JP2000046763A - 蛍光ｘ線分析計 - Google Patents
蛍光ｘ線分析計Info
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- JP2000046763A JP2000046763A JP10208261A JP20826198A JP2000046763A JP 2000046763 A JP2000046763 A JP 2000046763A JP 10208261 A JP10208261 A JP 10208261A JP 20826198 A JP20826198 A JP 20826198A JP 2000046763 A JP2000046763 A JP 2000046763A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
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Abstract
(57)【要約】
【課題】従来の可搬型蛍光Ｘ線分析計においては、蛍光
Ｘ線を照射する測定点を特定するために厳密に位置を合
わせることが困難であるという課題があった。 【解決手段】Ｘ線発生源から発生した一次Ｘ線が被測定
試料に照射される位置を観察する撮像装置と、その画像
を表示する表示装置を、同じ筐体内に納める構成とし
た。
Ｘ線を照射する測定点を特定するために厳密に位置を合
わせることが困難であるという課題があった。 【解決手段】Ｘ線発生源から発生した一次Ｘ線が被測定
試料に照射される位置を観察する撮像装置と、その画像
を表示する表示装置を、同じ筐体内に納める構成とし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、非破壊で元素分析
が行える蛍光Ｘ線分析計に関し、特に考古学試料などの
大型試料の元素分析や犯罪捜査などの現場分析を主目的
とした可搬型の蛍光Ｘ線分析計に関する。
が行える蛍光Ｘ線分析計に関し、特に考古学試料などの
大型試料の元素分析や犯罪捜査などの現場分析を主目的
とした可搬型の蛍光Ｘ線分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、蛍光Ｘ線分析法により大型試料を
分析する目的であるいは現場分析の目的で、ラジオアイ
ソトープやＸ線管球を励起源とした可搬型Ｘ線分析計が
用いられている。また、卓上型のような小型蛍光Ｘ線分
析計を車に搭載し、試料室に入る大きさに試料を切断し
た後、車上で元素分析を実行していた。
分析する目的であるいは現場分析の目的で、ラジオアイ
ソトープやＸ線管球を励起源とした可搬型Ｘ線分析計が
用いられている。また、卓上型のような小型蛍光Ｘ線分
析計を車に搭載し、試料室に入る大きさに試料を切断し
た後、車上で元素分析を実行していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の可搬型蛍光Ｘ線
分析計においては、蛍光Ｘ線を照射する測定点を特定す
るために筐体と被測定試料の相対的位置を調整する際
に、Ｘ線の射出口を被測定試料に目視で合わせるという
基準しか持ち合わせていなかった。そのためＸ線が照射
される測定点が筐体で隠れて観察できないために、厳密
に位置を合わせることが困難であった。
分析計においては、蛍光Ｘ線を照射する測定点を特定す
るために筐体と被測定試料の相対的位置を調整する際
に、Ｘ線の射出口を被測定試料に目視で合わせるという
基準しか持ち合わせていなかった。そのためＸ線が照射
される測定点が筐体で隠れて観察できないために、厳密
に位置を合わせることが困難であった。
【０００４】特に、コリメータを用いて、Ｘ線光束を絞
り、直径１０ｍｍ以下の被測定試料にＸ線を照射する場
合などでは、位置をあわせるのはほとんど不可能であ
り、筐体と被測定試料の相対位置を微小量だけずらして
複数点の測定を行い、被測定試料の膜厚・組成を類推す
るというようにたいへん手間がかかっていた。また近
年、筐体に高価なファイバースコープを取り付けて、被
測定試料を観察しながら、２軸ステージを介して三脚に
取り付けられた筐体を移動させ、位置決めを行うものが
あるが、全体のシステムが大きく、重くなり、可搬性を
犠牲にするうえに、高価であるという課題があった。
り、直径１０ｍｍ以下の被測定試料にＸ線を照射する場
合などでは、位置をあわせるのはほとんど不可能であ
り、筐体と被測定試料の相対位置を微小量だけずらして
複数点の測定を行い、被測定試料の膜厚・組成を類推す
るというようにたいへん手間がかかっていた。また近
年、筐体に高価なファイバースコープを取り付けて、被
測定試料を観察しながら、２軸ステージを介して三脚に
取り付けられた筐体を移動させ、位置決めを行うものが
あるが、全体のシステムが大きく、重くなり、可搬性を
犠牲にするうえに、高価であるという課題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに第一の発明では、Ｘ線発生源から発生した一次Ｘ線
が被測定試料に照射される位置を観察する撮像装置と、
その画像を表示する表示装置を、同じ筐体内に納める構
成とした。第二の発明では、測定点を含む被測定試料の
画像を表示する表示装置に、当該測定点のＸ線スペクト
ルをスーパーインポーズあるいは重ね合わせ表示する構
成とした。
めに第一の発明では、Ｘ線発生源から発生した一次Ｘ線
が被測定試料に照射される位置を観察する撮像装置と、
その画像を表示する表示装置を、同じ筐体内に納める構
成とした。第二の発明では、測定点を含む被測定試料の
画像を表示する表示装置に、当該測定点のＸ線スペクト
ルをスーパーインポーズあるいは重ね合わせ表示する構
成とした。
【０００６】第三の発明では、筐体内に記憶装置を設け
る構成とし、測定点の位置情報としての試料画像とＸ線
スペクトルを組にして、保存できることを特徴としてい
る。［作用］上記のような構成によれば第一の発明で
は、被測定試料の画像が撮像装置により取得され、表示
装置に表示される。したがって分析者は、表示装置に映
された被測定試料の画像を観察しながら、筐体か被測定
試料のどちらかまたは両方を移動させて両者の相対位置
を変えることにより、被測定試料の位置あわせを行うこ
とができる。
る構成とし、測定点の位置情報としての試料画像とＸ線
スペクトルを組にして、保存できることを特徴としてい
る。［作用］上記のような構成によれば第一の発明で
は、被測定試料の画像が撮像装置により取得され、表示
装置に表示される。したがって分析者は、表示装置に映
された被測定試料の画像を観察しながら、筐体か被測定
試料のどちらかまたは両方を移動させて両者の相対位置
を変えることにより、被測定試料の位置あわせを行うこ
とができる。
【０００７】第二の発明では、被測定試料の画像を表示
した表示装置に、Ｘ線検出器で取得した当該試料の測定
点におけるＸ線スペクトルを同時に表示するようにした
ので、Ｘ線スペクトルがどの試料のどの場所を測定した
ものかが一目瞭然となり、また、表示装置をカメラ撮影
することにより、被測定試料の画像と当該試料の測定点
におけるＸ線スペクトルを一緒に画像に残すことが可能
となる。
した表示装置に、Ｘ線検出器で取得した当該試料の測定
点におけるＸ線スペクトルを同時に表示するようにした
ので、Ｘ線スペクトルがどの試料のどの場所を測定した
ものかが一目瞭然となり、また、表示装置をカメラ撮影
することにより、被測定試料の画像と当該試料の測定点
におけるＸ線スペクトルを一緒に画像に残すことが可能
となる。
【０００８】第三の発明では、被測定試料の画像と当該
試料から取得したＸ線スペクトルを一組として、かつ複
数組の情報を記憶装置に保存可能としたので、画像単体
またはＸ線スペクトル単体で管理するのに比べて、デー
タの管理が簡便となるうえ、画像データとＸ線スペクト
ルの照合のミスを防止することができる。
試料から取得したＸ線スペクトルを一組として、かつ複
数組の情報を記憶装置に保存可能としたので、画像単体
またはＸ線スペクトル単体で管理するのに比べて、デー
タの管理が簡便となるうえ、画像データとＸ線スペクト
ルの照合のミスを防止することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を、
図を用いて説明する。図１に本発明の蛍光Ｘ線分析計の
構成図を示す。Ｘ線発生源１から発生した一次Ｘ線はコ
リメータ２でコリメートされて、これらが納められた筐
体１０に設けられたＸ線射出口１１より被測定試料３に
照射される。Ｘ線発生源としては、ラジオアイソトー
プ、Ｘ線管球などが使用できる。コリメータ２はＸ線管
球のハウジングなどに一体化されていれば、格別分離す
る必要はない。図１において被測定試料３は筐体側面に
設置されているが、この被測定試料のように試料が小さ
く、かつ、動かせる場合は、Ｘ線射出口を上に向けて装
置を設置し、その上に試料を載せ、試料を移動させて位
置決めを行うのが実際の使用法となる。又、試料が比較
的大きく、かつ固定されている場合、例えば、壁の塗料
の分析などを行う場合は、装置の方を移動させて所望の
分析位置に合わせる。測定試料が床面の場合には、試料
が下で装置が上という関係になるが、やはり装置の方を
移動させる。いずれにしても、測定試料と装置の相対位
置を変えて位置決めを行うことになり、その手段として
カメラとディスプレイを使う。
図を用いて説明する。図１に本発明の蛍光Ｘ線分析計の
構成図を示す。Ｘ線発生源１から発生した一次Ｘ線はコ
リメータ２でコリメートされて、これらが納められた筐
体１０に設けられたＸ線射出口１１より被測定試料３に
照射される。Ｘ線発生源としては、ラジオアイソトー
プ、Ｘ線管球などが使用できる。コリメータ２はＸ線管
球のハウジングなどに一体化されていれば、格別分離す
る必要はない。図１において被測定試料３は筐体側面に
設置されているが、この被測定試料のように試料が小さ
く、かつ、動かせる場合は、Ｘ線射出口を上に向けて装
置を設置し、その上に試料を載せ、試料を移動させて位
置決めを行うのが実際の使用法となる。又、試料が比較
的大きく、かつ固定されている場合、例えば、壁の塗料
の分析などを行う場合は、装置の方を移動させて所望の
分析位置に合わせる。測定試料が床面の場合には、試料
が下で装置が上という関係になるが、やはり装置の方を
移動させる。いずれにしても、測定試料と装置の相対位
置を変えて位置決めを行うことになり、その手段として
カメラとディスプレイを使う。
【００１０】被測定試料から発生した蛍光Ｘ線は、やは
り筐体１０に納められたＸ線検出器４で検出されたの
ち、電気信号に変換されて検出回路系５によって電気的
な処理が施されて、エネルギー対強度で表されるＸ線ス
ペクトルとなる。Ｘ線検出器としては、ＳｉやＧｅの半
導体検出器、シンチレーション検出器、比例計数管、Ｈ
ｇＩ2 などが使用できる。
り筐体１０に納められたＸ線検出器４で検出されたの
ち、電気信号に変換されて検出回路系５によって電気的
な処理が施されて、エネルギー対強度で表されるＸ線ス
ペクトルとなる。Ｘ線検出器としては、ＳｉやＧｅの半
導体検出器、シンチレーション検出器、比例計数管、Ｈ
ｇＩ2 などが使用できる。
【００１１】筐体１０内の、Ｘ線射出口１１を望む場所
に撮像装置７が設置されて、被測定試料３の映像が取得
され、前記撮像装置７と電気的に接続された画像合成器
６において、前記検出回路系５で生成されたＸ線スペク
トルと合成された後、筐体に取り付けられた表示装置９
に表示される。撮像装置としてはＣＣＤカメラなどが、
表示装置としては液晶パネル、プラズマディスプレイ、
ＣＲＴなどがそれぞれ使用できる。
に撮像装置７が設置されて、被測定試料３の映像が取得
され、前記撮像装置７と電気的に接続された画像合成器
６において、前記検出回路系５で生成されたＸ線スペク
トルと合成された後、筐体に取り付けられた表示装置９
に表示される。撮像装置としてはＣＣＤカメラなどが、
表示装置としては液晶パネル、プラズマディスプレイ、
ＣＲＴなどがそれぞれ使用できる。
【００１２】また、画像合成器６を設けずに、撮像装置
で撮影した試料画像を表示装置９に直接表示する構成も
可能である。このように、被測定試料の所望の分析個所
が表示装置に表示されるように、筐体または被測定試料
を移動させることにより、所望の分析個所を測定するこ
とができるようになる。分析個所をさらに厳密に合わせ
るためには、特開昭６３−６６４０７にある測定点調整
方法を用いて、測定点を特定し、表示装置上に表示され
る測定点に相当する場所に、適当な手段でマークを付け
ておくという前処理を行うことにより、その後の測定で
は、表示装置のマーク位置に所望の測定個所が来るよう
に筐体または被測定試料を移動させるだけで厳密な位置
合わせが可能となる。このときマークを付ける手段とし
ては、表示装置にサインペンで点やクロスカーソルを描
く、点やクロスカーソルの印刷された透明なシールを貼
る、電気的にカーソルを表示させるなどの方法がある。
で撮影した試料画像を表示装置９に直接表示する構成も
可能である。このように、被測定試料の所望の分析個所
が表示装置に表示されるように、筐体または被測定試料
を移動させることにより、所望の分析個所を測定するこ
とができるようになる。分析個所をさらに厳密に合わせ
るためには、特開昭６３−６６４０７にある測定点調整
方法を用いて、測定点を特定し、表示装置上に表示され
る測定点に相当する場所に、適当な手段でマークを付け
ておくという前処理を行うことにより、その後の測定で
は、表示装置のマーク位置に所望の測定個所が来るよう
に筐体または被測定試料を移動させるだけで厳密な位置
合わせが可能となる。このときマークを付ける手段とし
ては、表示装置にサインペンで点やクロスカーソルを描
く、点やクロスカーソルの印刷された透明なシールを貼
る、電気的にカーソルを表示させるなどの方法がある。
【００１３】一方、画像合成器６で合成された、被測定
試料の画像とＸ線スペクトルは、図２のようにスーパー
インポーズあるいは重ね合わせで表示装置に表示され
る。図２において、クロスカーソル２２は試料の位置の
目安となるものである。その中心位置に一次Ｘ線が照射
される。試料のこの中心位置部分のＸ線スペクトル21が
画面上に表示される。又円２３は試料の大きさの目安と
する為に表示するものである。図２において実際上は被
測定試料の画像が表示されるがここでは図示していな
い。この表示をカメラ撮影すれば、被測定試料の画像情
報とＸ線スペクトルを一緒に保存することができるよう
になる。これによりどのＸ線スペクトルがどの試料から
取得されたものかが一目瞭然となり、便利である。
試料の画像とＸ線スペクトルは、図２のようにスーパー
インポーズあるいは重ね合わせで表示装置に表示され
る。図２において、クロスカーソル２２は試料の位置の
目安となるものである。その中心位置に一次Ｘ線が照射
される。試料のこの中心位置部分のＸ線スペクトル21が
画面上に表示される。又円２３は試料の大きさの目安と
する為に表示するものである。図２において実際上は被
測定試料の画像が表示されるがここでは図示していな
い。この表示をカメラ撮影すれば、被測定試料の画像情
報とＸ線スペクトルを一緒に保存することができるよう
になる。これによりどのＸ線スペクトルがどの試料から
取得されたものかが一目瞭然となり、便利である。
【００１４】また、試料画像とＸ線スペクトルを一組と
して、複数組の情報を記憶装置８に保存できるようなっ
ており、画像とスペクトルを単体で管理するのに比べて
データの管理が簡便となるうえ、画像とスペクトルの照
合のミスを防止することができる。
して、複数組の情報を記憶装置８に保存できるようなっ
ており、画像とスペクトルを単体で管理するのに比べて
データの管理が簡便となるうえ、画像とスペクトルの照
合のミスを防止することができる。
【００１５】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように、Ｘ線
発生源から発生した一次Ｘ線が被測定試料に照射される
位置を観察する撮像装置と、その画像を表示する表示装
置を、同じ筐体内に納める構成としたので、表示装置に
映された被測定試料の画像を観察しながら、筐体か被測
定試料のどちらかまたは両方を移動させて両者の相対位
置を変えることにより、被測定試料の位置あわせを行う
ことができるという効果がある。
発生源から発生した一次Ｘ線が被測定試料に照射される
位置を観察する撮像装置と、その画像を表示する表示装
置を、同じ筐体内に納める構成としたので、表示装置に
映された被測定試料の画像を観察しながら、筐体か被測
定試料のどちらかまたは両方を移動させて両者の相対位
置を変えることにより、被測定試料の位置あわせを行う
ことができるという効果がある。
【００１６】また、試料画像を表示させた表示装置に当
該試料のＸ線スペクトルを同時に表示させ、画像とスペ
クトルを組として保存できる構成としたので、画像とス
ペクトルを一目で見られて便利であるうえに、照合など
のデータの管理が簡便になるという効果がある。
該試料のＸ線スペクトルを同時に表示させ、画像とスペ
クトルを組として保存できる構成としたので、画像とス
ペクトルを一目で見られて便利であるうえに、照合など
のデータの管理が簡便になるという効果がある。
【図１】本発明の実施例を示した蛍光Ｘ線分析計の構成
図。
図。
【図２】試料画像にＸ線スペクトルをスーパーインポー
ズさせたときの表示の説明図。
ズさせたときの表示の説明図。
１ Ｘ線発生源 ２ コリメータ ３ 被測定試料 ４ Ｘ線検出器 ５ 検出回路系 ６ 画像合成器 ７ 撮像装置 ８ 記憶装置 ９ 表示装置 １０ 筐体 １１ Ｘ線射出口
Claims (3)
- 【請求項１】蛍光Ｘ線法を原理とする蛍光Ｘ線分析計に
おいて、Ｘ線発生源と、前記Ｘ線発生源から発生するＸ
線光束の一部のみを被測定試料に照射するためのコリメ
ータと、前記被測定試料から発生する蛍光Ｘ線を検出す
るＸ線検出器と、前記被測定試料の画像を取得する撮像
装置と、前記試料画像を表示する表示装置と、これらを
一体化せしめる筐体からなる蛍光Ｘ線分析計。 - 【請求項２】請求項１の蛍光Ｘ線分析計において、被測
定試料の測定点における試料画像を表示する表示装置
に、測定点における蛍光Ｘ線スペクトルを同時に表示さ
せることを特徴とする蛍光Ｘ線分析計。 - 【請求項３】請求項１または２の蛍光Ｘ線分析計におい
て、被測定試料の試料画像と蛍光Ｘ線スペクトルの組を
１組以上保存するための記憶装置を筐体内に有すること
を特徴とする蛍光Ｘ線分析計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10208261A JP3062685B2 (ja) | 1998-07-23 | 1998-07-23 | 蛍光ｘ線分析計 |
| US09/359,938 US6295333B1 (en) | 1998-07-23 | 1999-07-22 | Fluorescent X-ray analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10208261A JP3062685B2 (ja) | 1998-07-23 | 1998-07-23 | 蛍光ｘ線分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000046763A true JP2000046763A (ja) | 2000-02-18 |
| JP3062685B2 JP3062685B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=16553320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10208261A Expired - Lifetime JP3062685B2 (ja) | 1998-07-23 | 1998-07-23 | 蛍光ｘ線分析計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6295333B1 (ja) |
| JP (1) | JP3062685B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2013113737A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Pulstec Industrial Co Ltd | Ｘ線回折測定装置 |
| CN108344758A (zh) * | 2018-01-11 | 2018-07-31 | 北京师范大学 | 一种毛细管聚焦的便携式微束x射线荧光谱仪及使用方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| AU2002357069A1 (en) * | 2001-12-04 | 2003-06-17 | X-Ray Optical Systems, Inc. | Method and device for cooling and electrically insulating a high-voltage, heat-generating component such as an x-ray tube |
| DE602005006638D1 (de) * | 2004-03-04 | 2008-06-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | Lichtempfindliches wärmeentwickelbares Aufzeichnungsmaterial,sein Gehäuse,und Entwicklungsverfahren und Herstellungsverfahren für lichtempfindliches Wärmeaufzeichnungsmaterial |
| US7796726B1 (en) * | 2006-02-14 | 2010-09-14 | University Of Maryland, Baltimore County | Instrument and method for X-ray diffraction, fluorescence, and crystal texture analysis without sample preparation |
| US7680248B2 (en) | 2007-01-30 | 2010-03-16 | Sii Nanotechnology Inc. | X-ray tube and X-ray analyzing apparatus |
| JP4956701B2 (ja) | 2007-07-28 | 2012-06-20 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | Ｘ線管及びｘ線分析装置 |
| JP5135602B2 (ja) | 2007-07-28 | 2013-02-06 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | Ｘ線管及びｘ線分析装置 |
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| AU2019322935B2 (en) * | 2018-08-17 | 2022-03-10 | MicroTrace Pty. Ltd. | Apparatus for the measurement of mineral slurries |
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| GB2214769A (en) * | 1988-03-04 | 1989-09-06 | Le N Proizv Ob Burevestnik | Multichannel x-ray spectrometer |
| JPH0238850A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-08 | Jeol Ltd | Ｘ線分光器を用いた定性分析方法 |
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| JPH0581700U (ja) * | 1992-04-07 | 1993-11-05 | セイコー電子工業株式会社 | 蛍光ｘ線膜厚測定装置 |
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