JP3594923B2 - サーモパイル式赤外線センサの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、発熱体が発する赤外線を検出するサーモパイル式赤外線センサの製造方法に係り、詳しくは、赤外線を吸収する赤外線吸収膜を有するサーモパイル式赤外線センサの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
赤外線センサにおいて、赤外線を吸収し、熱に変換する機能材料である赤外線吸収膜材料には、赤外線吸収率の高い金黒(金の超微粒子)膜やカーボン膜が用いられることが多い。金黒においては、従来技術として、例えば特公昭55−17104号公報などがある。これは、真空蒸着装置を用いて0.1Torrのアルゴンガス中で金を蒸発させて基板上に蒸着し、さらにアルゴンガスの圧力を1Torrとして再度金を蒸着させて赤外線吸収膜を作製するものである。
【0003】
また、カーボン膜については、特開平6−109535号公報等でその作製方法が述べられている。これは、赤外線吸収膜の作製に真空グロー放電法を用い、炭化水素(メタン、エチレン、アセチレン等)を分解して赤外線吸収率の高いカーボン膜を作製するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の技術に示した金黒膜は密着力が弱いという欠点があり、そのため密着力の向上方法が検討されている。上記特公昭55−17104号公報において、金黒膜の蒸着を2度に分けて行っているのは密着力を向上させるためであり、更に他の手段としては、特公昭57−29683号公報等において基板上にカーボン微粒子液をスプレー塗布し、カーボンからなる下地層を作製後、金黒膜を真空蒸着する2重層構造の赤外線吸収膜の製造方法が提案されている。これらの手段によって赤外線吸収膜の密着性は向上するが、長期耐久性に対する信頼性は充分とは言い難く、また、製造方法が複雑となるため製造コストが増加するという課題がある。
【0005】
また、上記金黒膜の作製や、特開平6−109535号公報のグロー放電によるカーボン膜の作製には、蒸着機やグロー放電装置等の真空薄膜作製装置を用い、作製した金黒膜やカーボン膜を必要な赤外線吸収膜サイズにするためには、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングするため、露光機やドライエッチング装置等の高価な製造装置が必要となり、多額な設備投資が必要となり製造コストが増加する。
【0006】
さらには、特開平6−109535号公報においては、カーボンを主材料とする赤外線吸収膜を作製した後に、基板裏面側(赤外線吸収膜の形成面とは反対側の面)を、熱容量を小さくするためにダイアフラム構造に加工するが、このとき前工程で作製されている赤外線吸収膜に含まれるカーボンによる工程汚染が懸念される。
【0007】
本発明はこのような背景の下になされたものであり、その目的は、低コストで容易に作製することができるサーモパイル式赤外線センサの製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、半導体基板の主表面側に異種材料の膜を形成する第1工程と、半導体基板の裏面側からエッチングを行って貫通孔または凹部を形成する第2工程と、半導体基板の主表面側に赤外線吸収膜をスクリーン印刷により形成する第3工程とを備え、スクリーン印刷の際に半導体基板が受ける圧力を0.25MPa以下にしたことを特徴としている。
【0009】
よって、赤外線吸収膜を形成する前に半導体基板に対しエッチングを行って貫通孔または凹部を形成することとなる。これは、赤外線吸収膜を形成した後に半導体基板に対しエッチングを行って貫通孔または凹部を形成する方式に比べ次のような効果を奏する。赤外線吸収膜の形成後にエッチングを行う方式においては、エッチングの際に、少なくとも赤外線吸収膜を覆う保護膜を配した状態でエッチングを行うとともに、エッチングが終了した後に保護膜を除去することとなる。この場合、保護膜を除去する際に、赤外線吸収膜の密着性が悪いと赤外線吸収膜が剥がれてしまう。これに対し本発明においては、赤外線吸収膜を形成する前にエッチングを行うことにより赤外線吸収膜が剥がれる問題は生じなく、剥がれ対策のために工程が複雑化することなく低コスト化を図ることができる。
【0010】
また、第1工程(異種材料膜の形成工程)と第2工程(基板エッチング工程)はクリーンルーム内で行われ、第3工程(スクリーン印刷による赤外線吸収膜形成工程)はクリーンルームの外で行われる。これは、異種材料膜の形成工程と赤外線吸収膜形成工程と基板エッチング工程とをクリーンルーム内で行う方式に比べ次のような効果を奏する。異種材料膜形成・赤外線吸収膜形成・基板エッチングの各工程をクリーンルーム内で行う方式においては、赤外線吸収膜形成の際にクリーンルームの内部環境を汚染することがある。これに対し本発明においては、異種材料膜の形成と基板エッチングがクリーンルーム内で行われた後に赤外線吸収膜形成が行われ、この赤外線吸収膜形成工程にはスクリーン印刷法が用いられクリーンルームの外で行われるので、クリーンルームの内部環境が汚染(工程汚染)されることもなく容易に製造することができる。
【0011】
また、製造装置としてスクリーン印刷機を使用することにより、スクリーン印刷では、赤外線吸収膜の形状パターンは印刷スクリーンに形成されているため、印刷と同時に赤外線吸収膜のパターニングも実施されることになり、真空蒸着法などを用いた場合に必要となるフォトリソグラフィ法などのパターニング工程やそれに用いる装置が不要となる。それ故、スクリーン印刷機は真空蒸着機等の真空薄膜装置と比較して装置が安いために、設備投資も小額となりコストダウンを図ることができる。
【0012】
特に、請求項1に記載のように、スクリーン印刷の際に半導体基板が受ける圧力を0.25MPa以下にすると、基板エッチングを行うことにより強度が低下した場合のスクリーン印刷として好ましいものとなる。
【0013】
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載のサーモパイル式赤外線センサの製造方法において赤外線吸収膜の材料がカーボンペーストであることを特徴としている。また、請求項2に記載の発明は、半導体基板の主表面側に異種材料の膜を形成する第1工程と、半導体基板の裏面側からエッチングを行って貫通孔または凹部を形成する第2工程と、半導体基板の主表面側に赤外線吸収膜をスクリーン印刷により形成する第3工程とを備え、赤外線吸収膜の材料がカーボンペーストであることを特徴としている。これら各発明のように、赤外線吸収膜の材料がカーボンペーストであると、赤外線吸収膜形成をクリーンルーム内で行う方式においてはクリーンルームの内部環境の汚染が激しい。これに対し、請求項1〜3に記載の発明においては、上述したように異種材料膜の形成と基板エッチングがクリーンルーム内で行われた後にクリーンルームの外で赤外線吸収膜の形成が行われるので、クリーンルーム内部環境の汚染対策が不要になるという効果がより顕著になる。
【0014】
特に、請求項4に記載のように、スクリーン印刷で使用するカーボンペーストとして、ポリエステル樹脂にカーボン粒子を混合したものを用いると、印刷パターン形状の良好な赤外線吸収膜を形成することができる。また、請求項5に記載のように、カーボン粒子の添加量を20wt%以上、特に、請求項6に記載のようにカーボン粒子の添加量を30〜60wt%とすると、高吸収率の膜とすることができる。
【0015】
また、請求項7に記載のように、赤外線吸収膜の中心線平均粗さを0.5μm以上とすると、低反射率の膜とすることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を具体化した実施の形態を図面に従って説明する。
本実施形態におけるサーモパイル式赤外線センサは薄膜メンブレン構造を有している。
【0017】
図1にはセンサチップ(シリコン基板)1の平面図を示すとともに、図1のA−A線での縦断面を図2に示す。なお、図1においては図2のパッシベーション膜9と赤外線吸収膜10を省いている。
【0018】
図1,2において、単結晶シリコン基板1には上下面に開口する貫通孔2が形成されている。この貫通孔2はシリコン基板1の裏面(図2での下面)から異方性エッチングを行うことにより形成したものである。シリコン基板1の上面には絶縁膜3,4,5が積層されている。絶縁膜3はシリコン窒化膜よりなり、絶縁膜4はシリコン酸化膜よりなり、絶縁膜5はシリコン窒化膜よりなる。この絶縁膜3,4,5にて貫通孔2の上面側開口部が塞がれている。
【0019】
絶縁膜3,4,5の上には、n型不純物をドープしたポリシリコン膜6がパターニングされるとともに、その上に絶縁膜7を介してアルミ薄膜8がパターニングされている。このn型ポリシリコン膜6とアルミ薄膜8とはその一部が重なるように交互に多数延設されている。即ち、帯状のn型ポリシリコン膜6と帯状のアルミ薄膜8とが直列に、かつ、一部が重なるように延設されている。
【0020】
さらに、アルミ薄膜8の上にはパッシベーション膜9が形成され、パッシベーション膜9にはシリコン酸化膜、あるいはTEOS膜が使用されている。このパッシベーション膜9の上における所定領域には赤外線吸収膜10が形成され、赤外線吸収膜10の材料にはカーボンが使われている。赤外線吸収膜10の膜厚は約6μmである。
【0021】
図1,2において赤外線吸収膜10はシリコン基板1の中央部において四角形状をなすように配置されている。赤外線吸収膜10の下においてn型ポリシリコン膜6とアルミ薄膜8との第1の重なり部(接合部)11が位置するとともに、第2の重なり部(接合部)12が赤外線吸収膜10の無い箇所(赤外線吸収膜10よりも外側)に位置している。よって、赤外線吸収膜10による赤外線吸収によって接合部11の温度は上昇する。また、接合部11が貫通孔2の開口部の上に位置し、接合部12が貫通孔2の開口部よりも外側(基板1における貫通孔2の無い部位)に位置している。この接合部11と接合部12が一対をなし、この対が多数形成され、ゼーベック係数を持つ熱電対群(サーモパイル)が構成されている。接合部11が温接点となり、接合部12が冷接点となる。
【0022】
このように、半導体基板1の上に異種材料6,8が交互に多数直列に延設され、一つおきの接合部11が赤外線吸収膜10にて覆われるとともにその下方での半導体基板1に基板1の上下両面に開口する貫通孔2が設けられている。この基板1上面での開口部に薄膜メンブレン構造のセンサエレメントEs(図2参照)が形成されており、これにより、温接点11の部分は貫通孔2により熱容量が小さく、接点12はシリコン基板1上に形成されているためシリコン基板1がヒートシンクの役目を果たす。
【0023】
ここで、基板1に形成した貫通孔2の上面開口部は縦横寸法が各々1mmであり、赤外線吸収膜10の縦横寸法が各々0.8mmである。
また、温接点11と冷接点12の温度差により発生する起電力が、異種材料(6,8)による熱電対を直列接続した直列回路の両端子13,14(図1参照)から取り出される。つまり、サーモパイル(熱電対群)は、直列に接続され、第1端子13と第2端子14でセンサ出力を取り出す構造となっており、出力を大きくするため通常、数十本〜百本程度の熱電対が接続されている。
【0024】
そして、赤外線が入射すると、図1,2における赤外線吸収膜10に吸収される。そして、熱に変わる。この熱によりn型ポリシリコン膜6とアルミ薄膜8との重なり部(接合部)11,12に起電力が発生する。この起電力がセンサ信号として外部に送られる。
【0025】
より具体的には、人体などから赤外線が放射されると、赤外線吸収膜10に赤外線が吸収され、温度上昇が起こる。その結果、赤外線吸収膜10の下に配置された温接点11の温度が上昇する。冷接点12は、シリコン基板1がヒートシンクとなっているため温度上昇は起きない。その結果、温接点11と冷接点12間に温度差が生じ、ゼーベック効果により起電力が発生する。この起電力により温度測定が可能となる。
【0026】
次に、サーモパイル式赤外線センサの製造方法を、図3〜図6を用いて説明する。
まず、図3に示すように、ウェハ状のシリコン基板1を用意し、ウェハ状シリコン基板1の主表面(上面)に絶縁膜3,4,5とポリシリコン膜6と絶縁膜7とアルミ薄膜8とパッシベーション膜9を、真空薄膜装置とフォトリソグラフィ法を用いて形成する。詳しくは、基板1の上にシリコン窒化膜3とシリコン酸化膜4とシリコン窒化膜5を順に成膜する。また、ウェハ状シリコン基板1の裏面(下面)に、異方性エッチングの際のマスク材となるシリコン窒化膜20を成膜するとともに開口部21を形成する(パターニングする)。さらに、絶縁膜3,4,5の上に、n型不純物をドープしたポリシリコン膜6を形成(パターニング)するとともに、その上に絶縁膜7を介してアルミ薄膜8を形成(パターニング)する。さらには、アルミ薄膜8の上をパッシベーション膜(TEOS膜)9で覆う。なお、絶縁膜3,4,5,7,9も所望の形状にパターニングされる。
【0027】
これらの材料の厚みtは、シリコン基板1の裏面からのエッチング加工による貫通孔2の作製後において、積層膜(薄膜メンブレン)が座屈を起こさないように考慮して作成される。具体的には、t=1.5〜2.8μmである。
【0028】
そして、図4に示すように、ウェハ状シリコン基板1における主表面側(サーモパイル構成面)にエッチング保護膜30を全面に形成する。エッチング保護膜30としては有機樹脂材(レジスト材)を用いる。この状態で、ウェハ状シリコン基板1における裏面(サーモパイル構成面とは反対側の面)からシリコン窒化膜20をマスクとして開口部21を通して異方性エッチングを行って貫通孔2を形成する。詳しくは、ウェハ状シリコン基板1における裏面を、水酸化カリウム等のアルカリエッチング液にて異方性エッチングにより掘り込み、貫通孔2を形成する。エッチング量はエッチング時間によって調整され、シリコンが完全に取り除かれた時点でエッチングを終了する。
【0029】
引き続き、図5に示すように、エッチング保護膜30を除去する。このとき、未だ赤外線吸収膜10が形成されていないので、赤外線吸収膜10の密着性が問題となることはない。
【0030】
さらに、図6に示すように、ウェハ状シリコン基板1における主表面側(サーモパイル構成面側)、即ち、TEOS膜9上の所定領域にスクリーン印刷法によりカーボンペーストを塗布し、乾燥させることで赤外線吸収膜10を形成する。このスクリーン印刷を図7を用いて説明する。本実施形態ではオフコンタクト方式を採用しており、セットしたウェハ40のわずかに上方においてスクリーン41が配置されている。スクリーン41はスクリーン枠42の内側において張設されている。そして、スクリーン41の上にカーボンペースト43を配置してスキージ44をウェハ40側に押し付けながらスキージ44を横方向に移動させることにより印刷が行われる。
【0031】
この時、ウェハ40(ウェハ状シリコン基板1)が受ける圧力F3を0.25MPa以下にする。これは、印刷圧力が強すぎると薄膜積層体(図6の符号3,4,5,6,7,8,9の部材)が破壊されてしまうため、印刷圧力を制御する必要であるからである。
【0032】
また、スクリーン印刷で使用するカーボンペースト43として、ポリエステル樹脂にカーボン粒子を混合したものを用いている。より詳しくは、カーボン粒子(黒鉛粒子)として、赤外線吸収率を上げるため平均粒径が2〜3μmであり、カーボン粒子の添加量を20wt%以上、特に、30〜60wt%としている。
【0033】
そして、スクリーン印刷が終了すると、ウェハ状シリコン基板1を炉に入れて加熱(乾燥)する。これにより、カーボンペーストが固化され赤外線吸収膜10が形成される。ここで、赤外線吸収膜10の中心線平均粗さRaを0.5μm以上となるようにしている。
【0034】
その後、ウェハ状シリコン基板1をダイシングすると、図2に示すサーモパイル式赤外線センサが完成する。
図8には、スクリーン印刷の際の印刷圧力の最適化を図るために行った実験結果を示す。図8の横軸にスクリーン印刷の際に基板1が受ける圧力F3(図7参照)をとり、縦軸には薄膜メンブレンの破壊発生率をとっている。横軸の基板1が受ける圧力F3は、図7においてスキージ44がスクリーン41を押す力(スキージ圧)をF1とし、スクリーン41の復元力(弾力)をF2としたときに、スキージ圧F1からスクリーン復元力F2を差し引いた下向きの力(=F1−F2)である。また、この実験での薄膜メンブレンの厚さ(図3での膜3,4,5,6,7,8,9のトータル厚さ)tは1.5〜2.8μmである。さらに、基板1に形成した貫通孔2の上面開口部は縦横寸法が各々1mmである。
【0035】
この図8から、基板が受ける圧力(面圧)が0.25MPaを境に薄膜メンブレンの破壊確率が急激に高くなることが分かる。よって、貫通孔2を形成した後に、厚さ約6μmの赤外線吸収膜を、カーボンペーストを用いたスクリーン印刷で作製する場合には、基板が受ける圧力(面圧)は0.25MPa以下の設定で行うのが好ましい。
【0036】
図9〜図13には、赤外線吸収膜を形成するためのカーボンペーストに関する各種の実験結果を示す。
図9には、ポリエステル樹脂ペースト(ポリエステル樹脂にカーボン粒子を添加したもの)とフェノール樹脂ペースト(フェノール樹脂にカーボン粒子を添加したもの)における印刷形状を評価するための平面図を示す。つまり、TEOS膜の上に、ポリエステル樹脂ペーストを正方形にスクリーン印刷した場合と、フェノール樹脂ペーストを正方形にスクリーン印刷した場合における形状(平面図)を示す。この図から、フェノール樹脂ペーストに比べてポリエステル樹脂ペーストの方が印刷形状が優れているのが確認できた。なお、カーボン粒子は、赤外線吸収率を上げるために平均粒径を2〜3μmとしている。
【0037】
このように、樹脂成分にフェノール樹脂(あるいはポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂)を用い、カーボン粒子(グラファイト)を添加したものをペーストとしてスクリーン印刷法によってパターニングを行う場合には、赤外線センサの最表面材料となるガラス系材料(例えばTEOS膜、広義にはシリコン系膜)に対する濡れ性や密着性が良くない。そのため、例えば赤外線吸収膜寸法として用いられる縦横1mm程度の微小形状を形成した場合、パターン形状が悪い。これに対し、スクリーン印刷に適用する赤外線吸収膜材料として、赤外線吸収膜形成部となる赤外線センサ最表面材料のガラス系材料との濡れ性や密着性の良いポリエステル系樹脂を用い、赤外線吸収率を高めるためにカーボンを添加してカーボンペーストとすることにより、低コストで赤外線吸収率が高く、印刷パターン形状の良好な赤外線吸収膜を形成することができる。
【0038】
一方、赤外線吸収率、赤外線透過率、赤外線反射率の間には、これらの和が100%となる関係があり、赤外線吸収率を向上させるには、赤外線透過率と赤外線反射率の低減が必要である。図10には、カーボン添加量に対する赤外線透過率の測定結果を示す。この図10から、赤外線透過率はぺ一スト中のカーボン量を増加することでカーボンによる吸収が増加し、透過率が低減することが分かる。特にカーボン添加量を20wt%以上とすることで急激に低減することができる。
【0039】
図11には、表面粗さに対する赤外線反射率の測定結果を示す。赤外線反射率は吸収膜の表面粗さを増大することで、つまり、膜表面での多重反射が増大することで反射率が低減し、表面粗さ(中心線平均粗さRa:JIS B0601−1994)が0.5μm以上で反射率10%以下と低反射率を得ることができることが分かる。
【0040】
図12には、カーボン添加量に対する表面粗さの測定結果を示す。この図12から、カーボンの添加量によって表面粗さは変化し、カーボン添加量が20wt%以上で、表面粗さ0.5μm以上が得られ、低反射率とすることができることが分かる。なお、カーボンの添加量がさらに増加することで表面粗さが低下しているのは、カーボンにより吸収膜の充填密度が上がり、カーボン粒子間の隙間が無くなるためである。
【0041】
図13には、カーボン添加量に対する赤外線吸収率の測定結果を示す。この図13から、ポリエステル樹脂にカーボンを20wt%以上添加し、特に30〜60wt%添加することで、赤外線吸収率が90%を越える高い吸収率の赤外線吸収膜を得ることができることが分かる。
【0042】
なお、上記測定に用いた赤外線波長は10μmである。また、電磁波の吸収体は、波長の1/4以上において吸収特性が優れることより、赤外線吸収膜の厚みは3μm以上として評価を行った。
【0043】
このように、本製造方法によれば、赤外線吸収膜の作製に真空薄膜装置やその加工装置(露光機、ドライエッチング装置等)の高価な装置を必要としないため、製造コストを低減することが可能であり、また、赤外線吸収率が高く、パターン形状の良好な赤外線吸収膜を形成することができる。
【0044】
以上説明してきたように本実施形態は、下記の特徴を有する。
(イ)サーモパイル式赤外線センサの製造方法として、図3に示すようにウェハ状シリコン基板1の主表面側に異種材料の膜6,8を形成した後において、図4で示すようにウェハ状シリコン基板1の裏面側からエッチングを行って貫通孔2を形成し、その後に、図6に示すようにウェハ状シリコン基板1の主表面側に赤外線吸収膜10をスクリーン印刷によって形成するようにした。よって、赤外線吸収膜(10)の形成後にエッチングを行う方式においては、エッチングの際に、少なくとも赤外線吸収膜(10)を覆う保護膜(図4の符号30に示す部材)を配した状態でエッチングを行うとともに、エッチングが終了した後に保護膜(30)を除去することとなり、保護膜(30)を除去する際に、赤外線吸収膜(10)の密着性が悪いと赤外線吸収膜(10)が剥がれてしまう。これに対し本実施形態においては、赤外線吸収膜10を形成する前にエッチングを行うことにより赤外線吸収膜10が剥がれる問題は生じなく、剥がれ対策のために工程が複雑化することなく低コスト化を図ることができる。
【0045】
また、異種材料膜6,8の形成工程と基板エッチング工程はクリーンルーム内で行われ、スクリーン印刷による赤外線吸収膜形成工程はクリーンルームの外で行われる。よって、異種材料膜形成・赤外線吸収膜形成・基板エッチングの各工程をクリーンルーム内で行う方式においては、赤外線吸収膜形成の際にクリーンルームの内部環境を汚染することがあるが、本実施形態においては、異種材料膜6,8の形成と基板エッチングがクリーンルーム内で行われた後に赤外線吸収膜形成が行われ、この赤外線吸収膜形成工程にはスクリーン印刷法が用いられクリーンルームの外で行われるので、クリーンルームの内部環境が汚染(工程汚染)されることもなく容易に製造することができる。
【0046】
さらに、製造装置としてスクリーン印刷機を使用することにより、スクリーン印刷では、赤外線吸収膜10の形状パターンは印刷スクリーン(図7の符号41で示す部材)に形成されているため、印刷と同時に赤外線吸収膜10のパターニングも実施されることになり、真空蒸着法などを用いた場合に必要となるフォトリソグラフィ法などのパターニング工程やそれに用いる装置が不要となる。その結果、スクリーン印刷機は真空蒸着機等の真空薄膜装置と比較して装置が安いために、設備投資も小額となりコストダウンを図ることができる。
(ロ)スクリーン印刷の際にウェハ状シリコン基板1が受ける圧力を0.25MPa以下にするようにしたので、基板エッチングを行うことにより強度が低下した場合のスクリーン印刷として好ましい。
(ハ)赤外線吸収膜10の材料がカーボンペーストである。これは、赤外線吸収膜形成をクリーンルーム内で行う方式においてはクリーンルームの内部環境の汚染が激しく、本実施形態においては、上述したように異種材料膜の形成と基板エッチングがクリーンルーム内で行われた後にクリーンルームの外で赤外線吸収膜の形成が行われるので、クリーンルーム内部環境の汚染対策が不要になるという効果がより顕著になる。
【0047】
特に、スクリーン印刷で使用するカーボンペーストとして、ポリエステル樹脂にカーボン粒子を混合したものを用いたので、印刷パターン形状の良好な赤外線吸収膜を形成することができる。また、カーボン粒子の添加量を20wt%以上(特に30〜60wt%)としたので、図13のごとく高吸収率の膜とすることができる。また、赤外線吸収膜10の中心線平均粗さRaを0.5μm以上としたので、図11のごとく低反射率の膜とすることができる(表面粗さRaを0.5μm以上にするためには図12のごとくカーボン粒子の添加量を約20wt%以上にすればよい)。より具体的には、例えば、赤外線吸収膜材料にカーボン粒子を含有したポリエステル樹脂を用い、カーボン添加量を30〜60wt%、吸収膜の表面粗さRaを1μm以上、膜厚を3μm以上とすることで、赤外線吸収率が90%以上の高吸収率な赤外線吸収膜を得ることができる。
【0048】
これまでの説明においてはシリコン基板1には貫通孔2を形成したが、貫通孔2の代わりに、図14に示すように、下面に開口する凹部50を形成してもよい。即ち、基板1にダイヤフラム(薄肉部)51を形成し、その上にサーモパイルの温接点11を配置する。この場合には、図4に代わる図15に示すように、基板エッチングの際にエッチング時間を調整してエッチングを基板主表面に達する前に終了させればよい。なお、シリコン薄膜部51の厚さは薄いほど赤外線を吸収する部分の熱容量が小さくでき、温接点と冷接点の温度差が大きくなるのでセンサ感度は向上する。
【0049】
また、赤外線吸収膜10の材料としてカーボンペーストを用いたが、他の材料を使用する場合に適用してもよい。
さらに、スクリーン印刷はオフコンタクト方式ではなくコンタクト方式を用いてもよく、この場合においては基板が受ける圧力としてはスキージによる圧力を0.25MPa以下にすればよい(図7でのF2=0となるので、F1=F3≦0.25MPa)。
【0050】
さらには、図4においてウェハ状シリコン基板1のエッチングの際に基板主表面側を保護材30にて覆ったが、ウェハ状基板1の裏面のみのエッチングを行うことができる場合には保護材30は不要となる。ここで、従来方式と本方式を比較すると次のようになる。従来、裏面加工時の加工材料(ウエットエッチングに用いられるKOHなどのアルカリエッチング液や、ドライエッチングに用いられるSF6などの反応性ガス)から赤外線吸収膜を保護するための保護材の作製および加工後の保護材剥離のための装置・工程が必要であり、製造コストが増加してしまっていた。これに対し、基板エッチング後に赤外線吸収膜10を形成する本方式においては、上述したように工程汚染の懸念が少なくなる他、基板エッチング時の赤外線吸収膜を保護するための保護材の作製および加工後の保護材剥離のための装置・工程が不要となり、製造コストを低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態におけるセンサチップ(シリコン基板)の平面図。
【図2】図1のA−A線での縦断面図。
【図3】サーモパイル式赤外線センサの製造方法を説明するための縦断面図。
【図4】サーモパイル式赤外線センサの製造方法を説明するための縦断面図。
【図5】サーモパイル式赤外線センサの製造方法を説明するための縦断面図。
【図6】サーモパイル式赤外線センサの製造方法を説明するための縦断面図。
【図7】スクリーン印刷を説明するための図。
【図8】印刷の際の印圧(面圧)と薄膜エンブレン破壊との関係の測定結果を示す図。
【図9】印刷形状の測定結果を示す図。
【図10】赤外線透過率についてのカーボン添加量の依存性を示す図。
【図11】反射率についての表面粗さの依存性を示す図。
【図12】表面粗さについてのカーボン添加量の依存性を示す図。
【図13】赤外線吸収率についてのカーボン添加量の依存性を示す図。
【図14】別例におけるセンサチップ(シリコン基板)の縦断面図。
【図15】別例におけるサーモパイル式赤外線センサの製造方法を説明するための縦断面図。
【符号の説明】
1…シリコン基板、2…貫通孔、3…シリコン窒化膜、4…シリコン酸化膜、5…シリコン窒化膜、6…ポリシリコン膜、8…アルミ薄膜、10…赤外線吸収膜、11…接合部、12…接合部、43…カーボンペースト、50…凹部、51…ダイヤフラム。
Claims (7)
- 半導体基板(1)の上に異種材料の膜(6,8)が交互に多数直列に延設され、一つおきの接合部(11)が赤外線吸収膜(10)にて覆われるとともにその下方での半導体基板(1)に貫通孔(2)または下面に開口する凹部(50)を設けたサーモパイル式赤外線センサの製造方法であって、
半導体基板(1)の主表面側に前記異種材料の膜(6,8)を形成する第1工程と、
半導体基板(1)の裏面側からエッチングを行って前記貫通孔(2)または凹部(50)を形成する第2工程と、
半導体基板(1)の主表面側に前記赤外線吸収膜(10)をスクリーン印刷により形成する第3工程と、
を備え、
前記スクリーン印刷の際に半導体基板(1)が受ける圧力を0.25MPa以下としたことを特徴とするサーモパイル式赤外線センサの製造方法。 - 半導体基板(1)の上に異種材料の膜(6,8)が交互に多数直列に延設され、一つおきの接合部(11)が赤外線吸収膜(10)にて覆われるとともにその下方での半導体基板(1)に貫通孔(2)または下面に開口する凹部(50)を設けたサーモパイル式赤外線センサの製造方法であって、
半導体基板(1)の主表面側に前記異種材料の膜(6,8)を形成する第1工程と、
半導体基板(1)の裏面側からエッチングを行って前記貫通孔(2)または凹部(50)を形成する第2工程と、
半導体基板(1)の主表面側に前記赤外線吸収膜(10)をスクリーン印刷により形成する第3工程と、
を備え、
前記赤外線吸収膜(10)の材料がカーボンペーストであることを特徴とするサーモパイル式赤外線センサの製造方法。 - 請求項1に記載のサーモパイル式赤外線センサの製造方法において、
前記赤外線吸収膜(10)の材料がカーボンペーストであることを特徴とするサーモパイル式赤外線センサの製造方法。 - 請求項2または3に記載のサーモパイル式赤外線センサの製造方法において、
前記スクリーン印刷で使用するカーボンペーストとして、ポリエステル樹脂にカーボン粒子を混合したものを用いたことを特徴とするサーモパイル式赤外線センサの製造方法。 - 請求項4に記載のサーモパイル式赤外線センサの製造方法において、
カーボン粒子の添加量を20wt%以上としたことを特徴とするサーモパイル式赤外線センサの製造方法。 - 請求項4に記載のサーモパイル式赤外線センサの製造方法において、
カーボン粒子の添加量を30〜60wt%としたことを特徴とするサーモパイル式赤外線センサの製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のサーモパイル式赤外線センサの製造方法において、
赤外線吸収膜(10)の中心線平均粗さを0.5μm以上としたことを特徴とするサーモパイル式赤外線センサの製造方法。
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