JP3672243B2 - シリコン・オン・インシュレータ(soi)技術の高kおよび低k埋込酸化物のための方法および構造 - Google Patents
シリコン・オン・インシュレータ(soi)技術の高kおよび低k埋込酸化物のための方法および構造 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に集積回路に関し、さらに詳細には高K絶縁材料を用いて高出力デバイスから熱を散逸させると同時に低K絶縁材料を用いて低電力論理デバイスの低誘電率、低抵抗率の必要に対処する絶縁体に関する。
【0002】
【従来の技術】
高性能/低電力集積回路デバイスの出現につれて、デバイスを隣接する基板から絶縁するために低K誘電体が通常使用されている。低K誘電体は、高K誘電体に比べて低い誘電率および低い熱抵抗率を与える。この電気的特性は、低電力デバイス(クリティカル・パス、ロジック・チェーン、その他のコア論理デバイス等)には極めて有利であるが、低K誘電体は、静電放電(ESD)デバイス、クロック・バッファ、入出力(I/O)ドライバ等の高電力デバイスが必要とする高い熱伝導率は与えない。
【0003】
したがって、集積回路の設計者は、低電力デバイスの電気的要求と高電力デバイスの熱的要求のバランスをとる必要がある。この二律背反により、低電力デバイスの性能は低下し、高電力デバイスが発生できる熱の量が制限される。下記に示す本発明は、この二律背反をなくし、集積回路設計者が低電力デバイスの性能を改善することを可能にすると同時に、高電力デバイスの発熱を増加することを可能にする。したがって、本発明は、ESDの構造、接続部、および回路の自己発熱の問題を克服する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の一目的は、第1の部分および第2の部分を有する基板と、第1の部分を覆う第1の絶縁体と、第2の部分を覆う第2の絶縁体(第1の絶縁体は第2の絶縁体と異なる熱散逸特性を有する)と、第1の絶縁体および第2の絶縁体を覆うシリコン・フィルムとを備える集積回路ウェハを提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
第1の絶縁体は第2の絶縁体よりも高い熱散逸性を有し、第1の絶縁体は第2の絶縁体よりも高い誘電率を有する。基板は第1の絶縁体を覆う第1のデバイスと、第2の絶縁体を覆う第2のデバイスを含む。第1のデバイスは第2のデバイスよりも多くの熱を発生し、第1のデバイスは第2のデバイスよりも高い誘電率を必要とする。
【0006】
第1の絶縁体と第2の絶縁体は互いに隣接することができ、シリコン層がその上に配置される単一の平面状表面を形成することができる。あるいは、第1の絶縁体を第2の絶縁体の内部にシリコン層に隣接して置くこともできる。また第1の絶縁体を第2の絶縁体の内部に基板に隣接して置くこともできる。
【0007】
本発明は、また、第1および第2の部分を有する基板を形成するステップと、第1の絶縁体を基板の上に付着するステップと、第1の絶縁体が第1の部分上のみに残るように第1の絶縁体をパターン形成するステップと、第2の絶縁体を基板の上に付着させる(第1の絶縁体は第2の絶縁体と異なる熱散逸特性を有する)ステップと、第2の絶縁体を研磨して平面状表面を形成するステップと、第1の絶縁体および第2の絶縁体の上にシリコン層を付着させるステップとを含む集積回路ウェハを形成する方法を含む。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明は、絶縁体が低電力デバイスに隣接することになるかそれとも高電力デバイスに隣接することになるかに応じて異なる誘電率「K」を有する誘電体を選択的に形成することにより、先に論じた従来型構造の制限を克服する。より詳細には、本発明は、高電力デバイスに隣接する高K誘電体領域と低電力高性能デバイスに隣接する低K誘電体領域を含む単一の絶縁体層を形成する。
【0009】
本発明の第1の実施形態を図1に示す。図1に示すSOI(シリコン・オン・インシュレータ)構造は、シリコン基板等の基板10を形成することから始まる。その後、高K誘電体材料11をシリコン基板10の上に付着させる。高K誘電体11は低K誘電体12と比べて高い誘電率Kを有するものならどんな誘電体を含んでもよい。例えば、高K誘電体11は、SiO2(二酸化シリコン)等を含むことができ、低K誘電体12は、HSQ(ヒドロシルセスキオキサン、akaFOX)、ナノポーラス・シリカ(Nanoporous Silica)、ポリアリーレンエーテル、芳香族炭化水素、ハイブリッドS2(hybrid−S2)等を含むことができる。本発明はここで論じる上記材料のみに制限されるものではなく、当業者ならこの開示を示されればわかるように、類似のどんな誘電体も高Kまたは低K誘電体の代わりに使用することができる。
【0010】
従来のマスキングおよびエッチング技術を用いて高K誘電体をパターン形成する。その後、低K誘電体12を付着させる。その後、構造を研磨して高K誘導体11と誘導体12の上面を平坦にする(例えば平面状表面を形成する)。誘電体11、12の上面にシリコン層13を付着させる。ESDネットワーク、入出力ドライバ、バッファ、受信機のコンデンサ等の高電力周辺デバイスが高K誘電体11の上になるように、またコア・ロジック、メモリ回路等の低電力高性能デバイスが低K誘電体12の上になるように、高K誘電体をパターン形成する。周辺デバイスとコア・ロジックは、同じシリコン層13の内部にあることになる。代替実施形態では、低K誘電体を最初に付着させてパターン形成し、その後パターンの残りの部分に高K誘電体を充填することもできる。
【0011】
本発明の構造は、単一の均質な絶縁体層を用いた従来型の構造よりも優れている。本発明のマルチK誘電絶縁体層により、コア・ロジックが、低K誘電絶縁体12に伴う低い誘電率を利用することができると同時に、高K誘電絶縁体11の高い熱伝導能力(例えば熱散逸性)を利用することができるからである。
【0012】
例えば、高K誘電絶縁体は、0.014W/C−cmの熱特性を有し、低K誘電絶縁体は、0.0037W/C−cmの熱特性を有し、高誘電体から低誘電体に移るとき、約1/5に減少する(SiO2、FOXをそれぞれ高K誘電絶縁体、低K誘電絶縁体とみなした場合)。同様に、再びSiO2を高K誘電絶縁体とみなし、FOXを低K誘電絶縁体とみなした場合、誘電率はそれぞれ3.9および2.9であり、高K誘電体から低K誘電体に移るとき、誘電率が約25%減少する。
【0013】
図2は、低K誘電体20を最初に付着させパターン形成した後、高K誘電体21をパターンの開口部に付着させる、本発明の別の実施形態を示す。図1に示した構造と同様に、図2に示した構造は、研磨してから、シリコン13とコア・ロジック構造の他の関連周辺デバイスを形成する。図3は、高K誘電体30を最初に付着させパターン形成した後、低K誘電体31を使用してパターンの開口部を充填する点を除き、図2に示した構造と同様である。周辺ロジックは、一般に熱を散逸させる必要があるが、コア・ロジックは、性能改善の利益を得るために低誘電体を必要とする。したがって、図2は、熱散逸が優先される回路の下にある高K誘電体を示し、図3は、性能本位のデバイスの下にある低K誘電体を示す。
【0014】
図4は、高K誘電体41をシリコン基板10上に付着させてパターン形成する、本発明の別の実施形態を示す。その後、低K誘電体40を付着させて、高K誘電体41を完全に覆い、高K誘電体41の上にある厚さで広がる。低K誘電体40を平面化する際、低K誘電体40の一部を高K誘電体41の上に残す。当業者ならこの開示を示されればわかるように、高Kおよび低K誘電体は、この例では入れ替えることができる。この実施形態では、低K誘電体は全ての素子の下にあり、低K材料の厚さを薄くすることにより、熱抵抗は減少する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による集積回路ウェハの略断面図である。
【図2】本発明による集積回路ウェハの略断面図である。
【図3】本発明による集積回路ウェハの略断面図である。
【図4】本発明による集積回路ウェハの略断面図である。
【符号の説明】
10 シリコン基板
11 高K誘電体
12 低K誘電体
13 シリコン層
20 低K誘電体
21 高K誘電体
30 高K誘電体
31 低K誘電体
40 低K誘電体
41 高K誘電体
Claims (12)
- 第1および第2の部分を有する基板と、
前記第1の部分を覆う第1の絶縁体と、
前記第2の部分を覆う、前記第1の絶縁体と異なる熱散逸特性および誘電率を有する第2の絶縁体と、
前記第1の絶縁体および前記第2の絶縁体を覆うシリコン層とを備え、
前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体よりも高い熱散逸性を有し、前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体よりも高い誘電率を有し、
前記基板が前記第1の絶縁体上の第1のデバイスと、前記第2の絶縁体上の第2のデバイスとを備え、前記第1のデバイスが前記第2のデバイスよりも多くの熱を発生し、前記第1のデバイスが前記第2のデバイスよりも高い誘電率を必要とする
集積回路ウェハ。 - 前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体が互いに隣接し、前記シリコン層がその上に配置される単一の平面状表面を形成する、請求項1に記載の集積回路ウェハ。
- 前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体内部に前記シリコン層に隣接して配置される、請求項1に記載の集積回路ウェハ。
- 前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体内部に前記基板に隣接して配置される、請求項1に記載の集積回路ウェハ。
- 第1および第2の部分を有する基板を形成するステップと、
第1の絶縁体を前記基板の上に付着させるステップと、
前記第1の絶縁体が前記第1の部分上のみに残るように前記第1の絶縁体をパターン形成するステップと、
前記第1の絶縁体と異なる熱散逸特性および誘電率を有する第2の絶縁体を基板上に付着させるステップと、
前記第2の絶縁体を研磨して平面状表面を形成するステップと、
前記第1の絶縁体および前記第2の絶縁体の上にシリコン層を付着させるステップとを含む集積回路ウェハを形成する方法であって、
前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体よりも高い熱散逸性を有し、前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体よりも高い誘電率を有し、
前記第1の絶縁体上の前記シリコン層内に第1のデバイスを形成し、前記第2の絶縁体上の前記シリコン層内に第2のデバイスを形成するステップをさらに含み、
前記第1のデバイスが前記第2のデバイスよりも多くの熱を発生し、前記第1のデバイスが前記第2のデバイスよりも高い誘電率を必要とする
集積回路ウェハを形成する方法。 - 前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体が互いに隣接して形成されるように前記第1の絶縁体をパターン形成し、前記研磨により前記シリコン層がその上に配置される単一の平面状表面を形成する、請求項5に記載の方法。
- 前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体の内部で前記シリコン層に隣接して配置されるように前記第1の絶縁体をパターン形成する、請求項5に記載の方法。
- 前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体の内部で前記基板に隣接して配置されるように前記第1の絶縁体をパターン形成する、請求項5に記載の方法。
- 第1および第2の部分を有する基板と、
前記第1の部分上の第1の絶縁体と、
前記第2の部分上に形成され、前記第1の絶縁体と異なる熱散逸特性および誘電率を有する第2の絶縁体と、
前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体とを覆うシリコン層とを備え、
前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体よりも高い熱散逸性を有し、前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体よりも高い誘電率を有し、
前記基板が、前記第1の絶縁体上の第1のデバイスと前記第2の絶縁体上の第2のデバイスとを備え、前記第1のデバイスが前記第2のデバイスよりも多くの熱を発生し、前記第1のデバイスが前記第2のデバイスよりも高い誘電率を必要とする
集積回路ウェハ。 - 前記第1の絶縁体と前記第2の絶縁体が互いに隣接し、前記シリコン層がその上に配置される単一の平面状表面を形成する、請求項9に記載の集積回路ウェハ。
- 前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体内に前記シリコン層に隣接して配置される、請求項9に記載の集積回路ウェハ。
- 前記第1の絶縁体が前記第2の絶縁体内部に前記基板に隣接して配置される、請求項9に記載の集積回路ウェハ。
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