JP3670263B2

JP3670263B2 - 導波管、並びに該導波管を備えるマイクロ波イオン源

Info

Publication number: JP3670263B2
Application number: JP2002319063A
Authority: JP
Inventors: 裕之伊藤; 訓之作道
Original assignee: Applied Materials Inc
Current assignee: Applied Materials Inc
Priority date: 2002-10-31
Filing date: 2002-10-31
Publication date: 2005-07-13
Anticipated expiration: 2022-10-31
Also published as: US20040090185A1; US7166965B2; JP2004153726A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導波管及びマイクロ波イオン源に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、マイクロ波などの電磁波を所定の方向に導くために導波管が広く利用されている。このような導波管としては、筒状に成型した金属管に不導体からなる芯材を通し、金属管の内周面と芯材の外周面とを密着させたものが一般的である。また、不導体の外周面をアルミニウムや銅などの金属の薄膜で被覆した導波管も知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６２−２７８８０２号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の導波管はいずれもマイクロ波イオン源などに適用する上で改善の余地がある。
【０００５】
すなわち、金属管に芯材を通した導波管の場合、金属管の内周面と芯材の外周面とを完全に密着させることが困難であり、両面間に微小の空隙が生じることが多い。このように導波管と芯材との間に空隙が生じると、当該空隙における電磁波の反射により伝導損失が増大してしまう。また、例えばマイクロ波イオン源では雰囲気温度が数百℃にも昇るため、金属管と芯材との熱膨張率の差により両者がずれることによっても空隙が生じることがある。さらに、金属管と芯材との熱膨張率の差は導波管の物理的な劣化の原因にもなる。
【０００６】
一方、特許文献１に記載の導波管は、金属管に芯材を通す導波管の設計及び加工上の問題点の改善が図られたものであるが、金属の薄膜が導波管本体から剥がれる現象や薄膜自体が劣化する現象が起こりやすく、実用に供し得るものとしては未だ不十分である。
【０００７】
本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、マイクロ波などの電磁波を効率よく導くことができ、且つ物理的及び化学的な耐久性にも優れた導波管、並びにその導波管を用いたマイクロ波イオン源を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の導波管は、窒化ホウ素及び酸化アルミニウムから選ばれる１種からなる導波管本体と、該導波管本体の外周面を被覆する窒化チタンからなる薄膜と、を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の導波管においては、導波管本体として窒化ホウ素及び酸化アルミニウムから選ばれる１種からなるものを用い、且つその導波管本体の外周面を窒化チタンからなる薄膜で被覆することで、導波管本体の外周面と薄膜とが十分に密着するため、導波管本体の外周面におけるマイクロ波などの電磁波の反射を十分に抑制することができ、高水準の伝導性が達成可能となる。また、このような導波管本体と薄膜との組み合わせにより、両者の熱膨張率の違いによる剥がれやそれぞれの劣化が起こりにくくなるため、上述の高い伝導性を長期にわたって維持することができる。
【００１０】
また、本発明の導波管においては、導波管本体の外周面を薄膜で被覆するという構成上、導波管本体の形状は特に制限されない。そのため、金属管に芯材を通す導波管に比べて設計上又は加工上の自由度を大きくすることができる。例えば、導波管本体に所定の角度の曲げを与えたり、楔形などの特殊な形状をもたせたりする場合であっても、高い導電性を有する導波管を得ることができる。
【００１１】
本発明の導波管においては、導波管本体が窒化ホウ素からなることが好ましい。窒化ホウ素からなる導波管本体と窒化チタンからなる薄膜とを組み合わせることにより、電磁波に対する導電性、密着性、剥がれ防止性及び耐久性の全てがより高水準で達成可能となる。
【００１２】
また、本発明のマイクロ波イオン源は、プラズマ生成室内に導入されたガスを、マイクロ波放電によりプラズマ化してイオンを生成させるマイクロ波イオン源において、プラズマ生成室内にマイクロ波を導入する導波管が、窒化ホウ素及び酸化アルミニウムから選ばれる１種からなる導波管本体と、該導波管本体の外周面を被覆する窒化チタン膜と、を有することを特徴とする。
【００１３】
このように、マイクロ波イオン源の導波管として上記本発明の導波管を用いることで、マイクロ波に対する高い導電性を長期にわたって維持することができ、マイクロ波放電によるプラズマ生成を効率よく行うことが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付することとし、重複する説明は省略する。
【００１５】
図１は本発明のマイクロ波イオン源の好適な一実施形態を示す概略構成図である。図１に示したマイクロ波イオン源は、後述するように本発明の導波管を備えるものである。
【００１６】
図１中、マグネトロン１１、マグネトロンマウント１２、サーキュレータ１３、パワーモニタ１５、スタブチューナ１６、インターフェースチューブ１７、ソースヘッド１８がこの順で連結されてマイクロ波イオン源が構成されている。ソースヘッド１８の前面にはプラズマチャンバ１９が設けられている。また、サーキュレータ１３の側部にはダミーロード１４が設けられている。
【００１７】
マグネトロン１１は所定のマイクロ波（例えば２．４５ＧＨｚのもの）を発生させるもので、このマイクロ波がソースヘッド１８に導入されてプラズマ生成に利用される。サーキュレータ１３はマグネトロン１１側に戻ろうとする反射されたマイクロ波をダミーロード１４に迂回させるものであり、迂回したマイクロ波はダミーロード１４で吸収されて熱に変換される。また、スタブチューナ１６はマイクロ波の反射を小さくしてより多くのマイクロ波がプラズマ生成に消費されるように調整するものである。なお、マイクロ波の出力を検出するパワーモニタ１５、インターフェースチューブ１７等は必須の要素ではなく、適宜省略することができる。
【００１８】
図２は、ソースヘッド１８及びプラズマチャンバ１９をマイクロ波の導入路を含む平面で切断したときの断面図である。図２中、ソースチャンバー２１のマグネトロン側（マイクロ波ＭＷの入口側）にはソースブッシング２２が形成されており、その端部はソースヘッドの内側に向けて折れ曲がった形状となっている。この折れ曲がり部の先端にはマグネットヨーク２３が設けられてソースヘッド１８を挿入するための空間を与えている。マグネットヨーク２３の前面には開口部を有する出口側プレート２４が設けられ、さらにプレート２４のマグネトロン側の開口部には凹状のプラズマチャンバ１９が配置されている。プラズマチャンバ１９の凹部の空間２７はプラズマ生成領域であり、この部分に所定ガスが供給される。
【００１９】
また、凸状のマグネットポール２５は、凸部の先端がプラズマチャンバ１９に近接するとともに底部側面がマグネットヨーク２３側部の内壁面と密着するように配置されている。このマグネットポール２５には底部の中心から凸部先端までを連通するように導波管２６が配置されており、ソースヘッド１８に導入されるマイクロ波は導波管２６を通ってプラズマチャンバ１９に導入される。
【００２０】
本実施形態にかかる導波管２６は、窒化ホウ素（ＢＮ）からなる導波管本体の外周面を窒化チタン（ＴｉＮ）からなる薄膜で被覆したものである。薄膜の形成方法は特に制限されないが、例えばＣＶＤ法を利用することができる。形成される薄膜の膜厚は、好ましくは１０〜５００μｍである。
【００２１】
マグネットヨーク２３及びプレート２４の内壁面並びにプラズマチャンバ１９及びマグネットポール２５の外壁面により形成される空間には、マグネットポール３５の凸部を巻回するようにソレノイドコイル２８が配置されている。かかる構成により、プラズマチャンバ１９から引き出されるイオンの引出方向に沿って磁場が形成される。
【００２２】
このようなマイクロ波イオン源において、マイクロ波が導波管２６を通ってプラズマチャンバ１９に導入されると、磁場内の電子がマイクロ波により励起され、この励起電子とプラズマ生成領域３７内のガスとの衝突により所定イオンを含むプラズマが生成する。そして、引出電極（図示せず）により出口プレート２４の開口からイオンが引き出されてイオンビームが発生する。
【００２３】
このとき、ＢＮからなる導波管本体の外周面をＴｉＮの薄膜で被覆した導波管を用いることで、導波管本体の外周面におけるマイクロ波の反射が十分に抑制されるため、高水準の伝導性をもってマイクロ波をプラズマチャンバ１９に導入することができる。また、マイクロ波イオン源の雰囲気温度は数百℃にも達し得るが、このような高温条件下であっても導波管本体と薄膜との間の熱膨張率の違いによる剥がれやそれぞれの劣化は起こりにくく、上述の高い伝導性を長期にわたって維持することができる。
【００２４】
なお、導波管本体の材質はアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）であってもよいが、電磁波に対する導電性、密着性、剥がれ防止性及び耐久性の点から、窒化ホウ素からなる導波管本体と窒化チタンからなる薄膜とを組み合わせることが好ましい。
【００２５】
【実施例】
以下、実施例及び比較例に基づき本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
【００２６】
［実施例１］
ＣＶＤ法により、ＢＮからなる導波管本体の外周面にＴｉＮを蒸着させて、図２に示した導波管２４（ＴｉＮ薄膜の膜厚：２００μｍ）を作製した。さらに、この導波管２４を用いて図１及び図２に示す構成を有するマイクロ波イオン源を作製した。
【００２７】
［実施例２、比較例１〜６］
実施例２及び比較例１〜６においては、導波管本体と薄膜との組み合わせをそれぞれ表１に示す通りとしたこと以外は実施例１と同様にして、導波管及びマイクロ波イオン源を作製した。
【００２８】
（電磁波に対する導電性、密着性、剥がれ防止性及び耐久性の評価）
次に、実施例１、２及び比較例１〜６のマイクロ波イオン源を用いて、２．４５ＧＨｚのマイクロ波によりＢＦ_３をプラズマ化してＢ^＋を生成させた。この工程を１００時間行った後、各導波管について、電磁波に対する導電性、密着性、剥がれ防止性及び耐久性の評価を行った。得られた結果を表１に示す。なお、表１に示した評価は、比較例１を基準するランクＡ〜Ｄ：
Ａ：比較例１に比べて特に優れている
Ｂ：比較例１に比べて優れている
Ｃ：比較例１と同等である
Ｄ：比較例１よりも劣る
に基づくものである。
【００２９】
【表１】

【００３０】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、マイクロ波などの電磁波を効率よく導くことができ、且つ物理的及び化学的な耐久性にも優れた導波管、並びにその導波管を用いたマイクロ波イオン源が実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマイクロ波イオン源の好適な一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】図１に示したマイクロ波イオン源のソースヘッド及びプラズマチャンバをマイクロ波の導入路を含む平面で切断したときの断面図である。
【符号の説明】
１１…マグネトロン、１２…マグネトロンマウント、１３…サーキュレータ、１４…ダミーロード、１５…パワーモニタ、１６…スタブチューナ、１７…インターフェースチューブ、１８…ソースヘッド、１９…プラズマチャンバ、２１…ソースチャンバ、２２…ソースブッシング、２３…マグネットヨーク、２４…出口側プレート、２５…マグネットポール、２６…導波管、２７…プラズマ生成領域、２８…ソレノイドコイル、ＩＢ…イオンビーム、ＭＷ…マイクロ波。

Claims

窒化ホウ素及び酸化アルミニウムから選ばれる１種からなる導波管本体と、該導波管本体の外周面を被覆する窒化チタンからなる薄膜と、を有することを特徴とするマイクロ波イオン源用導波管。
前記導波管本体が窒化ホウ素からなることを特徴とする、請求項１に記載のマイクロ波イオン源用導波管。
前記薄膜の膜厚が１０〜５００μｍであることを特徴とする、請求項１又は２に記載のマイクロ波イオン源用導波管。
プラズマ生成室内に導入されたガスを、マイクロ波放電によりプラズマ化してイオンを生成させるマイクロ波イオン源において、
前記プラズマ生成室内にマイクロ波を導入する導波管が、窒化ホウ素及び酸化アルミニウムから選ばれる１種からなる導波管本体と、該導波管本体の外周面を被覆する窒化チタンからなる薄膜と、を有することを特徴とするマイクロ波イオン源。
前記薄膜の膜厚が１０〜５００μｍであることを特徴とする、請求項４に記載のマイクロ波イオン源。