JP3664125B2 - 制御装置、温度調節器および熱処理装置 - Google Patents
制御装置、温度調節器および熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3664125B2 JP3664125B2 JP2001328849A JP2001328849A JP3664125B2 JP 3664125 B2 JP3664125 B2 JP 3664125B2 JP 2001328849 A JP2001328849 A JP 2001328849A JP 2001328849 A JP2001328849 A JP 2001328849A JP 3664125 B2 JP3664125 B2 JP 3664125B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- frequency
- low
- heat treatment
- pid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、制御対象の温度、圧力、流量、液位などを制御する制御装置、制御対象の温度を制御する温度調節器および温度調節器を用いた熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、不純物拡散炉やCVD炉等の半導体熱処理炉を加熱制御する制御装置として、例えば、特開平10−189464号公報に記載のように、半導体熱処理炉内に配列した熱電対からの目標測定値を主制御量とし、半導体熱処理炉の外周に配置した加熱用ヒータの近傍の熱電対からの測定値を副制御量として半導体熱処理炉内の温度を設定温度に制御するようにしたカスケード制御装置がある。
【0003】
かかるカスケード制御では、主調節器の出力によって、副調節器の目標値を決定し、副調節器の出力によって、操作部を操作するものであり、即応性に優れるとともに、高精度な制御が可能となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなカスケード制御では、上述のように主と副との二つの調節器(コントローラ)を必要とし、このためPIDパラメータなどの制御パラメータを二組設定しなければならず、制御パラメータの組み合わせが非常に複雑となり、その調整が容易でないという難点がある。
【0005】
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、少なくとも二つの入力に対してフィードバック制御を行う場合に、一組の制御パラメータの設定のみでよく、しかも、即応性に優れるとともに、高精度な制御が可能な制御装置、温度調節器およびそれを用いた熱処理装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記目的を達成するために、次のように構成している。
【0007】
すなわち、本発明の制御装置は、制御対象の物理状態をそれぞれ検出する設置場所が異なる少なくとも二つの検出手段からのフィードバック入力および目標値に基づいて、操作量を出力するPIDコントローラを有し、前記制御対象の物理状態を制御する制御装置であって、前記PIDコントローラは、高周波ゲインの大きな高周波部と低周波ゲインの大きな低周波部とを有し、前記操作量の変化に対して応答の速い方の検出手段からのフィードバック入力を前記高周波部に与えるとともに、前記操作量の変化に対して応答の遅い方の検出手段からのフィードバック入力を前記低周波部に与えるものである。
【0008】
ここで、物理状態とは、温度、流量、圧力あるいは液位などの物理量の状態をいう。
【0009】
本発明によると、単一のコントローラを、高周波におけるゲインが大きな高周波部と低周波におけるゲインが大きな低周波部とに区分し、少なくとも二つの検出手段からのフィードバック入力の内、操作量の変化に対して応答の速い方のフィードバック入力を高周波部へ入力するとともに、操作量の変化に対して応答の遅い方のフィードバック入力を低周波部に入力するので、少なくとも二つの入力に対するフィードバック制御において、カスケード制御と同様に、即応性に優れるとともに、高精度な制御を行うことができ、しかも、単一のコントローラであるので、一組の制御パラメータの設定のみでよく、制御パラメータの調整が容易となる。
【0010】
本発明の一実施態様においては、前記PIDコントローラは、比例、積分および微分の各動作を行ってPID操作量を出力するものであって、前記高周波部は、少なくとも前記微分動作を行い、前記低周波部は、少なくとも前記積分動作を行うものである。
【0011】
本発明によると、高周波におけるゲインが大きな高周波部は、微分動作を行う一方、低周波におけるゲインが大きな低周波部は、積分動作を行うものであり、即応性に優れるとともに、高精度な制御が行える。
【0012】
本発明の他の実施態様においては、前記PIDコントローラは、比例および積分の各動作を行ってPI操作量を出力するものであって、前記高周波部は、少なくとも前記比例動作を行い、前記低周波部は、少なくとも前記積分動作を行うものである。
【0013】
本発明によると、高周波におけるゲインが大きな高周波部は、比例動作を行う一方、低周波におけるゲインが大きな低周波部は、積分動作を行うものであり、即応性に優れるとともに、高精度な制御が行える。
【0014】
本発明の温度調節器は、設置場所が異なる少なくとも二つの温度センサからの検出温度および目標温度に基づいて、操作量を出力するPIDコントローラを有し、制御対象の温度を前記目標温度になるように制御する温度調節器であって、前記PIDコントローラは、高周波ゲインの大きな高周波部と低周波ゲインの大きな低周波部とを有し、前記操作量の変化に対して応答の速い方の温度センサからの検出温度を前記高周波部に与えるとともに、前記操作量の変化に対して応答の遅い方の温度センサからの検出温度を前記低周波部に与えるものである。
【0015】
本発明によると、単一のコントローラを高周波におけるゲインが大きな高周波部と低周波におけるゲインが大きな低周波部とに区分し、少なくとも二つの温度センサからの検出温度の内、操作量の変化に対して応答の速い方の検出温度を高周波部へ入力するとともに、操作量の変化に対して応答の遅い方の検出温度を低周波部に入力するので、少なくとも二つの入力に対するフィードバック制御において、カスケード制御と同様に、即応性に優れるとともに、高精度な制御を行うことができ、しかも、単一のコントローラであるので、一組の制御パラメータの設定のみでよく、制御パラメータの調整が容易となる。
【0016】
本発明の一実施態様においては、前記PIDコントローラは、比例、積分および微分の各動作を行ってPID操作量を出力するものであって、前記高周波部は、少なくとも前記微分動作を行い、前記低周波部は、少なくとも前記積分動作を行うものである。
【0017】
本発明によると、高周波におけるゲインが大きな高周波部は、微分動作を行う一方、低周波におけるゲインが大きな低周波部は、積分動作を行うものであり、即応性に優れるとともに、高精度な制御が行える。
【0018】
本発明の他の実施態様においては、前記PIDコントローラは、比例および積分の各動作を行ってPI操作量を出力するものであって、前記高周波部は、少なくとも前記比例動作を行い、前記低周波部は、少なくとも前記積分動作を行うものである。
【0019】
本発明によると、高周波におけるゲインが大きな高周波部は、比例動作を行う一方、低周波におけるゲインが大きな低周波部は、積分動作を行うものであり、即応性に優れるとともに、高精度な制御が行える。
【0020】
本発明の他の実施態様においては、前記二つの温度センサは、前記操作量に応じて前記制御対象を加熱するヒータからの距離がそれぞれ異なる位置に配置されるものである。
【0021】
本発明によると、二つの温度のセンサの内、制御対象を加熱するヒータに近い側の応答が速い温度センサからの検出温度を高周波部に入力し、前記ヒータから遠い側の応答の遅い温度センサからの検出温度を低周波部に入力することにより、即応性に優れるとともに、高精度な制御が行える。
【0022】
本発明の熱処理装置は、本発明の温度調節器と、熱処理手段と、前記熱処理手段を加熱または冷却する手段と、前記熱処理手段の温度をそれぞれ検出する少なくとも二つの温度センサとを備えている。
【0023】
本発明によると、本発明の温度調節器によって熱処理炉や熱処理盤といった熱処理手段の温度制御を行うので、即応性に優れた高精度な温度制御が可能となる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0025】
(実施の形態1)
図1は、本発明の一つの実施の形態に係る温度調節器1によって温度制御される熱処理装置としての半導体熱処理炉2の一部を示す概略図である。
【0026】
この温度調節器1は、半導体熱処理炉2の外周の加熱用のヒータ4の近傍に配置された第1の温度センサ3からのフィードバック入力としての第1の検出温度PV1と、半導体熱処理炉2内に配置された第2の温度センサ5からのフィードバック入力としての第2の検出温度PV2とに基づいて、半導体熱処理炉2内の温度が、予め設定されている目標温度になるようにヒータ4の通電を制御するものである。なお、6は半導体熱処理炉2内に配置された半導体ウェハである。
【0027】
第1の温度センサ3は、温度調節器1によって通電制御される半導体熱処理炉2外のヒータ4の近傍に配置されているので、温度調節器1の制御出力である操作量の変化に対する応答が速いのに対して、半導体熱処理炉2内に配置されている第2の温度センサ5は、第1の温度センサ3に比べて応答が遅い。
【0028】
図2は、図1の温度調節器1の要部の概略構成図であり、図1に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【0029】
この実施の形態の温度調節器1は、上述のように、制御対象としての半導体熱処理炉2内の温度を、図示しない設定部から設定された目標温度SPになるように上述のヒータ4の通電を制御するためのPID操作量MVを演算出力する単一のPIDコントローラ7を備えている。
【0030】
このPIDコントローラ7は、比例(P)、積分(I)および微分(D)の各動作を行う回路8〜10を備えており、PID制御を行うものである。
【0031】
この実施の形態では、二つの入力に対してフィードバック制御を行う場合に、一組のPIDパラメータの設定のみでよく、しかも、カスケード制御と同様に、即応性に優れるとともに、高精度な制御を可能にするために、次のように構成している。
【0032】
すなわち、この実施の形態では、PIDコントローラ7は、高周波におけるゲインが大きな高周波部11を構成する比例、微分回路8,10と、低周波におけるゲインが大きな低周波部12を構成する積分回路9とを備えており、PID操作量の変化に対する応答が速い第1の温度センサ3からの第1の検出温度PV1を高周波部11に与える一方、PID操作量の変化に対する応答が遅い第2の温度センサ5からの第2の検出温度PV2を低周波部12に与えるようにしている。
【0033】
高周波部11の比例、微分回路8,10には、第1の検出温度PV1と目標温度SPとの偏差がそれぞれ与えられる一方、低周波部12の積分回路9には、第2の検出温度PV2と目標温度SPとの偏差が与えられ、各回路8〜10の出力が加算されてPID操作量MVとして出力される。
【0034】
このようにPIDコントローラ7を、高周波におけるゲインが大きな高周波部11と、低周波におけるゲインが大きな低周波部12とに区分して、応答の速い第1の検出温度PV1を高周波部11にフィードバックする一方、応答の遅い第2の検出温度PV2を低周波部12にフィードバックするので、カスケード制御と同様に、即応性に優れるとともに、高精度な制御を行うことができる。
【0035】
すなわち、ヒータ4の近傍位置の応答の速い第1の温度センサ3からの第1の検出温度PV1を高周波部11にフィードバックして即応性を高める一方、最終的に目標温度SPに制御したい半導体熱処理炉2内の温度を検出する第2の温度センサ5からの第2の検出温度を低周波部12にフィードバックして追従精度を高めることができる。
【0036】
しかも、カスケード制御では、主と副との二つのコントローラを必要とするので、二組のPIDパラメータを設定しなければならず、PIDパラメータの組み合わせが非常に複雑となり、その調整が容易でなかったが、本発明では、一組のPIDパラメータを設定すればよく、PIDパラメータを容易に調整できる。
【0037】
(実施の形態2)
図3は、本発明の他の実施の形態の温度調節器11の要部の概略構成図であり、図2に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【0038】
上述の実施の形態では、第1の検出温度PV1が与えられる高周波部11を比例回路8および微分回路10で構成するとともに、第2の検出温度PV2が与えられる低周波部12を積分回路9で構成したのに対して、この実施の形態では、低周波および高周波におけるゲインがあまり大きくない比例回路8を、高周波部111ではなく、低周波部121としている。
【0039】
すなわち、この実施の形態では、第1の検出温度PV1が与えられる高周波部111を微分回路10で構成するとともに、第2の検出温度PV2が与えられる低周波部121を積分回路9および比例回路8で構成したものであり、その他の構成および効果は、上述の実施の形態と同様である。
【0040】
(実施の形態3)
図4は、本発明の更に他の実施の形態の温度調節器12の要部の概略構成図であり、図2に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【0041】
上述の各実施の形態では、比例回路8は、高周波部11または低周波部121のいずれかとされたけれども、この実施の形態では、比例回路を、高周波用の比例回路8aと低周波用の比例回路8bとに区分し、高周波用の比例回路8aには、
第1の検出温度PV1と目標温度SPとの偏差を、ハイパスフィルタ13を介して与える一方、低周波用の比較回路8bには、第2の検出温度PV2と目標温度SPとの偏差を、ローパスフィルタ14を介して与えるのである。
【0042】
その他の構成および効果は、上述の実施の形態と同様である。
【0043】
この実施の形態では、比例回路を、高周波用と低周波用とに区分したけれども、
本発明の他の実施の形態として、積分回路を高周波用と低周波用とに区分し、高周波部を、微分、比例および高周波用の積分回路で構成するとともに、低周波部を、低周波用の積分回路で構成してもよい。
【0044】
(その他の実施の形態)
上述の各実施の形態では、微分回路10は、目標温度SPとの偏差を微分するものであったけれども、本発明の他の実施の形態として、図5に示されるように、第1の検出温度PV1のみに微分動作が働くようにした微分先行型のPID制御に適用してもよい。すなわち、この実施の形態では、高周波部113を構成する微分回路10には、第1の検出温度PV1が与えられる一方、低周波部123を構成する比例、積分回路8,9には、第2の検出温度PV2と目標温度SPとの偏差が与えられ、比例、積分回路8,9の出力が加算される一方、微分回路10の出力が減算されてPID操作量MVとされるものである。
【0045】
さらに、上述の各実施の形態では、PID制御に適用して説明したけれども、本発明の他の実施の形態として、例えば、図2に対応する図6に示されるように、PI制御に適用してもよく、この場合には、高周波部11は、比例回路8のみで構成されることになる。
【0046】
また、本発明は、2自由度PID制御方式に適用してもよい。
【0047】
上述の各実施の形態では、温度を制御する温度調節器に適用して説明したけれども、本発明は、温度調節器に限らず、他の制御装置に適用してもよいのは勿論である。
【0048】
上述の各実施の形態では、制御対象を加熱する場合に適用して説明したけれども、本発明は、制御対象を冷却する場合にも適用できるのは勿論である。
【0049】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、PIDコントローラを、高周波におけるゲインが大きな高周波部と低周波におけるゲインが大きな低周波部とに区分し、応答の速い方のフィードバック入力を高周波部へ入力するとともに、応答の遅い方のフィードバック入力を低周波部に入力するので、二つの入力に対するフィードバック制御において、カスケード制御と同様に、即応性に優れるとともに、高精度な制御を行うことができ、しかも、一組の制御パラメータの設定のみでよく、制御パラメータの調整が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の温度調節器によって温度制御される半導体熱処理炉の一部を示す概略図である。
【図2】図1の温度調節器の要部の概略構成図である。
【図3】本発明の他の実施の形態の温度調節器の要部の概略構成図である。
【図4】本発明の更に他の実施の形態の温度調節器の要部の概略構成図である。
【図5】本発明の他の実施の形態の温度調節器の要部の概略構成図である。
【図6】本発明の他の実施の形態の温度調節器の要部の概略構成図である。
【符号の説明】
1,11〜13 温度調節器
2 半導体熱処理炉
3 第1の温度センサ
5 第2の温度センサ
7,71〜73 PIDコントローラ
11,111〜113 高周波部
12,121〜123 低周波部
8,8a,8b 比例回路
9 積分回路
10 微分回路
Claims (8)
- 制御対象の物理状態をそれぞれ検出する設置場所が異なる少なくとも二つの検出手段からのフィードバック入力および目標値に基づいて、操作量を出力するPIDコントローラを有し、前記制御対象の物理状態を制御する制御装置であって、
前記PIDコントローラは、高周波ゲインの大きな高周波部と低周波ゲインの大きな低周波部とを有し、前記操作量の変化に対して応答の速い方の検出手段からのフィードバック入力を前記高周波部に与えるとともに、前記操作量の変化に対して応答の遅い方の検出手段からのフィードバック入力を前記低周波部に与えることを特徴とする制御装置。 - 前記PIDコントローラは、比例、積分および微分の各動作を行ってPID操作量を出力するものであって、前記高周波部は、少なくとも前記微分動作を行い、前記低周波部は、少なくとも前記積分動作を行う請求項1記載の制御装置。
- 前記PIDコントローラは、比例および積分の各動作を行ってPI操作量を出力するものであって、前記高周波部は、少なくとも前記比例動作を行い、前記低周波部は、少なくとも前記積分動作を行う請求項1記載の制御装置。
- 設置場所が異なる少なくとも二つの温度センサからの検出温度および目標温度に基づいて、操作量を出力するPIDコントローラを有し、制御対象の温度を前記目標温度になるように制御する温度調節器であって、
前記PIDコントローラは、高周波ゲインの大きな高周波部と低周波ゲインの大きな低周波部とを有し、前記操作量の変化に対して応答の速い方の温度センサからの検出温度を前記高周波部に与えるとともに、前記操作量の変化に対して応答の遅い方の温度センサからの検出温度を前記低周波部に与えることを特徴とする温度調節器。 - 前記PIDコントローラは、比例、積分および微分の各動作を行ってPID操作量を出力するものであって、前記高周波部は、少なくとも前記微分動作を行い、前記低周波部は、少なくとも前記積分動作を行う請求項4記載の温度調節器。
- 前記PIDコントローラは、比例および積分の各動作を行ってPI操作量を出力するものであって、前記高周波部は、少なくとも前記比例動作を行い、前記低周波部は、少なくとも前記積分動作を行う請求項4記載の温度調節器。
- 前記二つの温度センサは、前記操作量に応じて前記制御対象を加熱するヒータからの距離がそれぞれ異なる位置に配置される請求項4〜6のいずれかに記載の温度調節器。
- 請求項4〜7のいずれかに記載の温度調節器と、熱処理手段と、前記熱処理手段を加熱または冷却する手段と、前記熱処理手段の温度をそれぞれ検出する少なくとも二つの温度センサとを備えることを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001328849A JP3664125B2 (ja) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | 制御装置、温度調節器および熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001328849A JP3664125B2 (ja) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | 制御装置、温度調節器および熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003131702A JP2003131702A (ja) | 2003-05-09 |
JP3664125B2 true JP3664125B2 (ja) | 2005-06-22 |
Family
ID=19144847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001328849A Expired - Fee Related JP3664125B2 (ja) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | 制御装置、温度調節器および熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3664125B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106484000A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-03-08 | 王乾 | 一种温度控制方法 |
CN110109496B (zh) * | 2019-04-17 | 2023-04-18 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 | 一种用于pcvd保温炉的自动升温控制系统 |
-
2001
- 2001-10-26 JP JP2001328849A patent/JP3664125B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003131702A (ja) | 2003-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100621830B1 (ko) | 가변 이득 비례 적분 (pi) 제어기용 시스템 및 방법 | |
JP4978001B2 (ja) | 温度制御方法、温度制御装置および熱処理装置 | |
JP2006113724A (ja) | 制御方法、温度制御方法、温度調節器、熱処理装置、プログラムおよび記録媒体 | |
JP3776297B2 (ja) | 制御システム | |
KR20180089271A (ko) | Pid 제어 장치, pid 제어 방법 및 pid 제어 프로그램 | |
JP3417391B2 (ja) | 流量制御方法 | |
JP3664125B2 (ja) | 制御装置、温度調節器および熱処理装置 | |
EP3816596B1 (en) | Regulation of rate of temperature change for a dry block calibrator | |
JP3893115B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
JP3833479B2 (ja) | 制御装置 | |
JP3757809B2 (ja) | 温度調節器 | |
JP2001092501A (ja) | 自動制御方法 | |
JP3829575B2 (ja) | 温度調節器および熱処理装置 | |
JP2619044B2 (ja) | 温度制御装置 | |
JP2008299697A (ja) | 制御方法、温度制御方法、補正装置、温度調節器、およびプログラム | |
CN205594335U (zh) | 适用于高真空环境的动态赋值pid加热控制系统 | |
JPS5831373B2 (ja) | 条帯材連続熱処理炉の温度制御方法および装置 | |
JP4634197B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法 | |
JP2001318720A (ja) | 温度制御方法及び装置 | |
KR100250760B1 (ko) | 연속식로안의 강철재료의 처리상태를 제어하는 방법 및 이의 제어장치 | |
JP5178263B2 (ja) | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 | |
JP3354996B2 (ja) | 熱処理方法および熱処理装置 | |
JP5178262B2 (ja) | 熱式流量計およびその初期調整方法と初期調整装置 | |
JP4622102B2 (ja) | チラー装置 | |
JPH02267453A (ja) | 給湯装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040914 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050321 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |