JP3655143B2 - 高耐圧半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高耐圧半導体装置に係り、特にSOI基板上の横型バイポーラトランジスタに関する。
【0002】
【従来の技術】
SOI(Silicon On Insulator)基板上に横型バイポーラトランジスタを形成して高耐圧半導体装置を構成することが従来行われている。図5は、かかる従来の横型バイポーラトランジスタの断面図を示すものである。
【0003】
図5に示すように、半導体基板51上に埋込酸化膜52が形成され、その上には高抵抗のn型活性層53が形成されている。n型活性層53表面にはn型拡散層56が形成され、このn型拡散層56表面には選択的に低抵抗のn型ベースコンタクト層58、p型コレクタ層59、p型エミッタ層57がそれぞれ形成されている。n型ベースコンタクト層58上にはベース電極62b、p型コレクタ層59上にはコレクタ電極62c、p型エミッタ層57上にはエミッタ電極62aがそれぞれ形成されている。
【0004】
なお、60aはLOCOS酸化膜、60bは熱酸化膜であり、これらの酸化膜の上には絶縁膜61が形成されている。n型活性層53には溝53aが形成され、この溝53aの中には54を介して多結晶シリコン層55が埋め込まれ、素子分離領域が形成されている。
【0005】
このような構造の横型バイポーラトランジスタでは、n型拡散層56の不純物分布は、その表面で濃度が高く、深さが深くなるにつれて濃度が低くなるようなプロファイルを形成している。このために、p型エミッタ層57から注入されたホール電流の電流密度は、表面部分よりも深い部分で高くなる。
【0006】
したがって、n型活性層53に対して半導体基板51の電位が変動した場合、例えば、n型活性層53に対して半導体基板51の電位が負の値になったとき、n型活性層53の埋込酸化膜52との界面にp型反転層が形成され、ホール電流の電流経路の抵抗が著しく下がってしまうために、hFE(コレクタ電流のエミッタ−コレクタ間電圧依存性)等の特性が半導体基板51の電位に依存してしまうという問題があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、SOI基板に形成された横型バイポーラトランジスタにおいては、活性層に対して半導体基板の電位が変動した場合、活性層の埋込酸化膜との界面に反転層が形成され、ホール電流の電流経路の抵抗が著しく下がってしまうために、hFE等の特性が半導体基板の電位に依存してしまうという問題があった。
【0008】
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、hFE等の特性が半導体基板の電位に依存しない構造を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
(構成)前記課題を解決するため、本発明の第1は、表面が絶縁領域で形成される基板の上に形成された高抵抗の第1導電型活性層と、この第1導電型活性層の表面に選択的に形成された当該第1導電型活性層よりも高濃度の第1の第1導電型半導体領域と、この第1の第1導電型半導体領域の表面に選択的に形成された第2導電型のエミッタ領域と、前記第1の第1導電型半導体領域と離間して前記第1導電型活性層の表面に選択的に形成された第2導電型のコレクタ領域と、前記第1の第1導電型半導体領域と離間して前記第1導電型活性層の表面に形成された当該第1導電型活性層よりも高濃度の第2の第1導電型半導体領域と、この第2の第1導電型半導体領域の表面に選択的に形成された第1導電型のベースコンタクト領域とを具備したことを特徴とする高耐圧半導体装置を提供する。
【0011】
また、本発明の第2は、表面が絶縁領域で形成される基板の上に形成された高抵抗の第1導電型活性層と、この第1導電型活性層の表面に選択的に形成された当該第1導電型活性層よりも高濃度の第1導電型半導体領域と、この第1導電型半導体領域の表面に選択的に互いに離間して形成された第2導電型のエミッタ領域及び第1導電型のベースコンタクト領域と、前記第1導電型半導体領域と離間して前記第1導電型活性層の表面に選択的に形成された第2導電型のコレクタ領域とを具備したことを特徴とする高耐圧半導体装置を提供する。
【0013】
かかる各本発明において、以下の構成を備えることが望ましい。
【0014】
(1)前記第1の第1導電型半導体領域と前記第2の第1導電型半導体領域とは、概略同じ深さ及び概略同じ表面不純物濃度で構成されていること。
【0015】
(2)前記第1導電型半導体領域の深さは、前記第1導電型活性層の厚みよりも小さいこと。
【0016】
(3)前記第1導電型半導体領域の深さは、1μm以上であること。
【0017】
(4)前記第1導電型半導体領域の表面不純物濃度は、5×1015cm-3以上5×1016cm-3以下であること。
【0018】
(5)前記第1導電型活性層の厚みは、10μm以下であること。
【0019】
(6)前記エミッタ領域と前記コレクタ領域との間の耐圧は、10V以上80V以下であること。
【0020】
(7)前記エミッタ領域は、前記ベースコンタクト領域と前記エミッタ領域との間を除き、前記コレクタ領域によって取り囲まれていること。
【0021】
(作用)
本発明によれば、第1導電型活性層の前記絶縁領域と接する界面に、基板の電圧によって反転層が形成された場合でも、エミッタ領域の下に形成された第1導電型半導体領域により、前記反転層を介して流れるエミッタ電流を抑制して、前記第1導電型活性層の表面側をエミッタ電流が流れるようにすることができる。したがって、ホール電流が反転層を介して流れることに起因して当該電流経路におけるエミッタ電流の抵抗が著しく下がってしまうことを防止でき、hFE等の特性が半導体基板の電位に依存する問題を抑制することが可能となる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しつつ詳細に説明する。
【0023】
(第1の実施形態)
図1は、本発明による高耐圧半導体装置に係る第1の実施形態の構成を示す上面図及び断面図である。図1(a)は装置の上面図を示し、図1(b)及び図1(c)はそれぞれ、図1(a)の線分AA´、BB´における装置の断面図である。
【0024】
図1に示すように、横型バイポーラトランジスタがSOI基板に形成されている。まず、半導体基板1上に埋込酸化膜2が形成され、その上には高抵抗のn型活性層3が形成されている。n型活性層3表面にはn型拡散層6が形成され、このn型拡散層6表面には選択的にp型エミッタ層7が形成されている。また、n型活性層3表面にはn型拡散層6と離間して、低抵抗のn型ベースコンタクト層8、p型コレクタ層9がそれぞれ選択的に形成されている。図1(a)からわかるように、n型ベースコンタクト層8とp型エミッタ層7間の部分を除いて、p型エミッタ層7の周囲を取り囲むようにp型コレクタ層9がパターン形成されている。かかるパターン構成では、n型ベースコンタクト層8とp型エミッタ層7間において、ベース電流がp型コレクタ層9によるポテンシャルの影響を受けにくくなり良好なトランジスタ特性を得ることができるからである。
【0025】
さらに、n型ベースコンタクト層8上にはベース電極12bが、p型コレクタ層9上にはコレクタ電極12c、12d、12eが、p型エミッタ層7上にはエミッタ電極12aがそれぞれ形成されている。コレクタ電極12d、12eはともにn型ベースコンタクト層8に近い部分に設けられており、これによりコンタクト抵抗を低減することが可能である。
【0026】
なお、10aはLOCOS酸化膜、10bは熱酸化膜であり、これらの酸化膜の上には絶縁膜11が形成されている。n型活性層3には溝3aが形成され、この溝3aの中には4を介して多結晶シリコン層5が埋め込まれ、素子分離領域が形成されている。
【0027】
かかる本実施形態の構造によれば、n型拡散層6がn型活性層3表面に選択的に形成されてp型エミッタ層7の周囲のn型活性層3表面部分においてn型の不純物濃度が低くなるため、エミッタ電流(ホール電流)はn型活性層3の表面に近い部分を流れるようになる。このため、n型活性層3の埋込酸化膜2との界面に反転層が形成された場合でも、当該反転層を介して流れるエミッタ電流を抑制して、n型活性層3の表面側をエミッタ電流が流れるようにすることができる。したがって、ホール電流が上記反転層を介して流れることに起因して当該電流経路におけるエミッタ電流の抵抗が著しく下がってしまうことを防止でき、hFE等の特性が半導体基板の電位に依存する問題を抑制することが可能となる。
【0028】
図4は、本発明の横型バイポーラトランジスタにおけるコレクタ−エミッタ間電圧とコレクタ電流との関係を示す特性図である。また、図6は、図5に示す従来の横型バイポーラトランジスタにおけるコレクタ−エミッタ間電圧とコレクタ電流との関係を示す特性図である。
【0029】
図4に示すように、本発明の横型バイポーラトランジスタによれば、コレクタ−エミッタ間電圧の増加に伴いコレクタ電流は良好な飽和特性を示す。一方、従来の横型バイポーラトランジスタでは、コレクタ−エミッタ間電圧が上昇すると一度飽和特性は示すが、コレクタ−エミッタ間電圧がさらに上昇すると、コレクタ電流の更なる増加が引き起こされてコレクタ電流の飽和特性は劣化してしまう。
【0030】
以上のように、従来の横型バイポーラトランジスタにおいて、コレクタ電流の飽和特性が劣化する理由は具体的には以下の現象によるものと考えられる。即ち、n型活性層53部分が薄くなる(SOI層が薄くなる)と、n型活性層53の埋込酸化膜52との界面に形成されたp型反転層を介してエミッタ電流(ホール電流)が流れやすくなる。また、コレクタ−エミッタ間電圧が増加することに伴って、空乏層はp型コレクタ層59側から伸びるとともに埋込酸化膜52側からも伸びる。このように空乏層が伸びると、実効的なベース幅が急激に減少し、これによってあるコレクタ−エミッタ間電圧においてコレクタ電流が急増し、図6に示した飽和特性の劣化が生じてしまう。
【0031】
これに対して、本発明の横型バイポーラトランジスタによれば、上述したようにエミッタ電流(ホール電流)はn型活性層3の表面に近い部分を流れるようになるため、n型活性層3の埋込酸化膜2との界面に生ずる反転層を介して流れるエミッタ電流を抑制することができる。したがって、空乏層の伸びによる実効的なベース幅の変化の影響を受けにくいので、コレクタ−エミッタ間電圧が増加してもコレクタ電流の飽和特性は良好なものとなる。
【0032】
なお、上記した現象は、n型活性層3の部分が10μm以下と薄くなる(SOI層が薄くなる)と顕著になる現象である。特に、エミッタ層の周囲を取り囲むようにコレクタ層が形成されている場合には、エミッタ層の直下部分に形成される反転層に向かって、その周囲からコレクタ層及び半導体基板による空乏層が伸びてお互いにつながる結果、当該反転層を流れているエミッタ電流の遮断の効果が大きくなる。このため、かかる場合には実効的なベース幅の現象によりコレクタ電流の飽和特性が劣化するという問題は深刻である。本発明によれば、かかる場合にもコレクタ電流の飽和特性を良好に保つことが可能である。
【0033】
(第2の実施形態)
図2は、本発明による高耐圧半導体装置に係る第2の実施形態の構成を示す上面図及び断面図である。図2(a)は装置の上面図を示し、図2(b)は図2(a)の線分AA´における装置の断面図である。なお、図2(a)の装置のBB´における断面は図1(c)と同様なので省略する。また、図1と同一部分には同一の符号を付して示し詳細な説明は省略する。
【0034】
本実施形態のおける特徴部分は、n型ベースコンタクト層8の周囲にn型拡散層21が形成されている点である。即ち、n型拡散層21はn型拡散層6と離間してn型活性層3の表面に選択的に形成され、このn型拡散層21の表面にはn型ベースコンタクト層8が選択的に形成された構造となっている。
【0035】
かかる構造により、第1の実施形態と同様な効果が得られる他、n型ベースコンタクト層8とp型エミッタ層7との間のベース抵抗を効果的に下げることが可能となる。かかる構成においては、n型拡散層6を形成する工程と同時にn型拡散層21を形成することが可能であるため、工程数を増加させることなく容易にコレクタ電流の飽和特性の向上、並びにベース抵抗の減少という効果を達成することが可能となる。
【0036】
(第3の実施形態)
図3は、本発明による高耐圧半導体装置に係る第2の実施形態の構成を示す上面図及び断面図である。図3(a)は装置の上面図を示し、図3(b)は図3(a)の線分AA´における装置の断面図である。なお、図3(a)の装置のBB´における断面は図1(c)と同様なので省略する。また、図1と同一部分には同一の符号を付して示し詳細な説明は省略する。
【0037】
本実施形態のおける特徴部分は、n型ベースコンタクト層8及びp型エミッタ層7を含むようにn型拡散層31が形成されている点である。即ち、n型拡散層31はn型活性層3の表面に選択的に形成され、このn型拡散層31の表面にはn型ベースコンタクト層8及びp型エミッタ層7が選択的に形成された構造となっている。n型拡散層31のパターン形状はT字状である。p型コレクタ層9は、かかるn型拡散層31と離間してn型活性層3の表面に選択的に形成されている。
【0038】
かかる構造によれば、n型ベースコンタクト層8は、n型拡散層31を介してp型エミッタ層7へと接続している。このため、第1の実施形態と同様な効果が得られる他、n型ベースコンタクト層8とp型エミッタ層7との間のベース抵抗を第2の実施形態よりも効果的に下げることが可能となる。かかる構成においても、n型拡散層31を形成するだけで、工程数を増加させることなく容易にコレクタ電流の飽和特性の向上、並びにベース抵抗の減少という効果を達成することが可能となる。
【0039】
上記した各実施形態において、第1導電型半導体領域(n型拡散層6、21、31)の深さは、本発明の効果を得るために1μm以上であることが好ましく、典型的には5μmとした。また、かかる第1導電型半導体領域の表面不純物濃度は、5×1015cm-3以上5×1016cm-3以下であることが好ましい。これは、5×1015cm-3よりも濃度が低いと本発明の効果を達成しにくくなり、逆に5×1016cm-3よりも濃度が高いと耐圧が劣化しやすくなるからである。さらにまた、本発明は、エミッタ領域とコレクタ領域との間の耐圧が10V以上80V以下であるものに対して、特に効果的に適用できる。
【0040】
なお、本発明は限定されることはない。例えば、上記した実施形態では、第1導電型半導体領域の深さは第1導電型活性層の厚みよりも小さいが、これに限られず、第1導電型半導体領域が埋め込み絶縁膜に達する構成であってもよい。
【0041】
また、エミッタ領域は、ベースコンタクト領域とエミッタ領域との間を除き、コレクタ領域によって取り囲まれている構成が採用されているが、エミッタ領域が完全にコレクタ領域によって取り囲まれている構成を採用することも可能である。
【0042】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することが可能である。
【0043】
【発明の効果】
本発明によれば、エミッタ電流は素子の表面側を流れるようになり、半導体層の埋込絶縁膜との界面に形成される反転層の影響を受けないので、特性の良好な高耐圧バイポーラ素子を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による高耐圧半導体装置に係る第1の実施形態の構成を示す上面図及び断面図。
【図2】 本発明による高耐圧半導体装置に係る第2の実施形態の構成を示す上面図及び断面図。
【図3】 本発明による高耐圧半導体装置に係る第3の実施形態の構成を示す上面図及び断面図。
【図4】 本発明による高耐圧半導体装置のコレクタ−エミッタ間電圧とコレクタ電流との関係を示す特性図。
【図5】 従来例の高耐圧半導体装置の構成を示す断面図。
【図6】 従来例の高耐圧半導体装置のコレクタ−エミッタ間電圧とコレクタ電流との関係を示す特性図。
【符号の説明】
1…半導体基板
2…埋込酸化膜
3…n型活性層
4…酸化膜
5…多結晶シリコン層
6…n型エミッタ下拡散層(n型拡散層)
7…p型エミッタ層
8…n型ベースコンタクト層
9…p型コレクタ層
10a、10b…酸化膜
11…絶縁膜
12a…エミッタ電極
12b…ベース電極
12c…コレクタ電極
21…n型ベースコンタクト下拡散層(n型拡散層)
31…n型拡散層
Claims (9)
- 表面が絶縁領域で形成される基板の上に形成された高抵抗の第1導電型活性層と、この第1導電型活性層の表面に選択的に形成された当該第1導電型活性層よりも高濃度の第1の第1導電型半導体領域と、この第1の第1導電型半導体領域の表面に選択的に形成された第2導電型のエミッタ領域と、前記第1の第1導電型半導体領域と離間して前記第1導電型活性層の表面に選択的に形成された第2導電型のコレクタ領域と、前記第1の第1導電型半導体領域と離間して前記第1導電型活性層の表面に形成された当該第1導電型活性層よりも高濃度の第2の第1導電型半導体領域と、この第2の第1導電型半導体領域の表面に選択的に形成された第1導電型のベースコンタクト領域とを具備したことを特徴とする高耐圧半導体装置。
- 表面が絶縁領域で形成される基板の上に形成された高抵抗の第1導電型活性層と、この第1導電型活性層の表面に選択的に形成された当該第1導電型活性層よりも高濃度の第1導電型半導体領域と、この第1導電型半導体領域の表面に選択的に互いに離間して形成された第2導電型のエミッタ領域及び第1導電型のベースコンタクト領域と、前記第1導電型半導体領域と離間して前記第1導電型活性層の表面に選択的に形成された第2導電型のコレクタ領域とを具備したことを特徴とする高耐圧半導体装置。
- 前記第1の第1導電型半導体領域と前記第2の第1導電型半導体領域とは、同じ深さ及び同じ表面不純物濃度で構成されていることを特徴とする請求項1記載の高耐圧半導体装置。
- 前記第1導電型半導体領域の深さは、前記第1導電型活性層の厚みよりも小さいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の高耐圧半導体装置。
- 前記第1導電型半導体領域の深さは、1μm以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の高耐圧半導体装置。
- 前記第1導電型半導体領域の表面不純物濃度は、5×1015cm-3以上5×1016cm-3以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の高耐圧半導体装置。
- 前記第1導電型活性層の厚みは、10μm以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の高耐圧半導体装置。
- 前記エミッタ領域と前記コレクタ領域との間の耐圧は、10V以上80V以下であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の高耐圧半導体装置。
- 前記エミッタ領域は、前記ベースコンタクト領域と前記エミッタ領域との間を除き、前記コレクタ領域によって取り囲まれていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の高耐圧半導体装置。
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