JP3575657B2 - 窒化ガリウム系化合物半導体素子の製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、窒化ガリウム系化合物半導体(InXGa1−XN;0<X<1)から成る活性層を有した素子の有機金属気相成長法を用いた製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、有機金属気相成長法( 以下「MOVPE」と略す) を用いて結晶性の良好な窒化ガリウム系化合物半導体(InXGa1−XN;0<X<1)を得る方法として、例えば特開平6−209122号公報に示されるように特定範囲内の成長温度と成長速度とに基づく成長条件にて発光層を結晶成長させる方法がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来技術では出力可能な光強度の波長、Inを含むガスのモル比及び成長温度とに関する関係が示されていない。通常、窒化ガリウム系化合物半導体においては発光波長はInの組成比に応じて変化し、それに伴って良好な結晶性を得るための最適なモル比、成長温度も変化するため、上記従来技術は所定の発光波長を得るための最適な成長条件を示したものではない。
【0004】
従って、本発明の目的は、上記課題に鑑み、出力光又は入力光の所望の波長に対応した最適な成長条件にて窒化ガリウム系化合物半導体素子を製造し、高光強度の素子を得ることである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
窒化ガリウム系化合物半導体(InXGa1−XN;0<X<1)から成る活性層を有した素子のMOVPE法による製造において、得られた素子の出力光又は入力光の強度Iは、その波長をλ、供給されるInを含むガスのモル比をX、結晶成長温度をTとして、式(1)の関係式で表される。尚、Iは(λ、X、T)における出力又は入力可能な最大値である。
【0006】
【数1】
I=f(λ、X、T) ─ (1)
【0007】
式(1)を用い、所望の波長λd に対する光強度Iは式(2)にて求められる。
【数2】
【0008】
よって、上記課題を解決するために、出力又は入力可能な光強度の供給されるInを含むガスのモル比と結晶成長温度と波長とに関する特性図に基づいて、モル比と結晶成長温度とを決定し、その条件で活性層を結晶成長させることにより、活性層の結晶性が向上し、所望の波長及び光強度を得ることができる。
【0009】
供給されるガスのモル比を、(トリメチルインジウム+トリメチルガリウム)に対するトリメチルインジウムのモル比とすると、所定レベル以上の有効な光強度が得られるためのガスのモル比と結晶成長温度と波長とに関する特性図は図3に示される。よって、所望の波長λd の発光を得るために、λ=λd の直線と特性図の境界との交点をX1 、X2 とし、それら各交点X1 、X2 に対応する結晶成長温度をT1 、T2 とするとき、モル比をX1 〜X2 の間、結晶成長温度をT1 〜T2 の間の値を用いることで活性層を成長させるための最適な条件を容易に決定できる。又、この条件で活性層を結晶成長させることによって、結晶性が向上し、高光強度を有した所望の波長を得ることが可能である。
【0010】
前述の式(2)に示されるように所望の波長において、光強度はモル比と成長温度との関数であるから、波長が決まれば光強度の最大値を得るためのモル比と成長温度は一義的に決定する。波長に関係する最大光強度を得るための成長条件を示した特性曲線は、図3の曲線LP で示される。よって、請求項1に記載の手段の如く、出力光の所望の波長をλd とするとλ=λd の直線と波長最大強度特性曲線LP との交点をX0 とし、その交点X0 に対応する結晶成長温度をT0 とするとき、活性層をモル比X0 、結晶成長温度T0 で成長させることにより所望の波長λd における最大の光強度を得ることができる。
【0011】
図3に示される特性図の境界点をA、B、C及びDとし、それら各境界点A、B、C及びD間を結ぶ特性曲線で囲まれた領域内の成長条件(モル比は約0.60〜0.98の範囲内、成長温度は約500 〜1000℃の範囲内)にて活性層を結晶成長させることにより、結晶性が向上し、高光強度を有した所望の波長を約360 〜580nm の範囲内で得ることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
図1は、サファイア基板11上に形成された窒化ガリウム系化合物半導体で形成された発光素子100の模式的な断面構成図である。基板11の上には窒化アルミニウム(AlN) から成る膜厚約25nmのバッファ層12が設けられ、その上にシリコン(Si)ドープのGaN から成る膜厚約4.0 μmの高キャリア濃度n+ 層13が形成されている。この高キャリア濃度n+ 層13の上に膜厚約35ÅのGaN から成るバリア層151と膜厚約35ÅのIn0.2Ga0.8N から成る井戸層(活性層)152とが交互に積層された多重量子井戸構造(MQW)の発光層15が形成されている。バリア層151は6層、井戸層152は5層である。発光層15の上にはp型Al0.15Ga0.85N から成る膜厚約50nmのクラッド層16が形成されている。さらに、クラッド層16の上にはp型GaN から成る膜厚約100nm のコンタクト層17が形成されている。
【0013】
又、コンタクト層17の上には金属蒸着による透光性の電極18Aが、n+ 層13上には電極18Bが形成されている。透光性の電極18Aは、コンタクト層17に接合する膜厚約40Åのコバルト(Co)と、このCoに接合する膜厚約60Åの金(Au)とで構成されている。電極18Bは膜厚約200 Åのバナジウム(V) と膜厚約1.8 μmのアルミニウム(Al)又はAl合金で構成されている。
【0014】
次に、この発光素子100の製造方法について説明する。
上記発光素子100は、MOVPE法による気相成長により製造された。用いられたガスは、アンモニア(NH3) 、キャリアガス(H2,N2) 、トリメチルガリウム(Ga(CH3)3)(以下「TMG 」と記す)、トリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)(以下「TMA 」と記す)、トリメチルインジウム(In(CH3)3)(以下「TMI 」と記す)、シラン(SiH4)とシクロペンタジエニルマグネシウム(Mg(C5H5)2) (以下「CP2Mg 」と記す)である。
【0015】
まず、有機洗浄及び熱処理により洗浄したa面を主面とした単結晶の基板11をMOVPE装置の反応室に載置されたサセプタに装着する。次に、常圧でH2を流速2 liter/分で約30分間反応室に流しながら温度1100℃で基板11をベーキングした。
【0016】
次に、温度を400 ℃まで低下させて、H2を20liter/分、NH3 を10liter/分、TMA を1.8 ×10−5モル/分で供給してAlN から成るバッファ層12を約25nmの膜厚に形成した。
バッファ層12の形成後、基板11の温度を1150℃に保持し、H2を20liter/分、NH3 を10liter/分、TMG を1.7 ×10−4モル/分、H2ガスにより0.86ppm に希釈されたシランを20×10−8モル/分で供給し、膜厚約4.0 μm、電子濃度2 ×1018/cm3のGaN から成る高キャリア濃度n+ 層13を形成した。
【0017】
上記のn+ 層13を形成した後、続いて、N2又はH2を20liter/分、NH3 を10liter/分、TMG を2.0 ×10−4モル/分で供給して、膜厚約35ÅのGaN から成るバリア層151を形成した。
次に、N2又はH2、NH3 の供給量を一定とし、基板11の温度を 700℃にして、TMG を 4.0×10−6モル/分、TMI を15×10−6モル/分で供給して、膜厚約35ÅのIn0.2Ga0.8N から成る井戸層152を形成した。このとき、(TMG+TMI)に対するTMI のモル比Xv は0.79である。このバリア層151と井戸層152を同一条件で5周期形成し、その上にGaN から成るバリア層151を形成した。このようにして5周期のMQW構造の発光層15を形成した。
【0018】
次に、基板11の温度を1100℃に保持し、N2又はH2を10liter/分、NH3 を10liter/分、TMG を1.0 ×10−4モル/分、TMA を1.0 ×10−4モル/分、CP2Mg を2 ×10−5モル/分で供給して、膜厚約50nm、濃度5 ×1019/cm3のマグネシウム(Mg)をドープしたp型Al0.15Ga0.85N から成るクラッド層16を形成した。
【0019】
次に、基板11の温度を1100℃に保持し、N2又はH2を20liter/分、NH3 を10liter/分、TMG を1.12×10−4モル/分、CP2Mg を2 ×10−5モル/分で供給して、膜厚約100nm 、濃度5 ×1019/cm3のMgをドープしたp型GaN から成るコンタクト層17を形成した。
【0020】
次に、コンタクト層17の上にエッチングマスクを形成し、所定領域のエッチングマスクを除去して、エッチングマスクで覆われていない部分のコンタクト層17、クラッド層16、発光層15、n+ 層13の一部を塩素を含むガスによる反応性イオンエッチングによりエッチングして、n+ 層13の表面を露出させた。
【0021】
次に、エッチングマスクを残した状態で、全面にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィによりn+ 層13の露出面上の所定領域に窓を形成し、10−6Torrオーダ以下の高真空に排気した後、膜厚約200 Åのバナジウム(V) と膜厚約1.8 μmのAlを蒸着する。この後、フォトレジスト及びエッチングマスクを除去することにより、n+ 層13の露出面上に電極18Bが形成される。
【0022】
続いて、表面上にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフによりコンタクト層17上の電極形成部分のフォトレジストを除去して窓を形成し、コンタクト層17を露出させる。露出させたコンタクト層17の上に、10−6Torrオーダ以下の高真空に排気した後、Coを膜厚約40Åに成膜し、このCo上にAuを膜厚約60Åに成膜する。次に、試料を蒸着装置から取り出し、リフトオフ法によりフォトレジスト上に堆積したCoとAuとを除去し、コンタクト層17に対する透光性の電極18Aを形成する。
【0023】
次に、電極18A上の一部にボンディング用の電極パッド20を形成するために、フォトレジストを一様に塗布して、その電極パッド20の形成部分のフォトレジストに窓を形成する。次に、CoもしくはNiとAu、Al、又は、それらの合金を膜厚1.5 μm程度に、蒸着により成膜させ、リフトオフ法により、フォトレジスト上に蒸着により堆積したCoもしくはNiとAu、Al、又はそれらの合金から成る膜を除去して、電極パッド20を形成する。
その後、試料雰囲気を真空ポンプで排気し、O2ガスを供給して圧力3Paとし、その状態で雰囲気温度を約550 ℃にして、3分程度、加熱し、コンタクト層17、クラッド層16をp型低抵抗化すると共にコンタクト層17と電極18Aとの合金化処理、n+ 層13と電極18Bとの合金化処理を行った。このようにして、n+ 層13に対する電極18Bとコンタクト層17に対する電極18Aを形成した。
【0024】
上記に示すように、成長温度を 700℃とし、TMI のモル比Xv を0.79として井戸層152を成長させることで、約 470nmの波長発光が得られ、結晶性が良好で有効な発光強度が得られた。
発光波長はInの組成比、即ち成長時のモル比Xv によって定まり、さらに良好な結晶性を得て有効な発光強度を得るためには適切な結晶成長温度が必要とされる。前述の式(2)に示されるように、所望の波長λd に対する発光の最大強度Iは、モル比Xv と成長温度Tとの2変数関数であるから、波長毎の関係を模式的に示せば図4のようになる。ここで、波長は、一例として400nm 、480nm 、550nm の3つの場合を記した。この図に見られるように各波長毎に特性曲面L1 、L2 、L3 が得られ、各条件での最大強度Iが閾値ITHを越えた有効な最大強度Iを得るための成長条件は閾線LTHより上側の領域で示される。
【0025】
図4に基づいて、各波長毎に成長温度を一定に保持したときの最大強度Iとモル比Xv との関係を示せば図5のようになる。図5(a)より、モル比Xv を約0.78〜0.98とし、成長温度Tを約780 〜1000℃としたとき、閾値ITHを越えた有効な発光強度を有した400nm の波長が得られる。又、この図より400nm の波長においてモル比Xv を約0.90とし、成長温度Tを約850 ℃としたとき、最大の発光強度が得られることがわかる。
同様に図5(b)よりモル比Xv を約0.66〜0.87とし、成長温度Tを約600 〜730 ℃としたとき、有効な発光強度を有した480nm の波長が得られ、モル比Xv を約0.75とし、成長温度Tを約650 ℃としたとき、最大の発光強度が得られる。図5(c)ではモル比Xv を約0.61〜0.71とし、成長温度Tを約520 〜570 ℃としたとき、有効な発光強度を有した550nm の波長が得られ、モル比Xv を約0.63とし、成長温度Tを約520 ℃としたとき、最大の発光強度が得られる。このように有効な発光強度を有した所望の波長を得るための適切な成長条件、及び最大の発光強度を得るための適切な成長条件が存在する。
【0026】
図3は、図4、5を基に発光強度が所定レベルのときの波長λ、モル比Xv 及び成長温度Tの関係を示したものである。図3より、モル比Xv の増加に伴って閾値ITH以上の最大強度Iが得られる発光波長が短波長化し、所定の波長においてはモル比Xv の増加に伴って成長温度Tが高温化することがわかる。この図を用いて所望の波長を得るためのモル比Xv と成長温度Tとを容易に決定することが可能となる。例えば、本実施例では成長温度を 700℃とし、TMI のモル比Xv を0.79として井戸層152を成長させることにより、有効な発光強度を有する約 470nmの発光波長を得たが、図3を用いることでこの発光波長を得るためのモル比Xv と成長温度Tの範囲を容易に設定することが可能である。
【0027】
同様に、例えば有効な発光強度を有する約450nm の波長を得るためには、図3上に450nm の線を横軸に平行に引き、この線と特性図の境界との交点の座標を求めると約0.70、0.98である。この各交点における成長温度Tは図より約680 ℃、1000℃である。よって、井戸層152の成長条件(Xv 、T)を約(0.70、680 ℃)〜(0.98、1000℃)の範囲とすることにより有効な発光強度を有する約450 nmの発光波長を得ることが可能である。このように、図3を用いて成長条件を設定することにより有効な発光強度を有した所望の波長を得ることができる。
又、図3に示される特性図の境界点A(Xv=約0.59、T= 約500 ℃)、B(Xv=約0.67、T= 約500 ℃)、C(Xv=約0.98、T= 約1000℃)及びD(Xv=約0.87、T= 約1000℃)の各点を結んだ特性曲線A−B、B−C、C−D及びD−Aで囲まれた領域内の成長条件を用いることにより、約360nm(点D) 〜580nm(点B) の範囲内で所望の波長を得ることができる。このとき、モル比Xv は約0.59( 点A) 〜0.98( 点C) の範囲内で、成長温度Tは約500 ℃( 点A、B)〜1000℃( 点C、D) の範囲内で用いられる。
又、発光強度がITHを越えた有効な全範囲での、波長、モル比及び成長温度の関係を示せば図2のようになる。図2に示される領域内の成長条件を用いることで有効な発光強度を有した所望の波長を得ることができる。
【0028】
所望の波長において最大の発光強度を得るためのモル比Xv と成長温度Tは一義的に決定される。図4の各特性曲面L1 、L2 及びL3 の各ピーク値P1 、P2 及びP3 を結ぶ線LP は、最大発光強度を得ることが可能な成長条件を示す波長最大発光強度特性曲線を示し、この特性曲線LP は図3上にも示される。このように、図3に示される特性曲線LP 上の成長条件にて井戸層152を成長させることにより所望の波長における最大の発光強度を得ることができる。
【0029】
本実施例では、井戸層152の組成をIn0.2Ga0.8N としたが、InXGa1−XN(0<X<1)であればよい。
又、本実施例では、発光素子100の発光層15はMQW構造としたが、SQWやInXGa1−XN(0<X<1)から成る単層としてもよい。
又、本発明はLEDやLDなどの発光素子や受光素子に適用できる。
【0030】
上記に示されるように、本発明によれば、窒化ガリウム系化合物半導体(InXGa1−XN;0<X<1)から成る活性層を有した素子において、出力又は入力可能な光強度の供給されるInを含むガスのモル比と結晶成長温度と波長とに関する特性図に基づいて、所望の波長を得るように最適なモル比と結晶成長温度とを決定し、その条件にてMOVPE法により活性層を結晶成長させることにより、所望の波長及び所望の光強度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の具体的な実施例に係わる発光素子の構成を示した模式的断面図。
【図2】本発明の具体的な実施例に係わる発光素子の製造方法における活性層の最適成長条件を示した特性図。
【図3】本発明の具体的な実施例に係わる発光素子の製造方法における活性層の最適成長条件及び波長最大強度特性曲線を示した特性図。
【図4】本発明の具体的な実施例に係わる発光素子の製造方法において、強度、モル比及び成長温度との関係を波長毎に示した模式図。
【図5】本発明の具体的な実施例に係わる発光素子の製造方法において、成長温度を一定にしたときの強度とモル比との関係を波長毎に示した模式図。
【符号の説明】
11 サファイア基板
12 バッファ層
13 高キャリア濃度n+ 層
15 発光層
16 クラッド層
17 コンタクト層
18A p電極
18B n電極
20 電極パッド
100 発光素子
151 バリア層
152 井戸層
Claims (1)
- 窒化ガリウム系化合物半導体(InXGa1-XN;0<X<1)から成る活性層を有した素子の有機金属気相成長法を用いた製造方法であって、
Inを含むガスのモル比と結晶成長温度と波長とに関する図3に示す特性図に基づいて、所望の波長λd の発光を得るために、λ=λd の直線と波長最大強度特性曲線LP との交点をX0 とし、その交点X0 に対応する前記結晶成長温度をT0 とするとき、前記モル比をX0 、前記結晶成長温度をT0 にして前記活性層を結晶成長させることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体素子の製造方法。
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