JP3646587B2 - 多層セラミック基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、多層セラミック基板およびその製造方法に関するもので、特に、両主面上に配線導体が設けられた多層セラミック基板を製造する方法およびこの製造方法によって得られた多層セラミック基板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
多層セラミック基板は、複数の積層されたセラミック層を備えている。このような多層セラミック基板には、種々の形態の配線導体が設けられている。配線導体としては、たとえば、多層セラミック基板の内部において、セラミック層間の特定の界面に沿うように平面状に延びる内部導体膜が形成されたり、特定のセラミック層を貫通するように延びるビアホール導体が形成されたり、また、多層セラミック基板の外表面上において、平面状に延びる外部導体膜が形成されたりしている。
【0003】
上述した内部導体膜やビアホール導体の一部は、たとえばコンデンサ素子やインダクタ素子のような受動部品を構成するために利用されることがある。また、外部導体膜は、他のチップ状電子部品を実装するために利用されたり、この多層セラミック基板をマザーボード上に実装するために利用されたりしている。
【0004】
このような多層セラミック基板をより多機能化、高密度化、高性能化するためには、多層セラミック基板において、上述したような配線導体を高密度に配置することが有効である。
【0005】
しかしながら、多層セラミック基板を得るためには、必ず、焼成工程を経なければならないが、このような焼成工程においては、セラミックの焼結による収縮が生じ、このような収縮は多層セラミック基板全体において均一に生じにくく、そのため、配線導体において不所望な変形や歪みがもたらされることがある。このような配線導体において生じる変形や歪みは、上述のような配線導体の高密度化を阻害してしまう。
【0006】
そこで、多層セラミック基板を製造するにあたって、焼成工程において多層セラミック基板の主面方向での収縮を実質的に生じさせないようにすることができる、いわゆる無収縮プロセスを適用することが提案されている。
【0007】
この発明にとって興味ある無収縮プロセスによる多層セラミック基板の製造方法が、たとえば、特許第2785544号または特公平7−46540号公報に開示されている。
【0008】
この従来技術では、低温焼結セラミック材料を含む複数の基板用グリーンシートおよびこれら基板用グリーンシートに関連して内部配線導体を形成するように付与された導電性ペーストとを備える積層構造物の上下の主面に、低温焼結セラミック材料の焼結温度では焼結しないアルミナ等の高温焼結セラミック材料を含むダミーグリーンシートを配置し、これをプレスした後、比較的低温で焼成し、焼成後において、後者のダミーグリーンシートに由来する未焼結層を除去することが行なわれる。
【0009】
上述した焼成工程では、高温焼結セラミック材料自身は焼結しないため、ダミーグリーンシートでは収縮が実質的に生じず、このダミーグリーンシートによって及ぼされる拘束力によって、基板用グリーンシートを備える積層構造物の主面方向での収縮が抑制され、積層構造物は、厚み方向にのみ実質的に収縮する。
【0010】
したがって、焼成後において、積層構造物に不均一な変形がもたらされにくくなり、そのため、内部配線導体において不所望な変形や歪みがもたらされにくくすることができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような解決されるべき問題がある。
【0012】
まず、ダミーグリーンシートに含まれる高温焼結セラミック材料は焼成工程において、焼結しないが、ダミーグリーンシートと基板用グリーンシートとの界面において、ダミーグリーンシートに含まれる材料と基板用グリーンシートに含まれる材料との間で相互拡散や反応が多かれ少なかれ生じ、得られた多層セラミック基板において、特性の変化や劣化がもたらされることがある。また、特に反応が生じると、ダミーグリーンシートに由来する未焼結層を除去することが困難になる。
【0013】
このようなことから、ダミーグリーンシートおよび基板用グリーンシートの各々において使用できる材料に制限がある。
【0014】
また、ダミーグリーンシートに由来する未焼結層の除去にあたっては、サンドブラスト法や水とともにブラッシングする方法、あるいは研磨法が適用されるため、多層セラミック基板の少なくとも一方の主面上に外部導体膜を形成したい場合には、このような外部導体膜を未焼成の積層構造物の段階で形成しておくことができない。その結果、外部導体膜の形成は、焼成工程を終えて、未焼結層を除去した後の積層構造物に対して行なわなければならないため、外部導体膜を形成するための工程が別に必要となる。
【0015】
また、上述のように、外部導体膜の形成は、焼成後の積層構造物に対して行なわなければならないので、このような外部導体膜と接続されるべきビアホール導体が存在する場合には、外部導体膜とビアホール導体との間での導通不良が発生する可能性がある。
【0016】
また、上述のような多層セラミック基板を製造する場合、通常、1個の多層セラミック基板毎に取り扱うのではなく、後でカットされることによって複数個の多層セラミック基板となる集合体の状態で取り扱われる。この集合体の寸法は、通常、10〜20cm角というように大きく、全体的に反りやうねりが生じることがある。上述したような外部導体膜をたとえばスクリーン印刷等によって形成する場合、このように反りやうねりが生じていると、外部導体膜のパターンおよび位置に関して高い精度を得ることが困難である。
【0017】
また、上述した方法は、無収縮プロセスとはいうものの、若干の収縮がもたらされ、そのため、寸法精度に関しては±0.1%程度は許容されなければならない。したがって、配線導体についても、このような許容範囲を考慮しなければならず、このことが、さらなる高密度化を阻害する原因となっている。
【0018】
そこで、この発明の目的は、上述のような問題を解決し得る、多層セラミック基板の製造方法およびこの製造方法によって得られた多層セラミック基板を提供しようとすることである。
【0019】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る多層セラミック基板の製造方法は、上述した技術的課題を解決するため、積層される複数のセラミックグリーンシートと、これらセラミックグリーンシートに関連して内部配線導体を形成するように付与される導電性ペーストと、複数のセラミックグリーンシートからなる生の積層構造物の両主面を覆いかつ生の積層構造物を積層方向に挟むように配置される金属箔とを備える、生の複合積層体を用意する工程と、金属箔によって主面方向での収縮を抑制しながら金属箔を構成する金属の融点より低い温度で生の複合積層体を焼成する工程と、この焼成工程の後、フォトリソグラフィ技術に基づき、金属箔をエッチング処理してパターニングする工程とを備えることを特徴としている。
【0020】
この発明において、上述したセラミックグリーンシートは、1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料を含み、導電性ペーストは、銅または銀を主成分とする導電成分を含み、焼成工程は、1000℃以下の温度で実施されることが好ましい。
【0021】
また、この発明において、金属箔として、銅箔が有利に用いられる。
【0022】
また、この発明において、導電性ペーストによって形成される内部配線導体として、セラミックグリーンシートの特定のものを貫通しかつ金属箔に接するビアホール導体を備えていてもよい。
【0023】
また、この発明において、金属箔の、生の積層構造物に向く面は、粗面化されることが好ましい。
【0024】
また、この発明において、金属箔と生の積層構造物との間には、有機バインダおよび/またはガラスペーストが付与されることが好ましい。
【0025】
この発明は、また、上述したような製造方法によって得られた、多層セラミック基板にも向けられる。
【0026】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施形態による多層セラミック基板の製造方法に含まれるいくつかの工程を順次示す断面図である。図2は、図1に示した工程を経て製造される多層セラミック基板1の外観を示す斜視図である。
【0027】
まず、図2を参照して、多層セラミック基板1は、複数のセラミック層を積層した構造を有する積層構造物2を備えている。積層構造物2の内部には、図2では図示しないが、内部配線導体が形成されている。内部配線導体としては、セラミック層の間の特定の界面に沿って平面状に延びる内部導体膜があり、また、特定のセラミック層を貫通するように延びるビアホール導体がある。
【0028】
積層構造物2の図2による上方に向く主面上には、パターニングされた外部導体膜3が形成されている。また、図2では、図示しないが、積層構造物2の下方に向く主面上には、パターニングされた外部導体膜4(図1(7)参照)が形成されている。
【0029】
このような多層セラミック基板1を製造するため、図2に示すような各工程が順次実施される。
【0030】
まず、図1(1)に示すように、セラミックグリーンシート5が用意される。セラミックグリーンシート5は、セラミック粉末とバインダと可塑剤と溶剤とを含むスラリーに対して、ドクターブレード法等を適用してシート成形することによって得られるもので、これらを積層するため、複数のセラミックグリーンシート5が用意される。
【0031】
次に、図1(2)に示すように、特定のセラミックグリーンシート5には、ビアホール導体のための貫通孔6が設けられる。
【0032】
次に、図1(3)に示すように、導電性ペースト7によって内部配線導体を形成するように、導電性ペーストがスクリーン印刷等によって特定のセラミックグリーンシート5に対して付与され、乾燥される。このように付与された導電性ペースト7は、特定のセラミックグリーンシート5においては内部導体膜8(図1(6)および(7)参照)を形成するものであり、また、特定のセラミックグリーンシート5においては、貫通孔6を充填し、ビアホール導体9(図1(6)および(7)参照)を形成するものであったりする。
【0033】
上述した導電性ペースト7は、周知のように、導電成分としての導電性金属粉末とバインダと溶剤とを含んでいる。導電成分としては、多層セラミック基板1が用いられる電子機器の高周波化に対応するため、できるだけ低抵抗であることが好ましく、そのため、銀または銅を主成分とする金属が有利に用いられる。
【0034】
銀を主成分とする金属としては、たとえば、銀単独のもの、Ag−Pd合金、Ag−Pt合金等を用いることができ、このような金属を含む場合、後述する焼成工程では、空気中において、850〜950℃の温度で焼成することが行なわれる。
【0035】
他方、銅を主成分とする金属としては、たとえば、金属銅、CuO、Cu2 O等を用いることができ、この場合、後述する焼成工程では、窒素ガス中において930〜1000℃の温度で焼成することが行なわれる。なお、後者の銅を主成分とする金属の場合には、焼成において、還元性雰囲気が適用されるため、導電性ペースト7に含まれる金属としては、銅の酸化物、すなわち、CuOまたはCu2 Oを用いることが多い。
【0036】
上述した導電性ペースト7における導電成分に関連して、セラミックグリーンシート5に含まれるセラミック粉末としては、1300〜1500℃で焼結するBaTiO3 やAl2 O3 のような高温焼結セラミック材料からなるものではなく、たとえば、アルミナとガラスとを50重量%ずつ混合したガラス−セラミック混合物や、焼成時にガラス成分が生成されて結果的に低温で焼結するセラミック材料からなるものなどのように、1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料からなるものが用いられることが好ましい。
【0037】
次に、図1(4)に示すように、それぞれ所望の形態をもって導電性ペースト7が付与された複数のセラミックグリーンシート5が所定の順序で積み重ねられるとともに、複数のセラミックグリーンシート5からなる生の積層構造物10の両主面を覆いかつこの生の積層構造物10を積層方向に挟むように、金属箔11および12がそれぞれ配置され、それによって、生の複合積層体13が得られる。このとき、生の積層構造物10の各主面は、それぞれ、金属箔11および12によって全面的に覆われるようにすることが好ましい。
【0038】
金属箔11および12を構成する金属は、セラミックグリーンシート5に含まれるセラミックの焼結温度より高い融点を有していて、前述したように、セラミックグリーンシート5が1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料を含んでいる場合には、金属箔11および12として、低抵抗の銅箔が用いられることが好ましい。銅は、また、マイグレーションの問題を引き起こしにくい点でも好ましい。
【0039】
次に、上述のように、生の積層構造物10を金属箔11および12によって挟んだ構造を有する、生の複合積層体13は、加熱されながら、積層方向にプレスされ、図1(5)に示すように、セラミックグリーンシート5相互間ならびにセラミックグリーンシート5と金属箔11および12の各々との間を密着させることが行なわれる。
【0040】
この場合、金属箔11および12の、生の積層構造物10に向く面は、粗面化されていることが好ましく、これによって、セラミックグリーンシート5に含まれるバインダおよび可塑剤によるアンカー効果がより大きく発揮されるようになり、互いの接合強度を高めることができる。また、必要に応じて、金属箔11および12と生の積層構造物10との間に、有機バインダおよび/またはガラスペースト等の接合材を塗布してもよい。
【0041】
次に、生の複合積層体13が焼成工程に付される。これによって、図1(6)に示すように、金属箔11および12によって挟まれた焼結後の積層構造物2が得られる。
【0042】
より詳細には、上述のような焼成工程を終えたとき、金属箔11および12によって挟まれた状態で、生の積層構造物10は、焼結後の積層構造物2となる。この積層構造物2は、セラミックグリーンシート5に由来する複数のセラミック層を積層した構造を有している。また、積層構造物2の内部においては、導電性ペースト7の焼成によって得られた内部導体膜8およびビアホール導体9が形成されている。ビアホール導体9のいくつかは、金属箔11または12に接する状態で形成されている。
【0043】
また、この焼成工程において、金属箔11および12は焼結収縮しないため、これら金属箔11および12が、セラミックグリーンシート5ひいては生の積層構造物10に対して、主面方向での収縮を抑制する拘束力を及ぼすことになる。したがって、焼成工程によって、セラミックグリーンシート5や導電性ペースト7に含まれるバインダや可塑剤のような有機成分は焼失し、セラミックグリーンシート5に含まれるセラミック材料や導電性ペースト7に含まれる金属粉末は焼結するが、この焼結による収縮力は、セラミックグリーンシート5の主面方向には実質的に生じず、厚み方向にのみ実質的に生じる。
【0044】
また、金属箔11および12は、アンカー効果またはセラミックグリーンシート5に含有していたガラス成分、セラミックグリーンシート5から生成されたガラス成分、あるいは生の積層構造物10との間に塗布されたガラス成分による接着効果によって、焼結後の積層構造物2の各主面に強固に接合した状態となっている。
【0045】
また、前述したように、導電性ペースト7に含まれる導電成分として銅または銀を主成分とする金属を用い、金属箔11および12として銅箔を用いた場合、この焼成工程において、たとえば窒素ガスからなる焼成雰囲気を適用することができる。
【0046】
次に、図1(7)に示すように、金属箔11および12に対して、フォトリソグラフィ技術に基づき、レジスト塗布、露光およびエッチングの各工程が実施され、それによって所望のパターニングが施された外部導体膜3および4が与えられる。
【0047】
このようにして、図2に示したような外観を有する多層セラミック基板1が完成される。
【0048】
なお、この得られた多層セラミック基板1に対して、必要に応じて、めっき工程、部品搭載工程、封止工程、ケーシング工程および/または端子取り付け工程等を実施してもよい。
【0049】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係る多層セラミック基板の製造方法によれば、焼成工程におけるセラミックグリーンシートの主面方向での収縮を金属箔によって抑制することができるので、多層セラミック基板の内部に形成される内部配線導体の高密度化を進めることが容易になるとともに、上述のような金属箔が複数のセラミックグリーンシートからなる生の積層構造物の両主面を覆いかつこの生の積層構造物を積層方向に挟むように配置されるので、この金属箔を利用して、多層セラミック基板の両主面に沿って形成されるべき外部導体膜を与えることが可能になる。
【0050】
また、外部導体膜を形成するため、フォトリソグラフィ技術に基づき、金属箔をエッチング処理してパターニングすることが行なわれるので、外部導体膜の微細化および高密度化を進めることが容易であり、また、従来のように、ダミーグリーンシートに由来する未焼結層を焼成後において除去した上で外部導体膜を形成する必要がないので、外部導体膜の形成のための工程数を少なくすることができる。
【0051】
また、この発明によれば、金属箔から外部導体膜を作製するとき、フォトリソグラフィ技術を用いるので、一括露光ではなく、部分露光によって歪みを補正する方法を採ることができ、この点でも、外部導体膜の微細化および高密度化を進めることがより容易になる。
【0052】
また、この発明によれば、ダミーグリーンシートによる収縮抑制効果を利用しないので、ダミーグリーンシートと基板用グリーンシートとの間で不所望な相互拡散や反応が生じるという問題に煩わされることがない。したがって、基板用グリーンシートにおけるセラミック材料の選択の幅を広げることができる。
【0053】
また、この発明によれば、生の複合積層体の段階で、内部配線導体を形成するように導電性ペーストが付与されていて、また、この導電性ペーストは、必要な箇所において、金属箔と接触する状態となっており、この状態を維持したまま、焼成工程が実施されるので、内部配線導体での接続不良や内部配線導体と金属箔との間での接続不良を生じにくくすることができる。
【0054】
この発明において、セラミックグリーンシートが1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料を含み、焼成工程が1000℃以下の温度で実施されると、導電性ペーストに含まれる導電成分として、銅または銀を主成分とするものを問題なく用いることができるようになり、低抵抗の内部配線導体を実現することができ、得られた多層セラミック基板の高周波特性を良好なものとすることができる。
【0055】
また、この発明において、金属箔として銅箔が用いられると、低抵抗の外部導体膜を形成することができるようになるとともに、銅にはマイグレーションの問題が少ないため、この点においても、外部導体膜において微細化および高密度化を進めることが容易になる。
【0056】
また、この発明において、金属箔の、生の積層構造物に向く面が粗面化されたり、金属箔と生の積層構造物との間に有機バインダおよび/またはガラスペーストが付与されたりすると、得られた多層セラミック基板において、金属箔すなわち外部導体膜と積層構造物との間での接合強度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態による多層セラミック基板1の製造方法に含まれるいくつかの工程を順次示す図解的断面図である。
【図2】図1に示した製造方法によって得られた多層セラミック基板1の外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 多層セラミック基板
2 積層構造物
3,4 外部導体膜
5 セラミックグリーンシート
7 導電性ペースト
8 内部導体膜
9 ビアホール導体
10 生の積層構造物
11,12 金属箔
13 生の複合積層体
Claims (7)
- 積層される複数のセラミックグリーンシートと、前記セラミックグリーンシートに関連して内部配線導体を形成するように付与される導電性ペーストと、複数の前記セラミックグリーンシートからなる生の積層構造物の両主面を覆いかつ前記生の積層構造物を積層方向に挟むように配置される金属箔とを備える、生の複合積層体を用意する工程と、
前記金属箔によって主面方向での収縮を抑制しながら前記金属箔を構成する金属の融点より低い温度で前記生の複合積層体を焼成する工程と、
前記焼成工程の後、フォトリソグラフィ技術に基づき、前記金属箔をエッチング処理してパターニングする工程と
を備える、多層セラミック基板の製造方法。 - 前記セラミックグリーンシートは、1000℃以下の温度で焼結可能な低温焼結セラミック材料を含み、前記導電性ペーストは、銅または銀を主成分とする導電成分を含み、前記焼成工程は、1000℃以下の温度で実施される、請求項1に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記金属箔は、銅箔である、請求項1または2に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記導電性ペーストによって形成される前記内部配線導体は、前記セラミックグリーンシートの特定のものを貫通しかつ前記金属箔に接するビアホール導体を備える、請求項1ないし3のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記金属箔の、前記生の積層構造物に向く面は、粗面化される、請求項1ないし4のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記金属箔と前記生の積層構造物との間には、有機バインダおよび/またはガラスペーストが付与される、請求項1ないし5のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載の製造方法によって得られた、多層セラミック基板。
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US5470412A (en) * | 1992-07-30 | 1995-11-28 | Sumitomo Metal Ceramics Inc. | Process for producing a circuit substrate |
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US6042667A (en) * | 1996-03-13 | 2000-03-28 | Sumotomo Metal Electronics Devices, Inc. | Method of fabricating ceramic multilayer substrate |
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