JPH07154942A - 中空軸を備えた電気モータを有する伝動装置モータ - Google Patents

中空軸を備えた電気モータを有する伝動装置モータ

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JPH07154942A
JPH07154942A JP6226901A JP22690194A JPH07154942A JP H07154942 A JPH07154942 A JP H07154942A JP 6226901 A JP6226901 A JP 6226901A JP 22690194 A JP22690194 A JP 22690194A JP H07154942 A JPH07154942 A JP H07154942A
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shaft
clutch
driven
hollow shaft
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JP6226901A
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Winfried Schulmann
シュールマン ヴィンフリート
Franz Thimm
ティム フランツ
Helmut Kaiser
カイザー ヘルムート
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 はじめに述べた形式の伝動装置モータを、コ
スト的に有利に製作可能にし、構造容積に対する回転モ
ーメントの比を改善し、かつ被駆動回転数の切換えが可
能であるようにし、かつ特に低回転数域において極めて
振動の少ない作動がえられ、かつクリーンルーム条件下
での使用に適するようにすること。 【構成】 中空軸８が、被駆動軸１９の異なる回転数を
生じさせるため、選択的に伝動装置２６を迂回して、前
記伝動装置に所属したクラッチ１６とは無関係に切換え
可能な付加的クラッチにより、被駆動軸に連結可能であ
ること。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、伝動装置モータであっ
て、電気モータを有し、該モータのロータが被駆動軸上
に配置された中空軸を有しており、該中空軸の回転モー
メントが少なくとも１段の変速段を有する伝動装置及び
連結−遮断切換え可能なクラッチを介して被駆動軸へ伝
達可能である形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】中空軸が常時伝動装置に又は直接負荷装
置に結合している伝動装置モータは公知である。また伝
動装置を、負荷装置を種々異なる回転数で駆動すること
ができるようにするために、切換え式伝動装置として構
成することも公知である。このような伝動装置モータ
は、負荷装置を種々異なる回転数で駆動しようとする場
合、例えば負荷装置を所謂クイック工程で又は、例えば
ゆっくり経過すべきプロセスの実施のために著しい減速
比で駆動する場合、しばしば使用される。伝動装置モー
タの特に興味のある使用分野は例えば、チョクラルスキ
ー法により半導体材料の結晶が溶融物から引き出される
所謂結晶引き上げ設備への使用である。ゆっくり経過す
る引き上げプロセスをうるためには被駆動側に極めて低
い回転数を必要とする。これに対して出来上がった結晶
を持ち上げるため及び次の引き上げプロセスを開始する
ため種子結晶を下ろすためには一般に、引き上げ設備の
停止時間を出来るだけ少なくするために、クイック工程
が必要である。この目的で従来においては、特別の切換
え伝動装置が使用されたが、該伝動装置は電気的駆動モ
ータと構造的ユニットを構成するものではなかった。さ
らに公知の伝動装置には結晶−引き上げプロセスのため
に必要な運転静粛性が欠けており、最後に公知の駆動装
置は構造容積に対する回転モーメントの良好な比を有し
ていなかった。
【０００３】ＤＥ−第３５２５９１２ Ｃ２号明細書に
よればはじめに述べた形式の伝動装置が公知であり、こ
れは電気的なサーボユニットと呼ばれている。この場合
にはしかし電気モータはたんに補助的駆動装置としての
み設けられており、本来の回転モーメントは外部の駆動
装置によって駆動軸に与えられる。補助モータの中空軸
は必要な場合伝動装置及び電磁クラッチを介して切り替
えられ被駆動軸に連結可能になっている。駆動軸及び被
駆動軸はトーションバー及び板ばねを介して弾性的にし
かし同じ回転数で互いに連結されており、この場合捩り
角は補助モータを接続−遮断切換えするスイッチを操作
するために役立つ。要するに伝動装置及びクラッチは、
両方とも内実軸として製作されている駆動軸及び被駆動
軸間の回転数比を変化させるためには役立っていない。
【０００４】ＦＲ−ＰＳ第１４３７８５６号明細書よれ
ば、電気モータの内実の軸が、２つの摩擦材対を備え
た、両側で作用する単一のクラッチによって、選択的に
直接又は遊星歯車伝動装置を介して、被駆動軸に連結可
能である伝動装置モータが公知になっている。この場合
たんに遊星歯車伝動装置のケーシングだけが中空軸を有
している。クラッチ操作の目的でモータ軸を移動させる
必要がないようにするために、両クラッチ部分の一方が
軸方向で移動可能に支承されている。両サイドで作用す
るクラッチであるため、この移動は強い圧縮ばねの作用
に抗して行われ、その結果クラッチ操作のために極めて
強力な鉢形マグネットが設けられている。この公知の装
置は、モータ軸、クラッチ、遊星歯車伝動装置及び被駆
動軸が直列的に接続されているため、構造長さが極めて
長くなり、また運動せしめられる質量に基づきクラッチ
操作時に装置に強い振動が生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、はじ
めに述べた形式の伝動装置モータを、コスト的に有利に
製作可能にし、構造容積に対する回転モーメントの比を
改善し、かつ被駆動回転数の切換えが可能であるように
し、かつ特に低回転数域において極めて振動の少ない作
動がえられ、かつクリーンルーム条件下での使用に適す
るようにすることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の課題は、本発明に
よれば、はじめに述べた形式の伝動装置モータにおい
て、中空軸が被駆動軸の異なる回転数を生じさせるため
選択的に伝動装置を迂回して、前記伝動装置に所属した
クラッチとは無関係に切換え可能な付加的クラッチによ
り、被駆動軸に連結可能であることによって解決されて
いる。
【０００７】
【発明の効果】本発明の伝動装置モータは多数の市販の
構造部品を使用してコスト的に有利に製作可能であり、
構造容積に対する回転数の申し分のない比を有し、クリ
ーンルーム条件下での使用に適し、かつ特に低回転数域
において極めて良好な静粛運転がえられると共に、同時
に所謂クイック工程のために高い回転数での運転も可能
である。この場合特に単一の電気モータの使用を必要と
するに過ぎず、従ってこのような伝動装置モータは結晶
−引き上げ設備における使用に適する。しかしその用途
はこのような結晶−引き上げ設備に制限されず、さらに
別の用途にも使用される。
【０００８】前記の付加的クラッチはこの場合必ずしも
直接に被駆動軸を中空軸に結合する必要はなく、中空軸
と被駆動軸との間にさらに別の伝動装置、殊に他の伝動
装置とは異なる減速比を有する伝動装置を設けることも
可能である。
【０００９】全装置はこの場合ほぼ同軸的に構成されて
おり、完全に密閉されてコンパクトな円筒形ケーシング
内に設けられる。
【００１０】公知の伝動装置モータを用いて、例えば被
駆動軸の両端に結合することができる異なる負荷装置を
駆動させることも可能である。本発明の解決手段は他の
装置との種々異なる組み合わせを可能にする。例えば本
発明の伝動装置モータによりスピンドル駆動装置、ハン
ドリングシステム、工作機械の送り装置、その他の類似
の装置を駆動すること可能である。
【００１１】本発明の特に有利な構成によれば、中空軸
を被駆動軸に直接に連結するための付加的クラッチが中
空軸の一方の端部に、かつ伝動装置の連結のための第２
のクラッチが中空軸の他方の端部に配置されている。
【００１２】この場合、クラッチの少なくとも１つが電
磁クラッチとして構成されていると特に有利である。こ
のようなクラッチは遠隔操作によって連結−遮断の切換
えが可能でありかつモータ−伝動装置ケーシング内への
機械的可動部分の取付けが不要で制約されない。
【００１３】１つの切換え装置によって同時に切換え可
能である２つのクラッチを使用することにより、さらに
別の可能性、即ち、セルフロッキングにより系を完全に
ロックすることが可能である。
【００１４】この場合さらに、被駆動軸を２つの部分軸
に分割しかつ中空軸を第１のクラッチにより直接一方の
部分軸に連結しかつ第２のクラッチにより伝動装置を介
して他方の部分軸に連結し、その結果両部分軸を同時
に、しかし異なる被駆動回転数で運転することができ
る。
【００１５】本発明のさらに別の構成として両部分軸間
に１つの第３の連結−遮断可能なクラッチを配置した場
合、このクラッチの切換えにより両部分軸を同時に再び
同じ被駆動回転数に切換えることができ、かつ全てのク
ラッチを同時に連結に切換えることにより系をロックす
ることができる。
【００１６】本発明の特に有利な構成によれば、伝動装
置として、不動の内歯車内に該内歯車の歯数より僅かに
歯数の少ない１つのフレキシブルの平歯車が噛み合わさ
れている伝動装置が使用されている。このような伝動装
置は、“Ｈａｒｍｏｎｉｃ−Ｄｒｉｖｅ−Ｇｅｔｒｉｅ
ｂｅ”として公知であり、技術展望；１９９１年，第４
６号第５６〜６４頁に“Ｐｒａｅｚｉｓｉｏｎｓｇｅｔ
ｒｉｅｂｅｔｅｃｈｎｉｋ”（精密伝動装置技術）のタ
イトルで詳細に記載されている。この場合フレキシブル
の平歯車は回転する楕円形の制御体によって転がり軸受
を間挿して、対角線方向で反対側にある２つの部位で内
歯車に噛み合うように変形され、この場合噛み合い部位
は内歯車の内周に沿って常時変位する。両歯車間のたん
に２つの歯の差により、楕円形の制御体の完全一回転が
内歯車を２つの歯の距離だけ動かす。このような形式に
れば極めて大きな減速比の減速がえられ、このような伝
動装置の静粛運転性能は極めて高く、従ってこのような
伝動装置は結晶−引き上げプロセスに特に有利である。
所謂クイック工程のためにはこのような伝動装置は勿論
不適であり、従ってこのような場合、電気モータの中空
軸を第１の伝動装置によって直接に被駆動軸に結合する
本発明の手段を用いることができる。これにより１つの
同軸的な駆動装置系により、互いに著しく異なる２つの
被駆動回転数をうることができる。
【００１７】以下に本発明の装置の一実施例及びその使
用を図１〜図３により結晶−引き上げ設備について詳細
に説明する。
【００１８】
【実施例】図１には伝動装置モータ１が示されており、
該モータ１には定置に設けられた円筒形のケーシング２
が所属し、該ケーシングはその一端がケーシングカバー
３によって閉じられている。ケーシング２内には電気モ
ータ４が設けられており、該モータはモータケーシング
５内に設けられていてステータコイル６とロータ７とか
ら成り、該ロータ７は中空軸８の一方の半径方向フラン
ジ８ａに固定されている。
【００１９】ケーシング２内にはさらに１つの伝動装置
ケーシング９が不動に配置されており、該ケーシング９
内には２組の遊星歯車１０，１１が支承されており、該
遊星歯車は互いに異なった直径を有している。遊星歯車
１０は第１の太陽歯車１２によって駆動され、該太陽歯
車は鉢形に構成されかつ中空軸８に回動不能に結合され
ている。遊星歯車１０，１１の直径差により、第２の太
陽歯車１３がより低い回転数で駆動され、該第２の太陽
歯車のボス１４は図示されていない転がり軸受により、
第１の太陽歯車１２内に同軸的に支承されている。第２
の太陽歯車１２のボス１４はさらに切換え可能な電磁ク
ラッチ１６の駆動部分１５に回転不能に結合されてお
り、この電磁クラッチ１６にはさらに被駆動部分１７及
びステータ部分１８が所属しており、該ステータ部分は
ケーシングカバー３に不動に設けられている。ステータ
部分１８内にはここには図示されていない電磁コイルが
あり、その励磁により駆動部分１５が被駆動部分１７を
一緒に連行する。被駆動部分１７は被駆動軸１９に回動
不能に結合されており、該被駆動軸は同軸的に中空軸８
内及びボス１４内に配置されている。被駆動軸１９は全
ケーシング２を貫通しかつ両端で破線で示されている転
がり軸受２０，２１により軸受されている。
【００２０】被駆動軸１９の反対側の端部にはもう１つ
の駆動部分２２があり、これは回動不能に中空軸８に結
合されている。ケーシング２の一方の端面側フランジ２
ａにはもう１つの不動のステータ部分２３があり、これ
も、図示されていない電磁コイルを有している。これに
よりもう１つの電磁クラッチ２４が構成され、これには
やはり被駆動部分２５が所属し、該部分は被駆動軸１９
に回動不能に固定されている。ステータ部分２３の電磁
コイルの励磁により駆動部分２３と被駆動部分２５が互
いに磁気的に連結され、その結果被駆動軸１９は中空軸
８と同じ回転数で回転する。
【００２１】図１の伝動装置モータ１の作用形式は以下
の通りである。
【００２２】電磁クラッチ２４が連結されることによっ
て被駆動軸１９がロータ７若しくは中空軸８と同じ回転
数で駆動される。ロータ７の回転数は比較的高いから、
被駆動軸１９は図示されていない負荷装置を相応して高
い回転数で、換言すれば、『クイック工程』で、駆動す
る。電磁クラッチ２４がスイッチオフにより遮断され、
代わりに電磁クラッチ１６がスイッチオンで連結される
と、被駆動軸１９は、遊星歯車伝動装置の被駆動側のボ
ス１４と同じ回転数で駆動される。伝動装置の変速比に
応じて被駆動軸１９は相応する低い回転数で駆動され、
要するに例えば所謂『クリープ工程』で駆動される。
【００２３】両電磁クラッチ１６，２４が同時にスイッ
チオンで連結されると、太陽歯車１２，１３の回転数が
異なることによりケーシング２に対する被駆動軸１９の
ロックが行われる。ケーシング２は不動に設けられてい
るから、この場合被駆動軸１９は回転不能である。
【００２４】被駆動軸１９のほぼ中心に破線でさらに別
のクラッチ２７が示されており、これにより、被駆動軸
１９は第１の部分軸１９ａ及び第２の部分軸１９ｂに分
割されている。この両部分軸の結合がクラッチ２７の遮
断により遮断されると、両部分軸１９ａ，１９ｂは互い
に無関係になりかつ異なる回転数で駆動される。このよ
うな系がロックされるには、すべてのクラッチ１６，２
４，２７が同時に連結されなければならない。
【００２５】伝動装置２６の代わりに、“Ｈａｒｍｏｎ
ｉｃ−Ｄｒｉｖｅ−Ｇｅｔｒｉｅｂｅ”（技術展望；１
９９１年第４６号第５６〜６４頁）を用いることがで
き、これによれば極めて大きな減速比を達成することが
でき、また同様に、被駆動軸のさらに著しく振動の少な
い回転を達成することができる。
【００２６】電気モータ４の回転数が調整可能なもので
ある限り、種々異なる回転数に相応して被駆動回転数を
変化させることができる。
【００２７】図２及び図３は、チョクラルスキーによる
引き上げ法を実施するための２つの異なった結晶−引き
上げ装置の異なる箇所における図１の複数の伝動装置モ
ータの使用形式を示す。
【００２８】図２には気密な室３０が示されており、該
室内には加熱可能な溶融物るつぼ３１があり、該るつぼ
はドーピングした半導体材料の溶融物３２を受容してい
る。この溶融物から結晶３３が引き上げられ、該結晶は
例えば相応にドーピングされた単結晶であることができ
る。結晶３３はさらに種子結晶ホルダ３４に懸架され、
該ホルダは引き上げ軸３５の下端にある。この引き上げ
軸３５は軸受ケーシング３６内に回転可能に軸受されて
おり、該軸受ケーシングはその上端部に図１の伝動装置
モータ１を支持しており、該モータ１により引き上げ軸
３５は低い回転数で回転可能である。引き上げ軸３５は
上端部に公知の構造型式の回転式継ぎ手３７を有し、該
回転式継ぎ手を介して冷却媒体が供給可能である。
【００２９】軸受ケーシング３６はアーム３８及びスピ
ンドルナット３９を介してねじスピンドル４０に結合さ
れており、該ねじスピンドル４０により、上に述べた、
引き上げ軸３５を含むすべての回転駆動装置が上下に運
動可能である。ねじスピンドル４０は両端部で、詳細に
は示されていない軸受に軸受され、かつ類似の伝動装置
モータ１ａにより回転せしめられる。この伝動装置モー
タ１ａは、電磁クラッチ１６若しくは２４（図１）を選
択的に連結することにより、ねじスピンドル４０を著し
く異なる回転数で駆動することを可能にし、その結果引
き上げ軸３５を選択的にクイック工程又はクリープ工程
で上下に運動させることができる。クリープ工程は例え
ば本来の引き上げプロセスを実施するために役立ち、こ
れに対してクイック工程は出来上がった結晶３３を残り
の溶融物から離し又は逆に新しい種子結晶を消費分補充
後の溶融物３２内に降ろすために役立ち、次いで回転数
を低下させることにより新たな引き上げプロセスが開始
される。上側の一点鎖線で囲まれた範囲４１にある構造
部分は所謂引き上げ送り装置を形成し、該装置は鉛直の
柱４２によって支持されている。
【００３０】溶融物るつぼ３１は持ち上げ軸４３の上端
部に配置されており、該持ち上げ軸は引き上げ軸３５と
同様の形式でさらに別の軸受ケーシング４４内に軸受さ
れている。持ち上げ軸４３の下端部には同様な回転式継
ぎ手３７を有する図１に示すさらに別の伝動装置モータ
１がある。軸受ケーシング４４もまたアーム４５及びス
ピンドルナット４６を介してねじスピンドル４７に結合
しており、該ねじスピンドルはやはり両端で詳細には図
示されていない軸受に軸受されている。ねじスピンドル
４７も伝動装置モータ１ａによって駆動され、該モータ
は、範囲４１内の引き上げ送り装置に属する伝動装置モ
ータ１ａと同様に、その回転数を切換え可能である。下
側に一点鎖線で示されている範囲４８内にある構造部分
は所謂るつぼ送り装置を形成する。引き上げ送り装置
（範囲４１）と同様の形式でこのるつぼ送り装置は選択
的にクリープ工程及びクイック工程で運転可能である。
【００３１】図３の第２のバリエーションにおいて図２
のものと同じ構造部分が使用されている場合、重複する
同一符号の一部は省略されている。図２と異なり図３の
ものでは、結晶３３は引き上げ軸３５によってではなし
に所謂引き上げロープ４９によって引き上げられかつ回
転され、該ロープ４９の下端部にはやはり種子結晶ホル
ダ３４がある。
【００３２】引き上げロープ４９を回転駆動するため、
図２と同様の形式で伝動装置モータ１が設けられてお
り、該モータ１はこの実施例の場合たんに引き上げロー
プ４９だけでなく、基準プラットフォーム５０も回転駆
動し、該プラットフォーム５０上にはケーシング５１が
配置されており、該ケーシング内には、引き上げロープ
の回転軸線に対して同軸的に引き上げロープ４９を巻取
り−繰り出すための図示されていない巻取りドラムが配
置されている。この巻取りドラムは伝動装置モータ１ａ
によって駆動され、該モータ１ａは図１の実施例に相応
しかつ既に述べた形式で回転数の切換えが可能である。
引き上げロープ４９、ひいては結晶３３のためのこの持
ち上げ−回転駆動装置は同一出願人の先願である特許出
願Ｐ４３２９２８３．６号明細書に記載されており、さ
らに詳細な説明は省略する。
【００３３】図２及び図３の比較から明らかなように、
図３の引き上げロープ駆動装置は設備の構造高さを顕著
に低くしている。
【００３４】図２及び３の全ての駆動装置およびその動
力伝達エレメントは回転方向及び長手方向での振動及び
遊びを有せず、かつスピンドル駆動装置は、（スピンド
ルナット内における）球−循環式伝動装置として構成さ
れている。これらの動力伝達エレメントの有利な作用
は、“Ｈａｒｍｏｎｉｃ−Ｄｒｉｖｅ−Ｇｅｔｒｉｅｂ
ｅ”の原理により効果的に助成される。
【００３５】なお上に述べた『負荷装置』は、伝達エレ
メント若しくはこれらによって駆動される、殊に結晶引
き上げ設備の機械部分及び設備部分である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の伝動装置モータの軸方向断面図。
【図２】チョクラルスキープロセス実施のための結晶−
引き上げ設備の第１実施例の略示図。
【図３】同様に本発明の形式の複数の伝動装置モータを
有する、チョクラルスキープロセス実施のための結晶−
引き上げ設備の第２実施例の略示図。
【符号の説明】
１，１ａ 伝動装置モータ、 ２ ケーシング、 ３
ケーシングカバー、４ 電気モータ、 ５ モータケー
シング、 ６ ステータコイル、 ７ ロータ、 ８
中空軸、 ９ 伝動装置ケーシング、 １０，１１ 遊
星歯車、 １２ 第１の太陽歯車、 １３ 第２の太陽
歯車、 １４ ボス、 １５ クラッチの駆動部分、
１６ 電磁クラッチ、 １７ クラッチの被駆動部分、
１８ステータ部分、 １９ 被駆動軸、 １９ａ，１
９ｂ 部分軸、 ２０，２１転がり軸受、 ２３ ステ
ータ部分、 ２４ 電磁クラッチ、 ２５ クラッチの
被駆動部分、 ２６ 伝動装置（遊星歯車装置）、 ３
０ 室、 ３１ 溶融物るつぼ、 ３２ 溶融物、 ３
３ 結晶、 ３４ 種子結晶、 ３５ 引き上げ軸、
３６ 軸受ケーシング、 ３７ 回転式継ぎ手、 ３８
アーム、３９ スピンドルナット、 ４０ ねじスピ
ンドル、 ４１ 範囲（引き上げ送り装置）、 ４３
持ち上げ軸、 ４４ 軸受ケーシング、 ４５ アー
ム、４６ スピンドルナット、 ４７ ねじスピンド
ル、 ４８ 範囲（るつぼ送り装置）、 ５０ 基準プ
ラットフォーム、 ５１ ケーシング
フロントページの続き (72)発明者 ヘルムート カイザー ドイツ連邦共和国 ブルッフケーベル イ ンネラー リンク １ツェー

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 伝動装置モータ（１，１ａ）であって、
    電気モータ（４）を有し、該モータのロータ（７）が被
    駆動軸（１９，１９ａ，１９ｂ）上に配置された中空軸
    （８）を有しており、該中空軸の回転モーメントが少な
    くとも１段の変速段を有する伝動装置（２６）及び連結
    −遮断切換え可能なクラッチ（１６）を介して被駆動軸
    （１９，１９ａ，１９ｂ）へ伝達可能である形式のもの
    において、中空軸（８）が被駆動軸（１９，１９ａ，１
    ９ｂ）の異なる回転数を生じさせるため選択的に前記伝
    動装置（２６）を迂回して、前記伝動装置（２６）に所
    属したクラッチとは無関係に切換え可能な付加的クラッ
    チ（２４）により、被駆動軸（１９，１９ａ，１９ｂ）
    に連結可能であることを特徴とする、中空軸を備えた電
    気モータを有する伝動装置モータ。
  2. 【請求項２】 付加的クラッチ（２４）が、中空軸
    （８）を被駆動軸（１９）に直接に連結するために、中
    空軸（８）の一方の端部に、かつ伝動装置（２６）に所
    属するクラッチ（１６）が中空軸（８）の他方の端部に
    配置されていることを特徴とする、請求項１記載の伝動
    装置モータ。
  3. 【請求項３】 クラッチ（１６，２４）の少なくとも１
    つが電磁クラッチとして構成されていることを特徴とす
    る、請求項１記載の伝動装置モータ。
  4. 【請求項４】 クラッチ（１６，２４）が切換え装置に
    より同時に連結に切換え可能であることを特徴とする、
    請求項１記載の伝動装置モータ。
  5. 【請求項５】 被駆動軸（１９）が２つの部分軸（１９
    ａ，１９ｂ）に分割されており、かつ中空軸（８）が付
    加的クラッチ（２４）により直接に一方の部分軸（１９
    ａ）に連結可能であり、かつ伝動装置（２６）に所属す
    るクラッチ(１６）により、他方の部分軸（１９ｂ）に
    連結可能であることを特徴とする、請求項１記載の伝動
    装置モータ。
  6. 【請求項６】 両部分軸（１９ａ，１９ｂ）の間に第３
    の切換え可能なクラッチ（２７）が配置されていること
    を特徴とする、請求項５記載の伝動装置モータ。
  7. 【請求項７】 伝動装置として、不動の内歯車内に該内
    歯車の歯数より１だけ少ない歯数を有するフレキシブル
    の平歯車が噛み合わされている『ハーモニック−ドライ
    ブ−伝動装置』型式の減速伝動装置が使用されているこ
    とを特徴とする、請求項１記載の伝動装置モータ。
  8. 【請求項８】 チョクラルスキー法実施のための結晶引
    き上げ設備内のロープドラムの駆動に使用することを特
    徴とする、請求項１から７までのいずれか１項記載の伝
    動装置モータ（１，１ａ）の使用法。
  9. 【請求項９】 結晶（３３）を引き上げるための引き上
    げ軸（３５）及び引き上げロープ（４３）の駆動及び又
    はチョクラルスキー法によって結晶（３３）を形成する
    ための溶融物（３２）を含む溶融物るつぼ（３１）の持
    ち上げ軸（４３）の駆動に使用することを特徴とする、
    請求項１から７までのいずれか１項記載の伝動装置モー
    タ（１，１ａ）の使用法。
  10. 【請求項１０】 結晶引き上げ設備におけるねじスピン
    ドル（４０，４７）の駆動に使用することを特徴とす
    る、請求項１から７までのいずれか１項記載の伝動装置
    モータ（１，１ａ）の使用法。
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