JP3585024B2 - 単結晶引上装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
この発明は、種結晶を取付けたワイヤを巻上げドラムで巻上げて単結晶を引上げる構成の単結晶引上装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
単結晶引上装置では、単結晶引上時には微低速送り、引上時以外には高速送りが必要である。両送り動作の速度差が大きいため、一般に、高速用モータと低速用モータの2つの原動機が使用され、クラッチによって高速と微低速の切替えが行われる。
【0003】
微低速送りには大きな減速比が必要であるが、従来は、複数の平歯車やウオーム歯車を用いた減速機を組み合わせて高減速比を得ている。複数の減速機を接続するためには、複数の軸継手も必要となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
さて、単結晶の引上げにおいては、極めて高精度の微低速送り制御が必要である。
【0005】
しかしながら、従来の引上装置では、複数の軸継手とクラッチを用いるため、伝達系のロスや速度ムラ、振動の発生が避けられなかった。バックラッシュ等による振動が増大した場合には、引上げた単結晶の品質が劣化することも多々あった。
【0006】
一方、最近は大口径の単結晶を引上げるため、装置が複雑化、大型化する傾向にあるが、この点からは伝達系の簡素化と小型化が求められる。
【0007】
このような従来技術の問題点に鑑み、本発明は、駆動系の振動を低減でき、小型化が可能であり、高品質の単結晶の引上げが可能な単結晶引上装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決手段は、種結晶を取付けたワイヤを巻上げドラムで巻上げて単結晶を引上げる構成の単結晶引上装置において、巻上げのための駆動源として高速用モータと低速用モータを設け、低速用モータに減速機として第1の波動歯車装置を接続し、第1の波動歯車装置に直列で第2の波動歯車装置を接続したことを特徴とする単結晶引上装置である。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の単結晶引上装置は、種結晶を取付けたワイヤを巻上げドラムで巻上げて単結晶を引上げる構成になっていて、巻上げのための駆動系に高速用モータと低速用モータを別々に設け、低速用モータに減速機として第1の波動歯車装置を接続し、第1の波動歯車装置に直列で第2の波動歯車装置の波動発生器を接続している。
【0010】
さらに、好ましくは、第2の波動歯車装置の内歯を有する剛歯車にその内歯とは別の第1伝動手段を設け、この第1伝導手段を高速用モータに接続した他の第2伝動手段と連動させ、第2波動歯車装置の柔歯車から動力を取り出して巻上げ動作を行う。
【0011】
また、第2の波動歯車装置の剛歯車に外歯を有する歯車を固定するのが好ましい。この歯車は前記第1伝動手段の1つの態様である。
【0012】
第2の波動歯車装置の柔歯車から取出した動力を、磁気シール付きベアリング部を介して巻上げドラムに直接伝達することもできる。
【0013】
第1の波動歯車装置と第2の波動歯車装置によって、高速時に1/1〜1/2、低速時に1/2500〜1/25600の減速比をクラッチレス構造で得ることができるようにすると、より好ましい伝動特性が得られる。
【0014】
さらに高速用モータと低速用モータにブレーキ手段を設けることによって、低速送り時に第2の波動歯車装置の剛歯車を確実に停止させることができる。
【0015】
【実施例】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
【0016】
図1は本発明の単結晶引上装置の回転引上ユニットを示す部分断面図であり、図2はその引上駆動部を拡大して示す断面図である。図中、見易くするため、波動歯車装置における柔歯車の外歯と剛歯車の内歯は図示を省略している。
【0017】
単結晶引上装置10は、種結晶を取付けたワイヤ30を回転引上ユニット27によって回転させながら巻上げて、溶融チャンバ内のるつぼ(図示せず)から単結晶31を引上げるものである。
【0018】
回転引上ユニット27は、回転駆動用モータ29によって駆動される回転ステージを備えている。回転ステージは、磁気シール付きベアリングユニット28によって支持されている。
【0019】
回転ステージ上には真空チャンバ26が設けられ、その中にワイヤ30を巻上げるための巻上げドラム23が配置されている。巻上げドラム23の軸は、磁気シール付きベアリングユニット24及び通常のベアリング25によって支持されている。巻上げドラム23の軸は引上駆動部22に連結されている。
【0020】
引上駆動部22は、高速用ブレーキ付モータ13と低速用ブレーキ付モータ14を備えている。
【0021】
低速用ブレーキ付モータ14の出力軸には減速機として第1の波動歯車装置17、たとえば「ハーモニックドライブ」(商品名)が接続され、さらに、第1の波動歯車装置17には直列で第2の波動歯車装置18が接続されている。
【0022】
波動歯車装置17、18は、周知のように、内歯を備えた筒状の剛歯車(サーキュラスプライン)17a、18a、剛歯車より歯数が僅かに少ない外歯を備え、楕円形に変形して剛歯車に嵌入することにより、その一部の歯を剛歯車の内歯と噛み合わせるようにしたカップ状部材からなる弾性変形可能な柔歯車(フレクスプライン)17b、18bと、柔歯車の中にあって、その柔歯車を変形させながら剛歯車の内歯に対する外歯の噛み合い位置を順次移動させる波動発生器(ウェーブジェネレータ)17c、18cとを備えたものである。波動発生器17c、18cは、実質的にカムとして機能する部材により構成される。
【0023】
第1の波動歯車装置17は、通常の減速機として用いられる。
【0024】
すなわち、第1の波動歯車装置17では、波動発生器17cが低速用ブレーキ付モータ14の出力軸に接続され、波動歯車装置17の入力軸として回転駆動される。内歯を有する剛歯車17aは、ケーシングに固定状態に支持されている。変形しながら剛歯車に噛み合う柔歯車17bは、第1波動発生装置17の出力軸となり第2の波動歯車装置18に連結されている。
【0025】
一方、第2の波動歯車装置18は、第1の波動歯車装置17に直列で接続されている。
【0026】
すなわち、第2の波動歯車装置18の波動発生器18cは、第1の波動歯車装置17の出力軸(柔歯車17b)に連結され、入力軸として回転駆動される。また、柔歯車18bの軸は出力軸19となり、巻上げドラム23を回転駆動する。
【0027】
そして、第2の波動歯車装置18では、外歯を有する歯車16が剛歯車18aに同軸で固定されている。歯車16の外歯は、剛歯車18aの内歯とは別の伝動手段として機能する。歯車16は、高速用ブレーキ付モータ13の出力軸に接続された歯車15と噛み合っている。
【0028】
ここで、駆動ユニット22の動作を説明する。
【0029】
先ず、高速送り時の動作を述べる。高速送り時には、高速用ブレーキ付モータ13が駆動され、低速用ブレーキ付モータ14は停止される。
【0030】
高速用ブレーキ付モータの回転は、バックラッシ除去機構が設けられた歯車15から歯車16に伝達される。
【0031】
歯車16には波動歯車装置18の剛歯車18aが固定されており、低速用ブレーキ付モータ14は停止しているため、波動発生器18cは回転せず、動力は剛歯車18aから柔歯車18bへ減速され出力軸19へと伝達される。
【0032】
ここで、剛歯車18aと柔歯車18bの減速比は約1/1となる。歯車15、16の減速比を1/i1 とすると、高速送り時の減速比は約(1/i1 )・(1/1)となる。
【0033】
高速送り時の減速比は、例えば1/1〜1/2程度に設定することができる。
【0034】
次に、低速送り時の動作を述べる。低速送り時には、低速用ブレーキ付モータ14が駆動され、高速用ブレーキ付モータ13は停止される。
【0035】
低速用ブレーキ付モータ14の回転は、第1の波動歯車装置17の波動発生器17cに伝達され、柔歯車17bから減速されて取り出される。
【0036】
さらに、柔歯車17bの回転が第2の波動歯車装置18の波動発生器18cに伝達される。高速用ブレーキ付モータ13が停止しているため、剛歯車18aは回転せず、動力は波動発生器18cから柔歯車18bへ減速され出力軸19へ伝達される。
【0037】
ここで、第1及び第2波動歯車装置17、18の減速比を1/i2 、1/i3 とすると、低速送り時の減速比は(1/i2 )・(1/i3 )となる。
【0038】
減速比1/i2 、1/i3 はそれぞれ1/50〜1/160、1/50〜1/160程度に設定できる。従って、低速送り時の正味の減速比は、例えば1/2500〜1/25600程度にすることができる。
【0039】
低速送り時には剛歯車18aを確実に停止させておくため,二つの歯車を回転方向に少しずらし、複数のボルトにてその歯車を固定したバックラッシ除去機構付の歯車15を介して高速用ブレーキ付モータ13のブレーキをかけておくが、ブレーキなし高速用ギヤードモータにして、バックラッシ除去機構付の歯車15の軸をブレーキ手段で保持することも可能である。
【0040】
なお、本発明は前述の実施例に限定されない。例えば、第2の波動歯車装置の剛歯車に設ける(内歯とは別の)伝動手段は、ベルト駆動用のプーリでも良い。その場合、高速用モータの出力軸にもプーリを設け、両者をベルトで連動する。また、第2の波動歯車装置の剛歯車に直接外歯を形成しても良い。
【0041】
【発明の効果】
本発明の単結晶引上装置によれば、第1と第2の波動歯車装置を用いることにより、クラッチレスで高速と微低速の切替えが可能となり、クラッチに起因する駆動系の振動を皆無にできる。
【0042】
また、波動歯車装置の使用により、バックラッシュ等の駆動系の振動も低減することができる。
【0043】
このように、引上げ時の振動を大幅に低減できるので、品質の安定した良質の単結晶の引上げが可能となる。
【0044】
また、第1と第2の波動歯車装置を直列で組み合わせて用いることにより、高減速比を得ることができる。
【0045】
また、従来必要であった多数の減速機や軸継手が削減可能となり、駆動系を簡素化して小スペース化を図ることができる。
【0046】
このため、駆動ユニットからの出力を、磁気シール付きベアリングユニットを介して、真空ハウジング内の巻取ドラムに直接伝達することが可能となる。
【0047】
そして、装置を全体的に小型化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の単結晶引上装置の回転引上ユニットを示す部分断面図。
【図2】図1の引上駆動ユニットを拡大して示す断面図。
【符号の説明】
10 単結晶引上げ装置
13 高速用ブレーキ付モータ
14 低速用ブレーキ付モータ
15 第2伝動手段
16 第1伝動手段(歯車)
17 第1の波動歯車装置
18 第2の波動歯車装置
17a、18a サーキュラスプライン(剛歯車)
17b、18b フレクスプライン(柔歯車)
17c、18c ウェーブジェネレータ(波動発生器)
24 磁気シール付きベアリング部
30 ワイヤ
Claims (6)
- 種結晶を取付けたワイヤ(30)を巻上げドラム(23)で巻上げて単結晶を引上げる構成の単結晶引上装置において、巻上げのための駆動源として高速用モータ(13)と低速用モータ(14)を設け、低速用モータ(14)に減速機として第1の波動歯車装置(17)を接続し、第1の波動歯車装置(17)に直列で第2の波動歯車装置(18)を接続したことを特徴とする単結晶引上装置。
- 第2の波動歯車装置(18)の内歯を有する剛歯車(18a)にその内歯とは別の第1伝動手段(16)を設け、この第1伝導手段(16)を高速用モータに接続した他の第2伝動手段(15)と連動させ、第2波動歯車装置(18)の柔歯車(18b)から動力を取り出して巻上げ動作を行うことを特徴とする請求項1に記載の単結晶引上装置。
- 前記第1伝動手段として外歯を有する歯車(16)を使用し、その歯車(16)を第2の波動歯車装置(18)の剛歯車(18a)に固定したことを特徴とする請求項1又は2に記載の単結晶引上装置。
- 第2の波動歯車装置(18)の柔歯車(18b)から取出した動力を、磁気シール付きベアリング部(24)を介して、巻取ドラム(23)に伝達することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の単結晶引上装置。
- 第1の波動歯車装置(17)と第2の波動歯車装置(18)によって、高速時に1/1〜1/2、低速時に1/2500〜1/25600の減速比をクラッチレス構造で得ることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の単結晶引上装置。
- 高速用モータ(13)と低速用モータ(14)は、低速送り時に第2の波動歯車装置(18)の剛歯車(18a)を停止させるブレーキ手段を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の単結晶引上装置。
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