JP3829575B2 - 温度調節器および熱処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、制御対象の温度を制御する温度調節器および温度調節器を用いた熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図11は、従来の温度調節器1aを用いた温度制御システムの概略構成図である。
【0003】
温度調節器1aは、制御対象2の温度を検出する温度センサ3の検出温度PVに基づいて、電磁開閉器などの出力装置4に操作信号(操作量)MVを出力してヒータ5の通電を制御して制御対象2の温度が、予め設定される目標温度SPになるように、例えばPID制御するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ヒータは、後述の図3の実線Aで示されるように温度によってその抵抗値が変化するものであり、温度が上昇すると、抵抗値が増大する。このため、温度が上昇すると、ヒータに流れる電流が低下し、同じパルス幅で駆動したとしても電力は、減少することになる。つまり、制御ループのゲインが低下する。
【0005】
また、制御対象は、簡単に近似する時には、無駄時間+1次遅れ要素として表すことができるが、1次遅れ要素の時定数τは、熱容量Cと熱抵抗Rとによってτ=CRで表される。したがって、熱容量Cまたは熱抵抗Rが変化すると、時定数τも変化することになる。例えば、温度が高くなった場合、対流現象が生じ、このとき、ヒータから周囲への熱伝導性が良好となって熱抵抗Rが低下し、時定数τが小さくなる。すなわち、後述の図8の実線Aで示されるように、温度が上昇すると、時定数τが低下することになる。
【0006】
以上のように、温度が上昇すると、ヒータの抵抗値や時定数が変化するので、そのままでは、ハンチングやオーバシュートが生じることになる。このため、従来では、温度変化によるハンチングやオーバシュートの発生を抑制するために、制御する温度に応じて、上位のコンピュータから制御パラメータ、例えばPIDパラメータを温度調節器に対して切り替え設定しなければならず、面倒であり、また、上位のコンピュータもその分負荷が増えるといった難点がある。
【0007】
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、制御する温度に応じて制御パラメータの設定変更を行うといった面倒な操作を不要とするとともに、ハンチングやオーバシュートの発生を抑制した温度調節器およびそれを用いた熱処理装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上述の目的を達成するために、次のように構成している。
【0009】
すなわち、本発明の温度調節器は、温度検出手段からの検出温度と目標温度との偏差に基づいて操作信号を出力する温度制御手段と、前記検出温度または前記目標温度に基づいて、前記温度制御手段における制御パラメータを補正する補正手段とを備え、前記補正手段は、予め設定される温度係数、基準温度および基準温度における前記制御パラメータを用いた算出式に従って、前記検出温度または前記目標温度から前記制御パラメータの補正値を算出するものである。
【0010】
本発明によると、検出温度または目標温度に応じて制御パラメータを自動的に補正する、すなわち、リアルタイムで温度補償が行われるので、従来のように、制御する温度に応じて上位のコンピュータから制御パラメータを変更設定するといった面倒な操作が不要となる。また、過渡状態を除いて検出温度とほぼ等しい目標温度に基づいて補正することにより、時々刻々変化する検出温度に基づいて補正する構成に比べて処理が簡素化される。
【0015】
本発明の好ましい実施態様においては、前記算出式が、一次の近似式であり、本発明によると、簡単な直線近似式で温度補償を行えることになる。
【0016】
本発明の他の実施態様においては、前記算出式が、二次以上の近似式であり、本発明によると、より精度の高い温度補償が行えることになる。
【0017】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、補正される制御パラメータが、比例ゲイン、積分時間および微分時間の少なくとも一つである。
【0018】
本発明によると、温度変化によるゲインの変化を補償したり、温度変化による時定数の変化を補償したり、あるいは、その両者を補償することができる。
【0019】
本発明の熱処理装置は、本発明の温度調節器と、制御対象としての熱処理炉あるいは熱処理盤と、該熱処理炉あるいは熱処理盤を加熱(または冷却)する加熱(または冷却)手段と、前記熱処理炉あるいは熱処理盤の温度を検出する温度検出手段とを備えている。
【0020】
本発明によると、従来のように、制御する温度に応じて上位のコンピュータから制御パラメータを温度調節器に変更設定するといった面倒な操作を不要としながら、温度の変化によるハンチングやオーバーシュートの発生を抑制することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0022】
(実施の形態1)
図1は、本発明の一つの実施の形態に係る温度調節器1を用いた温度制御システムの概略構成図であり、図11の従来例に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【0023】
この実施の形態の温度調節器1は、制御対象2の温度を検出する温度センサ3からの検出温度PVに基づいて、電磁開閉器などの出力装置4に操作信号(操作量)MVを出力して加熱手段としてのヒータ5の通電を制御して制御対象2の温度が、予め設定される目標温度SPになるようにPID制御を行うものである。なお、6はヒータ電源である。
【0024】
この温度制御システムは、熱処理装置、例えば図2に示される熱酸化装置18に適用できるものであり、制御対象2を、熱処理炉としての反応管19とし、反応管19の周囲に分割して配置された複数のヒータ21の通電制御を、複数の温度センサ22からの検出温度に基づいて行う多点の温度調節器23として適用することができる。
【0025】
上述のように、ヒータ5は、図3の実線Aで示されるように温度によってその抵抗値が変化するために、制御ループのゲインが変化するのであるが、この実施の形態では、温度変化によるゲインの変化を自動的に補償するために次のように構成している。
【0026】
すなわち、図3の温度とヒータの抵抗値との関係を示す特性図において、実線Aで示される実際の変化に対して、例えば、破線Bで示される下記の近似直線式を考える。
【0027】
R/R0=ηp(T−T0)+1.0
ここで、R0は、基準温度T0、例えば室温における抵抗値、ηpは温度係数である。
【0028】
ヒータに印加する電圧Vは、一定であるので、ヒータに流れる電流は、ヒータの抵抗値の変化に応じて変化することになり、同じパルス幅で駆動したとしても電力Pは、温度によって次のように変化することになる。
【0029】
つまり、制御ループのゲインGは、温度によって下記のように変化する。
【0030】
なお、P0,G0は、基準温度T0における電力およびゲインである。
【0031】
前記式から明らかなように温度が上昇してヒータの抵抗値Rが増加すると、ゲインが低下することになる。
【0032】
そこで、この実施の形態の温度調節器1は、このゲインの低下を補償するようにPIDパラメータの比例ゲインKpを補正するようにしている。
【0033】
すなわち、図4は、図1の温度調節器1内部のブロック線図であり、この図4に示されるように、温度センサ3からの検出温度PVと予め設定される前記温度係数ηpとに基づいて、下記の一次近似式に従って比例ゲインKpの補正値を算出して比例要素8の比例ゲインを補正する補正手段7を備えている。
【0034】
Kp={ηp(PV−PV0)+1}Kp0
ここで、PV0は室温などの基準温度、Kp0は基準温度における比例ゲインである。なお、図4において、9は微分要素、10は積分要素を示している。
【0035】
このように検出温度PVに応じて補正した比例ゲインKpを算出し、その算出した比例ゲインKpによってPID制御を行うので、ゲインの温度による変化を補償したPID制御が行われることになり、従来例のように、制御する温度に応じてPIDパラメータを上位のコンピュータから変更設定しなくても、ハンチングやオーバーシュートの発生を抑制できることになる。したがって、上位のコンピュータの通信の負荷も軽減されることになる。
【0036】
また、検出温度PVだけで補正するので、例えば、検出温度PVおよび操作量MVなどの複数の入力に基づいて補正する場合に比べて、構成が簡素化され、さらに、複雑な制御対象のモデリングなども不要である。
【0037】
なお、補正の一次近似式に用いる温度係数ηpは、予め計測するか、あるいは、ヒータの温度係数として分かっている場合には、それを用いればよい。また、この温度係数ηpは、例えば、図1に示されるようにキー入力によってインタフェース11を介して予め設定すればよく、あるいは、図5に示されるように、通信基板12を介して例えば、RS−232Cのシリアル通信などによって外部から通信で設定してもよい。
【0038】
この実施の形態では、検出温度PVを用いて比例ゲインKpを補正したけれども、本発明の他の実施の形態として、図6に示されるように、目標温度SPを用いて比例ゲインKpを補正してもよい。
【0039】
すなわち、上述の補正式を、Kp={ηp(SP−PV0)+1}Kp0とするのである。
【0040】
目標温度SPは、過渡的な状態を除いてほとんど検出温度PVと等しいので、時々刻々変化する検出温度PVを用いる場合に比べて、固定値である目標温度SPを用いることで処理の負担を大幅に低減することができる。
【0041】
(実施の形態2)
図7は、本発明の他の実施の形態の温度調節器内部のブロック線図であり、上述の実施の形態に対応する部分には、同一の参照符号を付す。なお、温度制御システムの構成は、図1と基本的に同様である。
【0042】
上述のように、時定数τは、図8の実線で示されるように、温度によって変化するのであるが、この実施の形態では、温度変化による時定数τの変化を自動的に補償するために次のように構成している。
【0043】
すなわち、図8の温度と時定数τとの関係を示す特性図において、実線Aで示される実際の変化に対して、例えば、破線Bで示される下記の近似直線式を考えることができる。
【0044】
τ/τ0=−kτ(T−T0)+1.0
ここで、τ0は、基準温度T0、例えば室温における時定数、−kτは近似式の傾きである。
【0045】
このように温度変化に対する時定数τの変化を直線近似するのと同様に、時定数τに対応するPIDパラメータの積分時間Tiおよび微分時間Tdも下記のように直線近似することができる。
【0046】
Ti={ηi(PV−PV0)+1}Ti0
Td={ηd(PV−PV0)+1}Td0
ここで、Ti0,Td0は基準温度T0における積分時間および微分時間であり、ηi,ηdは、温度係数である。
【0047】
この温度係数ηi,ηdは、例えば、予めステップ応答法によって無駄時間を計測することによって算出することができる。
【0048】
そこで、この実施の形態では、図7に示されるように、温度センサ3からの検出温度PVと予め設定される前記温度係数ηi,ηdとに基づいて、上記一次近似式に従って積分時間Tiおよび微分時間Tdの補正値を算出して積分要素10および微分要素9の積分時間および微分時間を補正する補正手段13を備えている。
【0049】
このように検出温度PVに応じて補正した積分時間Tiおよび微分時間Tdを算出し、その算出した積分時間Tiおよび微分時間TdによってPID制御を行うので、時定数τの温度による変化を補償したPID制御が行われることになり、従来例のように、制御する温度に応じてPIDパラメータを上位のコンピュータから変更設定しなくても、ハンチングやオーバーシュートの発生を抑制できることになる。
【0050】
なお、本発明の他の実施の形態として、図9に示されるように、検出温度PVに代えて目標温度SPを用いて積分時間Tiおよび微分時間Tdを補正してもよい。また、積分時間Tiおよび微分時間Tdのいずれか一方を補正するようにしてもよい。
【0051】
(その他の実施の形態)
本発明の他の実施の形態として、図10に示されるように、上述の実施の形態1および実施の形態2を組み合わせて比例ゲインKp、積分時間Tiおよび微分時間Tdをすべて補正するようにしてもよい。
【0052】
上述の各実施の形態では、一次の直線近似を行ったけれども、本発明は、二次以上の近似式を用いてもよい。例えば、時定数τについての二次の近似式の例を示す。
【0053】
τ/τ0=ka(T−T0)2+kb(T−T0)+kc
3つのパラメータ(ka,kb,kc)は、次のようにして求める。近似する元の制御対象の特性曲線のデータ3点の温度の値(T1,T2,T3)に対するτ/τ0を、(τ1/τ0,τ2/τ0,τ3/τ0)とすると、以下の3つの方程式ができる。
【0054】
τ1/τ0=ka(T1−T0)2+kb(T1−T0)+kc
τ2/τ0=ka(T2−T0)2+kb(T2−T0)+kc
τ3/τ0=ka(T3−T0)2+kb(T3−T0)+kc
この3つの式から3つの変数は、数学的に求まるので、3つのパラメータ(ka,kb,kc)は、求まる。
【0055】
n次の近似式も同様にn+1点の温度に対する時定数の変化τ/τ0データで求めることができる。
【0056】
このように複数の次数で求めると、制御対象の変化曲線に一致した近似式が作れるので、より精度の高い補正が実現できるという効果が有る。
【0057】
上述の実施の形態では、PID制御に適用して説明したけれども、本発明は、PID制御に限らず、比例制御、積分制御などの他の制御方式にも適用できるものである。
【0058】
上述の実施の形態では、ヒータなどの加熱手段を用いた温度制御に適用した説明したけれとも、ペルチェ素子や冷却器などを用いた温度制御に適用してもよいのは勿論であり、さらに、加熱手段と冷却手段とを併用する温度制御に適用してもよい。
【0059】
また、本発明の熱処理装置は、熱酸化装置に限らず、拡散炉やCVD装置、例えば、図12に示されるように、枚葉式のCVD装置における熱処理盤の温度制御にも適用できるものである。なお、図12において、ウェーハ60が載置される熱処理盤61は、同心状に外円部62、中間部63、中心部64に3分割されており、各部に個別的に対応するヒータ65〜67が設けられて各ゾーン毎に温度制御するものである。また、本発明の熱処理装置は、射出成形機のシリンダ部の温度制御あるいは包装機のヒータ台の温度制御などにも適用できるものである。
【0060】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、検出温度あるいは目標温度に応じて、比例ゲイン、積分時間および微分時間といった制御パラメータを自動的に補正するので、制御する温度に応じて上位のコンピュータから制御パラメータを変更設定するといった面倒な操作が不要となり、通信の負荷も軽減され、しかも、温度の変化によるハンチングやオーバーシュートの発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一つの実施の形態に係る温度制御システムの概略構成図である。
【図2】本発明の一つの実施の形態に係る熱処理装置の概略構成図である。
【図3】温度とヒータ抵抗値との関係を示す特性図である。
【図4】図1の温度調節器内部のブロック線図である。
【図5】本発明の他の実施の形態の温度制御システムの概略構成図である。
【図6】本発明の他の実施の形態の温度調節器内部のブロック線図である。
【図7】本発明のさらに他の実施の形態の温度調節器内部のブロック線図である。
【図8】温度と時定数との関係を示す特性図である。
【図9】本発明の他の実施の形態の温度調節器内部のブロック線図である。
【図10】本発明のさらに他の実施の形態の温度調節器内部のブロック線図である。
【図11】従来例の概略構成図である。
【図12】熱処理装置の他の例を示す図である。
【符号の説明】
1 温度調節器
2 制御対象
3 温度センサ
5 ヒータ
7,13 補正手段
Claims (6)
- 温度検出手段からの検出温度と目標温度との偏差に基づいて操作信号を出力する温度制御手段と、
前記検出温度または前記目標温度に基づいて、前記温度制御手段における制御パラメータを補正する補正手段とを備え、
前記補正手段は、予め設定される温度係数、基準温度および基準温度における前記制御パラメータを用いた算出式に従って、前記検出温度または前記目標温度から前記制御パラメータの補正値を算出することを特徴とする温度調節器。 - 前記算出式が、一次の近似式である請求項1記載の温度調節器。
- 前記算出式が、二次以上の近似式である請求項1記載の温度調節器。
- 補正される制御パラメータが、比例ゲイン、積分時間および微分時間の少なくとも一つである請求項1ない3のいずれかに記載の温度調節器。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の温度調節器と、制御対象としての熱処理炉と、該熱処理炉を加熱(または冷却)する加熱(または冷却)手段と、前記熱処理炉の温度を検出する温度検出手段とを備えることを特徴とする熱処理装置。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の温度調節器と、制御対象としての熱処理盤と、該熱処理盤を加熱(または冷却)する加熱(または冷却)手段と、前記熱処理盤の温度を検出する温度検出手段とを備えることを特徴とする熱処理装置。
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