JP3567176B2 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料における任意の微小部位について、迅速かつ正確に分析できる蛍光X線分析装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、例えば、図9に示すような、いわゆる走査型(波長分散型)蛍光X線分析装置を用いて、試料1に1次X線4を照射し、任意の位置の微小範囲の試料表面1aおよびその深さ方向における近傍(以下、試料1の微小部位という)から発生する蛍光X線6の強度を測定して強度分布測定を行うマッピング測定がある。
【0003】
ここで、例えば、円板状の試料1が試料ホルダ2に収納され、その試料ホルダ2は試料台3に載置され、その試料台3はいわゆるθステージ(回転ステージ)42に固定されている。また、試料台3と後述する検出手段37の発散ソーラスリット19との間には、検出手段37の視野を制限する絞り孔43aを有する板状のコリメータ43が備えられている。このコリメータ43は、制御手段46により図示しないパルスモータ等の駆動手段で紙面垂直方向に所定の範囲内で任意の距離だけ移動される。
【0004】
したがって、分析すべき微小部位が、例えば、試料表面1aの中心(試料ホルダ2およびθステージ42の回転の中心軸が通る)からr1 の距離で、紙面垂直方向からθ1 の角度にあるとき、制御手段46により、θステージ42を−θ1 だけ回転し、絞り孔43aが試料表面1aの中心を見込む位置からr1 の距離の位置になるようにコリメータ43を移動させれば、絞り孔43aが分析すべき微小部位を見込むことになる。すると、露出した試料表面1aの広い範囲に1次X線4が照射され、試料1から発生してコリメータ43の絞り孔43aを通過した蛍光X線6、すなわち試料1の任意の微小部位から発生する蛍光X線6が、発散ソーラスリット19、分光素子8、受光ソーラスリット9およびシンチレーションカウンタ等の検出器10からなる検出手段37により強度が測定され、すなわち、その微小部位の分析ができることになる(特開平6−308060号参照)。
【0005】
しかるに、試料台3に載置された試料1の上方には、X線管等のX線源5や発散ソーラスリット19等が設置されており、試料表面1aを直接見ながら、上述のように測定すべき微小部位の設定をすることはできない。そこで、従来においては、例えば、試料ホルダ2を試料台3に載置する前に、すなわち、試料1に1次X線4が照射される試料室17の外において、試料ホルダ2についての所定の方向、位置に合わせて透明な方眼紙を試料表面1aに載せ、試料1の任意の微小部位について(複数であればそれぞれについて)その方眼紙におけるX座標、Y座標(座標の原点は例えば試料表面1aの中心に合致させてある)を読み取った後、方眼紙を取り去り、試料ホルダ2の前記所定の方向、位置を、初期状態の試料台3における対応すべき方向、位置に合わせて載置する。そして、前記X座標、Y座標を入力手段45から入力すると、制御手段46が、両座標値に基づいて、θステージ42による試料1の適切な回転角および駆動手段によるコリメータ43の直線移動量を算出し、測定すべき微小部位の設定、測定を順次行う。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、透明とはいえ方眼紙越しに見るのでは試料1の任意の微小部位の特定が容易でなく、また、X座標、Y座標を読み取って入力するのは面倒で、入力ミスも生じやすく、したがって、迅速で正確な微小部位の設定ができない。
【0007】
また、例えば、試料台3に載置された試料表面1aをCCD等により撮像してCRT等に表示し、その表示された画像に基づいて測定すべき微小部位を指定することも考えられるが、上述したように、試料台3に載置された試料1の上方には、X線管等のX線源5や発散ソーラスリット19等が設置されているので、CCDは試料表面1aを斜め方向から撮像しなければならない場合もあり、その場合には、生成される画像が、試料表面1aの真上すなわち試料表面1aに垂直な方向から撮像した場合の画像とは異なり、縦と横でスケール(倍率)が異なる画像となる。したがって、そのような画像に基づいて測定すべき微小部位を指定するのは容易でなく、やはり、迅速で正確な微小部位の設定ができない場合がある。
【0008】
さらに、ズーム等の複雑な機構なしに、微小部位を指定できるように試料表面1aの一部を撮像し拡大して表示する場合には、試料表面1a全体の画像を表示できない。したがって、そのような試料表面1aの一部の画像のみに基づいて測定すべき微小部位を指定するのは容易でなく、やはり、迅速で正確な微小部位の設定ができない場合がある。
【0009】
さらにまた、たとえ測定すべき微小部位の設定が正確にできたとしても、そのような微小部位からの蛍光X線6は強度が微弱である上、ソーラスリット19,9や分光素子8を経ていっそう強度が微弱になりやすいので、シンチレーションカウンタ等の検出器10およびソーラスリット9と分光素子8とをゴニオメータで連動させて広い波長範囲において高分解能で強度を測定するには、長時間を要し、迅速な微小部位の分析ができないという問題が生じる場合もある。
【0010】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、試料における任意の微小部位について、迅速かつ正確に分析できる蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項1の蛍光X線分析装置は、まず、試料が載置される試料台と、試料に1次X線を照射するX線源と、試料から発生する蛍光X線の強度を測定する検出手段とを備えている。そして、試料と前記X線源および検出手段とを相対的に移動させる移動手段を備えている。
【0014】
さらに、試料表面の一部を撮像して画像を生成する撮像手段と、前記移動手段を駆動して、前記撮像手段により生成される試料表面の一部の画像を複数得て、それらの複数の画像から試料表面全体の画像を合成する合成手段と、その合成手段により合成された試料表面全体の画像を表示する表示手段と、その表示手段により表示された試料表面全体の画像に基づいて指定された試料の部位から発生する蛍光X線が前記検出手段へ入射するように、前記移動手段を制御する制御手段とを備えている。
【0015】
請求項1の装置によれば、試料表面の一部を直接複数撮像して合成した試料表面全体の画像を見ながら任意の微小部位を指定できるので、試料における測定すべき任意の微小部位を迅速かつ正確に設定できる。したがって、試料における任意の微小部位について、迅速かつ正確に分析できる。
【0016】
請求項1の蛍光X線分析装置は、さらに、前記合成手段により合成された試料表面全体の画像と、前記指定された試料の部位を含む前記撮像手段により生成された試料表面の一部の拡大画像とを、前記表示手段の同一画面に表示させ、その表示された試料表面の一部の拡大画像に基づいてさらに指定された試料の部位から発生する蛍光X線が前記検出手段へ入射するように、前記移動手段を制御する制御手段を備えている。
【0017】
請求項1の装置によれば、試料表面の一部を直接複数撮像して合成した試料表面全体の画像を見ながら任意の微小部位を指定することにより、その指定された試料の部位を含む試料表面の一部の拡大画像を、試料表面全体の画像と同一画面に表示でき、その表示された試料表面の一部の拡大画像を見ながら任意の微小部位をさらに指定できるので、試料における測定すべき任意の微小部位をいっそう正確に設定できる。
【0018】
請求項2の蛍光X線分析装置は、まず、試料が載置される試料台と、試料に1次X線を照射するX線源と、試料から発生する蛍光X線の強度を試料に近接して測定するエネルギー分散型の第1検出手段と、試料から発生する蛍光X線を分光素子で分光してその強度を測定する第2検出手段と、前記試料台と第1および第2検出手段との間に設けられ、絞り孔を有して第1または第2検出手段の視野を制限する板状のコリメータとを備えている。そして、試料と前記X線源および第1検出手段、または試料と前記X線源および第2検出手段とを相対的に移動させる移動手段を備えている。
【0019】
さらに、試料表面を撮像して画像を生成する撮像手段と、その撮像手段により生成された試料表面の画像を表示する表示手段と、その表示手段により表示された試料表面の画像に基づいて指定された試料の部位から発生する蛍光X線が前記第1検出手段または第2検出手段へ入射するように、前記移動手段を制御する制御手段とを備え、前記コリメータに前記第1検出手段が取り付けられている。
【0020】
請求項2の装置によれば、試料表面を直接撮像した画像を見ながら任意の微小部位を指定できるので、試料における測定すべき任意の微小部位を迅速かつ正確に設定できる。さらに、コリメータにより視野制限された微小部位からの強度の微弱な蛍光X線について、まず、感度の高いエネルギー分散型の第1検出手段によって、短時間に波長分布特性を調べた後、必要な波長範囲においてのみ、分解能の高い波長分散型の第2検出手段で強度を測定できるので、設定された微小部位について迅速かつ正確に分析できる。したがって、試料における任意の微小部位について、迅速かつ正確に分析できる。
【0021】
請求項3の蛍光X線分析装置は、請求項2の装置において、前記撮像手段が、試料台に載置された試料表面の画像を撮像して画像を生成する。請求項3の装置によれば、測定直前の試料台に載置された試料表面を直接撮像した画像を見ながら任意の微小部位を指定できるので、試料における測定すべき任意の微小部位をいっそう正確に設定できる。
【0022】
請求項4の蛍光X線分析装置は、請求項3の装置において、前記第2検出手段が発散ソーラスリットを有している。そして、前記コリメータと分光素子との間に、前記発散ソーラスリットと撮像手段の少なくとも一部とが設けられ、それらの一方を試料台に載置される試料を臨むように選択的に位置させる選択手段を備えている。請求項4の装置によれば、撮像手段を移動させる選択手段が、発散ソーラスリットの交換機を兼ねることができるので、装置の構成が容易である。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、第1実施形態の装置を図面にしたがって説明する。まず、この装置の構成について説明する。図1に示すように、この装置は、まず、試料1が載置される試料台3と、試料1に1次X線4を照射するX線管等のX線源5と、試料1から発生する蛍光X線6の強度を試料1に近接して測定するエネルギー分散型の第1検出手段(例えば、SSD)30と、試料1から発生する蛍光X線6を分光素子8で分光してその強度を測定する第2検出手段7とを備えている。
【0024】
また、この装置は、試料台3と第1および第2検出手段30,7との間に設けられ、第1または第2検出手段30,7の視野を制限するコリメータ13を備えている。すなわち、試料1に1次X線4が照射される試料室17において、試料1に近接して、制御手段16により図示しないパルスモータ等の駆動手段で紙面垂直方向に移動される板状のコリメータ13が設けられており、コリメータ13は、紙面垂直方向に並ぶ絞り孔13a,13b(13bは、D方向の矢視図(部分断面図)である図4に示す)を有しており、絞り孔13bの後方(蛍光X線6の進行方向)に第1検出手段たるSSD30が取り付けられている。
【0025】
第2検出手段7は、試料1から発生する蛍光X線6を通過させる発散ソーラスリット19、その通過した蛍光X線6を分光する分光素子8、その分光された蛍光X線6を通過させる受光ソーラスリット9およびその通過した蛍光X線6の強度を測定するプロポーショナルカウンタやシンチレーションカウンタ等の検出器10からなる。分光素子8と受光ソーラスリット9および検出器10とは、いわゆるゴニオメータにより連動され、所定の波長範囲において測定を行う。そして、試料1とX線源5および第1検出手段30、または試料1とX線源5および第2検出手段7とを相対的に移動させる移動手段12を備えている。なお、試料1は試料ホルダ2に収納され、移動手段12はいわゆるrθステージ12であるが、XYステージ等であってもよい。いずれの場合も、移動手段による試料ホルダ2の移動に対し、障害物がないように移動方向等を設定する。
【0026】
また、X線源5の前には、試料1に応じた1次X線4を照射すべく、フィルタ板40を備えることが好ましい。フィルタ板40は、紙面垂直方向に、種々の透過特性のフィルタと、X線源5からのX線を透過させない遮断部を有し、制御手段16により図示しないモータ等の駆動手段で紙面垂直方向に移動される。なお、フィルタ板40は、略円板状で、周方向に種々のフィルタと遮断部を有し、制御手段16により回転されるものであってもよい。
【0027】
さらに、この装置は、試料台3に試料ホルダ2を介して載置された試料1の表面1aの一部を斜め方向から(例えば試料表面1aに対して40度の方向から)撮像して画像を生成する撮像手段14を備えている。そして、その撮像手段14により生成された試料表面1aの一部の画像を、試料表面1aに垂直な方向から(試料表面1aの真上から)撮像した場合の画像に修正する修正手段60を備えている。さらに、rθテーブル12を駆動して、撮像手段14により生成され修正手段60により修正された試料表面1aの一部の画像を複数得て、それらの複数の画像から試料表面1a全体の画像を合成する合成手段61を備えている。
【0028】
そして、合成手段61により合成された試料表面1a全体の画像を表示する液晶パネル等の表示手段15と、その表示手段15により表示された試料表面1a全体の画像に基づいて指定された試料1の部位(試料全体が微小である場合の試料全体も含む)から発生する蛍光X線6が第1検出手段30または第2検出手段7へ入射するように、rθステージ12を制御する制御手段16を備えている。より具体的には、この制御手段16は、合成手段60により合成された試料表面1a全体の画像と、前記指定された試料1の部位を含む撮像手段14により生成された試料表面1aの一部の拡大画像とを、表示手段15の同一画面15bに表示させ、その表示された試料表面1aの一部の拡大画像に基づいてさらに指定された試料1の部位から発生する蛍光X線6が第1検出手段30または第2検出手段7へ入射するように、rθステージ12を制御することもできる。
【0029】
撮像手段14は、試料1から発生する蛍光X線6が分光される分光室18の内部に設けられている。ここで、撮像手段14は、その詳細を図2に示すように、筒状のケース14dと、その先端部に設けられた鉛ガラス等からなる窓14cと、窓14cから入った光を通過させるレンズ14bと、レンズ14bを通過した光から画像を生成するCCD14aと、一端がケース14d後端部に連結され接続コード62を覆い他端が分光室18の内壁18aに連結される(図1参照)伸縮自在のチューブ14eとからなる。接続コード62は、撮像手段14のケース14d後端部から延出し、図1に示すように、分光室18の壁を貫通してCCD14aで生成された画像信号を、修正手段60、合成手段61を介して、表示手段15に伝達する。
【0030】
図2のケース14d先端部と窓14c、ケース14d後端部とチューブ14eの一端、図1のチューブ14eの他端と分光室18の内壁18aとの各間は、シールされる。撮像手段14をこのように構成するのは、分光室18内は真空雰囲気とされるが、真空雰囲気では図2のCCD14aの性能を保証し得ないため、ケース14d内部を分光室18外の大気圧雰囲気と連通させるためである。
【0031】
なお、撮像手段14の一部として反射鏡のみを分光室18内に設け、その鏡像を分光室18の壁に設けた窓越しに分光室18外のCCD14aで撮像するように構成してもよい。また、撮像手段14の一部として光ファイバーケーブルの一端側のみを分光室18内に設け、他端側を分光室18の壁を貫通させて分光室18外のCCD14aに連結して伝達された画像を撮像するように構成してもよい。このような構成の場合は、分光室18の壁において窓を設けた部分や光ファイバーケーブルが貫通する部分がシールされる。また、撮像手段14は、その先端部、図2でいえば窓14cの近傍に、撮像時に試料表面1aを照らすライト(図示せず)を有するのが好ましい。
【0032】
さらに、この装置は、図1に示すようにコリメータ13と分光素子8との間(試料台3と分光素子8との間でもある)に、発散ソーラスリット19と撮像手段14を備え、それらの一方を試料台3に載置される試料1を臨むように選択的に位置させる選択手段20を備えている。すなわち、図2の一部の平面図である図3に示すように、この装置においては、分解能の異なる3つの発散ソーラスリット19A,19B,19Cと、撮像手段14のCCD14a等を含むケース14dが、1つの被駆動側歯車21に、それぞれの軸が被駆動側歯車21の回転軸21aと平行にかつ回転軸21aから等距離であって回転角が90度ごとの位置になるように取り付けられている。図2に示すように、この被駆動側歯車21を含め、選択手段20が以下のように構成される。
【0033】
被駆動側歯車の回転軸21aは、分光室18の内壁に固定されたベース22に回転自在に支持され、被駆動側歯車21は駆動側歯車24と噛み合っている。駆動側歯車24の中心には、モータ25の回転軸25aが連結固定されている。モータ25の回転軸25aは、前記被駆動側歯車21の回転軸21aと平行で、モータ25は、支持台26、アーム27を介してベース22に固定されている。したがって、以上のように構成した機構全体である選択手段20により、発散ソーラスリット19A,19B,19C、撮像手段14のいずれかを試料1を臨むように選択的に位置させることができる。このように第1実施形態の装置によれば、撮像手段14を移動させる選択手段20が、発散ソーラスリット19A,19B,19Cの交換機を兼ねるので、装置の構成が容易である。
【0034】
なお、第1実施形態の装置では、選択手段20において、駆動側歯車24および被駆動側歯車21をともに平歯車で構成したが、図10の平面図に示すように、駆動側をピニオン54、被駆動側を紙面垂直方向に移動するラック51aとし、そのラック51aを取り付けた板51に発散ソーラスリット19と撮像手段14の少なくとも一部とを図1,2の紙面垂直方向に並べて取り付けて、選択手段50を構成してもよい。
【0035】
次に、この装置の動作について説明する。図1において、まず、試料1を収納した試料ホルダ2が試料台3に載置され、制御手段16にこれより測定すべき微小部位の設定を行う旨が入力されると、制御手段16は、コリメータ13を撮像の障害とならないよう図示しない駆動手段により紙面垂直方向に退避させ、選択手段20により、撮像手段14を試料1を臨むように位置させて試料表面1aの一部を斜め方向から撮像して画像を生成させる。
【0036】
ここで、図11(a)に示すように、仮に試料表面1aに均等に枡目が設けてあるとすると、試料表面1aに対して40度の斜め方向に設けられた撮像手段14(図1)で生成される画像は、図11(b)に示すように、縦方向(図1の左右方向)にsin40°を乗じただけ圧縮された画像になる。このような画像では、実感が伴わず、これに基づいて測定すべき微小部位を指定するのは容易でない。そこで、第1実施形態の装置では、図1の修正手段60が、撮像手段14により生成された試料表面1aの一部の画像を、縦方向(図11)に1/sin40°を乗じただけ伸長して、試料表面1aに垂直な方向から(試料表面1aの真上から)撮像した場合の画像、すなわち図11(a)のような画像に修正する。
【0037】
撮像手段14(図1)の試料表面1aに対する角度は、厳密には、試料表面1aにおける縦方向の位置によって異なるので、修正のためにどの程度の倍率を乗じて伸長すべきかも、厳密には、画像の縦方向の位置によって異なる。角度が浅くて、縦方向に広い範囲の画像の場合等は、その影響が大きくなるので、そのような場合には、それをも考慮し、例えば、縦方向に画像をいくつかに分割して修正の倍率をそれぞれ適切に設定する。なお、横方向(図1の紙面垂直方向)については、図1の撮像手段14から見て近くのものも遠くのものも同じ長さになるように、撮像手段のレンズ14b(図2)で修正される。
【0038】
しかし、以上のような修正がなされても、第1実施形態の装置は、ズーム等の複雑な機構を用いずに、微小部位を指定できるように試料表面1aの一部を撮像し拡大して表示するので、このままでは、rθテーブル12を駆動しても試料表面1aの一部ずつしか表示することができず、試料表面1a全体の画像を表示できない。このように試料表面1a全体の画像を一望できない状態で、試料表面1aの一部の画像のみに基づいて測定すべき微小部位を指定するのは容易でない。そこで、第1実施形態の装置では、制御手段16の指示により、合成手段61が、rθテーブル12を駆動して、撮像手段14により生成され修正手段60により修正された試料表面1aの一部の画像を複数得て(図12に実線で示す13個の矩形の画像)、それらの複数の画像から試料表面1a全体の画像(図12に二点鎖線で示す1個の円形の画像)を合成する。なお、図12において、実線で示す13個の矩形の画像に重複する部分があるが、例えば、より先に撮像した画像を優先して合成に用いるようにすればよい。
【0039】
そして、図1の制御手段16は、合成手段61により合成された試料表面1a全体の画像を表示手段15に表示させる(図13の左側)。撮像時には、フィルタ板40が移動され、X線源5からのX線を透過させない遮断部がX線源5の前に位置する。このように動作させるのは、X線源5からX線が発生しても、それが撮像手段14のレンズ14b(図2)に達して変色させる等の問題を生じさせないためである。また、同時に、撮像手段14のライトにより、試料表面1aが照らされるが、フィルタ板40の裏面(下面)により、その照明光が反射されて、試料表面1aがいっそう明るく照らされる。
【0040】
ここで、表示手段15の画面15bが、いわゆるタッチパネル等の入力手段となっており、図13の左側のように表示された試料表面1a全体の画像に直接基づいて測定すべき微小部位を直接指定できる場合には、操作者は、画面15b右下側の「全体画像より指定」を直接ペン等で押圧して選択し、左側に表示された試料表面1a全体の画像の任意の位置を直接ペン等で押圧して、測定すべき微小部位として指定、入力することができる。画面15bを直接押圧する代わりに、画面15b上に現れるカーソルを、図示しないマウス等の入力手段により、画面15bの任意の位置に一致するように移動させてクリックし、選択、指定、入力等することもできる。
【0041】
測定すべき部位が特に微小である場合等、試料表面1a全体の画像に直接基づいて測定すべき微小部位を直接指定するのが困難な場合は、操作者は、画面15b右下側の「部分画像より指定」を直接ペン等で押圧して選択し、左側に表示された試料表面1a全体の画像の任意の位置を直接ペン等で押圧して指定すると、制御手段16により、その指定された試料1の部位を含む撮像手段14により生成された試料表面1aの一部(2点鎖線で囲まれた部分)の拡大画像が、図13の右側のように、表示手段15の同一画面15bに表示され、操作者は、その表示された試料表面1aの一部の拡大画像の任意の位置を直接ペン等で押圧して、測定すべき微小部位を指定、入力することができる。
【0042】
なお、測定すべき微小部位の指定、入力は、1点1点行うほかに、線分の両端と分割数を指定して行うこともできる(特願平09−232308号等参照)。例えば、5分割であれば、両端の2点と分割数5を指定するだけで、両端の2点で決められる線分上の6点(その線分を5等分する点で両端を含む)が、測定すべき微小部位として指定、入力される。また、矩形の対角の2点と縦横両方向の分割数を指定してもよい(同号等参照)。例えば、縦3分割、横4分割であれば、対角の2点と分割数3、4を指定するだけで、対角の2点で決められる矩形を縦に3等分、横に4等分する格子上の20点(格子の両端、矩形の角を含む)が、測定すべき微小部位として指定、入力される。
【0043】
指定が終了した旨が入力されると、図1の制御手段16は、指定点の画面15b上の位置から、rθステージ12による試料1の適切な回転角および直線移動量を算出し、指定された微小部位に最も強く1次X線4が照射され、そこから発生する蛍光X線6が、第1検出手段30に入射するように、rθステージ12を制御して測定すべき微小部位の設定を行う。このように、第1実施形態の装置によれば、測定直前の試料台3に載置された試料表面1aを直接撮像した画像を見ながら任意の微小部位を指定できるので、試料1における測定すべき任意の微小部位を迅速かつ正確に設定できる。
【0044】
また、制御手段16は、このような微小部位の設定を行うとともに、コリメータ13を紙面垂直方向に移動させて、絞り孔13bおよび第1検出手段30を適切に位置させる(絞り孔13bを用いるように切り換える)。さらに、操作者は、発生すべき蛍光X線6の波長等に応じて、フィルタ板40におけるフィルタの選択を行う。この選択も、発生すべき蛍光X線6の波長等を入力することにより、制御手段16に行わせてもよい。適切なフィルタが選択されると、制御手段16は、X線源5から試料1に1次X線4を照射させ、発生する蛍光X線6の強度をSSDである第1検出手段30に測定させる。このように、第1実施形態の装置によれば、微小部位からの強度の微弱な蛍光X線6について、まず、感度の高いエネルギー分散型の第1検出手段30によって、短時間に大まかに波長分布特性を調べることができる。
【0045】
次に、操作者は、その波長分布特性を検討し、詳細に分析すべき波長範囲を、制御手段16に入力する。すると、コリメータ13を紙面垂直方向に移動させて、絞り孔13aを適切に位置させる(絞り孔13aを用いるように切り換える)。さらに、操作者は、分析すべき蛍光X線6の波長等に応じた適切な発散スリット例えば発散スリット19Aを、選択手段20により、試料1を臨むように位置させる。この選択も、制御手段16に行わせてもよい。同様に、フィルタ板40におけるフィルタの選択が行われる。適切な発散スリット19A、フィルタが選択されると、制御手段16は、X線源5から試料1に1次X線4を照射させ、所望の詳細に分析すべき波長範囲において、発生する蛍光X線6の強度を第2検出手段7に測定させる。なお、測定すべき微小部位がまとめて複数指定された場合には、例えば、指定された順に、各微小部位の設定および測定を行う。
【0046】
このように、第1実施形態の装置によれば、微小部位からの強度の微弱な蛍光X線6について、第1検出手段30によって、短時間に大まかに波長分布特性を調べた後、必要な波長範囲においてのみ、分解能の高い波長分散型の第2検出手段7で強度を測定できるので、設定された微小部位について迅速かつ正確に分析できる。すなわち、試料1における測定すべき任意の微小部位を迅速かつ正確に設定でき、設定された微小部位について迅速かつ正確に分析できるので、試料1における任意の微小部位について、迅速かつ正確に分析できる。
【0047】
次に、本発明の第2実施形態の装置を図面にしたがって説明する。まず、この装置の構成について説明する。図5に示すように、この装置は、撮像手段34が、試料室17および分光室18の外部に設けられ、撮像対象の試料1の上方に干渉する物がないので、試料台3に載置される前の試料表面1a全体の画像を真上から撮像して画像を生成することが可能である点で(それゆえ、修正手段60、合成手段61を備えない)、また、前述したような選択手段20やフィルタ板40を備えない点で、前記第1実施形態の装置と異なっており、その他の点では同様であるので説明を省略する。
【0048】
ここで、第2実施形態の装置の撮像手段34は、全体が大気圧雰囲気中にあって、筒状のケース34dと、その先端部に設けられたレンズ34bと、レンズ34bを通過した光から画像を生成するCCD34aと、試料1を収納した試料ホルダ2が載置される撮像台34gと、CCD34aがその試料1の表面1aを臨むようにケース34dを撮像台34gに支持する支持具34fとからなる。表示手段15のコード15aは、撮像手段34のケース34d後端部から延出しCCD34aで生成された画像信号を表示手段15本体に伝達する。
【0049】
次に、この装置の動作について説明する。まず、試料1を収納した試料ホルダ2を、CCD34aの直下で所定の方向を向くように、例えば試料ホルダ2に設けた凸部2aを撮像台34gに設けた印に合わせる等して、撮像台34gに載置する。そして、制御手段36に試料表面1a(試料表面1a全体、以下第2実施形態において同様)の画像を記憶すべき旨が入力されると、制御手段36は、撮像手段34に試料表面1aを撮像して画像を生成させ、その画像を記憶する。さらに、測定条件を指定、入力する際に、制御手段36にこれより測定すべき部位の設定を行う旨が入力されると、制御手段36は、記憶した試料表面1aの画像を、表示手段15に表示させる。ここで、前記第1実施形態の装置と同様に、表示手段15の画面15bが、いわゆるタッチパネル等の入力手段となっており、操作者は、画面15bに写った試料表面1aの画像の任意の位置を直接ペン等で押圧して、測定すべき部位として指定、入力することができる。
【0050】
測定条件の指定、入力が終わると、試料1を収納した試料ホルダ2が、試料台3の中央に載置される。測定すべき部位の設定、測定を行うべき旨が入力されると、制御手段36は、まず、rθステージ12により試料台3を回転させ、前記試料ホルダ2の凸部2aを反射型センサ70で検知することにより、試料1を所定の方向(試料表面1aを撮像したときと合致する方向)に向け、初期状態とする。続けて、前記第1実施形態の装置と同様に、制御手段36は、指定点の画面15b上の位置から、rθステージ12による試料1の適切な回転角および直線移動量を算出し、指定された部位に最も強く1次X線4が照射され、そこから発生する蛍光X線6が第1検出手段30へ入射するように、rθステージ12を制御して測定すべき部位の設定を行う。なお、前記撮像台34gにも回転角調整器(θステージ)および反射型センサ70を設けることにより、撮像時の試料1の方向決めも制御手段36に行わせてもよい。
【0051】
このように、第2実施形態の装置によれば、試料表面1aを直接撮像した画像を見ながら任意の微小部位を指定できるので、試料1における測定すべき任意の微小部位を迅速かつ正確に設定できる。以降、前記第1実施形態の装置と同様に測定でき、微小部位からの強度の微弱な蛍光X線6について、第1検出手段30によって、短時間に大まかに波長分布特性を調べた後、必要な波長範囲においてのみ、分解能の高い波長分散型の第2検出手段37で強度を測定できるので、設定された微小部位について迅速かつ正確に分析できる。すなわち、試料1における測定すべき任意の微小部位を迅速かつ正確に設定でき、設定された微小部位について迅速かつ正確に分析できるので、試料1における任意の微小部位について、迅速かつ正確に分析できる。
【0052】
なお、第2実施形態の装置においては、撮像手段34を、狭小な試料室17や分光室18の内部でなく外部に設けるので、装置の構成が容易である。すなわち、CCD34aを真空雰囲気に曝さずに撮像手段34の少なくとも一部を試料室17または分光室18の内部に設けるための工夫が不要である。
【0053】
また、前記第1または第2実施形態の装置によれば、表示手段15の画面15b上に、測定結果を、撮像した試料表面1aの画像と同時に並べて表示できるので、測定結果を理解しやすい。例えば、図6では、画面15bの左側に、撮像した試料表面1aの画像に指定した部位の位置A,B,Cを重ねて表示し、右側に、各部位における組成を表として表示する。図7では、同様に、右側に、各部位における組成を、試料1の斜視図上の対応する位置にバーグラフとして表示する。図8では、やはり同様に、右側に、各元素ごとに、各部位における含有率を、試料1の平面図上の対応する位置に色の濃さ(図8中では、ハッチングの濃さとして表している)として表示する。図8中、0〜2等とあるのは、0%以上2%未満の意味である。
【0054】
また、前記第1、第2実施形態の装置は、微小部位の測定に限って用いられるものではなく、例えば、図4に示すコリメータ13に孔径の大きい絞り孔を設けることにより、通常の、特に微小でない部位(試料全体が特に微小でない場合の試料全体も含む)の測定にも用いることができる。このような場合において、試料1の測定すべき部位から発生する蛍光X線6の強度が十分であれば、第1検出手段30を用いず、最初から、広い波長範囲において、第2検出手段7,37で、強度の測定をすることもできる。
【0055】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、試料表面を直接撮像した画像を見ながら任意の微小部位を指定できるので、試料における測定すべき任意の微小部位を迅速かつ正確に設定できる。したがって、試料における任意の微小部位について、迅速かつ正確に分析できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の蛍光X線分析装置を示す概略図である。
【図2】同装置の選択手段、撮像手段等を示す図である。
【図3】図2の一部の平面図である。
【図4】図1のD方向の矢視図(部分断面図)である。
【図5】本発明の第2実施形態の蛍光X線分析装置を示す概略図である。
【図6】本発明の第1または第2実施形態の蛍光X線分析装置による測定結果の表示例を示す図である。
【図7】同装置による測定結果の他の表示例を示す図である。
【図8】同装置による測定結果のさらに他の表示例を示す図である。
【図9】従来の蛍光X線分析装置の一例を示す概略図である。
【図10】本発明の第1実施形態の蛍光X線分析装置の別の選択手段等を示す平面図である。
【図11】本発明の第1実施形態の蛍光X線分析装置の修正手段の作用を示す図である。
【図12】同装置の合成手段の作用を示す図である。
【図13】同装置による測定すべき微小部位の指定の際の表示例を示す図である。
【符号の説明】
1…試料、3…試料台、4…1次X線、5…X線源、6…蛍光X線、7…第2検出手段、8…分光素子、12…移動手段(rθステージ)、13…コリメータ、14…撮像手段、15…表示手段、16…制御手段、19…発散ソーラスリット、20,50…選択手段、30…第1検出手段(SSD)、60…修正手段、61…合成手段。
Claims (4)
- 試料が載置される試料台と、
試料に1次X線を照射するX線源と、
試料から発生する蛍光X線の強度を測定する検出手段と、
試料と前記X線源および検出手段とを相対的に移動させる移動手段と、
試料表面の一部を撮像して画像を生成する撮像手段と、
前記移動手段を駆動して、前記撮像手段により生成される試料表面の一部の画像を複数得て、それらの複数の画像から試料表面全体の画像を合成する合成手段と、
その合成手段により合成された試料表面全体の画像を表示する表示手段と、
その表示手段により表示された試料表面全体の画像に基づいて指定された試料の部位から発生する蛍光X線が前記検出手段へ入射するように、前記移動手段を制御する制御手段とを備えた蛍光X線分析装置であって、
前記合成手段により合成された試料表面全体の画像と、前記指定された試料の部位を含む前記撮像手段により生成された試料表面の一部の拡大画像とを、前記表示手段の同一画面に表示させ、その表示された試料表面の一部の拡大画像に基づいてさらに指定された試料の部位から発生する蛍光X線が前記検出手段へ入射するように、前記移動手段を制御する制御手段を備えた蛍光X線分析装置。 - 試料が載置される試料台と、
試料に1次X線を照射するX線源と、
試料から発生する蛍光X線の強度を試料に近接して測定するエネルギー分散型の第1検出手段と、
試料から発生する蛍光X線を分光素子で分光してその強度を測定する第2検出手段と、
前記試料台と前記第1および第2検出手段との間に設けられ、絞り孔を有して前記第1または第2検出手段の視野を制限する板状のコリメータと、
試料と前記X線源および第1検出手段、または試料と前記X線源および第2検出手段とを相対的に移動させる移動手段と、
試料表面を撮像して画像を生成する撮像手段と、
その撮像手段により生成された試料表面の画像を表示する表示手段と、
その表示手段により表示された試料表面の画像に基づいて指定された試料の部位から発生する蛍光X線が前記第1検出手段または第2検出手段へ入射するように、前記移動手段を制御する制御手段とを備え、
前記コリメータに前記第1検出手段が取り付けられている蛍光X線分析装置。 - 請求項2において、
前記撮像手段が、試料台に載置された試料表面を撮像して画像を生成する蛍光X線分析装置。 - 請求項3において、
前記第2検出手段が発散ソーラスリットを有し、
前記コリメータと分光素子との間に、前記発散ソーラスリットと撮像手段の少なくとも一部とが設けられ、
それらの一方を試料台に載置される試料を臨むように選択的に位置させる選択手段を備えた蛍光X線分析装置。
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