DE4332323C2 - Getriebemotor mit einem eine Hohlwelle aufweisenden Elektromotor - Google Patents
Getriebemotor mit einem eine Hohlwelle aufweisenden ElektromotorInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Getriebemotor nach dem Oberbegriff des
Patentanspruchs 1.
Getriebemotoren, bei denen die Hohlwelle ständig mit dem Getriebe oder
unmittelbar mit dem Verbraucher verbunden ist, sind bekannt. Es ist auch bekannt,
das Getriebe als Schaltgetriebe auszubilden, um den Verbraucher mit
unterschiedlichen Drehzahlen antreiben zu können. Derartige Getriebemotoren
werden häufig dann eingesetzt, wenn der Verbraucher mit unterschiedlichen
Drehzahlen anzutreiben ist, beispielsweise mit einem sogenannten Eilgang oder
mit einer erheblichen Untersetzung, um beispielsweise langsam ablaufende Vor
gänge durchführen zu können. Ein besonders interessantes Anwendungsgebiet
sind z. B. sogenannte Kristallziehanlagen, in denen nach der Czochralski-Methode
Kristalle aus einem Halbleitermaterial aus der Schmelze gezogen werden. Für den
langsam ablaufenden Ziehprozeß wird auf der Abtriebseite eine sehr niedrige
Drehzahl benötigt. Für das Anheben des fertigen Kristalls und für das Absenken
eines Keimkristallhalters für den Beginn eines weiteren Ziehprozesses wird jedoch
in aller Regel ein Eilgang benötigt, um die Stillstandszeit der Ziehanlage möglichst
zu reduzieren. Hierfür wurden in der Vergangenheit besondere Schaltgetriebe
verwendet, die keine Baueinheit mit dem elektrischen Antriebsmotor bildeten.
Außerdem fehlte den bekannten Getrieben die für einen Kristall-Ziehprozeß
erforderliche hohe Laufruhe, und schließlich besaßen die bekannten Antriebe ein
ungünstiges Verhältnis von Drehmoment zu Bauvolumen.
Durch die gattungsbegründende FR 1 437 856 C ist es bekannt, zwecks
Drehzahlumschaltung zwischen einer Motor-Vollwelle und einer Abtriebswelle ein
Planetengetriebe anzuordnen, dessen Gehäuse mittels einer Hohlwelle die
massive Abtriebswelle trägt und auf seinem Umfang eine Doppelkegel-Kupplung
besitzt, die magnetisch alternierend mit dem Motorgehäuse und mit der Motorwelle
verbindbar ist. In einer Übergangsphase der Drehzahlumschaltung stehen jedoch
beide Kegelflächen der Kupplung im Eingriff, so daß eine kurzzeitige Blockierung
der Motorwelle eintritt. Durch die doppelseitig wirkende Kupplung sind starke
Kupplungsfedern erforderlich, die einen starken Elektromagneten bedingen,
dessen entsprechend schweres Gehäuse axiale Schaltbewegungen ausführt, die
zu Erschütterungen des Getriebes führen. Außerdem entsteht durch die axiale
Reihenschaltung von Motorwelle, Planetengetriebe und Abtriebswelle eine
beträchtliche axiale Baulänge.
Durch die DE 35 25 912 C2 ist ein Servoantrieb bekannt, bei dem eine
fremdgetriebene massive Antriebswelle durch einen Torsionsstab und Blattfedern
elastisch, aber synchron mit einer ebenso massiven Abtriebswelle verbunden ist,
so daß keine Drehzahlumschaltung möglich ist. Zur vorübergehenden
Kraftverstärkung ist auf der Abtriebswelle mittels einer Hohlwelle der Läufer eines
Elektromotors gelagert, der bei großen Drehmomenten mittels eines
Drehmomenten-Sensors in Abhängigkeit vom Torsionswinkel über ein doppeltes
Planetengetriebe auf die Abtriebswelle aufschaltbar ist. Der Servoantrieb besitzt
gleichfalls eine erhebliche Baulänge.
Durch die DE 40 22 735 A1 ist ein Drehzahlwandler für große aber feste
Untersetzungsverhältnisse bekannt, bei dem ein flexibles, oval verformbares
Außen-Zahnrad mit einem kreisringförmigen Innenzahnrad kämmt, der jedoch
keinen Elektromotor und keine Kupplung besitzt. Eine Drehzahlumschaltung ist
damit nicht möglich. Das Getriebe ist auch unter der Bezeichnung "Harmonic-
Drive-System" weithin bekannt.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Getriebemotor der eingangs
beschriebenen Gattung anzugeben, der kostengünstig herstellbar ist, ein günstiges
Verhältnis von Drehmoment zu Bauvolumen aufweist, insbesondere bei niedrigen
Drehzahlen extrem schwingungsarm arbeitet und für die Verwendung unter
Reinraumbedingungen tauglich ist.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs beschriebenen Ge
triebemotor erfindungsgemäß durch die Merkmale im Kennzeichen des
Patentanspruchs 1.
Ein derartiger Getriebemotor läßt sich kostengünstig und unter Verwendung einer
großen Zahl handelsüblicher Bauteile herstellen, besitzt ein günstiges Verhältnis
von Drehzahl zu Bauvolumen, ist für die Verwendung unter Reinraumbedingungen
tauglich und hat eine extreme Laufruhe insbesondere bei niedrigen Drehzahlen,
läßt aber gleichzeitig auch hohe Drehzahlen für einen sogenannten Eilgang zu.
Insbesondere ist dabei der Einsatz nur eines einzigen Elektromotors erforderlich,
so daß sich ein derartiger Getriebemotor besonders vorteilhaft für die Verwendung
bei Kristall-Ziehanlagen eignet. Hierauf ist die Anwendung jedoch nicht beschränkt,
sondern es sind vielmehr auch andere Einsatzmöglichkeiten eines derartigen
Getriebemotors denkbar.
Die beschriebene zweite schaltbare Kupplung muß dabei nicht unmittelbar die Ab
triebswelle mit der Hohlwelle verbinden, sondern es kann auch zwischen der
Hohlwelle und der Abtriebswelle ein weiteres Getriebe vorgesehen werden, ins
besondere ein solches mit einem unterschiedlichen Untersetzungsverhältnis als
das andere Getriebe.
Die gesamte Anordnung ist dabei im wesentlichen koaxial ausgebildet; sie läßt
sich - vollständig gekapselt - in einem kompakten zylindrischen Gehäuse unter
bringen.
Es lassen sich mit dem besagten Getriebemotor auch unterschiedliche Verbrau
cher antreiben, die beispielhaft mit den beiden Enden der Abtriebswelle verbun
den sein können. Hieraus ergibt sich, daß die erfindungsgemäße Lösung vielsei
tige Kombinationsmöglichkeiten zuläßt. So lassen sich beispielsweise mit dem er
findungsgemäßen Getriebemotor Spindelantriebe, Handlings-Systeme, Werk
zeugmaschinenvorschübe und ähnliche Aggregate antreiben.
Es ist dabei im Sinne einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung besonders vor
teilhaft, wenn die zweite Kupplung für die ggf. unmittelbare Aufschaltung der Hohlwelle
auf die Abtriebswelle am einen Ende der Hohlwelle und die erste Kupplung für
die Einschaltung des Getriebes am anderen Ende der Hohlwelle angeordnet ist.
Es ist dabei weiterhin von Vorteil, wenn mindestens eine der Kupplungen als Ma
gnetkupplung ausgebildet ist. Derartige Kupplungen lassen sich durch Fernbe
dienung schalten und bedingen infolgedessen keinen Eingriff mechanisch beweg
licher Teile in das Motor- und Getriebegehäuse.
Die Verwendung von zwei Kupplungen, die mittels einer Schalteinrichtung gleich
zeitig schaltbar sind, schafft eine weitere Möglichkeit, nämlich die vollständige
Blockierung des Systems durch Selbsthemmung.
Es ist dabei weiterhin möglich, die Abtriebswelle in zwei Teilwellen zu unterteilen
und die Hohlwelle mittels der zweiten Kupplung ggf. unmittelbar auf die eine Teilwelle
aufzuschalten und mittels der ersten Kupplung über das Getriebe auf die andere
Teilwelle, so daß beide Teilwellen gleichzeitig aber mit unterschiedlichen Ab
triebsdrehzahlen betrieben werden können.
Wenn in diesem Falle im Zuge einer wiederum weiteren Ausgestaltung der Erfin
dung zwischen den beiden Teilwellen eine dritte schaltbare Kupplung angeordnet
ist, weisen beim Einschalten dieser Kupplung beide Teilwellen wiederum die glei
che Abtriebsdrehzahl auf, und durch gleichzeitiges Einschalten aller Kupplungen
wird wiederum eine Verriegelung des Systems erreicht.
Es ist weiterhin von besonderem Vorteil, wenn als Getriebe ein Untersetzungsge
triebe eingesetzt wird, bei dem in ein starres Hohlrad ein flexibles Stirnrad mit ei
ner Zähnezahl eingreift, die nur wenig kleiner ist als die Zähnezahl des Hohlra
des. Derartige Getriebe sind als "Harmonic-Drive-Getriebe" bekannt und sind in
der Technischen Rundschau, Heft 46,1991, Seiten 56 bis 64 unter dem Titel
"Präzisionsgetriebetechnik - die Kleinen mit dem großen Können" ausführlich er
läutert. Hierbei wird das flexible Stirnrad durch einen umlaufenden elliptischen
Steuerkörper unter Zwischenschaltung von Wälzlagern so verformt, daß das fle
xible Stirnrad an zwei diametral gegenüberliegenden Stellen in das Hohlrad ein
greift, wobei die Eingriffsstellen auf dem Innenumfang des Hohlrades ständig
wandern. Durch eine Differenz von nur zwei Zähnen zwischen den beiden Zahn
kränzen wird so erreicht, daß eine volle Umdrehung des elliptischen Steuerkör
pers das Hohlrad nur um den Abstand zweier Zähne weiterbewegt. Auf diese
Weise kann eine sehr starke Untersetzung erreicht werden, und die Laufruhe ei
nes solchen Getriebes ist - wie der Name bereits sagt außerordentlich groß, so
daß sich ein derartiges Getriebe besonders vorteilhaft für Kristall-Ziehprozesse
eignet. Für einen sogenannten "Eilgang" ist ein solches Getriebe naturgemäß
nicht geeignet, so daß hier die erfindungsgemäße Lösung voll zum Tragen
kommt, die Hohlwelle des Elektromotors durch das erste Getriebe unmittelbar mit
der Abtriebswelle zu verbinden. Hierdurch werden mittels eines koaxialen An
triebssystems zwei Abtriebsdrehzahlen erreicht, die sehr weit auseinander liegen
können.
Vorteilhafte Anwendungsmöglichkeiten eines derartigen Getriebemotors sind in
den übrigen Unteransprüchen beschrieben.
Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes und seine Anwendungs
möglichkeiten im Zusammenhang mit Kristall-Ziehanlagen werden nachfolgend
anhand der Fig. 1 bis 3 näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Axialschnitt durch einen erfindungsgemäßen Getriebemotor,
Fig. 2 in schematischer Darstellung ein erstes Ausführungsbeispiel einer
Kristall-Ziehanlage für den Czochralski-Prozeß und
Fig. 3 in schematischer Darstellung ein zweites Ausführungsbeispiel einer
Kristall-Ziehanlage für die Durchführung des Czochralski-Prozesses
gleichfalls mit mehreren Getriebemotoren der erfindungsgemäßen
Art.
In Fig. 1 ist ein Getriebemotor 1 dargestellt, zu dem ein ortsfest angebrachtes
zylindrisches Gehäuse 2 gehört, das an seinem einen Ende durch einen Gehäu
sedeckel 3 verschlossen ist. In dem Gehäuse 2 ist ein Elektromotor 4 unterge
bracht, der in einem Motorengehäuse 5 untergebracht ist und aus einer Stator
wicklung 6 und einem Rotor 7 besteht, der an einem radialen Flansch 8a einer
Hohlwelle 8 befestigt ist.
In dem Gehäuse 2 ist weiterhin ein Getriebegehäuse 9 fest angeordnet, in dem
zwei Sätze von Planetenrädern 11 und 11 gelagert sind, die unterschiedliche
Durchmesser aufweisen. Die Planetenräder 10 werden durch ein erstes Sonnen
rad 12 angetrieben, das topfförmig ausgebildet und mit der Hohlwelle 8 drehfest
verbunden ist. Durch die Durchmesserdifferenz der Planetenräder 10 und 11 wird
ein zweites Sonnenrad 13 mit verminderter Drehzahl angetrieben, dessen Nabe
14 mittels nicht näher bezeichneter Wälzlager koaxial im ersten Sonnenrad 12
gelagert ist. Die Nabe 14 des zweiten Sonnenrades 12 ist wiederum drehfest mit
einem Antriebsteil 15 einer ersten schaltbaren Magnetkupplung 16 verbunden, zu der ein
Abtriebsteil 17 und ein Statorteil 18 gehören, das an dem Gehäusedeckel 3 orts
fest angebracht ist. In dem Statorteil 18 befindet sich eine hier nicht näher darge
stellte Magnetspule, durch deren Erregung das Antriebsteil 15 das Abtriebsteil 17
mitnimmt. Letzteres ist drehfest mit einer Abtriebswelle 19 verbunden, die koaxial
sowohl in der Hohlwelle 8 als auch in der Nabe 14 angeordnet ist. Die Abtriebs
welle 19 durchsetzt das gesamte Gehäuse 2 und ist an beiden Enden durch ge
strichelt angedeutete Wälzlager 20 und 21 gelagert.
Am gegenüberliegenden Ende der Abtriebswelle 19 befindet sich ein weiteres
Antriebsteil 22, das verdrehfest mit der Hohlwelle 8 verbunden ist. An einem
Stirnflansch 2a des Gehäuses 2 befindet sich ein weiteres ortsfestes Statorteil 23,
das gleichfalls eine hier nicht dargestellte Magnetspule aufweist. Dadurch wird ei
ne zweite schaltbare Magnetkupplung 24 gebildet, zu der auch ein Abtriebsteil
25 gehört, das verdrehfest auf der Abtriebswelle 19 befestigt ist. Durch Erregung
der Magnetspule des Statorteils 23 werden Antriebsteil 22 und Abtriebsteil 25
magnetisch miteinander gekuppelt, so daß die Abtriebswelle 19 mit der gleichen
Drehzahl um läuft wie die Hohlwelle 8.
Der Getriebemotor 1 nach Fig. 1 besitzt folgende Wirkungsweise: Durch Ein
schalten der zweiten Magnetkupplung 24 wird die Abtriebswelle 19 mit der gleichen Dreh
zahl angetrieben wie der Rotor 7 bzw. die Hohlwelle 8. Da die Drehzahl des Ro
tors 7 entsprechend hoch ist, kann die Hohlwelle 19 einen hier nicht dargestellten
Verbraucher mit entsprechend hoher Drehzahl, d. h. im "Eilgang" antreiben. Wird
die zweite Magnetkupplung 24 abgeschaltet und stattdessen die erste Magnetkupplung 16
eingeschaltet, so wird die Abtriebswelle 19 mit derjenigen Drehzahl angetrieben,
die auch die Nabe 14 auf der Abtriebsseite des Planetengetriebes aufweist. Je
nach dem Übersetzungsverhältnis des Getriebes 26 läßt sich die Abtriebswelle 19
mit einer entsprechend verminderten Drehzahl antreiben, also beispielsweise in
einem sogenannten "Schleichgang".
Werden beide Magnetkupplungen 16 und 24 gleichzeitig eingeschaltet, so findet
wegen der unterschiedlichen Drehzahlen der Sonnenräder 12 und 13 eine Arre
tierung der Abtriebswelle 19 gegenüber dem Gehäuse 2 statt. Da das Gehäuse 2
ortsfest angebracht ist, ist hierbei die Abtriebswelle 19 nicht mehr drehbar.
Etwa in der Mitte der Abtriebswelle 19 ist gestrichelt eine weitere Kupplung 27
angedeutet, durch die die Abtriebswelle 19 in eine erste Teilwelle 19a und eine
zweite Teilwelle 19b unterteilt ist. Wird die Verbindung dieser beiden Teilwellen
durch Abschalten der Kupplung 27 unterbrochen, so lassen sich die beiden Teil
wellen 19a und 19b unabhängig voneinander und mit unterschiedlichen Drehzah
len antreiben. Soll ein solches System jetzt gleichfalls blockiert werden, so müs
sen sämtliche Kupplungen, 16, 24 und 27 gleichzeitig eingeschaltet sein.
Das Getriebe 26 kann durch ein "Harmonic-Drive-Getriebe" nach der eingangs
angegebenen Literaturstelle in der Technischen Rundschau, 1991, Heft 46, Sei
ten 56 bis 64, ersetzt werden, wodurch sich noch eine sehr viel stärkere Unter
setzung erreichen läßt, desgleichen ein noch sehr viel schwingungsärmerer Lauf
der Abtriebswelle.
Sofern der Elektromotor 4 in der Drehzahl regelbar ist, lassen sich die unter
schiedlichen Abtriebsdrehzahlen entsprechend variieren.
Die Fig. 2 und 3 zeigen den Einsatz mehrerer Getriebemotoren nach Fig. 1
an unterschiedlichen Stellen zweier verschiedener Kristall-Ziehanlagen für die
Durchführung des Ziehverfahrens nach Czochralski.
In Fig. 2 ist eine gasdichte Kammer 30 dargestellt, in der sich ein beheizbarer
Schmelzentiegel 31 befindet, der eine Schmelze 32 aus einem dotierten Halblei
termaterial enthält. Aus dieser Schmelze wird ein Kristall 33 gezogen, der bei
spielsweise ein Einkristall mit entsprechender Dotierung sein kann. Der Kristall 33
hängt wiederum an einem Keimkristallhalter 34, der sich am unteren Ende einer
Ziehwelle 35 befindet. Diese Ziehwelle ist in einem Lagergehäuse 36 drehbar
gelagert, das an seinem oberen Ende einen Getriebemotor 1 nach Fig. 1 trägt,
mit dem die Ziehwelle 35 in eine Umdrehung mit geringer Drehzahl versetzbar ist.
Am oberen Ende besitzt die Ziehwelle 35 eine Drehkupplung 27 bekannter Bau
art, über die Kühlmedien zugeführt werden können.
Das Lagergehäuse 36 ist über einen Ausleger 38 und eine Spindelmutter 39 mit
einer Gewindespindel 40 verbunden, durch die der gesamte vorstehend be
schriebene Drehantrieb einschließlich der Ziehwelle 35 auf- und abwärts beweg
bar ist. Die Gewindespindel 40 ist an beiden Enden in hier nicht näher bezeichne
ten Lagern gelagert und wird durch einen analogen Getriebemotor 1a in Drehung
versetzt. Dieser Getriebemotor 1a ermöglicht es, durch wahlweises Einschalten
der Magnetkupplung 16 bzw. 24 (siehe Fig. 1), die Gewindespindel 14 mit sehr
unterschiedlicher Drehzahl anzutreiben, so daß die Ziehwelle 35 wahlweise im
Eilgang oder im Schleichgang nach oben oder unten bewegt werden kann. Der
Schleichgang dient beispielsweise zur Durchführung des eigentlichen Ziehpro
zesses, während der Eilgang dazu dient, den fertigen Kristall 33 vom Rest der
Schmelze 32 abzuheben oder - in umgekehrter Richtung - einen neuen Keimkri
stall in die Schmelze 32 (nach Ergänzung des Verbrauchs) abzusenken, worauf
durch Herabsetzung der Drehzahl ein neuer Ziehprozeß beginnt. Die in dem obe
ren strichpunktierten Kasten 41 befindlichen Bauteile bilden den sogenannten
Ziehvorschub, der von einer senkrechten Säule 42 getragen wird.
Der Schmelzentiegel 31 ist am oberen Ende einer Hubwelle 43 angeordnet, die in
einem weiteren Lagergehäuse 44 in analoger Weise gelagert ist, wie die Zieh
welle 35. Am unteren Ende der Hubwelle 43 befindet sich ein weiterer Getriebe
motor 1 gemäß Fig. 1 mit einer analogen Drehkupplung 37. Auch das Lagerge
häuse 44 ist über einen Ausleger 45 und eine Spindelmutter 46 mit einer Gewin
despindel 47 verbunden, die gleichfalls an beiden Enden in nicht näher bezeich
neten Drehlagern gelagert ist. Auch die Gewindespindel 47 wird durch einen Ge
triebemotor 1a angetrieben, der in analoger Weise hinsichtlich seiner Drehzahl
umschaltbar ist, wie der zum Ziehvorschub gehörende Getriebemotor 1a (im Ka
sten 41). Die im unteren strichpunktierten Kasten 48 befindlichen Bauteile bilden
den sogenannten Tiegelvorschub. In analoger Weise wie der Ziehvorschub
(Kasten 41) kann auch der Tiegelvorschub wahlweise im Schleichgang und im
Eilgang betrieben werden.
Soweit bei der zweiten Variante nach Fig. 3 gleiche Bauteile verwendet werden
wie bei dem Gegenstand nach Fig. 2, wird auf eine Wiederholung der Bezugs
zeichen verzichtet. Im Unterschied zu Fig. 2 wird bei dem Gegenstand nach
Fig. 3 der Kristall 33 jedoch nicht durch eine Ziehwelle 35 gehoben und gedreht,
sondern durch ein sogenanntes Zugseil 49, an dessen unterem Ende sich
gleichfalls ein Keimkristallhalter 34 befindet.
Für den Drehantrieb des Zugseils 49 ist in analoger Weise wie in Fig. 2 ein Ge
triebemotor 1 vorgesehen, der im vorliegenden Falle nicht nur das Zugseil 49,
sondern auch eine Bezugsplattform 50 dreht, auf der ein Gehäuse 51 angeordnet
ist, in dem sich eine hier nicht gezeigte Wickeltrommel für das Auf- und Abwickeln
des Zugseils 49 koaxial zur Drehachse des Zugseils befindet. Diese
Wickeltrommel wird durch einen Getriebemotor 1a angetrieben, der wiederum
dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 entspricht und eine Drehzahlumschaltung
in der bereits beschriebenen Weise ermöglicht. Einzelheiten dieses Hub- und
Drehantriebs für das Zugseil 49 und damit den Kristall 33 sind in der älteren
Patentanmeldung P 43 29 283.6 der gleichen Anmelderin beschrieben, so daß
sich weitere Ausführungen hierzu erübrigen.
Wie sich aus einem Vergleich der Fig. 2 und 3 ergibt, führt der Zugseilantrieb
nach Fig. 3 zu einer deutlich geringeren Bauhöhe der Anlage.
Alle Antriebe und ihre Übertragungselemente gemäß den Fig. 2 und 3 sind
frei von Schwingungen und Spiel in Dreh- und Längsrichtung, und die Spindel
triebe sind als Kugel-Umlauf-Getriebe (in den Spindelmuttern) ausgeführt. Die
vorteilhafte Wirkung dieser Übertragungselemente wird durch das Prinzip des
"Harmonic-Drive-Getriebes" wirkungsvoll unterstützt.
Die vorstehend angesprochenen "Verbraucher" sind die Übertragungselemente
bzw. die dadurch angetriebenen Maschinen- und Anlagenteile, insbesondere der
Kristallziehanlagen.
Claims (12)
1. Getriebemotor (1, 1a) mit einem Elektromotor (4), dessen
Rotor (7) auf einer Welle (8) angeordnet ist, die zur
Erzeugung unterschiedlicher Drehzahlen einer Abtriebs
welle (19, 19a, 19b) über schaltbare Kupplungselemente
wahlweise über ein Getriebe (26) mit mindestens einer
Getriebestufe oder unter Umgehung dieses Getriebes (26)
auf die Abtriebswelle (19, 19a, 19b) aufschaltbar ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Welle (8) eine mit dem
Rotor (7) auf der Abtriebswelle (19, 19a, 19b) angeord
nete Hohlwelle (8) ist, und daß eine zusätzliche, von einer
ersten Kupplung (16) unabhängig schaltbare zweite Kupp
lung (24) vorhanden ist, über die die Hohlwelle (8) auf
die Abtriebswelle (19, 19a, 19b) aufschaltbar ist.
2. Getriebemotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite Kupplung (24) am einen Ende der Hohlwelle
(8) und die erste Kupplung (16) am anderen Ende der
Hohlwelle (8) angeordnet sind.
3. Getriebemotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite Kupplung (24) über ein weiteres Getriebe
auf die Abtriebswelle (19, 19a, 19b) aufschaltbar ist.
4. Getriebemotor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß das weitere Getriebe ein anderes Untersetzungsver
hältnis besitzt als das erstgenannte Getriebe (26).
5. Getriebemotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens eine der Kupplungen (16, 24) als Magnet
kupplung ausgebildet ist.
6. Getriebemotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kupplungen (16, 24) mittels einer Schalteinrich
tung gleichzeitig einschaltbar sind.
7. Getriebemotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Abtriebswelle (19) in zwei Teilwellen (19a, 19b)
unterteilt ist und daß die Hohlwelle (8) mittels der
zweiten Kupplung (24) unmittelbar auf die eine Teilwelle
(19a) aufschaltbar ist und mittels der ersten Kupplung
(16) auf die zweite Teilwelle (19b) aufschaltbar ist.
8. Getriebemotor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen den beiden Teilwellen (19a, 19b) eine dritte
schaltbare Kupplung (27) angeordnet ist.
9. Getriebemotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß als Getriebe ein Untersetzungsgetriebe des Typs
"Harmonic-Drive-Getriebe" eingesetzt ist, bei dem in ein
starres Hohlrad ein flexibles Stirnrad mit einer Zähne
zahl eingreift, die nur wenig kleiner ist als die Zähne
zahl des Hohlrades.
10. Verwendung eines Getriebemotors (1, 1a) nach einem oder
mehreren der Ansprüche 1 bis 7 zum Antrieb einer Seil
trommel in Kristallziehanlagen für die Durchführung des
Czochralski-Prozesses.
11. Verwendung eines Getriebemotors (1, 1a) nach einem oder
mehreren der Ansprüche 1 bis 9 zum Antrieb von Ziehwel
len (35) und Zugseilen (49) für gezogene Kristalle (33)
und/ oder von Hubwellen (43) von Schmelzentiegeln (31)
mit einer Schmelze (32) für die Bildung eines Kristalls
(33) durch das Czochralski-Verfahren.
12. Verwendung eines Getriebemotors (1, 1a) nach einem oder
mehreren der Ansprüche 1 bis 9 zum Antrieb von Gewinde
spindeln (40, 47) in Kristallziehanlagen.
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