JP3684290B2 - 積層電子部品とその製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、磁性体セラミックや誘電体セラミック等を積層してなる積層電子部品とその製造する方法に関し、より具体的な例としては、磁性体セラミック層に周回状の内部電極を形成したインダクタ部と、誘電体セラミック層に対向する内部電極を形成したコンデンサ部とを組み合わせた積層電子部品とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、積層ＬＣ電子部品を製造する場合、スクリーン印刷等によって予め導電ペーストにより周回状の内部電極パターンが印刷された磁性体セラミックグリーンシートを積層し、さらに、予め導電ペーストにより対向する内部電極パターンが印刷された誘電体シートを積層する。各磁性体セラミックグリーンシートに形成した周回状の内部電極パターンは、予め磁性体セラミックグリーンシートに設けたスルーホール導体で順次接続する。
【０００３】
このような積層体が焼成され、さらに内部電極が露出している積層対の表面に導電ペーストを焼き付け、外部電極が形成される。これによって積層電子部品が得られる。
図５は、このようにして作られる積層電子部品の代表的な例である積層ＬＣ電子部品の積層体１１の構造を示す概念図である。
【０００４】
磁性体セラミック層１には、周回状の内部電極５ａ、５ｂ…が形成されている。これら内部電極５ａ、５ｂ…は、スルーホール６、６…に設けられたスルーホール導体を介して順次接続され、積層体１１の内部でコイル状に連なっている。磁性体セラミックからなるセラミック層１、１…は、このコイルの磁芯となる。内部電極５ａ、５ｂ…を有するセラミック層１、１…のうち、図５において上下の端のセラミック層１、１に形成された内部電極積５ｅ、５ｆは、積層体１１の対向する一対の端面にそれぞれ導出している。
【０００５】
さらに、前記内部電極５ａ、５ｂ…が形成されたセラミック層１、１…の両側に、内部電極が形成されていないセラミック層１’、１’…、いわゆるブランクのセラミック層１’、１’…が積層されている。さらに、内部電極５ａ、５ｂ…を有しない磁性体セラミック層１’、１’…の上に、内部電極８ａ、８ｂを有していない、いわゆるブランクの誘電体セラミック層７’が積層され、この上に内部電極８ａ、８ｂを有する誘電体セラミック層７、７…が積層され、この上に内部電極８ａ、８ｂを有していない誘電体セラミック層７’が積層されている。
【０００６】
誘電体セラミック層７、７…に設けられた内部電極８ａ、８ｂは、同セラミック層７、７…を介して対向している。この誘電体セラミック層７、７…は、その内部電極８ａ、８ｂのパターンによって２種類ある。第一の誘電体セラミック層７の内部電極８ａは、前記内部電極５ｅ、５ｆが導出された積層体１１の端面と直行する一対の側面の中央部にそれぞれ導出されている。また、第二の誘電体セラミック層７の内部電極８ｂは、積層体１１の表面に導出されていない。これら第一と第二の誘電体セラミック層７、７…は、交互に積層される。
【０００７】
図５に示すように、内部電極８ａ、８ｂが設けられた誘電体セラミック層７、７…と、これら誘電体セラミック層７、７…と磁性体セラミック層１、１…との間に積層されたダミーのセラミック層７’、７’…、１’、１’…の中央部には、スルーホール３が設けられている。
第一の誘電体セラミック層７の内部電極８ａは、その中央に導体膜を有しない絶縁領域４が形成され、この絶縁領域４の中央にスルーホール３が穿孔されている。さらに、絶縁領域４の内側であって、スルーホール３の周囲に導体膜からなるスルーホールランド２が形成されている。スルーホールランド２と内部電極８ａとは、絶縁領域４を介して違いに絶縁されている。
【０００８】
他方、第二の誘電体セラミック層７の内部電極ｂは、そのような絶縁領域４を有しておらず、内部電極ｂの中であってその中央部にスルーホール３が形成されている。
これらスルーホール３には、導体が充填され、この充填された導体、いわゆるスルーホール導体により、第二の誘電体セラミック層７、７…に形成された内部電極８ａ、８ａ…が、磁性体セラミック層１に設けたコイル状の内部電極５ｆに接続されている。
【０００９】
第７図に示すように、この積層体１１の両端部及び側面中央部に銀ペースト等の導電ペーストを塗布し、これを焼き付け、さらに必要に応じてその上にニッケルメッキや半田メッキ等を施して外部電極１４、１４、１６、１６が形成される。積層体１１の端部の外部電極１４、１４には、積層体１１の端面に導出された前記内部電極５ｅ、５ｆ、８ｂ（図５参照）が接続され、積層体１１の側面中央部の外部電極１６、１６には、前記内部電極８ａが接続される。外部電極１４、１４は入出力電極となり、外部電極１６、１６はアース電極となる。
【００１０】
【発明が解決しようとしている課題】
このような積層電子部品では、前記誘電体セラミック層７、７…を形成するセラミックグリーンシートのスルーホール３に導電ペーストを充填するとき、スルーホールランド２を有する第一の誘電体セラミック層１、１…では、スルーホールランド２に導電ペーストが被着する。このスルーホールランド２の広さは、スルーホール３とその周囲に付着する導電ペーストの量を決定する重要な因子となる。
【００１１】
例えば、図６において（ａ）は、スルーホールランド２の面積が極端に狭い場合を示している。この場合は、スルーホールランド２に付着する導電ペーストａが少ないため、スルーホール３に充填される導電ペーストａの量も少なくなる。このため、積層体１１を積層し、焼成したときにスルーホール導体の正常な導通がなされず、断線状態となる、いわゆるスルーホールオープンの不良を生じやすい。
他方、図６（ｃ）は、スルーホールランド２の面積が広すぎる場合を示している。この場合は、スルーホールランド２の付着する導電ペーストａの量が多いため、スルーホール導体の導通が得られる。しかし、スルーホールランド２に付着する導電ペーストａが過多となり、積層工程やその積層体の焼成工程で積層体に歪みやクラック等の不良が発生しやすくなる。
【００１２】
図６（ｂ）は、スルーホールランド２の面積が適当な場合を示している。この場合は、スルーホール３に適当量の導電ペーストａが充填され、しかもスルーホールランド２に付着する導電ペーストが過多にならないため、スルーホールオープンが生じることなく、なお且つ積層体の歪みやクラック等の不良も発生しにくい。
このような観点から、誘電体セラミック層１の内部電極８ａの中に形成されるスルーホールランド２の面積は、導電ペーストの印刷条件に合わせて、最適な面積に設計されている。
【００１３】
ところが、誘電体セラミック層１の他方の内部電極８ｂは、その全体がスルーホール３の周囲に形成された一面の導体膜となるため、前記のスルーホールランド２の面積が極端に大きくなったのと同じ状態となる。すなわち、スルーホールランド２を有する内部電極８ａを形成するための導電ペーストを印刷する工程と、スルーホール３の周囲に一面に形成された内部電極８ｂを形成するための導電ペーストを印刷する工程とを、同じ条件で行った場合、周囲に一面の内部電極８ｂを有するスルーホール３では、スルーホール３の周囲の内部電極８ｂに付着する導電ペーストａが極端に多くなってしまう。そのため従来では、前記２種類の内部電極８ａ、８ｂを形成するための印刷工程は、それぞれ印刷条件を変えて行う必要があった。
【００１４】
しかし、内部電極８ａ、８ｂの種類によって、導電ペーストの粘度を変えたり、スクリーンメッシュの粗さを変える等、印刷条件をその都度変えることは、手数がかかるため、生産性を向上させるための障害となる。また、そのように印刷条件を変えて印刷しても、スルーホールランド２を有しない内部電極８ｂを印刷する工程では、スルーホール３への導電ペーストａの充填量が過多になりやすく、製品の歩留まりが悪いという課題があった。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような従来の積層電子部品の製造工程時における課題に鑑み、いわゆるスルーホールオープンと呼ぶ、積層電子部品の内部での導通不良や、積層電子部品の変形やクラックを生じさせることなく、しかも同じ条件で内部電極を印刷することができる積層電子部品を提供することを目的とする。
【００１６】
この目的を達成するため、本発明では、内部電極５ａ、５ｂ…、８ａ、８ｂを有するセラミック層１、１’、７、７’を積層した積層体１１を有し、少なくとも一部のセラミック層の内部電極８ｂの中に穿孔したスルーホール３に導電ペーストが充填されてスルーホール導体が設けられ、このスルーホール導体を介して、同内部電極８ｂを他のセラミック層のスルーホールランド２に接続した積層電子部品において、前記一部の内部電極８ｂは、スルーホール３の周囲に絶縁領域４を有さず、スルーホール３の周囲の領域に一面に形成された導体膜であり、前記スルーホール３が穿孔されている内部電極８ｂの中であってそのスルーホール３の周りに、導電ペーストが付着しない導電ペースト非付着部９がセラミック層の地肌が途切れて露出するように設けられ、前記導電ペースト非付着部９で囲まれた前記スルーホール３を囲む領域の導体膜が、前記導電ペースト非付着部９の切れ目を介して内部電極８ｂの外側部分と導通していることを特徴とする。
また、本発明の積層電子部品の製造方法では、セラミック層１、１’、 ７、７’を形成するためのセラミックグリーンシートを作る工程、このセラミックグリーンシートにスルーホール３を穿孔する工程と、このセラミックグリーンシートの表面上に内部電極５ａ、５ｂ・・・、８ａ、８ｂを形成するための内部電極パターンを印刷する工程と、前記スルーホール３に導電ペーストを充填してスルーホール導体を設ける工程と、これらセラミックグリーンシートを積層し、個々のチップ毎に裁断する工程と、このチップを焼成する工程と、焼成済みの積層体１１の表面の所定の位置に外部電極１４、１６を形成する工程とを有する積層電子部品の製造方法において、スルーホール（３）が穿孔された一部のセラミックグリーンシートの表面に、前記スルーホール（３）の周りに導電ペーストが付着しない導電ペースト非付着部（９）がセラミック層の地肌が途切れて露出するとともに、前記導電ペースト非付着部（９）で囲まれた前記スルーホール（３）を囲む領域の導体膜が前記導電ペースト非付着部（９）の切れ目を介して内部電極（８ｂ）の外側部分と導通するように内部電極パターンを印刷した後、前記導電ペースト非付着部で囲まれた前記スルーホールに導電ペーストを印刷充填することを特徴とする。
これによってスルーホール３の周囲に付着する導電ペーストの量を制限し、導電ペーストの広がりを抑えることにしたものである。さらに、前記導電ペースト非付着部９で囲まれたスルーホール３の周囲の領域の広さを、他のセラミックグリーンシートの内部電極パターンのスルーホールランド２を形成する部分の広さと同等にすることにより、種類の異なる内部電極８ａ、８ｂでも、同じ印刷条件で導電ペーストを印刷することができるようにしたものである。
【００１７】
既に述べたように、積層電子部品の積層体１１の内部に設けられた内部電極８ａ、８ｂには、穿孔したスルーホール３と絶縁領域４を介して絶縁された第一の内部電極８ａと、スルーホール３に導電ペーストを充填して設けられたスルーホール導体を介して、他の内部電極５ｆと接続された第二の内部電極ｂがある。第一の内部電極８ｂは、スルーホール３の周囲に絶縁領域４があり、この絶縁領域４内のスルーホール３の周囲に、導体膜からなるスルーホールランド２が形成されている。
本発明では、後者の第二の内部電極８ｂを形成するための内部電極パターンを印刷するに当たり、スルーホール３の周りに、導電ペーストが付着しない導電ペースト非付着部９を設ける。
【００１８】
前記の導電ペースト非付着部９は、例えば導体膜で覆われていないセラミックグリーンシートの地肌の部分からなる。このような第二の内部電極パターンの導電ペースト非付着部９に囲まれたスルーホール３の周囲の領域は、前記第一の内部電極８ａを形成するための内部電極パターンのスルーホールランド２の部分の広さとほぼ等しくするのがよい。
前記のような積層電子部品では、第二の内部電極８ｂを形成するための内部電極パターンのスルーホール３の周囲に導電ペースト非付着部９を設けているので、この導電ペースト非付着部９によって、スルーホール３に充填される導電ペーストの一部が第二の内部電極８ｂを形成するための内部電極パターンに付着する領域が制限される。これによって、内部電極８ｂを形成するための内部電極パターンに付着する導電ペーストが過多にならない。
【００１９】
特に、第二の内部電極８ｂを形成するための内部電極パターンの導電ペースト非付着部９に囲まれたスルーホール３の周囲の領域を、前記第一の内部電極８ａを形成するための内部電極パターンのスルーホールランド２の部分の広さとほぼ等しくすると、第一の内部電極８ａを有する誘電体セラミック層７を形成するためのセラミックグリーンシートと、第二の内部電極８ｂを有する誘電体セラミック層７を形成するためのセラミックグリーンシートのスルーホール３にそれぞれ導電ペーストを充填する工程において、何れも同じ印刷条件で導電ペーストをスルーホール３に充填することが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。図１は、積層ＬＣ部品である積層電子部品の積層体の構造を示す概念図である。このような積層体は、通常次のようにして多数のものが同時に製造される。
【００２１】
まず、フェライト粉末等の磁性体粉末をバインダー中に分散した磁性体スラリーを用い、ドクターブレード法、押出成形法等の手段で薄い磁性体セラミックグリーンシートを作る。これらのセラミックグリーンシートの所定の位置に予めスルーホールを打ち抜く。その後、銀ペースト等の導電ペーストを使用し、このセラミックグリーンシートの上に周回状の内部電極電極パターンを縦横に列べて多数組分印刷すると共に、上記スルーホールに導電ペーストを吸引し、スルーホール導体を印刷する。
【００２２】
また、酸化チタン等の誘電体粉末を含む誘電体セラミックグリーンシートを用意し、銀ペースト等の導電ペーストを使用し、このセラミックグリーンシートの一部に内部電極パターンを縦横に列べて多数組分印刷する。これら磁性体セラミックグリーンシートと誘電体セラミックグリーンシートには、それらの対応する位置、例えば内部電極の中央部分等に予め孔を設けておき、積層時にそれらが連なるようにする。
【００２３】
次に、これらのセラミックグリーンシートを積層する。まず、内部電極パターンを印刷していない磁性体セラミックグリーンシートを数枚積層し、その上に必要とするコイルの巻数により、異なる形状の内部電極パターンを有するセラミックグリーンシートを順次積層する。そして、これらセラミックグリーンシートの上に内部電極パターンが印刷されていない磁性体セラミックグリーンシートを積層する。この磁性体セラミックグリーンシートはスルーホールを有し、このスルーホールに導電ペーストが充填されている。
【００２４】
次に、このようにして積層された磁性体セラミックグリーンシートの上に、スルーホールを有し、このスルーホールに導電ペーストが充填された内部電極が印刷されていない誘電体セラミックグリーンシートを何枚か積層する。この上に内部電極パターンを有する誘電体セラミックグリーンシートを交互に積層する。この内部電極を有する誘電体セラミックグリーンシートを必要とする静電容量により、適当な枚数積層する。この内部電極を有する誘電体セラミックグリーンシートはスルーホールを有しており、このスルーホールに導電ペーストが充填されている。さらにこの誘電体セラミックグリーンシートの上に、内部電極パターンが印刷されていない誘電体セラミックグリーンシートを積層する。
【００２５】
誘電体セラミックグリーンシートと磁性体セラミックグリーンシートとの積層順序は、前後してもよいことはもちろんである。すなわち、誘電体セラミックグリーンシートを予め積層し、その上に磁性体セラミックグリーンシートを積層するが出来るのは、言うまでもない。この積層体を圧着した後、個々のチップ毎に裁断し、この未焼成の積層チップを焼成しすることにより、焼成済みの積層体１１を得る。
【００２６】
こうして得られた積層体１１は、複数のセラミック層１、１’…、７、７’…が積層され、一体となったものであり、前述のように、その層構造は概略図１のようなものである。その基本的な層構造は、既に図５に説明したものと同じである。
すなわち、磁性体セラミック層１、１…の周回状の内部電極５ａ、５ｂ…により、スルーホール６、６…に充填してスルーホール導体を介して積層体１１の内部で連なったコイル状の導体が形成されている。磁性体セラミックからなるセラミック層１、１…は、このコイルの磁芯となる。
このコイル状の導体の両端の部分、すなわち、図１において上下の端のセラミック層１、１に形成された内部電極積５ｅ、５ｆが積層体１１の対向する一対の端面にそれぞれ導出している。
【００２７】
さらに、前記内部電極５ａ、５ｂ…が形成されたセラミック層１、１…の両側に、内部電極が形成されていない、いわゆるブランクのセラミック層１’、１’…が積層されている。
この内部電極５ａ、５ｂ…を有しない磁性体セラミック層１’、１’…の上に、内部電極８ａ、８ｂを有していない、いわゆるブランクの誘電体セラミック層７’が積層され、この上に内部電極８ａ、８ｂを有する誘電体セラミック層７、７…が積層されている。さらにこの上に内部電極８ａ、８ｂを有していない誘電体セラミック層７’が積層され、コンデンサ部分が形成されている。
【００２８】
誘電体セラミック層７、７…に設けられた内部電極８ａ、８ｂは２種類あり、一方の内部電極８ａは、誘電体セラミック層７の一対の側辺の中央部にそれぞれ導出されている。他方の内部電極８ｂは、積層体１１の表面に導出されていない。これらの内部電極８ａ、８ｂを有する２種類の誘電体セラミック層７、７…は、交互に積層され、誘電体セラミック層７、７…を介して対向している。
【００２９】
図１に示すように、内部電極８ａ、８ｂが設けられた誘電体セラミック層７、７…、及びこれら誘電体セラミック層７、７…と磁性体セラミック層１、１…との間のダミーのセラミック層７’、７’…、１’、１’…の中央部には、スルーホール３が設けられている。第一の誘電体セラミック層７の内部電極８ａは、その中央に導体膜を有しない絶縁領域４が形成され、この絶縁領域４の中央にスルーホール３が穿孔されている。さらに、絶縁領域４の内側であって、スルーホール３の周囲に導体膜からなるスルーホール導体２が形成されている。スルーホール導体２と内部電極８ａとは、絶縁領域４を介して違いに絶縁されている。
【００３０】
他方、第二の誘電体セラミック層７の内部電極ｂは、そのような絶縁領域４を有しておらず、内部電極ｂの中であってその中央部にスルーホール３が形成されている。
さらに、このスルーホール３を挟むようにして、その両側に一対の導電ペースト非付着部９、９が形成されている。図示の導電ペースト非付着部９、９は、図２にも示すように、スルーホール３を挟んで対向して配置された矩形のものからなり、その部分には導体膜が形成されおらず、誘電体セラミック層７の地肌が露出している。
【００３１】
図３は、スルーホール３の周囲にスルーホールランド２とさらにその周囲に絶縁領域４を有する内部電極８ａと、スルーホール３の周囲に絶縁領域４を有さず、スルーホール３の周囲に一面に形成された内部電極８ｂとを比較した図である。この図に示すように、後者の内部電極８ｂの導電ペースト非付着部９、９により囲まれた領域は、前者の内部電極８ａの絶縁領域４の内部に形成されたスルーホールランド２（図５参照）とほぼ同じ広さに設定されている。
これらスルーホール３には、導体が充填され、この充填された導体、いわゆるスルーホール導体により、誘電体セラミック層７、７…に形成された一方の内部電極８ｂ、８ｂ…が、磁性体セラミック層１に設けたコイル状の内部電極５ｆに接続されている。
【００３２】
前記のような積層体１１では、スルーホール３の周囲に設けた前記導電ペースト非付着部９によって、スルーホール３に充填される導電ペーストの一部が内部電極８ｂに付着する領域が制限される。これによって、スルーホール３の周囲の内部電極８ｂに付着する導電ペーストが過多にならない。
この内部電極８ｂの導電ペースト非付着部９に囲まれたスルーホール３の周囲の領域は、他の内部電極８ａの中の絶縁領域４内に形成されたスルーホールランド２とほぼ同じ広さのため、スルーホール３の導電ペーストを充填する工程において、内部電極８ａを有する誘電体セラミック層７と内部電極８ｂを有する誘電体セラミック層７の双方のスルーホール３に、同じ印刷条件で導電ペーストを充填しても、適正な導電ペーストの充填量を保持することができる。
【００３３】
なお、図２に示す内部電極８ｂのパターンの例では、スルーホール３に導電ペーストを充填するときは、スクリーン印刷用のスキージを、導電ペースト非付着部９、９が並んだ図２において左右方向に移動しながら印刷を行う。これによって、スルーホール３の周囲の内部電極８ｂに付着する導電ペーストの量を有効に制限することができる。他方、スクリーン印刷用のスキージを、これと直交する方向、すなわち図２において上下方向に移動しながら印刷を行うと、スルーホール３の周囲の内部電極８ｂに付着する導電ペーストは、図２において上下方向に広がってしまうので、スルーホール３の周囲の内部電極８ｂに付着する導電ペーストの広さは広くなる。
【００３４】
このようにして得られた積層体１１の両端部及び側面中央部に銀ペースト等の導電ペーストを塗布し、これを焼き付け、必要に応じてその上にニッケルメッキや半田メッキ等を施し、第７図に示すように、外部電極１４、１４、１６、１６が形成される。積層体１１の端部の外部電極１４、１４には、積層体１１の端面に導出された前記内部電極５ｅ、５ｆ、８ｂ（図１参照）が接続され、積層体１１の側面中央部の外部電極１６、１６には、前記内部電極８ａが接続される。外部電極１４、１４は入出力電極となり、外部電極１６、１６はアース電極となる。
【００３５】
図４に、内部電極８ｂのパターンの他の各例を示す。
図４（ａ）は、スルーホール３を囲むように、一対の導電ペースト非付着部９をＬ字形に形成したものである。この例では、導電ペースト非付着部９によりスルーホール３を囲む領域の導体膜が、導電ペースト非付着部９の切れ目を介して内部電極８ｂの外側部分と導通している。しかも、導電ペースト非付着部９がスルーホール３の四方を囲んでいるため、スクリーン印刷時のスキージの移動方向に殆ど影響されることなく、スルーホール３の周囲の内部電極８ｂに付着される導電ペーストの量を制限することができる。この例でも、内部電極８ｂの導電ペースト非付着部９で囲まれたスルーホール３の周囲の領域の広さは、他の内部電極８ａの中の絶縁領域４内に形成されたスルーホールランド２とほぼ同じにする。
【００３６】
図４（ｂ）は、内部電極８ｂのスルーホール３の周囲の導体膜からその両側の導体膜に通じる導体膜が帯状のクランク形となっている。この場合は、内部電極８ｂの電極面積が、図２や図４（ａ）に示されたものより狭くなる。
【００３７】
図４（ｃ）は、やはり参考例であり、帯状のクランク形をなす導体膜を、図４（ｂ）の場合と９０゜異なる方向に設けたもので、内部電極８ｂの電極面積は、さらに狭くなる。
【００３８】
図４（ｄ）は、スルーホール３を囲むように、導電ペースト非付着部９を円形状に形成したものである。この導電ペースト非付着部９は、９０゜間隔で途切れており、導電ペースト被着部９が４つのセグメントに分割されている。この例でも、導電ペースト非付着部９で囲まれたスルーホール３の周囲の領域が、導電ペースト非付着部９の切れ目を介して内部電極８ｂの外側部分と導通している。しかも、導電ペースト非付着部９がスルーホール３の四方を囲んでいるため、スクリーン印刷時のスキージの移動方向に殆ど影響されることなく、スルーホール３の周囲の導体膜に付着する導電ペーストの量を制限する効果を得ることができる。
なお、内部電極８ｂの導電ペースト非付着部９に囲まれたスルーホール３の周囲の領域の広さを、他の内部電極８ａの中の絶縁領域４内に形成されたスルーホールランド２とほぼ同じにすることは、前述の例と同様である。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、スルーホール３の周囲に一面に内部電極８ｂを有する誘電体セラミック層７において、スルーホール３の周囲に付着する導電ペーストの量を制限することができるため、スルーホール３に充填される導電ペーストの量を適当に抑えることができる。特に、内部電極８ｂの導電ペースト非付着部９に囲まれた領域の広さを、他の内部電極８ａの中の絶縁領域４内に形成されたスルーホールランド２とほぼ同にすることにより、２種類の内部電極８ａ、８ｂにおいて、同じ印刷条件でスルーホール３に導電ペーストを充填しても、双方のスルーホール３に充填される導電ペーストに過不足が起こることが無くなる。これによって、導電ペーストの印刷工程を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による積層電子部品の製造方法により作られる積層電子部品の例を示すその積層体の分解斜視図である。
【図２】同積層電子部品の絶縁領域を有さない内部電極のパターンの例を示す誘電体セラミック層の平面図である。
【図３】同積層電子部品の絶縁領域を有する内部電極のパターンと絶縁領域を有さない内部電極のパターンとを比較した例を示す誘電体セラミック層の平面図である。
【図４】同積層電子部品の内部電極のパターンの他の各例及び参考例を示す誘電体セラミック層の平面図である。従来例を示すその積層体の分解斜視図である。
【図５】積層電子部品の製造方法の従来例により作られる積層電子部品を示すその積層体の分解斜視図である。
【図６】同積層電子部品の内部電極のスルーホールランドの広さと、スルーホールに充填される導電ペーストの量との関係を示す要部縦断側面図である。
【図７】前記本発明及び従来例により製造された積層ＬＣ部品の例を示すその外観斜視図である。
【符号の説明】
１ セラミック層
１’ セラミック層
２ スルーホールランド
３ スルーホール
４ 絶縁領域
７ セラミック層
７’ セラミック層
８ａ 内部電極
８ｂ 内部電極
９ 導電ペースト非付着部

Claims (5)

1. 内部電極（５ａ）、（５ｂ）…、（８ａ）、（８ｂ）を有するセラミック層（１）、（１’）、（７）、（７’）を積層した積層体（１１）を有し、少なくとも一部のセラミック層の内部電極（８ｂ）の中に穿孔したスルーホール（３）に導電ペーストが充填されてスルーホール導体が設けられ、このスルーホール導体を介して、同内部電極（８ｂ）を他のセラミック層のスルーホールランド（２）に接続した積層電子部品において、
   前記一部の内部電極（８ｂ）は、スルーホール（３）の周囲に絶縁領域（４）を有さず、スルーホール（３）の周囲の領域に一面に形成された導体膜であり、前記スルーホール（３）が穿孔されている内部電極（８ｂ）の中であってそのスルーホール（３）の周りに、導電ペーストが付着しない導電ペースト非付着部（９）がセラミック層の地肌が途切れて露出するように設けられ、
   前記導電ペースト非付着部（９）で囲まれた前記スルーホール（３）を囲む領域の導体膜が、前記導電ペースト非付着部（９）の切れ目を介して内部電極（８ｂ）の外側部分と導通していることを特徴とする積層電子部品。
2. セラミック層（１）、（１’）、（７）、（７’）を形成するためのセラミックグリーンシートを作る工程、このセラミックグリーンシートにスルーホール（３）を穿孔する工程と、このセラミックグリーンシートの表面上に内部電極（５ａ）、（５ｂ）・・・、（８ａ）、（８ｂ）を形成するための内部電極パターンを印刷する工程と、前記スルーホール（３）に導電ペーストを充填してスルーホール導体を設ける工程と、これらセラミックグリーンシートを積層し、個々のチップ毎に裁断する工程と、このチップを焼成する工程と、焼成済みの積層体（１１）の表面の所定の位置に外部電極（１４）、（１６）を形成する工程とを有する積層電子部品の製造方法において、スルーホール（３）が穿孔された一部のセラミックグリーンシートの表面に、前記スルーホール（３）の周りに導電ペーストが付着しない導電ペースト非付着部（９）がセラミック層の地肌が途切れて露出するとともに、前記導電ペースト非付着部（９）で囲まれた前記スルーホール（３）を囲む領域の導体膜が前記導電ペースト非付着部（９）の切れ目を介して内部電極（８ｂ）の外側部分と導通するように内部電極パターンを印刷した後、前記導電ペースト非付着部で囲まれた前記スルーホールに導電ペーストを印刷充填することを特徴とする積層電子部品の製造方法。
3. 導電ペースト非付着部（９）が導体膜で覆われていないセラミックグリーンシートの地肌の部分からなることを特徴とする請求項２に記載の積層電子部品の製造方法。
4. 一部のセラミックグリーンシートにスルーホール（３）内のスルーホール導体により接続される内部電極（８ｂ）を形成するための内部電極パターンを印刷し、他のセラミックグリーンシートに絶縁領域（４）を介してスルーホール導体と絶縁された内部電極（８ａ）と前記絶縁領域（４）のスルーホール（３）の周囲に導体膜からなるスルーホールランド（２）とを形成するための内部電極パターンを印刷し、前者と後者のセラミックグリーンシートが積層されることを特徴とする請求項２または３に記載の積層電子部品の製造方法。
5. 一部のセラミックグリーンシートの前記導電ペースト非付着部（９）に囲まれたスルーホール（３）の周囲の領域は、他のセラミックグリーンシートに形成されたスルーホールランド（２）となる部分の広さとほぼ等しいことを特徴とする請求項４に記載の積層電子部品の製造方法。

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