JP6305280B2 - 蛍光x線分析装置及びその試料表示方法 - Google Patents
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Description
上記従来の蛍光X線分析装置では、操作者が試料台の所定位置に試料を合わせる必要があり、試料の詳細な位置決めを試料観察用のカメラ画像を見て行っているが、図3の(a)に示すように、同一形状の試料Sが多数並んでいるものを一定個数置きに測定する場合など、図3の(b)に示すように、試料台を移動した際に、カメラ画像で見ている試料Sが何番目の試料Sかがわからなくなる場合があった。すなわち、操作者が、カメラ画像で試料Sの個数を目視で数えて、所望の測定対象である試料Sを見つけ、位置合わせを行っていることから、作業が煩雑になる上、正しい箇所を測定していることを確認することが難しいという問題があった。
すなわち、この蛍光X線分析装置では、複数の試料を試料台に並べて設置した場合、制御部が、番号を印として表示可能であるので、例えばポインティングデバイスで指定した位置に対応した試料の並び順、すなわち並んだ試料の端から数えた際の順番の番号を画面中に表示することで、何番目の試料であるかを容易に確認することができる。
すなわち、この蛍光X線分析装置では、画像処理部が、撮像倍率に対応した前記入力した位置に印を表示するので、撮像倍率が変更されても撮像倍率に合わせて表示された印を目印にすることができる。
すなわち、この蛍光X線分析装置では、制御部が、印が表示された画面を画像データとして保存する機能を有しているので、試料と印とが一緒に表示された画面の画像データによって測定後でも、どの試料を測定したかを容易に確認することができる。
すなわち、この蛍光X線分析装置では、画像処理部が、試料台の移動により印が画面の表示領域から外れて画面に表示されなくなった後に、試料台の移動により印の位置データに基づく印の位置が再び表示領域内に位置した際、印の位置データに基づいて表示領域内に印を再び表示するので、画面の表示領域から印が外れるほど試料台を移動させたり表示画像を拡大/縮小させたりしても、元の位置や表示倍率に戻した際に表示領域に印を表示させることができる。
すなわち、この蛍光X線分析装置では、以前測定した試料と同じ位置で新たに試料を試料台に設置した際に、記憶した位置データに基づいて印をディスプレイ部に撮像した画像と共に重ねて表示させる機能を有しているので、新しい試料を試料台上の同じ位置に設置すれば、改めてポインティングデバイスで位置を入力して印を表示させなくても、測定箇所を特定することが可能となり、さらに操作性が向上する。
すなわち、本発明に係る蛍光X線分析装置及びその試料表示方法によれば、試料移動機構により試料台を移動させた際に、画像処理部により画面中の印を試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させるので、画面中の印を目印にしてX線照射点と試料との位置合わせを簡単に行うことが可能になる。特に、同一形状の複数の試料が並んでいる場合でも、画面中の印を目印にして測定対象である所望の試料を見つけ、測定箇所が正しいことを画面から簡単に確認することができる。
特に、図2に示すように、複数の試料Sを試料台2に並べて設置した場合、制御部Cは、番号を印Mとして表示可能である。
さらに、画像処理部9は、撮像倍率に対応した前記入力した位置に印Mを表示する機能を有している。例えば、撮像倍率が大きくなってディスプレイ部7の画面に表示される画像の表示倍率が大きくなった場合でも、その倍率に同期して画面中において試料台2上の同じ位置に印Mが表示される。
また、制御部Cは、印Mが表示された画面を画像データとして保存する機能を有している。
さらに、画像処理部9は、試料台2の移動により印Mが画面の表示領域から外れて画面に表示されなくなった後に、試料台2の移動により印Mの位置データに基づく印Mの位置が再び表示領域内に位置した際、印Mの位置データに基づいて表示領域内に印Mを再び表示する機能を有している。
上記試料台2は、複数の試料Sが載置可能であり、少なくとも平面方向(X方向及びY方向)に進退可能なXYステージである試料移動機構3上に設置されている。
上記撮像部6は、CCD等を搭載した観察用カメラであり、試料台2の上部に設置されており、試料台2上の試料Sを撮像可能である。
上記制御部Cは、CPU等で構成されたコンピュータであり、X線源4,検出器5,ディスプレイ部7等の各部にも接続され、これらを制御すると共に分析結果をディスプレイ部7に表示する機能を有している。
上記印Mは、数字(番号),絵(図形等),文字又は記号等のマークであり、ポインティングデバイス8で位置を指定した後にキーボードを用いて入力しても構わないと共に、ポインティングデバイス8で直接画面上に線を引いて記入するように設定しても構わない。
上記ディスプレイ部7では、中央に十字線が表示されており、この十字線の交点がX線照射点Pとなるように設定されている。
本実施形態の試料表示方法は、試料台2に設置された試料Sを撮像部6で撮像し、該撮像した画像をディスプレイ部7に表示させ、試料台2を移動することで試料Sに対するX線照射の位置合わせを行った後、測定または分析を行う方法である。この試料表示方法は、撮像部6で試料Sの画像を取得する撮像工程と、画像処理部9によりディスプレイ部7の画面に前記画像を表示する表示工程と、画面上の任意の位置にポインティングデバイス8で印Mを入力する入力工程と、試料台2を移動させた際に、画像処理部9により画面中の印Mを試料台2と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させる表示同期工程とを有している。
例えば図2の(a)に示すように、複数の試料Sが試料台2上に一列に並べられている場合、ポインティングデバイス8によりディスプレイ部7の画面上に番号(数字)を印Mとして記入する。すなわち、並んだ試料Sのうち一番左端の試料Sの上部近傍をポインティングデバイス8で指定し、1番目の試料Sである印Mとして「1」と入力し、画面に表示する。
さらに、画像処理部9が、試料台2の移動により印Mが画面の表示領域から外れて画面に表示されなくなった後に、試料台2の移動により印Mの位置データに基づく印Mの位置が再び表示領域内に位置した際、印Mの位置データに基づいて表示領域内に印Mを再び表示するので、画面の表示領域から印Mが外れるほど試料台2を移動させたり表示画像を拡大/縮小させたりしても、元の位置や表示倍率に戻した際に表示領域に印Mを表示させることができる。
さらに、以前測定した試料Sと同じ位置で新たに試料Sを試料台2に設置した際に、記憶した位置データに基づいて印Mをディスプレイ部7に撮像した画像と共に重ねて表示させる機能を有しているので、新しい試料Sを設置して測定する際に、前回の印Mを同じ位置に再現して表示させることができる。したがって、新しい試料Sを設置し測定する度に、改めてポインティングデバイス8で位置を入力して印を表示させる必要が無くなり、さらに操作性が向上する。
また、上記実施形態では、X線源と検出器とを試料の上方に配置しているが、試料台の下方に配置し、試料の下側を分析または測定しても構わない。さらに、検出器については、真空管タイプのものなどでも構わない。
Claims (7)
- 試料を設置可能な試料台と、
前記試料台を移動可能な試料移動機構と、
前記試料に対して一次X線を照射するX線源と、
前記一次X線を照射された前記試料から発生する蛍光X線を検出する検出器と、
前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、
前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、
前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、
前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させ、
複数の前記試料を、前記試料台に並べて設置した場合、
前記制御部が、番号を前記印として表示可能であることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 請求項1に記載の蛍光X線分析装置において、
前記撮像部が、前記試料の撮像倍率を変えて前記画像を任意の表示倍率へ変更する機能を有し、
前記画像処理部が、前記撮像倍率に対応した前記入力した位置に前記印を表示することを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 試料を設置可能な試料台と、
前記試料台を移動可能な試料移動機構と、
前記試料に対して一次X線を照射するX線源と、
前記一次X線を照射された前記試料から発生する蛍光X線を検出する検出器と、
前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、
前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、
前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、
前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させ、
前記制御部が、前記印が表示された前記画面を画像データとして保存する機能を有していることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 試料を設置可能な試料台と、
前記試料台を移動可能な試料移動機構と、
前記試料に対して一次X線を照射するX線源と、
前記一次X線を照射された前記試料から発生する蛍光X線を検出する検出器と、
前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、
前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、
前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、
前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させ、
前記制御部が、前記入力した前記画面中の位置と前記画像とに基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データを記憶する機能を有し、
前記画像処理部が、前記試料台の移動により前記印が前記画面の表示領域から外れて前記画面に表示されなくなった後に、前記試料台の移動により前記印の位置データに基づく前記印の位置が再び前記表示領域内に位置した際、前記印の位置データに基づいて前記表示領域内に前記印を再び表示することを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 試料を設置可能な試料台と、
前記試料台を移動可能な試料移動機構と、
前記試料に対して一次X線を照射するX線源と、
前記一次X線を照射された前記試料から発生する蛍光X線を検出する検出器と、
前記試料台上の前記試料を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した画像を画面に表示するディスプレイ部と、
前記画面中で特定の位置を指定して入力可能なポインティングデバイスと、
前記ポインティングデバイスで入力した前記画面中の位置に印を表示する画像処理部と、
前記試料移動機構と前記画像処理部とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記試料移動機構により前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させ、
前記制御部が、前記画像に基づいた前記試料台上の前記試料の位置データと前記入力した前記画面中の位置に基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データとを記憶する機能と、
前記試料の位置データに基づいて前記試料と同じ位置で新たに試料を前記試料台に設置した際に、前記印の位置データに基づいた同じ位置で前記印を前記画面に表示させる機能とを有していることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 試料台に設置された試料を撮像部で撮像し、該撮像した画像をディスプレイ部に表示させ、前記試料台を移動することで前記試料に対するX線照射の位置合わせを行った後、測定または分析を行う蛍光X線分析装置の試料表示方法であって、
前記撮像部で前記試料の画像を取得する撮像工程と、
画像処理部により前記ディスプレイ部の画面に前記画像を表示する表示工程と、
前記画面上の任意の位置にポインティングデバイスで印を入力する入力工程と、
前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させる表示同期工程とを有し、
前記入力した前記画面中の位置と前記画像とに基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データを記憶する位置記憶工程と、
前記画像処理部が、前記試料台の移動により前記印が前記画面の表示領域から外れて前記画面に表示されなくなった後に、前記試料台の移動により前記印の位置データに基づく前記印の位置が再び前記表示領域内に位置した際、前記印の位置データに基づいて前記表示領域内に前記印を再び表示する工程とを有することを特徴とする蛍光X線分析装置の試料表示方法。 - 試料台に設置された試料を撮像部で撮像し、該撮像した画像をディスプレイ部に表示させ、前記試料台を移動することで前記試料に対するX線照射の位置合わせを行った後、測定または分析を行う蛍光X線分析装置の試料表示方法であって、
前記撮像部で前記試料の画像を取得する撮像工程と、
画像処理部により前記ディスプレイ部の画面に前記画像を表示する表示工程と、
前記画面上の任意の位置にポインティングデバイスで印を入力する入力工程と、
前記試料台を移動させた際に、前記画像処理部により前記画面中の前記印を前記試料台と同じ移動方向に同じ移動距離だけ移動させて表示させる表示同期工程とを有し、
前記画像に基づいた前記試料台上の前記試料の位置データと前記入力した前記画面中の位置に基づいて前記試料台上に対応する前記印の位置データとを記憶する位置記憶工程と、
前記試料の位置データに基づいて前記試料と同じ位置で新たに試料を前記試料台に設置した際に、前記印の位置データに基づいた位置で前記印を前記画面に表示させる再表示工程とを有していることを特徴とする蛍光X線分析装置の試料表示方法。
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