JP3677137B2 - 磁気デバイス - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、軟性磁化合金のフィルムに関し、特にこのような軟性磁化合金を含む装置と、その装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
軟性磁化合金製フィルムは、現在の高周波電気磁気デバイス内で、フィールド増幅要素、例えばコンピュータ内の磁気ディスクメモリ用の書き込み−読み出しヘッド内の磁界増幅要素として、あるいはマイクロトランスフォーマおよびインダクタ内のコアとして用いられている。これらの軟性磁化フィルムの好ましい特徴は、高い飽和磁化レベル(4πMs)と、低い保磁力(Hc)と、高い透磁率と、高い電気抵抗と耐腐食性である。
【0003】
軟性磁化合金製フィルムの様々な応用例が、例えば、Magnetic Thin Films(R.F.Soohoo, Harper and Row, 著 1965)と、Thin Ferromagnetic Films1964(M. Prutton 著, Butterworth, 1964)および C. R. Sullivan, S. R. Sanders 著の論文「IEEE Trans. on Power Electronics, Proc. 24th Annual Power Electronics Specialists Conf., p.33-40, June 1993」と、T. Yachi et al.著の論文「IEEE Trans. Magn. 28, 1969-1973 (1992)」と、R. F. Soohoo 著の論文「IEEE Trans. Magn. 15, 1103 (1979)」に記載されている。
【0004】
公知の軟性磁化フィルムの中でも、例えば80%Ni−20%Fe(パーマロイ)のようなNi−Feのフィルムが最も広く使われているが、その理由は、優れた磁気特性と磁気歪がゼロである特徴があるからである。Fe系のフィルム例えば、Fe−Ta合金、Fe−Zr合金、Fe−Hf合金は、80%Niパーマロイフィルムの飽和磁化が10kGであるのに対し、15−20kGのより優れた飽和磁化を示す。(これに関しては、N. Kataoka et al. 著の 「Japanese J. Appl. Phys. 28, L462-L464, 1989, Trans. Jap. Inst. Metals 31, 429, 1990」を参照のこと。)しかしこれらの鉄系フィルムは、軟性磁気特性があまり良くなくそして、堆積後の熱処理を必要とする。
【0005】
優れた軟性磁気特性を得るために例えば、Fe−Ta−Nのような鉄系合金のN含有フィルムが提案された。例えば、E. Haftek et al.著の「IEEE Trans. Magn. 30, 3915-3917 (1994)」と、N. Ishiwata et al.著の「J. Appl. Phys. 69, 5616 (1991)」と、J. Lin et al.著の「IEEE Trans. Magn. 30, 3912-3914 (1994)」と、G. Qiu et al.著の「J. Appl. Phys. 73. 6573 (1993)」を参照のこと。マイクロトランスフォーマのアプリケーションでは、好ましい約2エルステッド(Oe)以下の保磁力Hc を有する好ましい磁気軟性度をこのN含有フィルムで得ることはできるが、前述の論文から明らかなように、このような好ましい軟性磁気特性は、堆積したままのフィルムでは得るのが難しいが、堆積後の高温度の熱処理によって初めて得られるものである。
【0006】
しかしこのような堆積フィルムの熱処理は、余分な処理ステップを必要とし、できれば製造コストの観点からのみならず、高温に曝すことによりデバイス内の様々な他の構成成分および材料が複雑に絡み合うために避ける必要がある。このような高温に曝した結果、これらの構成成分のあるものは損傷を受けされ、例えばポリマーあるいはポリイミドの絶縁フィルムが分解したり、拡散により引き起こされる化学変化あるいは損傷、歪の問題が様々な材料の膨張率の不適合により引き起こされる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
そのために堆積したままの状態で、フィルム内で軟性の磁気特性を得ることが望ましく、そして最悪の場合でもポリイミドのようなポリマーが損傷を受けない約150℃以下の温度で低温熱処理することが望ましい。本発明はこのような望ましい特性を有する新規な軟性磁気フィルムを開示するものである。さらにまた酸化鉄リッチの合金およびFeリッチの合金が通常低減した磁気飽和を示すが、Feリッチのフィルムの腐食/酸化抵抗を改善するのが望ましい。本発明はこのような腐食抵抗を改良したフィルムを開示する。
【0008】
本発明と同時に出願した出願人整理番号970011Bを参照されたい。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、特許請求の範囲に記載された通りであり、軟性磁気フィルムで具体化される。特に本発明の軟性磁気フィルムは、Fe−Cr−Ta−N合金からなり、そしてこれらの合金は、堆積したままの状態で高い飽和磁化レベル(例、15kG以上)と、低い保磁力(例、2.0エルステッド以下)の特性を有し、あるいは製造方法として比較的低い熱処理(150℃以下)でよい。本発明の軟性磁気フィルムは、電子磁気デバイス、例えばマイクロトランスフォーマのコア、インダクタのコア、および磁気の読み取り−書き込みヘッドに適したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1に本発明によりFe−Cr−Ta−N軟性磁気フィルムの製造方法が示されている。第1ステップ110は、合金ターゲットあるいは複数のターゲットを用意し、このターゲットから本発明の磁気フィルムが、例えば化学堆積あるいは物理堆積(スパッタリング,蒸着)、分子ビームエピタキシャル成長、イオンビーム堆積、レーザアブレーション等により堆積される。
【0011】
例えば、スパッタリングの堆積は、大量の工業生産に適用できる。図2Aのスパッタリングターゲット210として示すスパッタリングターゲットは、円盤プレートの形態であるが、一実施例では、所望のフィルム成分に類似の合金成分を有し、他の実施例では、スパッタリングにより取り除かれるターゲットの表面上の様々な金属あるいは合金の合成物である。別の例としてはこのフィルム堆積は、複数のターゲットを用いて、例えば異なる成分を有する1つあるいは複数のターゲットから同時スパッタリングにより行われ、そしてその結果基板上に堆積したフィルムの最終成分が所望の成分に対応することになる。例えば図3,4に示したデータでは、2個のターゲット(一方の側にFe−5.3%Crで、他方の側にTaのターゲットでそれらは約6インチ(15.24cm)だけ離れており)を用いた同時スパッタリングが利用された。
【0012】
本発明の一実施例においては、窒素が反応性堆積により合金フィルム内に含入された、即ちスパッタリングプロセスの間、背景であるArガスキャリア内に特定の分厚の窒素ガスを連続的に供給することにより含有された。現在考えられることは、窒素原子の薄い合金フィルム構造体への含入は、例えばTa窒化物,Cr窒化物および/またはFe窒化物のような窒化物の形態で、あるいは合金結晶格子内の浸入型溶質原子の形態で1つあるいは複数の金属元素との反応により行われる。他の実施例においては、反応性スパッタリングの変わりに窒素をスパッタリングターゲット内に直接合金化することにより供給される。別の方法として窒素は、堆積後、フィルム内に例えば、イオン注入あるいは窒化加熱処理により付加される。このようにしてFe−Cr−Ta合金のフィルムは適切な方法により用意され、それを適切なドーズ量と処理温度でもって窒素注入処理される。
【0013】
スパッタリング用に1個の合金ターゲットを用いる場合には、本発明のフィルム堆積用のターゲットの所望の組成は、鉄を残りとしてCrを0.5−20.0原子%で、好ましくは1.0−12.0原子%で、さらに好ましくは2.0−8.0原子%で、Taは0.1−10.0原子%で、好ましくは0.1−5.0原子%で、さらに好ましくは0.1−3.0原子%である。窒素原子がターゲット内に含入された場合には、所望の組成は、窒素が1.0−30.0原子%で、好ましくは2.0−20.0原子%で、さらに好ましくは2.0−15.0原子%である。窒素が反応性スパッタリングにより含入される場合には、合金ターゲットの窒素は0.0−20.0原子%の範囲内にあり、これはスパッタリングの過程で用いられる窒素ガスの濃度に依存する。
【0014】
次のステップ120は、本発明の磁気フィルムが堆積されるべき基板を用意する。清潔で平坦な非磁性基板表面がマイクロトランスフォーマ型のアプリケーションにおいては望ましい。望ましい基板材料は、例えばSiとGa−Asのような半導体と他の材料、例えばガラス,水晶,セラミック,ポリマー,ポリイミド等を含む。シリコン基板は、他の半導体電子IC回路と相互接続構造が同一の基板の一部上に集積される場合には便利である。このIC回路は、磁気フィルムの堆積の前あるいは後に形成される。
【0015】
マイクロトランスフォーマあるいはインダクタのアプリケーションの場合には、特に高周波デバイス(例、f=1−100MHz)の場合には、本発明のFe−Cr−Ta−Nフィルムは一実施例では多層に形成され、スピンコートあるいはスプレーコートしたポリイミドフィルムのような誘電体製のスペーサ層のフィルムがその間に間挿された多層のパターン化構造に形成される。本発明の磁気フィルムの多層構成は、高周波で動作したときに渦電流損失を最小にするために、各フィルム層に高い電気抵抗を与えるのが望ましい。
【0016】
この多層構成においては、複数の基板材料が含まれ、例えば第1基板はSiでその後第1のFe−Cr−Ta−N磁気層とポリイミド絶縁層が堆積された後、ポリイミド層は、磁気材料の残りの層に対する次の基板を構成する。合金と化合物の磁気特性は、結晶構造組織と格子パラメータにより影響されるので基板材料は望ましくは格子パラメータ修正を伴うエピタキシャル成長を提供するか、あるいは成長組織を導入する(例えばコラム状構造)を導入するよう選択される。
【0017】
次のステップ130は、Fe−Cr−Ta−Nフィルムを例えば窒素含有雰囲気中で反応性スパッタリングにより堆積する。望ましい窒素量は、Ar中で0.2−3.0体積%の範囲で、好ましくは0.5−10.0体積%で、全体(Ar+N2) ガス圧は10-2から10-4トールである。このスパッタリングターゲットには、好ましくは約20−500ボルトの範囲のバイアス電圧を掛けるのが望ましい。
【0018】
多層堆積とポリイミドのような温度感受性の高い誘電体製スペーサ層を含むマイクロトランスフォーマあるいはインダクタのアプリケーションにおいては、基板の温度は、周囲温度近傍に維持するのが好ましい。別法として基板温度は、150℃以下に保持する(150℃以上になると多くのポリマーあるいはポリイミドは好ましくない化学的あるいは構造的変化により損傷を受け始める)。温度劣化材料を含まない他のデバイスのアプリケーションにおいては、より高温の基板温度を用いられる。
【0019】
本発明の他の実施例では、所望の方向に磁気的異方性を導入するためにFe−Cr−Ta−Nフィルムの堆積の間磁界を掛ける。本発明のフィルムは、軟性磁気特性を有するために、比較的低い磁界が掛けられ、高い透磁率と低い保磁力とより矩形のM−Hループ形状を得るために、磁化の容易な方向を形成するために原子の選択的順序(preferential ordering) を導入する。好ましい磁界の強度は約2−5000Oe(エルステッド)で、好ましくは10−500Oeの範囲内である。本発明のフィルムの好ましい堆積温度は、大気温度近傍であるため、磁界はキュリー温度に加熱する際、ソレノイドワイヤの絶縁の損傷あるいは永久磁石の磁気の喪失の恐れなく基板の近傍に電磁石あるいは永久磁石を配置することにより磁界が掛けられる。
【0020】
マグネトロンスパッタリングの場合には、堆積システム内の浮遊磁界そのものを用いて、磁気異方性を導入する。図2に示すように、磁界が後から付加されると、堆積の間基板220の側面あるいは下側のいずれかに磁界を配置するだけでよいために、1つあるいは複数の永久磁石を用いるのが好ましい。様々な永久磁石240を用いることが可能で、例えば高透磁率材料のSm−Co,Nd−Fe−B,Fe−Cr−Coを用いることができ、これにより小さな即ち短い磁気構造になるように自己脱磁化が可能となる。図2Bに示すような複数の磁石列は、図2Aの場合よりも磁石間の基板領域により強い磁界を掛けることが、より強い磁界を提供できる。
【0021】
多層堆積の場合には、各Fe−Cr−Ta−N層の厚さは、約0.001−10.0μmの範囲で、好ましくは0.01−2.0μmの範囲内である。より高い周波数動作の場合には、通常渦電流損失を低減するためにより薄い磁気フィルムが必要とされる。磁気層の間のポリイミドのような絶縁層(誘電体製)スペーサの厚さは、通常約0.001−1.0μmの範囲内にある。磁気層の必要な数は、必要とされる磁気フラックスの全体量と各層の厚さによるが通常1−1000層の間である。
【0022】
一実施例においては、本発明のFe−Cr−Ta−Nフィルムの組成は、Feを残りとして、Crは0.5−20.0原子%の範囲で、好ましくは1.0−15.0原子%で、さらに好ましくは2.0−10.0原子%であり、Taは0.1−10原子%で、好ましくは0.1−6.0原子%で、さらに好ましくは0.1−3.0原子%で、Nは1.0−30原子%の範囲で、好ましくは2.0−20.0原子%で、さらに好ましくは2.0−15.0原子%である。さらにまた遷移金属、例えばTi,V,Mn,Cu,Ni,Co,Zr,Moおよび稀土類金属、例えばCe,Y,Laのような他の金属元素を不純物として2原子%、好ましくは0.5原子%以下含んでも良い。
【0023】
構造上は本発明のフィルムは、平均結晶サイズ(粒子サイズ)が約1000オングストローム以下、好ましくは500オングストローム以下、さらに好ましくは200オングストローム以下のナノ結晶構造体を有する。同時に本発明のフィルムは、堆積したままで優れた軟性磁気特性を有し、堆積後の熱処理を必要とはしない。保磁力Hc は約5Oeで、好ましくは2Oe以下、磁気飽和4πMs は10kG以上で、好ましくは15kG以上で、さらに好ましくは18kG以上である。本発明のフィルムの処理と特性の一部を以下の実験例として示す。
【0024】
実験例1
Fe−Cr−Ta−N合金のフィルムを4インチ(10.16cm)直径の(100)Si基板上にトロイドDCマグネトロンスパッタリングでもって堆積した。その際に、2個の2.25インチ(5.715cm)直径のFe−5.3%Cr(原子%)のターゲットと、純粋なTaのターゲットを用いて同時スパッタリングを用いて、あるいはFe−8.5%CrターゲットとTaターゲットを用いて同時スパッタリングプロセスと、窒素含有雰囲気中での反応性プロセスを用いた。スパッタリングチャンバは、先ず2×10-7トールまで真空引きし、その後反応性スパッタリングを5×10-3トールのAr+N2 の諸気圧のガス流速レートが50cm3 /分のガス雰囲気中で実行された。アルゴンガス中の窒素の量は0,2体積%,3.5体積%,5体積%のいずれかであった。140Vのバイアス電圧をFe−Crターゲットに掛け、60Vのバイアス電圧をTaターゲットに掛けた。シリコン製基板は、スパッタリングプロセスの間、大気温度に維持した。堆積されるスパッタのレートは約15オングストローム/分で、フィルムは1000−2000オングストロームの厚さであった。
【0025】
M−Hループは、Vibrating Sample Magnetomer(VSM)と、Helmholtz magnetizing coil を用いて測定された。このループは、磁化のやさしい軸と難しい軸の方向を決定するために、平面内の方向の関数として測定された。約6インチ(15.24cm)離して配置した2個のターゲットからの同時スパッタリングプロセスのために、この堆積したFe−Cr−Ta−Nフィルムは、一端から他端まで濃度が傾斜し、即ちFe−Crリッチ端とTaリッチ端とが形成される。小さなサンプル、例、0.125平方インチ(0.80645cm2) を傾斜組成のスペクトラムを表すために基板の様々な場所から切りとった。表1は、数個のサンプルの磁気特性を示す。近似組成は、Rutherforedd backscattering analysisにより決定された。
【0026】
* Fe−8.5%CrのターゲットとTaのターゲットから同時スパッタリングにより得られた
表1から明らかなように、優れた軟性磁気特性は、堆積した状態のままの本発明のFe−Cr−Ta−Nフィルムから得られた。例えば、19.7kGの高い4πMs と、例えば1.2Oeのような低い保磁力の組み合わせは、マイクロトランスフォーマおよび記録ヘッドのような多くの電気磁気デバイスにとって魅力的なものである。本発明のフィルムのM−Hループの容易軸を図3に示す。M−Hループの矩形の特徴は明かである。
【0027】
図4に本発明のFe−Cr−Ta−Nフィルムの保磁力と、Arガススパッタリング雰囲気中の窒素の含有量(体積%)のプロット410を示す。一般的にFe−Cr−Ta−Nフィルム内の窒素量は、スパッタリング雰囲気中のN2 ガスの体積%につれて増加する。図3から明かなように本発明のフィルム内の窒素の量は、軟性磁気特性を決定するのに重要な役割を果たす。Fe−Cr−Taベースの合金フィルムのHc の値は窒素の量に依存し、3.5体積%の窒素ガス量でもってスパッタリングすることにより最低の保磁力Hc が得られる。窒素含有量が低すぎると、鉄マトリックスの粒子成長を阻止するのに有効でなく、その結果Hc が高くなる。一方、窒素含有量が高すぎると、飽和磁気レベルを減少させ、Hc もまた上昇させる。かくして低いHc を達成するために、ある合金成分に対しては、最適の範囲の窒素含有量がある。
【0028】
CrをFe−Ta−Nフィルムに添加することにより、堆積した状態の軟性磁気特性(低いHc と矩形のM−Hループ)の改良を達成でき、そして体積後の熱処理が必要なくなる。Crがこのような特性を引き起こす正確な理由は今のところ明ではないが、好ましいナノ結晶微細構造の形成が容易になることに関係しているか、あるいは堆積した状態のままのフィルム中に好ましい磁気歪が減少することに関係していると考えられる。図5には、堆積した状態のFe−Cr−Taフィルムと、Fe−Ta−Nフィルムと、Fe−Cr−Ta−Nフィルムで、似たような合金成分(約5%Crと、約1%Taと、約7%Nと、残りがFe)と、類似飽和モーメンとを有する堆積した状態のままのこの3種類のフィルムをHc の観点から磁気軟性度を比較したグラフである。図5から明らかなようにCrをFe−Ta−Nに添加すること、およびNをFe−Cr−Taに添加することは軟性磁気特性を著しく改良する。
【0029】
Crが存在するために本発明のフィルムは、Crが存在しない従来の軟性磁気フィルムに比較して、腐食/酸化に対し(少なくとも50%)改良された耐性を示す。この酸化に対する耐性は、実際のデバイスを使用している間、軟性磁気特性を維持する際に重要であり、このことはFeリッチの合金の酸化は、4πMs を低くし保磁力を高くし、透磁力を悪くする原因となる。
【0030】
本発明の他の実施例においては、本発明のフィルムに必要によっては低温熱処理を施し、さらに軟性磁気特性を改良することもできる。ポリイミドのような絶縁層に対する損傷を低減するために、150℃以下の低温熱処理が用いられる。この熱処理の間、表面酸化を最小にするために高真空雰囲気(例えば、10-4トール以下)が用いられる。フィルム層のフィルム表面を例えばCrフィルム,Alフィルムあるいは酸化物フィルム,窒化物フィルムのような耐酸化物コーティングで保護する場合には、これよりも低い真空を用いることができる。例えば、前述した実施例においては、Fe−4%Cr−1.1%Ta−6%Nの堆積したままのフィルム組成は、約1500オングストロームの厚さで、4πMs が15.1kGで、Hc が1.1Oeであった。フィルムを125℃で約3時間10-4トールの真空中で熱処理すると、得られたフィルムの4πMs は20.2kGで、Hc は0.9Oeに改良された。
【0031】
本発明の他の実施例においては、フィルムは異るタイプの磁気層を有する合成構造体として形成された。例えば、この合成構造体は、1つあるいは複数の交換バイアスフィルムを有し、これは反強磁性,強磁性あるいはフェリ磁性であり、軟磁性フィルム表面に直接形成される。具体的に述べると、Fe−50%Mnの反強磁性合金のフィルムがFe−Cr−Ta−N軟性磁気層の一部あるいは全ての上に付与されると、M−Hループを(軟性磁気フィルムのHc よりも例えば少なくとも2Oeだけ)シフトさせ、最低磁気領域壁動作(minimal magnetic domain wall motion) でもって内部バイアスフィールドモード内での軟性磁気フィルムの高周波動作が可能となる。
【0032】
図1の最後のステップ140は、例えばマイクロトランスフォーマインダクタ記録ヘッドのような電子磁気デバイス内に磁気フィルムを組み立てることである。このステップ140は、基板(堆積した単一層あるいは多層あるいは合成構造体の磁気フィルム)を所望のサイズに切り出し、必要によって相互接続あるいは導電回路を付与し、これを所望の電気磁気デバイス内に組み立てる。
【0033】
図6には、本発明のFe−Cr−Ta−Nフィルムを含むポストコアタイプのマイクロトランスフォーマを表す。この実施例においては、複数の軟性磁気フィルム層610(ポリイミドあるいは他の絶縁層をその間に積層した)が先ず堆積され、パターン化された導体層620(Cuラインを含む)が軟性磁気フィルム層610の上に形成され、その後複数の磁気フィルム積層体630が、図に示すように堆積された。
【0034】
本発明の他の実施例は、図7に示すようにトロイダル型である。並列のセグメント形状の導体層710がまず用意され、その後Fe−Cr−Ta−N磁気フィルム積層体720がその上に堆積され、その後並列形状のトップの導体層730が付加されて、導体層710のセグメントと接続されてトロイダル状の巻回を構成している。ある種のアプリケーションにおいては、Fe−Cr−Ta−Nフィルムは、磁化の容易方向の軸が巻回から加えられる磁界の方向と一致するように堆積される。超高周波のアプリケーションにおいては、領域壁動作(domain wall motion)により切り換えられる磁化は好ましくなく、そのため磁気的にハードな方向を用いてコヒーレントなスピン回転モードが動作するようになる。
【0035】
図8は、電気磁気デバイスに組み込んだ本発明の実施例を示す。本発明のフィルムを含む記録用の読み出し−書き込みヘッドの断面を図8Aに示す。軟性磁気フィルム810は、磁気ディスクまたは磁気テープ820内の記録された磁気メモリビット情報から磁気信号を増幅するよう機能し、誘導性センスコイル、即ち磁気抵抗性センサ830がより高い出力信号を生成する。基板840に軟性磁気フィルム810と磁気抵抗性センサ830とが固定されている。
【0036】
別の構成例として、図8Bに示すように本発明のフィルムを金属インギャップ(metal-in-gap(MIG))型のヘッド構成内の高磁化材料として用いられる。この実施例において書き込み−読み出しヘッド850は、フェライト製である。
【0037】
【発明の効果】
以上本発明によれば、軟性磁気フィルムは、Fe−Cr−Ta−N合金からなり、そしてこれらの合金は、堆積したままの状態で高い飽和磁化レベル(例、15kG以上)と、低い保磁力(例、2.0エルステッド以下)の特性を有し、あるいは製造方法として比較的低い熱処理(150℃以下)でよい。本発明の軟性磁気フィルムは、電子磁気デバイス、例えばマイクロトランスフォーマのコア、インダクタのコア、および磁気の読み取り−書き込みヘッドに適したものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による軟性磁気フィルムの製造方法を示すブロック図
【図2】磁界が掛けられた状態でフィルムが堆積された形態を表す図
【図3】磁化が容易な方向に沿って堆積したままのFe−Cr−Ta−N合金フィルム(厚さ1500オングストローム)の磁気ヒステリシス(M−H)ループを表す図
【図4】反応性スパッタリングプロセスの間における本発明のFe−Cr−Ta−N合金フィルムの保磁力対アルゴン(Ar)のキャリアガス中の窒素の量との関係を表すグラフ
【図5】堆積したままのFe−Cr−Taフィルムと、Fe−Ta−Nフィルムと、Fe−Cr−Ta−Nフィルムの磁気軟性(Hc) の比較を示す図
【図6】本発明のFe−Cr−Ta−Nフィルムを含むポットコアタイプのマイクロトランスフォーマの構造を表す図
【図7】本発明のFe−Cr−Ta−Nフィルムを含むトロイドタイプのマイクロトランスフォーマの構造を表す図
【図8】本発明のFe−Cr−Ta−Nフィルムを含む磁気記録ヘッドの構造を表す図
【符号の説明】
210 スパッタリングターゲット
220 基板
240 永久磁石
250
610 軟性磁気フィルム層
620 パターン化された導体層
630 磁気フィルム積層体
710 導体層
720 Fe−Cr−Ta−N磁気フィルム積層体
730 導体層
810 軟性磁気フィルム
820 磁気ディスクまたは磁気テープ
830 磁気抵抗性センサ
840 基板
850 書き込み−読み出しヘッド
110 フィルム堆積用のターゲットを用意する
120 磁気フィルム堆積用の基板を用意する
130反応性スパッタリングによりFe−Cr−Ta−Nフィルムの堆積を行う
140 磁気フィルムを磁気電子デバイスに組み込む
Claims (8)
- 物品を製造するための方法であって、
非磁性基板を提供するステップと、
該非磁性基板上に鉄−クロム−タンタルム−窒素(Fe−Cr−Ta−N)合金を含む軟性磁気フィルムを形成するステップと、
該軟性磁気フィルム上に少なくとも1つのポリイミド誘電体スペーサ層を形成するステップと、
該軟性磁気フィルムを有する該物品を150℃以下の温度で加熱して、加熱処理前の合金と比べて改善された軟磁気特性を該合金に与えるようにするステップと、を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記Fe−Cr−Ta−N合金が、原子百分率で、Crを0.5%ないし20%の範囲で、Taを0.1%ないし10%の範囲でNを1%ないし30%の範囲で含み、残りが本質的にFeから成り、Fe,Cr,TaおよびN以外の元素は、原子百分率でトータルを100%として、最大2%含有するものである方法。 - 請求項1に記載の方法において、さらに
複数のフィルム層から成り、これらフィルム層の間に複数の誘電体スペーサ層が形成される、多層構造を形成するステップを含む方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記誘電体スペーサ層が、ポリイミドから成る方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記軟性磁性フィルムを、この軟性磁気フィルムの平均粒子構造サイズが500オングストロームよりも小さくなるように、前記基板上に形成するようにした方法。 - 請求項1に記載の方法において、さらに
前記軟性磁気フィルム上に1つあるいは複数の交換バイアスフィルムを形成するステップを含み、この交換バイアスフィルムが、反強磁性体、強磁性体、およびフェリ磁性体から成るグループから選択される材料から成る方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記物品が、マイクロトランスフォーマコアと、インダクタコアと、磁気書き込み読出しヘッドから成るグループから選択された電気磁気デバイスの一部である方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記基板が、ケイ素、ガリウムヒ素、ガラス水晶、セラミックおよびポリイミドから成るグループから選択される材料から成る方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20220230800A1 (en) * | 2018-06-19 | 2022-07-21 | Intel Corporation | Techniques for an inductor at a first level interface |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5772797A (en) * | 1989-01-26 | 1998-06-30 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Soft magnetic thin film, method for preparing same and magnetic head |
JP2924785B2 (ja) * | 1996-04-25 | 1999-07-26 | 日本電気株式会社 | 磁気抵抗効果素子薄膜及びその製造方法 |
JP4562818B2 (ja) * | 1997-02-14 | 2010-10-13 | パナソニック株式会社 | 人工格子多層膜の着膜装置 |
US6376909B1 (en) | 1999-09-02 | 2002-04-23 | Micron Technology, Inc. | Mixed-mode stacked integrated circuit with power supply circuit part of the stack |
US6891461B2 (en) * | 1999-11-23 | 2005-05-10 | Intel Corporation | Integrated transformer |
US6815220B2 (en) * | 1999-11-23 | 2004-11-09 | Intel Corporation | Magnetic layer processing |
US6452247B1 (en) * | 1999-11-23 | 2002-09-17 | Intel Corporation | Inductor for integrated circuit |
US6870456B2 (en) * | 1999-11-23 | 2005-03-22 | Intel Corporation | Integrated transformer |
US6856228B2 (en) * | 1999-11-23 | 2005-02-15 | Intel Corporation | Integrated inductor |
US6420954B1 (en) | 1999-12-10 | 2002-07-16 | Micron Technology, Inc. | Coupled multilayer soft magnetic films for high frequency microtransformer for system-on-chip power supply |
US20020058159A1 (en) * | 2000-11-15 | 2002-05-16 | Yukiko Kubota | Soft magnetic underlayer (SUL) for perpendicular recording medium |
JP4333900B2 (ja) * | 2000-11-30 | 2009-09-16 | エーエスエム インターナショナル エヌ.ヴェー. | 磁気メモリセル、磁気構造体及び磁気素子の製造方法、並びに磁気構造体用金属層の成長方法 |
KR20020078705A (ko) * | 2001-04-09 | 2002-10-19 | 한국과학기술연구원 | FeTiN계 연자성 박막합금 조성물 |
US6759081B2 (en) * | 2001-05-11 | 2004-07-06 | Asm International, N.V. | Method of depositing thin films for magnetic heads |
US6692619B1 (en) | 2001-08-14 | 2004-02-17 | Seagate Technology Llc | Sputtering target and method for making composite soft magnetic films |
JP4720067B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2011-07-13 | Tdk株式会社 | 磁気記憶セルおよび磁気メモリデバイスならびに磁気メモリデバイスの製造方法 |
US7852185B2 (en) * | 2003-05-05 | 2010-12-14 | Intel Corporation | On-die micro-transformer structures with magnetic materials |
JP2005332474A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 熱アシスト磁気記録装置 |
US20060042938A1 (en) * | 2004-09-01 | 2006-03-02 | Heraeus, Inc. | Sputter target material for improved magnetic layer |
US8134548B2 (en) | 2005-06-30 | 2012-03-13 | Micron Technology, Inc. | DC-DC converter switching transistor current measurement technique |
JP4331182B2 (ja) * | 2006-04-14 | 2009-09-16 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 軟磁性ターゲット材 |
JP5037036B2 (ja) * | 2006-05-02 | 2012-09-26 | 山陽特殊製鋼株式会社 | FeCo系ターゲット材 |
WO2007149135A2 (en) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Ningbo Signatronic Technologies, Ltd. | Anti-theft security marker with soft magnetic bias component |
CN100447911C (zh) * | 2006-06-16 | 2008-12-31 | 李霖 | 软磁材料偏置片的制造方法及使用该偏置片的防盗声磁标签 |
JP4907259B2 (ja) * | 2006-08-16 | 2012-03-28 | 山陽特殊製鋼株式会社 | Crを添加したFeCoB系ターゲット材 |
JP2008121071A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Sanyo Special Steel Co Ltd | 軟磁性FeCo系ターゲット材 |
JP5111835B2 (ja) * | 2006-11-17 | 2013-01-09 | 山陽特殊製鋼株式会社 | (CoFe)ZrNb/Ta/Hf系ターゲット材およびその製造方法 |
JP5253781B2 (ja) * | 2007-09-18 | 2013-07-31 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 垂直磁気記録媒体における軟磁性膜層用合金ターゲット材 |
US8993073B2 (en) | 2008-07-14 | 2015-03-31 | Seagate Technology Llc | Applying bias voltage during formation of granular recording media |
DE102011086403A1 (de) | 2011-11-15 | 2013-05-16 | Würth Elektronik eiSos Gmbh & Co. KG | Induktionsbauteil |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4835069A (en) * | 1983-08-06 | 1989-05-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium |
US5421915A (en) * | 1989-01-26 | 1995-06-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for preparing same and magnetic head |
US5262915A (en) * | 1990-08-23 | 1993-11-16 | Tdk Corporation | Magnetic head comprising a soft magnetic thin film of FeNiZrN having enhanced (100) orientation |
JPH06338410A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-12-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 軟磁性多層膜と磁気ヘッド |
JPH07122428A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁性合金膜およびこれを用いた磁気ヘッド |
JPH07130538A (ja) * | 1993-11-01 | 1995-05-19 | Hitachi Metals Ltd | 磁性合金膜および磁気ヘッド |
-
1996
- 1996-02-02 US US08/595,543 patent/US5780175A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-01-21 EP EP97300373A patent/EP0788120A1/en not_active Ceased
- 1997-01-21 TW TW086100615A patent/TW360884B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-02-03 JP JP9020254A patent/JPH09320846A/ja active Pending
- 1997-02-03 JP JP02025397A patent/JP3677137B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-06 US US08/965,682 patent/US5976715A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220230800A1 (en) * | 2018-06-19 | 2022-07-21 | Intel Corporation | Techniques for an inductor at a first level interface |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW360884B (en) | 1999-06-11 |
JPH09237412A (ja) | 1997-09-09 |
JPH09320846A (ja) | 1997-12-12 |
EP0788120A1 (en) | 1997-08-06 |
US5780175A (en) | 1998-07-14 |
US5976715A (en) | 1999-11-02 |
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