JP6137208B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
12:半導体支持層
14:埋込み絶縁層
16:半導体活性層
22:コレクタ電極
24:ベース電極
26:エミッタ電極
32:誘電体
32A:コレクタ側端部誘電体
32B:エミッタ側端部誘電体
41:コレクタ領域
42:コレクタディープ領域
43:ウェル領域
44:ベース領域
45:エミッタ領域
46:エミッタディープ領域
52,54:絶縁分離壁
Claims (7)
- 半導体支持層と、
前記半導体支持層の上面に接する埋込み絶縁層と、
前記埋込み絶縁層の上面に接する半導体活性層と、
前記半導体活性層の所定深さにおいて、少なくとも一方向に沿って各々の間に間隔を空けて配置されている複数の誘電体と、を備え、
前記複数の誘電体のうちの前記一方向の一方側の端部に配置される第1端部誘電体が、正極電極に電気的に接続するように構成されており、
前記複数の誘電体のうちの前記一方向の他方側の端部に配置される第2端部誘電体が、負極電極に電気的に接続するように構成されている、半導体装置。 - 前記複数の誘電体のうちの少なくとも1つが、前記埋込み絶縁層に接する、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記半導体活性層の上面から前記半導体活性層を貫通して前記埋込み絶縁層に達しており、前記第1端部誘電体よりも前記一方向の外側に配置されている一対の第1絶縁分離壁と、
前記一対の第1絶縁分離壁の間に埋設されており、前記正極電極に接する第1接続部と、
前記半導体活性層の上面から前記半導体活性層を貫通して前記埋込み絶縁層に達しており、前記第2端部誘電体よりも前記一方向の外側に配置されている一対の第2絶縁分離壁と、
前記一対の第2絶縁分離壁の間に埋設されており、前記負極電極に接する第2接続部と、をさらに備える、請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記第1接続部は、不純物を含むポリシリコン、不純物を含む半導体、金属、又は、これらの組合せであり、
前記第2接続部は、不純物を含むポリシリコン、不純物を含む半導体、金属、又は、これらの組合せである、請求項3に記載の半導体装置。 - 前記半導体活性層の厚み方向に沿って各々の間に間隔を空けて配置されている複数の正極用誘電体と、
前記半導体活性層の厚み方向に沿って各々の間に間隔を空けて配置されている複数の負極用誘電体と、をさらに備え、
前記第1端部誘電体は、前記複数の正極用誘電体を介して前記正極電極に電気的に接続し、
前記第2端部誘電体は、前記複数の負極用誘電体を介して前記負極電極に電気的に接続する、請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記複数の誘電体は、ストライプ状に配置されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体活性層は、
前記半導体活性層の上面に露出しており、前記正極電極に接する第1導電型の第1半導体領域と、
前記半導体活性層の上面に露出しており、前記第1半導体領域から離れて配置されており、前記負極電極に接する第1導電型の第2半導体領域と、
前記第1半導体領域と前記第2半導体領域の間に配置されている第2導電型の第3半導体領域と、
前記半導体活性層の上面に露出しており、前記第3半導体領域に囲まれており、前記第3半導体領域の不純物濃度よりも濃い不純物濃度であり、ベース電極に接する第2導電型の第4半導体領域と、を有しており、
前記ベース電極は、前記半導体活性層の上面の一部を被覆して設けられており、前記第4半導体領域が前記半導体活性層の上面に露出する部分で前記第4半導体領域に接しており、前記正極電極及び前記負極電極から離れて設けられている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。
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