JP3585687B2 - 半導体試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体試験装置に係り、特に複数台のテスタによる半導体の試験において、キャリブレーションを行うのに適切な半導体試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、半導体製造プラントにおいては、各種テスト項目毎に対応してラインに組み込まれたテスタが半導体試験装置として用いられている。
【0003】
このような半導体試験装置は、当然のことながら、キャリブレーションを行い、測定誤差を生じないように維持管理されている。
【0004】
図4は、かかる従来の半導体試験装置のブロック図である。
【0005】
テスタ10は、テスタ出力のための信号源11を内蔵している。そして、この信号源11の出力測定のために測定器12が備えられている。そして、スイッチ13が信号源11と測定器12の間に設けられている。さらに、テスタ10の外部にリファレンス信号発生器14を準備し、測定ラインのスイッチ(リレー)15を通じて、測定器12に接続可能としている。
【0006】
以上、述べたような構成において、キャリブレーション時には、まず測定器12の校正から実施する。この場合、測定ラインのスイッチ(リレー)15を接続して、リファレンス信号発生器14からの信号を測定器12で測定し、リファレンス信号のファクタと測定値の誤差を算出し、まず、測定器12の誤差を校正する。
【0007】
次に、内部の信号源11の校正に入るが、この場合、スイッチ(リレー)13を閉じて、信号源11の出力信号をスイッチ(リレー)13を通じて測定器12に導き、設定値と測定値の誤差を算出し、信号源11の出力を調整する。
【0008】
以上述べたような動作を通じて、外部に配置した校正済のリファレンス信号発生器14により、まず測定器12の誤差を校正し、この測定器12を用いて、テスタ10の内部の信号源11を校正するので、リファレンス信号発生器14の出力信号を基準に信号源11の校正ができ、精度の高いキャリブレーションが可能になる。
【0009】
一方、複数台のテスタ10の間の誤差も、全てのテスタ10に対して同様のキャリブレーション操作を行うことにより、低減することが可能である。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
従来の半導体試験装置は以上のように構成されていたので、以下に述べるような問題点がある。
【0011】
まず、キャリブレーションのための操作は、全てにわたり、人手により行うことになるため、非常に手数がかかり、日常的な運用が困難であるという問題点がある。
【0012】
特に、テスタ10の台数が多い半導体工場などの場合には、その手数は膨大であり、実際に運用する場合にも、テスタ10の保守、管理の作業手番に人手によるキャリブレーションを組み込むのは非常に労力を要する。
【0013】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解消し、テスタのキャリブレーションに関わる手数を大幅に簡略化すると共に、複数台のテスタの機間誤差を低減できる半導体試験装置を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、第1のアナログテスタ出力を行う第1の信号源と、前記第1の信号源の第1のアナログテスタ出力をキャリブレーションのために測定する第1の測定手段と、を備える第1のテスタ手段と、第2のアナログテスタ出力を行う第2の信号源と、前記第2の信号源の第2のアナログテスタ出力をキャリブレーションのために測定する第2の測定手段と、を備える第2のテスタ手段と、前記第1の信号源の前記第1のアナログテスタ出力を第1のディジタルテスタ出力に変換して第1のディジタルバスに前記第2の測定手段のキャリブレーションを行うためのリファレンスとして送り出す第1のAD変換手段と、この第1のディジタルバス上の前記第1のデジタルテスタ出力をアナログ波形の形で前記第2の測定手段に与える第2のDA変換手段と、前記第2の信号源の前記第2のアナログテスタ出力をキャリブレーションの結果ないしは経過の確認のために第2のデジタルテスタ出力に変換して第2のディジタルバスに送り出す第2のAD変換手段と、前記第2のディジタルバス上の前記第2のデジタルテスタ出力をアナログ波形の形で前記第1の測定手段に与える第1のDA変換手段と、を備えることを特徴とする、半導体試験装置を提供するものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の試験装置の実施の形態を説明する。
実施例1.
図1は、本発明の実施例1の半導体試験装置のブロック図である。
【0016】
図において示すように、このシステムでは2台のテスタ10A、10Bが運用されているものとする。各テスタ10A、10Bには、それぞれテスタ出力のための信号源11A、11Bが内蔵されている。また、各信号源11A、11Bには、その出力信号を測定するための測定器12A、12Bが備えられている。各テスタ10A、10Bには、信号入出力装置16A、16Bが付属装置として設けられる。信号入出力装置16A、16BはそれぞれAD変換器17A、17BとDA変換器18A、18Bを備えており、テスタ10A、10Bの内部のアナログ信号をディジタル信号に変換して外部とやりとりできる機能を有する。なお、信号入出力装置16A、16Bのそれぞれの間のディジタル信号のやりとりはフレキシブルディスク等のディジタル的にデータを記録可能な記憶手段19により行われる。
【0017】
以上、述べたような構成において、次にその動作を説明する。
【0018】
まず、テスタ10Aに関して言えば、まず外部に設けた校正済のリファレンス信号発生器14を用いて、その測定器12Aの校正を手動により実施する。
【0019】
次に、以上のようにして校正された測定器12Aを用いて、テスタ10Aの内部の信号源11Aの出力波形のキャリブレーションをテスタ10A自身で行う。
【0020】
キャリブレーションを終了したテスタ10Aの各部の信号波形は、校正が完璧に行われている限り、他のテスタ10Bに対してリファレンスとなり得る。そして、このリファレンスデータは信号入出力装置16Aに内蔵されるAD変換器17Aによりディジタル値に変換される。
【0021】
以上のようにしてディジタル値に変換されたテスタ10Aからのリファレンスデータは、フレキシブルディスク等のディジタル的にデータを記録可能な記憶手段19に保存される。
【0022】
このフレキシブルディスク等のディジタル的にデータを記録可能な記憶手段19は、今度は、テスタ10Bの信号入出力装置16Bにかけられ、読み込まれる。信号入出力装置16Bに読み込まれたディジタルリファレンスデータは、信号入出力装置16BのDA変換器18Bによりディジタルデータからアナログ波形に変換される。
【0023】
テスタ10Bの測定器12Bは、今度は、信号入出力装置16Bから与えられるリファレンスアナログ波形にしたがって、テスタ10Bの内部シーケンスに基づいて、キャリブレーションを実施する。その結果、測定器12Bの校正が自動的に実施される。
【0024】
以上のようにして、測定器12Bの構成が終了した後に、更にテスタ10Bの内部シーケンスにしたがって、測定器12Bを用いて信号源11Bのキャリブレーションを行い、これを校正する。
【0025】
その結果、テスタ10A、10Bの各信号源11A、11Bは全く同じ状態に校正されることになる。
【0026】
なお、実施例では、テスタ10Aがリファレンスデータを発生する側、テスタ10Bがリファレンスデータを受け取る側として、それぞれ一台づつを例示したが、リファレンスデータを受け取る側は、テスタ10B以外にも何台でもよいことはもちろんである。
【0027】
以上のような構成によれば、リファレンス信号発生器14などの外部機器を用いての人手によるキャリブレーションはテスタ10Aの一台のみについて実施すればよく、他のテスタ10Bについては、フレキシブルディスク等のディジタル的にデータを記録可能な記憶手段19でリファレンスデータを与えれば、テスタ10B自身が自動的にキャリブレーションを実施するので、運用が容易になる。
【0028】
また、フレキシブルディスク等のディジタル的にデータを記録可能な記憶手段19に記録された共通のリファレンスデータで全てのテスタをキャリブレーションするので、テスタ間の精度ばらつきが少なくなり、精度の高い半導体装置の測定が可能になる。
【0029】
また、多数のテスタがフレキシブルディスク等のディジタル的にデータを記録可能な記憶手段19を媒介としてキャリブレーション用のリファレンスデータを共有するので、フレキシブルディスク等のディジタル的にデータを記録可能な記憶手段19を郵送したり、内容をデータ伝送したりすることにより、遠く離れた場所に設置されたテスタにも、同じキャリブレーションデータを与えることが可能となり、遠隔地の機間誤差も低減することができる。
【0030】
また、多数のテスタに対して、人手をかけずに、容易にキャリブレーションを実施できるので、半導体工場運用に当たっての人件費の削減、テスタダウンの時間の削減など、運用経費からみてもメリットが大きい。
実施例2.
図2は、本発明の実施例2の半導体試験装置のブロック図である。
【0031】
同図の構成の、図1の構成と異なる点は、信号入出力装置16A、16Bにそれぞれネットワークインターフェース20A、20Bが設けられており、各ネットワークインターフェース20A、20Bの間が通信回線21で接続されていることである。
【0032】
以上、述べたような構成において、次にその動作を説明する。
【0033】
まず、テスタ10Aに関して言えば、まず外部に設けた校正済のリファレンス信号発生器14を用いて、その測定器12Aの校正を手動により実施し、次に、校正された測定器12Aを用いて、テスタ10Aの内部の信号源11Aの出力波形のキャリブレーションをテスタ10A自身で行う。
【0034】
以上のようにして、キャリブレーションを終了したテスタ10Aの各部の信号波形は、他のテスタ10Bに対してリファレンスとするために、信号入出力装置16Aに内蔵されるAD変換器17Aによりディジタル値に変換される。
【0035】
以上のようにしてディジタル値に変換されたテスタ10Aからのリファレンスデータは、ネットワークインターフェース20Aを通じて通信回線21に送り出される。
【0036】
一方、テスタ10Bは通信回線21を通じて送られてくるリファレンスデータを、ネットワークインターフェース20Bから信号入出力装置16Bを通じて取り込まれる。このようにして信号入出力装置16Bに読み込まれたディジタルリファレンスデータは、DA変換器18Bによりディジタルデータからアナログ波形に変換される。
【0037】
テスタ10Bの測定器12Bは、今度は、信号入出力装置16Bから与えられるリファレンスアナログ波形にしたがって、テスタ10Bの内部シーケンスに基づいて、キャリブレーションを実施する。その結果、測定器12Bの校正が自動的に実施される。
【0038】
以上のようにして、測定器12Bの構成が終了した後に、更にテスタ10Bの内部シーケンスにしたがって、測定器12Bを用いて信号源11Bのキャリブレーションを行い、これを校正する。
【0039】
その結果、テスタ10A、10Bの各信号源11A、11Bは全く同じ状態に校正されることになる。
【0040】
なお、実施例では、テスタ10Aがリファレンスデータを発生する側、テスタ10Bがリファレンスデータを受け取る側として、それぞれ一台づつを例示したが、リファレンスデータを受け取る側は、テスタ10B以外にも何台でもよいことはもちろんである。
【0041】
以上のような構成によれば、実施例1と同様な効果が得られるだけでなく、通信回線21を通じて全てのテスタ10A、10Bが接続されるので、全く人手を介することなく、リファレンスデータの配信が可能となる。その結果、テスタ10Aに通信回線21を通じて接続される全てのテスタは、それぞれの必要に応じて、テスタ10Aからキャリブレーションようのリファレンスデータを受け取ることができるので、キャリブレーションのための手番設定が大幅に簡略化される。また、通信回線21は、国内外問わず、世界中にネットワーク可能であるので、広範囲に展開する半導体工場の全てのテスタに対して、ほとんど待ち時間なくキャリブレーション用のリファレンスデータを与えることができるので、グローバルな運用が可能である。
実施例3.
図3は、本発明の実施例3の半導体試験装置のブロック図である。
【0042】
図において示すように、このシステムではN台のテスタ10A〜10Nが運用されている。
【0043】
そして、テスタ10Aにおいて、測定器12Aには、測定ラインのスイッチ(リレー)15を介して、リファレンス信号発生器14が接続可能に構成される。また、信号源11Aにはスイッチ(リレー)13Aを介して測定器12Aが接続可能に構成される。
【0044】
テスタ10Aの信号源11Aには、AD変換器22Aが接続され、信号源11Aの出力信号波形をディジタル変換してバスライン26に出力するように構成される。
【0045】
一方、テスタ10Aの測定器12Aには、DA変換器23Aが接続され、バスライン27のディジタル信号をアナログ波形で取り込むように構成される。
【0046】
なお、先にも述べたように、テスタは、テスタ10Aの他、テスタ10B〜10Nが運用されている。
【0047】
そして、テスタ10B〜10Nは、ぞれぞれ信号源11B・・・11Nと、これらの信号源11B・・・11Nにスイッチ(リレー)13B・・・13Nを介して接続される測定器12B・・・12Nを備えている。
【0048】
更に、テスタ10B〜10Nにおいて、測定器12B・・・12NにはDA変換器25B、25C・・・25Nが接続されており、スイッチ(リレー)29B、29C・・・29Nを介して、バスライン26からのリファレンスディジタルデータがアナログ変換され、取り込まれるように構成される。
【0049】
一方、テスタ10B〜10Nにおいて、信号源11B・・・11Nには、AD変換器24B、24C・・・24Nが接続されており、スイッチ(リレー)28B、28C・・・28Nを介して、バスライン27に、それぞれの出力アナログ波形をディジタル変換して送り出すように構成される。
【0050】
以上述べたような構成において、次にその動作を説明する。
【0051】
このシステムではN台のテスタ10A〜10Nが運用されている。
【0052】
まず、テスタ10Aに関して言えば、まず外部に設けた校正済のリファレンス信号発生器14と測定ライン15を介して接続し、得られる波形に基づき、その測定器12Aの校正を人手により実施する。校正終了後、測定ライン15を切り離す。
【0053】
次に、テスタ10Aの内部のスイッチ13Aを閉じて、校正された測定器12Aを用いて、テスタ10Aの内部の信号源11Aの出力波形のキャリブレーションをテスタ10A自身で行う。
【0054】
キャリブレーションを終了したテスタ10Aの各部の信号波形は、校正が完璧に行われている限り、他のテスタ10B〜10Nに対してリファレンスとなり得る。そして、このリファレンスデータは、信号源11Aから、AD変換器22Aを通じてディジタルデータに変換され、バスライン26に出力される。
【0055】
各テスタ10B〜10Nにおいては、スイッチ29B、29C・・・29Nを制御して、バスライン26のリファレンスディジタルデータを、それぞれのDA変換器25B、25C・・・25Nを通じてアナログ波形に変換して取り込み、これを測定器12B・・・12Nに与える。そして、テスタ10Aの信号源11Aの出力信号をリファレンスとして、それぞれの測定器12B・・・12Nをキャリブレーションし、校正する。
【0056】
次に、各テスタ10B〜10Nにおいては、それぞれの内部のスイッチ13B・・・13Nを制御して、それぞれの内部で、信号源11B・・・11Nに測定器12B・・・12Nを接続して、それぞれの信号源11B・・・11Nのキャリブレーションを行い、校正を行う。
【0057】
以上、述べたようにして、まずリファレンス信号発生器14に合わせて、測定器12Aをキャリブレーションして、これを校正し、次に、この測定器12Aに基づいて、テスタ10Aの信号源11Aをキャリブレーションして、これを校正し、次に、この信号源11Aの出力信号をリファレンスとして、他のテスタ10B〜10Nの各測定器12B・・・12Nを校正し、最後に、他のテスタ10B〜10Nにおいて、それぞれ校正された測定器12B・・・12Nに基づいて、それぞれの信号源11B・・・11Nを校正することができるが、この場合、全てのテスタ10A、10B・・・10Nは、機器間の誤差を最小にした形でのキャリブレーションが可能である。
【0058】
なお、以上のキャリブレーションの途中ないしは、終了後に、信号源11B・・・11Nの出力信号のアナログ波形は、AD変換器24B、24C・・・24Nを通じてディジタルデータに変換し、スイッチ28B、28C・・・28Nを通じてバスライン27に出力可能であるので、バスライン27のディジタルデータをDA変換器23Aを通じて測定器12Aで測定することにより、キャリブレーションの結果ないしは途中経過をテスタ10A側で確認することが可能である。その結果、全てのテスタ10A、10B・・・10Nにおける、キャリブレーションの結果が、初期の値に設定されたかどうかを、テスタ10Aのところの一か所で確認することができる。
【0059】
なお、以上の、全てのキャリブレーション操作は、リファレンス信号発生器14などの外部機器を用いての人手によるキャリブレーション操作を除けば、ほとんど自動的に実施可能であり、人手を要しないという利点がある。
【0060】
また、バスライン27を介して、キャリブレーション結果をモニタできるので、信頼性を向上させる上でも効果的である。
【0061】
なお、実施例3では、バスライン26やバスライン27を通じて、テスタ10A、10B・・・10N間のデータのやり取りを行うような構成を例示したが、実施例2のように、通信回線21を介して全ての機器を接続することにより、全てのテスタが広範囲に設置されていても、集中的にキャリブレーションと校正を実施することができるので、得られる効果が非常に大きい。
【0062】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の半導体試験装置は、複数台のテスタのキャリブレーションを行うに当たり、一台のテスタをキャリブレーションした結果をリファレンスとして、他のテスタのキャリブレーションを、ほぼ自動的に行うように構成したので、外部のリファレンス信号源を用いてテスタ毎にキャリブレーションする場合に比較して、運用が非常に簡単になり、機器間の誤差も低減でき、複数のテスタが広範囲に配置されているような場合でも、ネットワークディジタルバスなどの媒体を介して、全てのテスタでリファレンスを共有できるので、即応性が高く、人手を要せず、装置運用効率を大幅に向上できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1の半導体試験装置のブロック図である。
【図2】本発明の実施例2の半導体試験装置のブロック図である。
【図3】本発明の実施例3の半導体試験装置のブロック図である。
【図4】従来例の半導体試験装置のブロック図である。
【符号の説明】
10、10A〜10N テスタ
11、11A〜11N 信号源
12、12A〜12N 測定器
13、13A〜13N スイッチ
14 リファレンス信号発生器
15 測定ラインのスイッチ
16A、16B 信号入出力装置
17A、17B、22A、24B〜24N AD変換器
18A、18B、23A、25B〜25N DA変換器
19 フレキシブルディスク等のディジタル的にデータを記録可能な記憶手段
20A、20B ネットワークインターフェース
21 通信回線
26、27 バスライン
28B〜28N、29B〜29N スイッチ
Claims (1)
- 第1のアナログテスタ出力を行う第1の信号源と、前記第1の信号源の第1のアナログテスタ出力をキャリブレーションのために測定する第1の測定手段と、を備える第1のテスタ手段と、
第2のアナログテスタ出力を行う第2の信号源と、前記第2の信号源の第2のアナログテスタ出力をキャリブレーションのために測定する第2の測定手段と、を備える第2のテスタ手段と、
前記第1の信号源の前記第1のアナログテスタ出力を第1のディジタルテスタ出力に変換して第1のディジタルバスに前記第2の測定手段のキャリブレーションを行うためのリファレンスとして送り出す第1のAD変換手段と、
この第1のディジタルバス上の前記第1のデジタルテスタ出力をアナログ波形の形で前記第2の測定手段に与える第2のDA変換手段と、
前記第2の信号源の前記第2のアナログテスタ出力をキャリブレーションの結果ないしは経過の確認のために第2のデジタルテスタ出力に変換して第2のディジタルバスに送り出す第2のAD変換手段と、
前記第2のディジタルバス上の前記第2のデジタルテスタ出力をアナログ波形の形で前記第1の測定手段に与える第1のDA変換手段と、
を備えることを特徴とする、半導体試験装置。
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