定されている。ケース11には固定側ロータリートランス9aが取り付けられ、図示しない超音波発振器が固定側ロータリートランス9aにリード線により接続されている。フランジ2a側に回転側ロータリートランス9bを図示しないネジにより固定する。
次に上記の円盤状ブレード1を使用した切断装置の運転方法について同じく図6の断面図を用いて説明する。まず図示しないモータの電源をいれ回転軸3を回転させる。次にロータリートランス9a、9bを介して切断ブレード1に接合したリング状の圧電セラミック製の圧電素子8a、8bに図示しない超音波発振回路からの約70KHzの超音波交流電圧を印加する。超音波交流電圧を印加することにより、円盤状の切断ブレード1は、約70KHzの振動が励起される。この振動モードの概略は、圧電素子8a、8bを接合した剛性板およびブレードが径方向に拡がったときに、両側に配置されたフランジ2a、2bが径方向に縮む。このような振動モードは三脚音さ型振動子の振動モードの応用として考案した。次に回転する円盤状の切断ブレード1と図示しない加工対象物に冷却水をノズルから与え、加工対象物を切断または溝入れする。
三脚音さ型振動子12の振動モードの概略を斜視図7を用いて説明する。図中の矢印は振動方向を示す。中央のアーム部13aが伸びたとき、両側のアーム部13b、13cは縮む。逆の振動位相ときは、中央のアーム部13aが縮み、両側のアーム部13b、13cは伸びる。振動のバランスを考慮すると、3本のアームの幅はほぼ等しいことが望ましい。
ここで、図8に示すように中央のアーム部13aが切断ブレード1などに、両側のアーム部13b、13cはフランジ2a、2bに相当する。図中の矢印は振動方向を示す。ブレードが1mm未満のときは、剛性板と圧電素子の厚さの合計の2倍が中央のアーム部13aに相当するので、フランジ2a、2bの厚さは剛性板の2倍が望ましいが圧電素子及びフランジなどの密度を考慮するとフランジは、剛性板の1〜4倍の厚が望ましい。
加工対象物をガラスにして、回転軸の回転数を12000回転/毎分にした。その結果、切断ブレードの先端振動変位は径方向に約2μm、軸方向に約0.2μmがあった。そして、切断ブレードの消耗量は、超音波振動を印加しないときに比較して約1/2になり、そして加工対象物のチッピングの大きさは、約1/3になった。
また、上記の実施の形態では金属製のブレードを用いたが、レジン製のブレードでも同じ効果が得られる。
本発明の技術によれば、切断ブレードの径方向に比較して軸方向の振動変位を大幅に小さくできるので加工精度を高くできる。そして切断ブレードの消耗を小さくでき、かつチッピングなどの加工品質を向上させることができる。
本発明の円盤状のブレードおよび切断装置は、ガラスやシリコンなどの脆い材料がら形成された加工対象物の切断あるいは溝入れに有利に用いることができる。
1 切断ブレード
2 フランジ
3 回転軸
4 ナット
5 切断装置
6 回転駆動装置
7 剛性板
8 圧電素子
9 ロータリートランス
10 スリーブ
11 ケース
12 三脚音さ振動子
13 アーム部
2 フランジ
3 回転軸
4 ナット
5 切断装置
6 回転駆動装置
7 剛性板
8 圧電素子
9 ロータリートランス
10 スリーブ
11 ケース
12 三脚音さ振動子
13 アーム部
Claims (3)
- 円盤状のブレードを持つ切断装置または研削装置において、円盤状のブレードに円環状の剛性板を接合し、さらにこの剛性板に円環状の圧電素子を接合する。かつ圧電素子の内側を固定するフランジを有していることを特徴とする。
- 前記の圧電素子の内側を固定することにより回転軸にブレードを固定するフランジにおいて、剛性板とほぼ同じ外径を持つことを特徴とする請求項1に記載の円盤状のブレードを持つ切断装置または研削装置。
- 前記の請求項2に記載のフランジにおいて、剛性板の直径とほぼ同じ直径位置の厚さが剛性板の1倍から4倍までの厚さであることを特徴とする。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006126729A JP2007276096A (ja) | 2006-04-03 | 2006-04-03 | 円盤状ブレード及び切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006126729A JP2007276096A (ja) | 2006-04-03 | 2006-04-03 | 円盤状ブレード及び切断装置 |
Publications (1)
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JP2007276096A true JP2007276096A (ja) | 2007-10-25 |
Family
ID=38678104
Family Applications (1)
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JP2006126729A Withdrawn JP2007276096A (ja) | 2006-04-03 | 2006-04-03 | 円盤状ブレード及び切断装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2007276096A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009136991A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 超音波ホイール |
WO2019240268A1 (ja) * | 2018-06-15 | 2019-12-19 | 有限会社Uwave | 超音波切削装置 |
-
2006
- 2006-04-03 JP JP2006126729A patent/JP2007276096A/ja not_active Withdrawn
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