JP3645656B2 - エッジ検出方式 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像計測装置、画像自律倣い方式、画像2値化処理(重心演算範囲の設定)等に適用される、被測定対象の画像に含まれるエッジの位置を検出するエッジ検出方式に関し、特に被測定対象の画像の状態に左右されず常にエッジ位置を正確に検出可能にしたエッジ検出方式に関する。
【0002】
【従来の技術】
画像計測装置等で被測定対象であるワークの画像からエッジ位置を検出する場合、ワークのエッジとワーク表面性状等によるノイズとを判別することが重要である。従来は、指定領域内の画像を所定の方向に走査して得られた画素値(明るさ)の曲線(以下、強度画像と呼ぶ。)に対して微分処理を施し、得られた微分画像の微分値から求められた強度値を利用する方法がある。しかし、この方法は、図17及び図18に示すように、測定時のピントのずれ等によってエッジ強度値が変動し、エッジ検出の安定性が不十分であるという問題がある。
【0003】
また、被測定対象を撮像して得られた画像にある固定的なしきい値を設定し、このしきい値を通過する位置をエッジ位置として検出する方法が知られているが、図19に示すように、照明状態やワークの反射率の変動によって画素値のレベルが変動すると、エッジ位置を正確に検出することは困難となる。照明変動等の影響を軽減するには、画素値の平均値をしきい値とし、このしきい値を通過する位置をエッジ位置として検出することもなされているが、この場合には、図20に示すように、指定領域内の明部と暗部との割合によってしきい値が変動してしまうため、やはりエッジ検出は不安定になる。
【0004】
更に、指定領域内の画素値のうちの最大値と最小値の中間値をしきい値としてエッジ検出を行う方法もあるが、この場合でも、図21に示すように、エッジ位置の画素値よりも大きい変動成分がある場合には、しきい値を適切に定めることができない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のエッジ検出方式では、いずれの方式においても、▲1▼照明変動の影響、▲2▼ワーク表面性状の影響(例えば、ノイズ)、▲3▼ピントのずれの影響(エッジ強度変動)のすべてを満足することが困難であった。
【0006】
一方、画像計測システムでは、ワークに対する照明状態を調整できるようになっている。この調整によって、エッジを境として少なくとも一方の側の画素値の変動成分が少なくなるようにワークを照明することが可能である。図22(a)は透過照明を使用して、ワーク12の部分を暗い一様な画素値となるように照明した例、図22(b)はリングライト41の一方の側のみ照明光を与えてエッジ部分に影を作り、影の一方向の側は明るい一様な画素値となるように照明した例である。
【0007】
本発明はこのような照明操作を利用したもので、照明操作によって変動成分が小さく設定される走査の開始位置の画素値を基準値とすることにより、照明変動、ノイズの影響及びピントのずれの変動に対して常に安定したエッジ検出が可能なエッジ検出方式を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るエッジ検出方式は、被測定対象を撮像して得られた画像に含まれるエッジのうち、検出しようとするエッジを含むように所定の走査領域を前記画像に設定して、この走査領域の前記検出しようとするエッジに対して一方の側の画素値が一様となるように光学系を調整すると共に、画素値が一様となった側から他方の側へ走査しながら、前記走査領域に含まれるエッジの位置を検出するエッジ検出方式において、前記走査の開始位置の画素値を基準値とし、この基準値に対して画素値の大小方向に隔てられた値をそれぞれ境界値として定める境界値設定手段と、前記走査領域内の画素値が前記境界値のうちの一方を通過した後の最初の極値を求めると共に、この極値及び前記基準値に基づいてエッジ検出のためのしきい値を定めるしきい値設定手段と、前記走査領域内の画素値が前記しきい値を最初に通過する位置をエッジ位置として定めるエッジ位置検出手段とを備えたことを特徴とする。
【0009】
前記境界値設定手段は、例えば、前記走査領域内の画素値に対して低域通過フィルタ処理を施すフィルタリング処理手段と、このフィルタリング処理手段によって得られた画像において、前記走査領域内の画素値の最大値及び最小値をそれぞれ求める手段と、前記基準値及び最大値の中間値並びに前記基準値及び最小値の中間値を前記境界値として定める手段とを備えたものである。
【0010】
また、前記境界値設定手段は、前記走査の開始位置を含む前記画素値が一様である範囲内の画素値の前記基準値を中心としたバラツキ範囲に基づいて前記境界値を設定するものでもよい。
【0011】
なお、前記検出しようとするエッジ位置が前記走査領域において画素値がしきい値を最初に上回る位置か下回る位置かの条件が予め与えられ、前記画素値がしきい値を最初に上回る位置をエッジ位置として定めた場合には、この条件を満たすまでの間、前記画素値が前記基準値を下回ったときにその画素値を前記基準値として更新すると共にしきい値を再設定し、前記画素値がしきい値を最初に下回る位置をエッジ位置として定めた場合には、この条件を満たすまでの間、前記画素値が前記基準値を上回ったときにその画素値を前記基準値として更新すると共にしきい値を再設定する更新手段を備えるようにしてもよい。
【0012】
本発明に係る他のエッジ検出方式は、被測定対象を撮像して得られた画像に含まれるエッジのうち、検出しようとするエッジを含むように所定の走査領域を前記画像に設定して、この走査領域の前記検出しようとするエッジに対して一方の側の画素値が一様となるように光学系を調整すると共に、画素値が一様となった側から他方の側へ走査しながら、前記走査領域に含まれるエッジの位置を検出するエッジ検出方式において、前記走査領域内の画素値に対して微分処理を施す微分処理手段と、この微分処理手段によって得られた画像において、前記走査の開始位置の微分値を第1の基準値とし、この第1の基準値に対して画素値の大小方向に隔てられた値をそれぞれ境界値として定める境界値設定手段と、前記走査領域内の微分値が前記境界値のうちの一方を通過した後の最初に零となる位置を求めることにより、前記走査領域内の画素値の極値を求めると共に、前記走査の開始位置の画素値を第2の基準値として、前記極値及び第2の基準値に基づいてエッジ検出のためのしきい値を定めるしきい値設定手段と、前記走査領域内の画素値が前記しきい値を最初に通過する位置をエッジ位置として定めるエッジ位置検出手段とを備えたことを特徴とする。
【0013】
この場合にも、前記境界値設定手段は、前記走査の開始位置を含む前記画素値が一様である範囲内の微分画像の画素値の前記第1の基準値を中心としたバラツキ範囲に基づいて前記境界値を設定するように構成することができる。
【0014】
なお、この場合にも、前記検出しようとするエッジ位置が前記走査領域において画素値がしきい値を最初に上回る位置か下回る位置かの条件が予め与えられ、前記画素値がしきい値を最初に上回る位置をエッジ位置として定めた場合には、この条件を満たすまでの間、前記画素値が前記第2の基準値を下回ったときにその画素値を前記第2の基準値として更新すると共にしきい値を再設定し、前記画素値がしきい値を最初に下回る位置をエッジ位置として定めた場合には、この条件を満たすまでの間、前記画素値が前記第2の基準値を上回ったときにその画素値を前記第2の基準値として更新すると共にしきい値を再設定する更新手段を備えるように構成することができる。
【0015】
本発明によれば、被測定対象の画像に設定された走査領域に含まれるエッジ位置を検出する際、走査領域内のエッジに対して一方の側の画素値が一様となるように調整し、画素値が一様となった側の走査の開始位置の画素値を基準値としてしきい値を相対的に決定するので、照明変動の影響を受けずに常に適切なしきい値が設定できる。また、本発明は変動成分の小さい側から最初にしきい値を通過する位置を検出する方式であるため、検出すべきエッジの後方に大きなノイズが含まれていても、このノイズが検出結果に影響を及ぼすことはない。更に、この発明は、エッジ後方の最初の極値と基準値とに基づいてしきい値を決定するので、ピントが変動しても、例えば基準値と極値との中間値を横切る点の位置等は変動せず、常に安定したエッジ検出が可能になる。
【0016】
なお、自律倣い等を行うシステムでは、走査を行う位置が予測できず、走査の開始位置の画素値が必ずしも基準値として適当でない場合も発生する。この場合には、予め検出したいエッジが明から暗へのエッジか、暗から明へのエッジかを設定しておき、条件によっては基準値及びしきい値を順次更新して行くことにより、正しいエッジ位置を検出することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明の実施例について説明する。
図1は、本発明の実施例に係るエッジ検出方式を適用した非接触画像計測システムの全体構成を示す斜視図である。
このシステムは、非接触画像計測型の三次元測定機1と、この三次元測定機1を駆動制御すると共に、必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム2と、計測結果をプリントアウトするプリンタ3とにより構成されている。
【0018】
三次元測定機1は、次のように構成されている。即ち、架台11上には、ワーク12を載置する測定テーブル13が装着されており、この測定テーブル13は、図示しないY軸駆動機構によってY軸方向に駆動される。架台11の両側縁中央部には上方に延びる支持アーム14,15が固定されており、この支持アーム14,15の両上端部を連結するようにX軸ガイド16が固定されている。このX軸ガイド16には、撮像ユニット17が支持されている。撮像ユニット17は、図示しないX軸駆動機構によってX軸ガイド16に沿って駆動される。撮像ユニット17の下端部には、CCDカメラ18が測定テーブル13と対向するように装着されている。また、撮像ユニット17の内部には、図示しない照明装置(透過照明及びリングライト)及びフォーカシング機構の他、CCDカメラ18のZ軸方向の位置を移動させるZ軸駆動機構が内蔵されている。
【0019】
コンピュータシステム2は、コンピュータ本体21、キーボード22、ジョイスティックボックス23、マウス24及びCRTディスプレイ25を備えて構成されている。
コンピュータ本体21は、例えば図2に示すように構成されている。即ち、CCDカメラ18から入力される画像情報は、インタフェース(以下、I/Fと呼ぶ)31を介して多値画像メモリ32に格納される。多値画像メモリ32に格納された多値画像情報は、表示制御部33を介してCRTディスプレイ25に表示される。一方、マウス24から入力される位置情報は、I/F34を介してCPU35に入力される。CPU35は、プログラムメモリ36に格納されたプログラムに従って、マウス24で指定された矩形領域を走査領域として表示するためのデータを生成し、この走査領域の内部の多値画像情報を多値画像メモリ32から抽出して、後述するエッジ検出手順に応じたエッジ位置の検出処理を実行する。ワークメモリ37は、CPU35での各種処理のための作業領域を提供する。
【0020】
次に、このように構成された非接触画像計測システムにおけるエッジ検出手順について説明する。
【0021】
図3は、本発明の第1の実施例に係るエッジ位置検出のためのCPU35の処理の手順を示すフローチャート、図4及び図5は、この処理を説明するためワーク12の強度画像を示す図である。
まず、計測に先立って、検出すべきエッジの一方の側を基準とするため、基準とすべき側の画素値が一様となるように、照明装置を調整する。エッジに対して一方の側を一様にするためには、種々の方法が考えられる。
図22(a)は、透過照明を用いた例である。この例では、ワーク12の下から照明することにより、例えば図23に示すように、ワーク12の表面がエッジの存在する位置まで暗い一様画像となっているので、この画素値が一様な部分を基準として用いることができる。図22(b)は、段差のあるワーク12を上からリングライトで照射した例である。リングライトは、部分的な照明が可能であるので、ワーク12の高い方の面の斜め上からワーク12を照明することにより、ワーク12に陰を付ける。これにより、例えば図4(a)に示すように、ワーク12の上段の部分が明るい一様画像となり、エッジ位置を挟んで陰の部分で画素値の極小値を持った強度画像曲線が得られる。
以下、この図4(a)の曲線が得られたものと想定してエッジ検出処理を実行する場合について説明する。
【0022】
検出しようとするエッジを含む走査領域がマウス24等の操作によって指定されると、CPU35は、オペレータの指示に基づき、走査領域の画素値が一様である側に存在する走査の開始位置の画素値(フィルタ処理がなされている場合には、その周辺の画素の代表値又は平均値)を基準値Sとして設定する(S1)。走査の方向は、例えばエッジ方向と90°をなし、その向きは、画素値が一様になっている側から他の側に向かうようにキーボード22等の操作によって設定される。次に、CPU35は、1回目の走査を行い、走査領域の画素値を多値画像メモリ32からサンプリングした後、ノイズ成分を抑制するため、低域通過フィルタリング処理を実行し、図4(b)に示すように、フィルタリング処理後の強度画像において、画素値の最大値(MAX)及び最小値(MIN)を求める(S2)。続いて、CPU35は、図4(c)に示すように、最大値及び基準値Sの中間値と最小値及び基準値Sの中間値とをそれぞれ境界値B1,B2として設定する(S3)。続いて、CPU35は、フィルタリング処理前の強度画像について、走査の開始位置から2回目の走査を行い、強度画像曲線が上側の境界値B1(暗から明)又は下側の境界値B2(明から暗)を通過する位置を求める(S4)。続いて、CPU35は、求められた通過位置から3回目の走査を行い、図5(a)に示すように、最初の極値となる位置を求め(S5)、図5(b)に示すように、この極値位置の画素値と基準値Sとの中間値をしきい値Tとして設定する(S6)。続いて、CPU35は、図5(c)に示すように、強度画像内の画素値がしきい値Tを最初に通過する位置をエッジ位置として検出する(S7)。
【0023】
このようなエッジ検出方式によれば、照明操作によって一様の画素値を持つ側の走査の開始位置の画素値を基準値Sとして設定するので、基準値Sを基準として設定されるしきい値Tは、図6(a)に示すように、暗い画像の場合でも、図6(b)に示すように、明るい画像の場合でも、相対的に適切なレベルに設定され、照明変動の影響を受けない。また、変動成分が小さい側から走査が開始され、設定されたしきい値Tを最初に横切る位置をエッジ位置とするので、図7に示すように、強度画像エッジの後方にそのエッジよりも大きなノイズが含まれている場合でも、その影響を受けずにエッジ検出を行うことができる。更に、ピントが合っていない場合は、ピントが合っている場合と比較すると、図8に示すように、エッジを示す強度曲線はなだらかであり、図18に示すように、エッジを示す微分曲線の鋭さは鈍いので、一般にエッジ検出は困難となるが、前述したように、基準値Sと極値との中間値をしきい値Tと設定することにより、強度画像曲線がしきい値Tを通過する位置は常に一定の位置となり、ピントの影響を受けることなくエッジ位置を検出することができる。
【0024】
図9は、本発明の第2の実施例に係るエッジ位置検出のためのCPU35の処理の手順を示すフローチャート、図10は、この処理を説明するためワーク12の強度画像を示す図である。
検出しようとするエッジを含む走査領域がマウス24等の操作によって指定されると、CPU35は、上記と同様に、画素値が一様の側の走査の開始位置の画素値を基準値Sとして設定する(S11)。次に、CPU35は、1回目の走査を行い、強度画像の前記一様な部分のバラツキ範囲、例えば標準偏差等を変動幅Δとして求め(S12)、図10(a)に示すように、基準値Sから上下に変動幅Δだけ隔てた値をそれぞれ境界値B1,B2として設定する(S13)。続いて、CPU35は、強度画像の走査の開始位置から2回目の走査を行い、強度画像曲線が上側の境界値B1又は下側の境界値B2を通過する位置を求める(S14)。以下、実施例1と同様に、CPU35は、求められた通過位置から3回目の走査を行い、図10(b)に示すように、最初の極値となる位置を求め(S15)、図10(c)に示すように、この極値位置の画素値と基準値Sとの中間値をしきい値Tとして設定する(S16)。続いて、CPU35は、強度画像内の画素値が最初にしきい値Tを通過する位置をエッジ位置として検出する(S17)。
【0025】
この実施例によれば、フィルタリングが不要である点及びフィルタ画像の最大値及び最小値を求める必要がない点で先の実施例よりも処理を簡素化することができる。
また、上記実施例では、強度画像の画素値が一様な部分の変動幅Δを求めて、境界値B1,B2を定めたが、変動幅Δとして予め定めた固定値を使用するようにしてもよい。この場合には、処理は更に簡単になる。
【0026】
図11は、本発明の第3の実施例に係るエッジ位置検出のためのCPU35の処理の手順を示すフローチャート、図12及び図13は、この処理を説明するためワーク12の強度画像又はその微分画像を示す図である。
前述と同様に、基準値S1が設定されたら(S21)、次に、CPU35は、1回目の走査を行い、強度画像内の画素値を多値画像メモリ32からサンプリングした後、微分処理を実行し、走査の開始位置の微分値(例えば、0)を微分画像内の基準値S2として設定する(S22)。続いて、CPU35は、微分画像内の画素値が一様な部分の変動成分に基づく標準偏差等の変動幅Δを求め(S23)、図12(a)に示すように、微分画像内の基準値S2から上下に変動幅Δだけ隔てた値をそれぞれ境界値B1,B2として設定する(S24)。続いて、CPU35は、微分画像において、走査の開始位置から2回目の走査を行い、微分画像曲線と上側の境界値B1又は下側の境界値B2とを通過する位置を求める(S25)。続いて、CPU35は、図12(b)に示すように、求められた通過位置から3回目の走査を行い、微分画像内の微分値が最初に零を通過する位置、即ち強度画像内の極値となる位置を求め(S26,S27)、図13に示すように、この極値位置の画素値と基準値S1との中間値をしきい値Tとして設定する(S28)。以下同様に、CPU35は、強度画像において、強度画像曲線が最初にしきい値Tを通過する位置をエッジ位置として検出する(S29)。
【0027】
この実施例によれば、零クロス検出により極値検出を行うので、極値検出が先の実施例よりも簡単になる。
なお、上述した3つの実施例によれば、未知のエッジの検出を行う場合には、しきい値の設定処理において、▲1▼一様領域の境界値を設定する走査、▲2▼境界値の通過位置を求める走査の2回の走査を行い、続いて▲3▼しきい値の通過位置を求める走査でエッジ位置を検出しているが、繰り返し測定等を行う場合には、予め教示によって上記▲1▼▲2▼の走査を行うことにより、しきい値を設定しておき、測定実行時には、そのしきい値を繰り返し使用して3回目の走査だけを実行することにより、エッジ検出の高速化を図ることができる。
【0028】
ところで、自律倣い等を行うシステムでは、走査を行う位置が予測できず、図14に示すように、走査の開始位置の画素値が必ずしも基準値として適当でない場合も発生する。即ち、強度画像曲線の立ち上がりのエッジ位置を検出して行く場合を考えると、図14中のAA′では、図8(a)に示す強度画像が得られ、基準値Sとして設定される走査の開始位置の画素値は強度画像内のエッジのレベルを示すものであるため、正しいエッジ位置を検出することができる。しかし、図14中のBB′では、図15(a)に示す強度画像曲線が得られ、走査の開始位置(同図中の破線矢印で示される位置)の画素値を基準値Sとして設定すると、強度画像内の本来検出すべき立ち上がりのエッジではなく、強度画像内の立ち下がりのエッジを誤って検出してしまう。そこで、予め検出したいエッジが明から暗へのエッジか、暗から明へのエッジかを設定しておき、条件によっては基準値S及びしきい値を順次更新して行くことにより、正しいエッジ位置を検出することができる。
【0029】
図16は、このような基準値Sの更新処理を示すCPU35の処理の手順を示すフローチャートである。
まず、走査の開始位置の画素値を基準値Sとして走査を開始し(S31)、図15(a)に示すように、暗から明へのエッジ位置を検出する場合には(S32)、強度画像内の画素値がしきい値Tを上回るか否かを判別しながら(S33)、その画素値が基準値Sより小さいか否かを判別する(S34)。画素値が基準値Sより小さければ(S34)、その値を基準値Sとして更新し(S35)、上記と同様に、この基準値Sに基づいて極値を求め、この極値と基準値Sとの中間値をしきい値Tとして設定する(S36)。一方、画素値が基準値Sより小さくなければ(S34)、強度画像曲線が最初にしきい値Tを上回る位置をエッジ位置として検出する(S33,S37)。
また、図15(b)に示すように、明から暗へのエッジ位置を検出する場合には(S32)、強度画像内の画素値がしきい値Tを下回るか否かを判別しながら(S38)、その画素値が基準値Sより大きいか否かを判別する(S39)。画素値が基準値Sより大きければ(S39)、その値を基準値Sとして更新し(S40)、上記と同様に、この基準値Sに基づいて極値を求め、この極値と基準値Sとの中間値をしきい値Tとして設定する(S41)。一方、画素値が基準値Sより大きくなければ(S39)、強度画像曲線が最初にしきい値Tを下回る位置をエッジ位置として検出する(S38,S37)。
このような、基準値及びしきい値の更新処理を実行することにより、自律倣い測定においても、安定したエッジ検出が可能になる。
【0030】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、被測定対象の画像に設定された走査領域に含まれるエッジ位置を検出する際、走査領域内のエッジに対して一方の側の画素値が一様となるように調整し、画素値が一様となった側の走査の開始位置の画素値を基準値としてしきい値を相対的に決定するので、照明変動、ノイズ及びピントのずれ等の影響を受けずに常に適切なしきい値が設定でき、常に安定したエッジ検出が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例に係るエッジ検出方式を適用した非接触画像計測システムの構成を示す斜視図である。
【図2】 同システムにおけるコンピュータ本体のブロック図である。
【図3】 本発明の第1実施例に係るエッジ検出処理を示すフローチャートである。
【図4】 本発明の第1実施例に係るエッジ検出処理を説明するための図である。
【図5】 本発明の第1実施例に係るエッジ検出処理を説明するための図である。
【図6】 照明変動がある場合のしきい値設定を示す図である。
【図7】 ノイズがある場合のしきい値設定を示す図である。
【図8】 ピントのずれがある場合のしきい値設定を示す図である。
【図9】 本発明の第2実施例に係るエッジ検出処理を示すフローチャートである。
【図10】 本発明の第2実施例に係るエッジ検出処理を説明するための図である。
【図11】 本発明の第3実施例に係るエッジ検出処理を示すフローチャートである。
【図12】 本発明の第3実施例に係るエッジ検出処理を説明するための図である。
【図13】 本発明の第3実施例に係るエッジ検出処理を説明するための図である。
【図14】 画像自律倣い方式を説明するための図である。
【図15】 画像自律倣い方式への適用例を説明するための図である。
【図16】 画像自律倣い方式に適用したエッジ検出処理を示すフローチャートである。
【図17】 強度画像の一例を示す図である。
【図18】 微分画像の一例を示す図である。
【図19】 従来の照明変動がある場合のしきい値設定を示す図である。
【図20】 従来の平均値変動がある場合のしきい値設定の他の一例を示す図である。
【図21】 従来のノイズがある場合のしきい値設定を示す図である。
【図22】 照明設定を説明するための図である。
【図23】 照明操作によって一様になった強度画像の一例を示す図である。
【符号の説明】
1…三次元測定機、2…コンピュータシステム、3…プリンタ、11…架台、12…ワーク、13…測定テーブル、14,15…支持アーム、16…X軸ガイド、17…撮像ユニット、18…CCDカメラ、21…コンピュータ本体、22…キーボード、23…ジョイスティックボックス、24…マウス、25…CRTディスプレイ、31,34…インタフェース、32…多値画像メモリ、33…表示制御部、35…CPU、36…プログラムメモリ、37…ワークメモリ。

Claims (7)

  1. 被測定対象を撮像して得られた画像に含まれるエッジのうち、検出しようとするエッジを含むように所定の走査領域を前記画像に設定して、この走査領域の前記検出しようとするエッジに対して一方の側の画素値が一様となるように光学系を調整すると共に、画素値が一様となった側から他方の側へ走査しながら、前記走査領域に含まれるエッジの位置を検出するエッジ検出方式において、
    前記走査の開始位置の画素値を基準値とし、この基準値に対して画素値の大小方向に隔てられた値をそれぞれ境界値として定める境界値設定手段と、
    前記走査領域内の画素値が前記境界値のうちの一方を通過した後の最初の極値を求めると共に、この極値及び前記基準値に基づいてエッジ検出のためのしきい値を定めるしきい値設定手段と、
    前記走査領域内の画素値が前記しきい値を最初に通過する位置をエッジ位置として定めるエッジ位置検出手段と
    を備えたことを特徴とするエッジ検出方式。
  2. 前記境界値設定手段は、
    前記走査領域内の画素値に対して低域通過フィルタ処理を施すフィルタリング処理手段と、
    このフィルタリング処理手段によって得られた画像において、前記走査領域内の画素値の最大値及び最小値をそれぞれ求める手段と、
    前記基準値及び最大値の中間値並びに前記基準値及び最小値の中間値を前記境界値として定める手段と
    を備えたものであることを特徴とする請求項1記載のエッジ検出方式。
  3. 前記境界値設定手段は、
    前記走査の開始位置を含む前記画素値が一様である範囲内の画素値の前記基準値を中心としたバラツキ範囲に基づいて前記境界値を設定するものである
    ことを特徴とする請求項1記載のエッジ検出方式。
  4. 前記検出しようとするエッジ位置が前記走査領域において画素値がしきい値を最初に上回る位置か下回る位置かの条件が予め与えられ、前記画素値がしきい値を最初に上回る位置をエッジ位置として定めた場合には、この条件を満たすまでの間、前記画素値が前記基準値を下回ったときにその画素値を前記基準値として更新すると共にしきい値を再設定し、前記画素値がしきい値を最初に下回る位置をエッジ位置として定めた場合には、この条件を満たすまでの間、前記画素値が前記基準値を上回ったときにその画素値を前記基準値として更新すると共にしきい値を再設定する更新手段
    を更に備えたことを特徴とする請求項1乃至3のうちのいずれか1項記載のエッジ検出方式。
  5. 被測定対象を撮像して得られた画像に含まれるエッジのうち、検出しようとするエッジを含むように所定の走査領域を前記画像に設定して、この走査領域の前記検出しようとするエッジに対して一方の側の画素値が一様となるように光学系を調整すると共に、画素値が一様となった側から他方の側へ走査しながら、前記走査領域に含まれるエッジの位置を検出するエッジ検出方式において、
    前記走査領域内の画素値に対して微分処理を施す微分処理手段と、
    この微分処理手段によって得られた画像において、前記走査の開始位置の微分値を第1の基準値とし、この第1の基準値に対して画素値の大小方向に隔てられた値をそれぞれ境界値として定める境界値設定手段と、
    前記走査領域内の微分値が前記境界値のうちの一方を通過した後の最初に零となる位置を求めることにより、前記走査領域内の画素値の極値を求めると共に、前記走査の開始位置の画素値を第2の基準値として、前記極値及び第2の基準値に基づいてエッジ検出のためのしきい値を定めるしきい値設定手段と、
    前記走査領域内の画素値が前記しきい値を最初に通過する位置をエッジ位置として定めるエッジ位置検出手段と
    を備えたことを特徴とするエッジ検出方式。
  6. 前記境界値設定手段は、
    前記走査の開始位置を含む前記画素値が一様である範囲内の微分画像の画素値の前記第1の基準値を中心としたバラツキ範囲に基づいて前記境界値を設定するものである
    ことを特徴とする請求項5記載のエッジ検出方式。
  7. 前記検出しようとするエッジ位置が前記走査領域において画素値がしきい値を最初に上回る位置か下回る位置かの条件が予め与えられ、前記画素値がしきい値を最初に上回る位置をエッジ位置として定めた場合には、この条件を満たすまでの間、前記画素値が前記第2の基準値を下回ったときにその画素値を前記第2の基準値として更新すると共にしきい値を再設定し、前記画素値がしきい値を最初に下回る位置をエッジ位置として定めた場合には、この条件を満たすまでの間、前記画素値が前記第2の基準値を上回ったときにその画素値を前記第2の基準値として更新すると共にしきい値を再設定する更新手段
    を更に備えたことを特徴とする請求項5又は6項記載のエッジ検出方式。
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